CN109565207A - 马达、致动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置 - Google Patents

Abstract

提供一种能够更可靠地防止在内部产生的扬尘向外部流出的马达。马达具备：定子，其具备线圈和定子芯；转子，其配置于定子的径向内侧，该转子相对于定子相对旋转；定子外壳，其具备用于进行抽吸排气的第1排气孔，并且该定子外壳用于固定定子；第1密封部，在该第1密封部处，在定子外壳的内部空间与外部之间，定子外壳和转子外壳在周向的整周上隔着第1间隙相对；以及第1节流部，其位于有别于第1密封部的位置，该第1节流部具有将内部空间和第1排气孔相连的第2间隙。

Description

马达、致动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置

技术领域

本发明涉及一种马达、致动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置。

背景技术

半导体制造装置、平板显示器制造装置所使用的马达、使用了该马达的致动器要求较高的可靠性。另外，在半导体、平板显示器等的制造中，为了避免灰尘向制造物的混入，需要清洁环境下的制造工序。在这样的清洁环境下所使用的马达、致动器为了确保较高的可靠性，需要防止在马达、致动器的内部产生的扬尘向外部流出。

例如，在专利文献1中记载有一种密封装置，该密封装置利用从两个凸缘部之间的空气室对空气进行抽吸，从凸缘部与动作轴之间的间隙抽吸空气，防止来自非清洁环境的尘土进入清洁环境内。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平09-29682号公报

发明内容

发明要解决的问题

认为：专利文献1所记载的密封装置用于从清洁环境侧的凸缘部与动作轴之间的间隙、以及非清洁环境侧的凸缘部与动作轴之间的间隙这双方对空气进行抽吸，在空气室内产生压力分布。另外，在清洁环境侧与非清洁环境侧存在压力差的情况下，存在空气从非清洁环境侧向清洁环境侧漏出、污染清洁环境的可能性。

本发明是鉴于上述内容而做成的，其目的在于提供一种能够抑制在内部产生的扬尘向外部流出的可能性的马达。

用于解决问题的方案

为了解决上述的问题、达成目的，马达具备：定子，其具备线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向内侧，该转子相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，其具备用于抽吸排气的第1排气孔，并且，该定子外壳用于固定所述定子；轴承，其将所述转子外壳支承为相对于所述定子外壳旋转自由；第1密封部，在该第1密封部处，在所述定子外壳的内部空间与外部之间，所述定子外壳与所述转子外壳在周向的整周上隔着第1间隙相对；以及第1节流部，其位于有别于所述第1密封部的位置，该第1节流部具有将所述内部空间和所述第1排气孔相连的第2间隙。

根据上述结构，通过将抽吸排气装置与排气孔连接而使抽吸排气装置工作，能够抑制在马达的内部产生的扬尘向外部流出的可能性。

另外，作为期望的形态，优选的是，还具备第1槽部，该第1槽部介于所述第2间隙与所述第1排气孔之间，沿着所述第2间隙在周向的整周上设置于所述定子外壳。

根据上述结构，从密封部均匀地吸入空气，并经由第1槽部从第1节流部向第1排气孔均匀地排气。

作为期望的形态，优选的是，所述第2间隙位于所述定子外壳与第1圆环状构件相对的位置，在与所述第1圆环状构件相对的所述定子外壳的相对面或所述第1圆环状构件具有台阶。

根据上述结构，抑制从第1节流部向第1排气孔抽吸的压力差的周向的不匀。另外，即使排气量较小，第1密封部也有效地发挥功能。

作为期望的形态，优选的是，所述第2间隙位于所述定子外壳与第1圆环状构件相对的位置，该马达具备介于所述定子外壳与所述第1圆环状构件之间的间隔构件。

根据上述结构，抑制从第1节流部向第1排气孔抽吸的压力差的周向的不匀。另外，即使排气量较小，第1密封部也有效地发挥功能。只要仅管理间隔构件的平面度，就能够减少其他构件的零部件精度的管理项目。其结果，作为马达整体，成品率提高。

作为期望的形态，优选的是，所述内部空间被所述轴承分隔成第1内部空间和第2内部空间，所述定子外壳还包括第2排气孔，所述马达具备：所述第1密封部，在所述第1密封部处，在所述第1内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着所述第1间隙相对；所述第1节流部，其位于有别于所述第1密封部的位置，该第1节流部具有将所述第1内部空间和所述第1排气孔相连的所述第2间隙；第2密封部，在该第2密封部处，在所述第2内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着第3间隙相对；第2节流部，其位于有别于所述第1密封部、所述第2密封部以及所述第1节流部的位置，该第2节流部具有将所述第2内部空间和所述第2排气孔相连的第4间隙。

根据上述结构，通过将抽吸排气装置与第1排气孔连接而使抽吸排气装置工作，能够抑制在马达的内部的第1内部空间产生的扬尘向外部流出的可能性。另外，通过将抽吸排气装置与第2排气孔连接而使抽吸排气装置工作，能够抑制在马达的内部的第2内部空间产生的扬尘向外部流出的可能性。

作为期望的形态，优选的是，还具备第2槽部，该第2槽部介于所述第4间隙与所述第2排气孔之间，沿着所述第4间隙在周向的整周上设置于所述定子外壳。

根据上述结构，从第1密封部均匀地吸入第1内部空间的空气，并经由第1槽部从第1节流部向第1排气孔均匀地排气。另外，从第2密封部均匀地吸入第2内部空间的空气，并经由第2槽部从第2节流部向第2排气孔均匀地排气。

作为期望的形态，优选的是，所述第4间隙位于所述定子外与第2圆环状构件相对的位置，在与所述第2圆环状构件相对的所述定子外壳的相对面或所述第2圆环状构件具有台阶。

根据上述结构，抑制从第2节流部向第2排气孔抽吸的压力差的周向的不匀。另外，即使排气量较小，第2密封部也有效地发挥功能。

作为期望的形态，优选的是，所述第4间隙位于所述定子外壳与第2圆环状构件相对的位置，该马达具备介于所述定子外壳与所述第2圆环状构件之间的间隔构件。

根据上述结构，抑制从第2节流部向第2排气孔抽吸的压力差的周向的不匀。另外，即使排气量较小，第2密封部也有效地发挥功能。

另外，作为期望的形态，优选的是，所述定子外壳包括：第1定子外壳部，其具备用于使马达驱动用或者位置检测用的电缆沿着与所述转子的旋转轴线平行的方向的轴向贯穿的第1电缆贯穿孔；以及第2定子外壳部，其沿着所述轴向与所述第1定子外壳部重叠而被固定，具备用于使所述电缆沿着所述轴向贯穿的第2电缆贯穿孔，在所述第1定子外壳部和所述第2定子外壳部沿着所述轴向重叠而被固定起来时，以所述第1电缆贯穿孔和所述第2电缆贯穿孔沿着所述轴向重叠的开口面积与所述电缆的截面积大致一致的方式，使所述第1电缆贯穿孔的径向中心位置有别于所述第2电缆贯穿孔的径向中心位置。

根据上述结构，电缆被保持。另外，确保第1电缆贯穿孔与第2电缆贯穿孔沿着轴向重叠的开口部的气密性。其结果，能够抑制由于第1电缆贯穿孔和第2电缆贯穿孔而在内部产生的扬尘向外部流出的可能性。

另外，作为期望的形态，优选的是，所述定子外壳具备槽部构成构件和O形密封圈，该槽部构成构件具备：第1面，其与平行于所述转子的旋转轴线的方向的轴向正交，与所述转子外壳相对而面对第1间隙；第2面，其面对所述第2间隙，且位于与所述第1面相反的一侧；以及所述第1槽部，该O形密封圈介于所述槽部构成构件与构成所述定子外壳的其他构成构件之间。

根据上述结构，能够利用1个槽部构成构件，在与轴向正交的不同的面形成第1间隙和第2间隙，因此，只要能够确保槽部构成构件的平面度，就能够减少其他构件的零部件精度的管理项目。其结果，作为马达整体，成品率提高。

另外，作为期望的形态，优选的是，具备对所述转子相对于所述定子的旋转进行检测的旋转检测器，包括所述定子和所述转子的驱动部、所述轴承、所述旋转检测器沿着轴向排列配置。

根据上述结构，抑制马达的相对于旋转轴线的放射方向上的尺寸的增大，抑制外壳的设置面积(占用空间)的增大。

另外，作为期望的形态，优选的是，具备对所述转子相对于所述定子的旋转进行检测的旋转检测器，包括所述定子和所述转子的驱动部、所述轴承沿着径向排列配置，所述轴承和所述旋转检测器沿着轴向排列配置。

根据上述结构，抑制轴向上的马达的尺寸、也就是说轴向的高度的增大。

另外，作为期望的形态，优选的是，具备对所述转子相对于所述定子的旋转进行检测的旋转检测器，包括所述定子和所述转子的驱动部、所述轴承、所述旋转检测器沿着径向排列配置。

根据上述结构，能够抑制轴向上的马达的尺寸、也就是说轴向的高度的增大。

另外，作为期望的形态，优选的是，所述轴承是滚动轴承或者滑动轴承。

根据上述结构，无需用于驱动轴承的外部动力源。

另外，作为期望的形态，优选的是，所述轴承是交叉滚子轴承。

根据上述结构，针对任一方向上的负荷都能够确保较强且较高的刚性。

为了解决上述的问题、达成目的，致动器构成为包括前述的马达和所述马达的从动件。由此，能够获得适于在清洁环境下使用的致动器。

为了解决上述的问题、达成目的，半导体制造装置具备前述的马达。由此，能够获得适于在清洁环境下使用的半导体制造装置。

为了解决上述的问题、达成目的，平板显示器制造装置具备前述的马达。由此，能够获得适于清洁环境下使用的平板显示器制造装置。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种能够抑制在内部产生的扬尘向外部流出的可能性的马达。

附图说明

图1A是表示实施方式1的马达的一个例子的剖视图。

图1B是放大地表示图1A的第1间隙的放大剖视图。

图1C是放大地表示图1A的第3间隙和第4间隙的放大剖视图。

图2A是向图1A的A向视方向观察实施方式1的第1圆环状构件的俯视图。

图2B是图2A的IIB-IIB’向视剖视图。

图2C是表示在第3定子外壳部和第1圆环状构件被固定的状态下与图2B相同的截面的剖视图。

图2D是表示在实施方式1的第1变形例的第3定子外壳和第1圆环状构件被固定的状态下局部截面的剖视图。

图3A是向图1A的A向视方向观察实施方式1的第2变形例的第1圆环状构件的俯视图。

图3B是图3A的IIIB-IIIB’向视剖视图。

图3C是表示在第3定子外壳部、间隔构件以及第1圆环状构件被固定的状态下与图3B相同的截面的剖视图。

图4是表示实施方式1中的第2圆环状构件的一个例子的图。

图5是表示实施方式1中的第2定子外壳部的一个例子的图。

图6是表示实施方式2的马达的一个例子的剖视图。

图7是表示实施方式2的马达的与图6不同的一个例子的剖视图。

图8是表示实施方式3的马达的一个例子的剖视图。

图9是表示本实施方式的马达的适用例的图。

具体实施方式

参照附图，详细地说明用于实施本发明的形态(实施方式)。本发明并不被以下的实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素包含本领域技术人员能够容易地设想的构成要素、实质上相同的构成要素。而且，以下所记载的构成要素可适当组合。

(实施方式1)

图1A是表示实施方式1的马达的一个例子的剖视图。图1B是放大地表示图1A的第1间隙的放大剖视图。图1C是放大地表示图1A的第3间隙和第4间隙的放大剖视图。在图1A中，马达1是不借助减速机构、就将所产生的动力向对象物直接传递的直接驱动马达。如图1A所示，马达1具备用于产生使对象物旋转的动力的驱动部2。驱动部2具有定子21和能够相对于定子21旋转的转子22。转子22以旋转轴线AX为中心旋转。

马达1具备：旋转检测器3，其对转子22的旋转进行检测；外壳4，其保持驱动部2和旋转检测器3；电缆200A，其与定子21连接；以及电缆200B，其与旋转检测器3连接。电缆200A、200B与用于控制马达1的未图示的控制装置连接。

在本实施方式中，马达1是内转子型的马达。转子22配置于以定子21的旋转轴线AX为中心的径向内侧。以下，也将以旋转轴线AX为中心的径向简称为“径向”。

定子21具有定子芯21A和被支承于定子芯21A的线圈21B。定子芯21A具有沿以旋转轴线AX为中心的周向以等间隔配置有多个的齿。以下，也将旋转轴线AX为中心的周向简称为“周向”。

线圈21B设置有多个。线圈21B分别被支承于定子芯21A的多个齿。

转子22包括沿着周向以等间隔配置有多个的永磁体。定子21和转子22隔着间隙相对。

旋转检测器3对转子22相对于定子21的旋转进行检测。旋转检测器3包括旋转变压器，对驱动部2的转子22的旋转速度、旋转方向以及旋转角度中的至少一者进行检测。在本实施方式中，旋转检测器3包括绝对旋转变压器和增量式旋转变压器这两种旋转变压器。

外壳4包括定子外壳41和配置于定子外壳41的径向内侧的转子外壳42。如图1A所示，定子外壳41和转子外壳42分别是由多个构件构成的圆筒状的构件。定子外壳41的中心轴线、转子外壳42的中心轴线、旋转轴线AX一致。以下，也将与旋转轴线AX平行的方向称为“轴向”。

包括定子21和转子22的驱动部2配置于定子外壳41与转子外壳42之间。定子21与定子外壳41连接。定子21固定于定子外壳41的外周面。转子22与转子外壳42连接。转子22固定于转子外壳42的内周面。

在定子外壳41与转子外壳42之间配置有轴承5。轴承5具有内圈5A、外圈5B、以及配置于内圈5A与外圈5B之间的滚动体5C。转子外壳42利用该轴承5支承为能够相对于定子外壳41以旋转轴线AX为中心旋转。

定子外壳41以在其与转子外壳42之间设置有被轴承5分隔开的第1内部空间100A和第2内部空间100B的方式配置。第1内部空间100A设置有在周向的整周上使定子外壳41和转子外壳42隔着第1间隙6A沿着轴向相对的第1密封部7A，该第1内部空间100A被该第1密封部7A密封。第2内部空间100B设置有在周向的整周上使定子外壳41与转子外壳42隔着第3间隙6B沿着径向相对的第2密封部7B，该第2内部空间100B被该第2密封部7B密封。第1密封部7A和第2密封部7B的详细情况随后论述。

如图1A所示，定子外壳41具备第1定子外壳部41A、第3定子外壳部41B、第2定子外壳部41C、第1圆环状构件41D、以及第2圆环状构件41E。

第1定子外壳部41A是圆筒状的构件，包括沿着轴向夹持轴承5的外圈5B的构件41AA和构件41AB。第1定子外壳部41A从图1A所示的实施方式1的马达1的轴向的上端侧朝向下端侧按照构件41AA、构件41AB的顺序排列配置。

第1定子外壳部41A的构件41AA在内周面固定有旋转检测器3的定子。第1定子外壳部41A的构件41AB在内周面固定有驱动部2的定子21。构件41AA和构件41AB从轴向的上端侧朝向下端侧按照构件41AA、构件41AB的顺序配置，利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件91B紧固。

第3定子外壳部41B具有面对第1定子外壳部41A的构件41AA的外周面而嵌合的圆筒部。在第3定子外壳部41B的圆筒部的内周面在周向的整周上设置有在径向内侧开口的呈凹形状的第1槽部12A。另外，第3定子外壳部41B具有从圆筒部向径向内侧延伸的圆环部。第1槽部12A的上端的轴向位置与圆环部的下表面的轴向位置一致。随后论述第1槽部12A的详细情况。

在第3定子外壳部41B的圆环部与第1定子外壳部41A的构件41AA之间配置有圆环状的第1圆环状构件41D。第1内部空间100A利用在周向的整周上设置有使第1圆环状构件41D和第3定子外壳部41B的圆环部隔着第2间隙8A沿着轴向相对的第1节流部9A，而与设置到第3定子外壳部41B的第1槽部12A连通。随后论述第1节流部9A的详细情况。

第2定子外壳部41C具有面对第1定子外壳部41A的构件41AB的内周面而嵌合且沿着径向内侧延伸的圆环部。在第2定子外壳部41C的圆环部的第2内部空间100B侧，在周向的整周上设置有在轴向上端侧开口的呈凹形状的第2槽部12B。随后论述第2槽部12B的详细情况。

另外，在第2定子外壳部41C的圆环部的第2内部空间100B侧，以从轴向上端侧覆盖第2槽部12B的方式配置有第2圆环状构件41E。第2内部空间100B利用在周向的整周上设置有使第2圆环状构件41E和第2定子外壳部41C的圆环部隔着第4间隙8B沿着轴向相对的第2节流部9B，而与设置到第2定子外壳部41C的第2槽部12B连通。随后论述第2节流部9B的详细情况。

如图1A所示，第1定子外壳部41A的构件41AA、第1定子外壳部41A的构件41AB、第3定子外壳部41B、第2定子外壳部41C、以及第1圆环状构件41D从轴向的上端侧朝向下端侧按照第3定子外壳部41B、第1圆环状构件41D、第1定子外壳部41A的构件41AA、第1定子外壳部41A的构件41AB、第2定子外壳部41C的顺序排列配置。第3定子外壳部41B、第1圆环状构件41D、以及第1定子外壳部41A(构件41AA)利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件91A紧固。第1定子外壳部41A(构件41AB)和第2定子外壳部41C利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件91C紧固。第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E利用例如多根外螺纹等紧固构件紧固。

在转子外壳42设置有供电源电缆、信号电缆贯穿的空心孔23，该电源电缆、信号电缆通向由使用了马达1的半导体制造装置、平板显示器制造装置制造的被制造物。

如图1A所示，转子外壳42具备第1转子外壳部42A、第2转子外壳部42B、以及第3转子外壳部42C。第1转子外壳部42A、第2转子外壳部42B、以及第3转子外壳部42C分别是圆环状或圆筒状的构件。第1转子外壳部42A和第2转子外壳部42B沿着轴向夹持轴承5的内圈5A。

第1转子外壳部42A在外周面固定有旋转检测器3的转子。第2转子外壳部42B在外周面固定有转子22。第1转子外壳部42A、第2转子外壳部42B、以及第3转子外壳部42C从图1A所示的实施方式1的马达1的轴向的上端侧朝向下端侧按照第3转子外壳部42C、第1转子外壳部42A、第2转子外壳部42B的顺序配置。第3转子外壳部42C和第1转子外壳部42A利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件92A紧固。第1转子外壳部42A和第2转子外壳部42B利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件92B紧固。

此外，定子外壳41和转子外壳42并不限于上述的结构。定子外壳41例如由包括设置有第1槽部12A的构件、与设置有第1槽部12A的构件一起构成第2间隙8A的构件、设置有第2槽部12B的构件、与设置有第2槽部12B的构件一起构成第4间隙8B的构件的多个构件构成即可。另外，转子外壳42既可以是例如1个构件，也可以由两个以上的构件构成。

实施方式1的马达1的包括定子21和转子22的驱动部2、轴承5、以及旋转检测器3沿着轴向排列配置。由此，抑制相对于旋转轴线AX的放射方向上的马达1的尺寸的增大，抑制外壳4的设置面积(占用空间)的增大。

上述的结构的实施方式1的马达1利用转子22相对于定子21旋转，使转子外壳42相对于定子外壳41以旋转轴线AX为中心旋转。

工件(未图示)载置于转子外壳42。在利用驱动部2的工作而使转子外壳42旋转时，工件与转子外壳42一起旋转。转子外壳42作为利用驱动部2的工作而以旋转轴线AX为中心旋转的输出轴发挥功能。

在此，对第1密封部7A进行说明。在本实施方式中，在第1密封部7A处，第3定子外壳部41B和第3转子外壳部42C在周向的整周上隔着例如0.1mm～0.5mm程度的第1间隙6A而沿着轴向相对。如图1A所示，在本实施方式中，第3定子外壳部41B的内径r1比第3转子外壳部42C的外径r2小。因而，第1密封部7A在第3定子外壳部41B和第3转子外壳部42C隔着第1间隙6A而沿着轴向相对的W1的范围内设置。

接着，对第1节流部9A进行说明。在本实施方式中，第1节流部9A是第1定子外壳部41A的构件41AA和第3定子外壳部41B隔着例如数μm～数十μm程度的第2间隙8A沿着轴向相对而构成的。

图2A是向图1A的A向视方向观察实施方式1的第1圆环状构件的俯视图。图2B是图2A的IIB-IIB’向视剖视图。图2C是表示在第3定子外壳部和第1圆环状构件被固定的状态下与图2B相同的截面的剖视图。在图2A中，利用第1定子外壳部41A和第3定子外壳部41B夹持固定第1圆环状构件41D，因此，在第1圆环状构件41D设置有6个螺纹孔41H。第1圆环状构件41D的螺纹孔41H的数量并不限定于此。

如图2A和图2B所示，在第1圆环状构件41D中，在第1圆环状构件41D的基准面41Ds设置有突出部41Dp。如图2C所示，与第1圆环状构件41D相对的第3定子外壳部41B的第2面(相对面)41Bs平坦。并且，第3定子外壳部41B的第2面41Bs与突出部41Dp抵接。在与第3定子外壳部41B相对的突出部41Dp的面同第1圆环状构件41D的基准面41Ds之间存在台阶。由此，第1圆环状构件41D的基准面41Ds和第3定子外壳部41B的第2面41Bs隔着第2间隙8A相对。具体而言，突出部41Dp使设置到第1圆环状构件41D的螺纹孔41H的周边的轴向的厚度比其他部位(第1圆环状构件41D的基准面41Ds)厚与第2间隙8A相当的量。由此，在将第3定子外壳部41B和第1圆环状构件41D组合时，设置有第1圆环状构件41D和第3定子外壳部41B隔着第2间隙8A而沿着轴向相对的第1节流部9A。如图1A所示，在本实施方式中，第1节流部9A在第1圆环状构件41D的外径r3与内径r4之间的径向宽度W2的范围内设置。

图2D是表示在实施方式1的第1变形例的第3定子外壳部和第1圆环状构件被固定的状态下局部截面的剖视图。图2D所示的位置是与图2C相同的截面。如图2D所示，在实施方式1的第1变形例中，与第3定子外壳部41B相对的第1圆环状构件41D的基准面41Ds是平坦面。在第1圆环状构件41D中，未设置用于在其与第3定子外壳部41B之间设置第2间隙8A的台阶。在与第1圆环状构件41D相对的、第3定子外壳部41B的相对面41Bs设置有突出部41Bp。突出部41Bp使设置到第3定子外壳部41B的孔的周边的轴向的厚度比第2面41Bs厚与第2间隙8A相当的量。并且，第1圆环状构件41D的基准面41Ds与突出部41Bp抵接。在第3定子外壳部41B中，在与第1圆环状构件41D相对的突出部41Bp的面与第2面41Bs之间存在台阶。由此，第1圆环状构件41D的基准面41Ds和第3定子外壳部41B的第2面41Bs隔着第2间隙8A相对。第3定子外壳部41B设置有用于在其与第1圆环状构件41D之间设置第2间隙8A的台阶。如以上说明那样，第2间隙8A位于定子外壳41的第3定子外壳部41B与第1圆环状构件41D相对的位置，在与第1圆环状构件41D相对的第3定子外壳部41B的相对面或第1圆环状构件41D具有台阶。

图3A是向图1A的A向视方向观察实施方式1的第2变形例的第1圆环状构件的俯视图。图3B是图3A的IIIB-IIIB’向视剖视图。图3C是表示在第3定子外壳部、间隔构件以及第1圆环状构件被固定的状态下与图3B相同的截面的剖视图。对于与实施方式1的构成要素相同的构成要素，标注相同的附图标记而省略说明。此外，如图1A所示，为了利用第1定子外壳部41A和第3定子外壳部41B夹持固定第1圆环状构件41D，在第1圆环状构件41D设置有6个螺纹孔41H。第1圆环状构件41D的螺纹孔41H的数量并不限定于此。间隔构件11是沿着轴向具有与第2间隙8A相当的恒定的厚度的平垫圈形状的构件。如图3A和图3B所示，间隔构件11以设置到间隔构件11的贯通孔的中心与螺纹孔41H的中心一致的方式分别配置于螺纹孔41H的周围。如图3C所示，在第1圆环状构件41D与第3定子外壳部41B之间夹有用于设置第2间隙8A的间隔构件11。

如图1A所示，第3定子外壳部41B具备：第1面41Bt(参照图1B)，其与轴向正交，与转子外壳42的轴向的面42Cs相对而面对第1间隙6A(第1进气侧间隙)；第2面41Bs(参照图2C)，其面对第2间隙8A(第1排气侧间隙)，且位于与上述第1面41Bt相反的一侧；以及第1槽部12A。由此，将上述第1面41Bt的平面度、上述第2面41Bs的平面度、以及用于设置第1圆环状构件41D与第3定子外壳部41B之间的第2间隙8A的台阶的尺寸设置为管理项目即可，存在零部件精度的管理项目变少这样的优点。其结果，成品率提高。在此，在实施方式1中，用于设置第2间隙8A的台阶的尺寸是突出部41Dp的厚度。用于设置实施方式1的第1变形例中第2间隙8A的台阶的尺寸是突出部41Bp的厚度。用于设置实施方式1的第1变形例中第2间隙8A的台阶的尺寸是间隔构件11的厚度。

第3定子外壳部41B的外径r6比第1定子外壳部41A的外径r5大，第3定子外壳部41B的圆筒部具有面对第1定子外壳部41A的径向外侧而嵌合的嵌合部。第1槽部12A在第3定子外壳部41B的圆筒部的周向的整周上设置，借助第1节流部9A的第2间隙8A在周向的整周上与第1内部空间100A连通。

另外，在第3定子外壳部41B以与第1槽部12A连通的方式设置有第1排气孔13A，该第1排气孔13A在第1定子外壳部41A的外径r5与第3定子外壳部41B的外径r6之间的径向宽度W3的范围内在轴向下端部开口，借助接头14A与作为例如真空泵等的抽吸排气装置P1的排气用管15A连接。并且，在第3定子外壳部41B中，在沿着径向与第1定子外壳部41A的构件41AA重叠的嵌合面，在周向的整周上设置有凹部16，在该凹部16设置有O形密封圈17。通过该O形密封圈17介于第3定子外壳部41B与其他构成构件、例如第1定子外壳部41A的构件41AA之间，确保第1定子外壳部41A的构件41AA与第3定子外壳部41B沿着径向重叠的嵌合面的气密性。此外，在第1定子外壳部41A的构件41AA和第3定子外壳部41B高精度地嵌合的情况下，能够省略第3定子外壳部41B的凹部16的加工和O形密封圈17，但通过设置这些凹部16和O形密封圈17，能够使第1定子外壳部41A的构件41AA与第3定子外壳部41B的嵌合面的加工精度较粗略，能够使容许范围变宽。其结果，成品率提高。

在此，对第2密封部7B进行说明。在本实施方式中，第2密封部7B是第2定子外壳部41C和第2转子外壳部42B在周向的整周上沿着径向隔着例如0.1mm～0.5mm程度的第3间隙6B而重叠地构成的。在本实施方式中，如图1A所示，第2密封部7B在第2定子外壳部41C和第2转子外壳部42B隔着第3间隙6B而沿着径向相对的L1的范围内设置。

接着，对第2节流部9B进行说明。在本实施方式中，第2节流部9B是第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E沿着轴向隔着例如数μm～数十μm程度的第4间隙8B重叠而构成的。

图4是表示实施方式1中的第2圆环状构件的一个例子的图。图4表示向图1A的A向视方向观察第2圆环状构件41E的俯视图。图5是表示实施方式1中的第2定子外壳部的一个例子的图。图5表示向图1A的A向视方向观察第2定子外壳部41C的俯视图。此外，在图4和图5中，用于将第2圆环状构件41E固定于第2定子外壳部41C的螺纹孔设置有6个，但螺纹孔的数量并不限定于此。

在图1C、图4以及图5中，与第2定子外壳部41C相对的第2圆环状构件41E的面41Es平坦。如上所述，在第2定子外壳部41C的圆环部的第2内部空间100B侧，在整周上设置有第2槽部12B。槽部12B在径向上设置于面41C1与面41C2之间。另外，在图1C、图4以及图5中，利用第2定子外壳部41C的与第2圆环状构件41E相对的面41C1和面41C2，在与作为第2圆环状构件的第2圆环状构件41E之间设置有用于设置第4间隙8B的台阶。由此，在将第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E组合时，在周向的整周上设置有第2圆环状构件41E和第2定子外壳部41C隔着第4间隙8B而沿着轴向相对的第2节流部9B。

在本实施方式中，如图1A所示，第2圆环状构件41E的内径r8比设置到第2定子外壳部41C的第2槽部12B的内径r7小。因而，第2节流部9B在设置到第2定子外壳部41C的第2槽部12B的内径r7与第2圆环状构件41E的内径r8之间的径向宽度W4的范围内设置。第2槽部12B经由第2节流部9B的第4间隙8B在周向的整周上与第2内部空间100B连通。

此外，与上述的例子不同，也可以是，未利用第2定子外壳部41C的与第2圆环状构件41E相对的面41C1和面41C2设置台阶，而是在第2圆环状构件41E的与第2定子外壳部41C相对的面设置用于在其与第2定子外壳部41C之间构成第4间隙8B的台阶。另外，在图1A所示的例子中，示出了在第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E重叠的径向内侧的区域设置第2节流部9B的例子，但既可以在第2定子外壳部41C的与第2圆环状构件41E相对的面设置台阶，在第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E重叠的径向外侧的区域设置第2节流部9B，也可以在第2圆环状构件41E的与第2定子外壳部41C相对的面设置台阶，在第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E重叠的径向外侧的区域设置第2节流部9B。进而，也可以是，设为第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E仅在螺纹孔周边相接的结构，在第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E重叠的径向两侧设置第2节流部9B。

另外，也可以在第2定子外壳部41C与第2圆环状构件41E之间设置用于构成第4间隙8B的间隔构件。进而，也可以是，该间隔构件设为沿着轴向具有与第4间隙8B相当的厚度的平垫圈形状的构件，在第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E重叠的径向两侧设置第2节流部9B。

根据上述的结构，将与第2定子外壳部41C的第2圆环状构件41E相对的面的平面度、与第2圆环状构件41E的第2定子外壳部41C相对的面的平面度、以及用于构成第2圆环状构件41E与第2定子外壳部41C之间的第4间隙8B的台阶的尺寸设为管理项目即可，存在零部件精度的管理项目变少这样的优点。其结果，成品率提高。

另外，在图1A和图5中，在第2定子外壳部41C以与第2槽部12B连通的方式设置有第2排气孔13B，该第2排气孔13B沿着轴向贯穿而开口，经由接头14B与作为例如真空泵等的抽吸排气装置P2的排气用管15B连接。

另外，如图1A所示，在第1定子外壳部41A沿着轴向设置有用于使电缆200A、200B贯穿的第1电缆贯穿孔19。在第2定子外壳部41C沿着轴向设置有用于与第1电缆贯穿孔19连通而使电缆200A、200B贯穿的第2电缆贯穿孔20。此外，在图1A所示的例子中，省略了电缆200A用的第1电缆贯穿孔19和第2电缆贯穿孔20。此外，具有第2电缆贯穿孔20的构件只要是存在沿着轴向与具有第1电缆贯穿孔19的构件重叠地固定的位置关系的构件，并不限于第1定子外壳部41A和第2定子外壳部41C，具有第2电缆贯穿孔20的构件和具有第1电缆贯穿孔19的构件也可以是构成定子外壳41的构件等构件。

如图5所示，第1电缆贯穿孔19和第2电缆贯穿孔20以沿着轴向重叠的位置相互错开的方式设置。具体而言，在第1定子外壳部41A和第2定子外壳部41C沿着轴向嵌合了时，以第1电缆贯穿孔19和第2电缆贯穿孔20沿着轴向重叠的开口面积与电缆200A、200B的截面积大致一致的方式，使第1电缆贯穿孔19的径向中心位置X1有别于第2电缆贯穿孔20的径向中心位置X2。由此，确保第1电缆贯穿孔19和第2电缆贯穿孔20沿着轴向重叠的开口部的气密性。

对于设想在半导体制造装置、平板显示器制造装置所使用的马达、使用了该马达而构成的致动器要求较高的可靠性。另外，在半导体元件、平板显示器等的制造中，为了避免灰尘向制造物混入，需要清洁环境下的制造工序。在这样的清洁环境下所使用的马达、致动器为了确保较高的可靠性，需要防止在马达、致动器的内部产生的扬尘向外部流出。

作为在马达、致动器的内部产生的扬尘，想到在轴承等所使用的润滑脂的扬尘。从润滑脂产生的扬尘粒子成为半导体元件、平板显示器的清洁环境下的制造工序中的污染源，成为产生丧失产品价值这样的缺陷的主要原因。因此，对于在半导体元件、平板显示器等的制造工序中所使用的马达、致动器，作为使用于轴承等的润滑脂，普遍使用扬尘性较低的低扬尘润滑脂。

在本实施方式中，在上述的结构中，将抽吸排气装置P1与设置到第3定子外壳部41B的第1排气孔13A连接。另外，将抽吸排气装置P2与设置到第2定子外壳部41C的第2排气孔13B连接。并且，在使抽吸排气装置P1、P2工作时，第1槽部12A的空气被吸出，第2槽部12B的空气被吸出。

在实施方式1的马达1中，第1节流部9A和第2节流部9B在周向的整周上设置，该第1节流部9A的第2间隙8A和第2节流部9B的第4间隙8B极小到数μm～数十μm程度，因此，抽吸排气装置P1，P2的空气的抽吸力较小，即使排气量较少，也能够在第1节流部9A和第2节流部9B的周向的整周上使抽吸压力均匀。由此，第1内部空间100A和第2内部空间100B被有效地密封。

另外，如上所述，在实施方式1的马达1中，第1密封部7A的第1间隙6A和第2密封部7B的第3间隙6B是例如0.1mm～0.5mm程度，在比第1节流部9A的第2间隙8A和第2节流部9B的第4间隙8B大的情况下，也能够利用上述的第1节流部9A和第2节流部9B使抽吸压力均匀，因此，能够有效地密封第1内部空间100A和第2内部空间100B。即、在实施方式1的马达1中，通过分别在第1密封部7A和第2密封部7B的周向的整周上使空气均匀地流入，第1内部空间100A和第2内部空间100B被有效地密封，因此，能够可靠地防止在第1内部空间100A和第2内部空间100B产生的扬尘向外部流出。

如此，实施方式1的马达1能够以较少的排气量有效地使第1密封部7A和第2密封部7B发挥功能，能够更可靠地防止在马达1的内部的第1内部空间100A和第2内部空间100B产生的扬尘向外部流出。

另外，能够防止在马达1的内部产生的扬尘从第1密封部7A和第2密封部7B向外部流出，因此，在实施方式1的马达1中，作为轴承5，能够使用像例如滚动轴承、滑动轴承那样无需电源、压缩空气那样的外部动力源的机械式的轴承。

另外，作为对轴承5等可动部进行润滑的润滑脂，无需使用扬尘性较低的低扬尘润滑脂，能够根据驱动条件使用最佳的润滑脂。

另外，在第1节流部9A中，为了管理第2间隙8A的精度，将第3定子外壳部41B的与第1圆环状构件41D相对的面的平面度、第1圆环状构件41D的与第3定子外壳部41B相对的面的平面度、以及构成第1圆环状构件41D与第3定子外壳部41B之间的第2间隙8A的台阶的尺寸设为管理项目即可。另外，为了对构成第2节流部9B的第4间隙8B的精度进行管理，将第2定子外壳部41C的与第2圆环状构件41E相对的面的平面度、第2圆环状构件41E的与第2定子外壳部41C相对的面的平面度、以及构成第2圆环状构件41E与第2定子外壳部41C之间的第4间隙8B的台阶的尺寸设为管理项目即可。因此，零部件精度的管理项目变少，作为其结果，能够提高马达1的成品率。

如以上说明那样，实施方式1的马达1具备：定子21，其具备线圈21B和定子芯21A；转子22，其配置于定子21的径向内侧，该转子22相对于定子21相对旋转；转子外壳42，其与转子22一起旋转；轴承5，其将转子外壳42支承为相对于定子外壳41旋转自由；以及定子外壳41，其配置为用于固定定子21，并且，设有利用轴承5将与转子外壳42之间的内部分隔而成的第1内部空间100A和第2内部空间100B。

定子外壳41具有第1排气孔13A和第2排气孔13B。实施方式1的马达1在第1内部空间100A与外部之间设置有定子外壳41和转子外壳42在周向的整周上隔着第1间隙6A(第1进气侧间隙)相对的第1密封部7A。实施方式1的马达1具备第1节流部9A，该第1节流部9A位于有别于该第1密封部7A的位置，具有使第1内部空间100A和第1排气孔13A相连的第2间隙8A(第1排气侧间隙)。

如图1A和图1C所示，实施方式1的马达1在第2内部空间100B与外部之间设置有定子外壳41和转子外壳42在周向的整周上隔着第3间隙6B(第2进气侧间隙)相对的第2密封部7B。实施方式1的马达1具备第2节流部9B，该第2节流部9B位于有别于第1密封部7A、第2密封部7B以及第2间隙8A的位置，具有使第2内部空间100B和第2排气孔13B相连的第4间隙8B(第2排气侧间隙)。

根据上述结构，通过将抽吸排气装置P1与第1排气孔13A连接而使抽吸排气装置P1工作，能够抑制在马达1的内部的第1内部空间100A产生的扬尘向外部流出的可能性。另外，通过将抽吸排气装置P2与第2排气孔13B连接而使抽吸排气装置P2工作，能够抑制在马达1的内部的第2内部空间100B产生的扬尘向外部流出的可能性。

实施方式1的马达1具备第1槽部12A，该第1槽部12A介于第2间隙8A与第1排气孔13A之间，沿着第2间隙8A在周向的整周上设置于定子外壳41的第3定子外壳部41B。通过抽吸排气装置P1与第1排气孔13A连接，抽吸排气装置P1工作，从第1密封部7A均匀地吸入空气，并经由第1槽部12A从第1节流部9A向第1排气孔13A均匀地排气。由此，马达1的内部的第1内部空间100A被有效地密封，因此，能够可靠地防止在第1内部空间100A产生的扬尘向外部流出。

另外，实施方式1的马达1具备第2槽部12B，该第2槽部12B介于第4间隙8B与第2排气孔13B之间，沿着第4间隙8B在周向的整周上设置于定子外壳41的第2定子外壳部41C。通过抽吸排气装置P2与第2排气孔13B连接，抽吸排气装置P2工作，从第2密封部7B均匀地吸入空气，并经由第2槽部12B从第2节流部9B向第2排气孔13B均匀地排气。由此，马达1的内部的第2内部空间100B被有效地密封，因此，能够可靠地防止在第2内部空间100B产生的扬尘向外部流出。

另外，用于管理第1节流部9A中的第2间隙8A和第2节流部9B中的第4间隙8B的精度的管理项目较少就足矣，其结果，能够提高马达1的制造之际的成品率。

另外，实施方式1的马达1能够使用像滚动轴承、滑动轴承等那样无需电源、压缩空气那样的外部动力源的机械式的轴承。

另外，实施方式1的马达1无需使用扬尘性较低的低扬尘润滑脂作为对可动部进行润滑的润滑脂，能够根据驱动条件使用最佳的润滑脂。

(实施方式2)

图6是表示实施方式2的马达的一个例子的剖视图。图7是表示实施方式2的马达的与图6不同的一个例子的剖视图。此外，对与上述的实施方式1相同的构成要素标注相同的附图标记而省略重复的说明。

图6所示的实施方式2的马达1a与实施方式1的马达1同样地是内转子型的马达。

如图6所示，定子外壳41具备第3定子外壳部41B、第2定子外壳部41C、第1圆环状构件41D、第2圆环状构件41E、轴承支承构件41F以及旋转检测器固定部41G。第3定子外壳部41B、第2定子外壳部41C、第1圆环状构件41D、第2圆环状构件41E、轴承支承构件41F以及旋转检测器固定部41G分别是圆环状或圆筒状的构件。在本实施方式中，第1圆环状构件41D兼用作第1定子外壳部。

另外，如图6所示，转子外壳42具备第1转子外壳部42A、第2转子外壳部42B、第3转子外壳部42C以及第4转子外壳部42D。第1转子外壳部42A、第2转子外壳部42B、第3转子外壳部42C以及第4转子外壳部42D分别是圆环状或圆筒状的构件。第1转子外壳部42A和第2转子外壳部42B沿着轴向夹持轴承5的外圈5B。第2转子外壳部42B在内周面固定有旋转检测器3的转子。第1转子外壳部42A和第2转子外壳部42B从图6的轴向的上端侧朝向下端侧按照第2转子外壳部42B、第1转子外壳部42A的顺序配置。第2转子外壳部42B和第1转子外壳部42A利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件92C紧固。第4转子外壳部42D在外周面固定有转子22。第2转子外壳部42B和第3转子外壳部42C从图6的轴向的上端侧朝向下端侧按照第2转子外壳部42B、第4转子外壳部42D的顺序配置。第2转子外壳部42B和第4转子外壳部42D利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件(未图示)紧固。第2转子外壳部42B和第4转子外壳部42D从图6的轴向的上端侧朝向下端侧按照第4转子外壳部42D、第2转子外壳部42B的顺序配置。第2转子外壳部42B和第4转子外壳部42D利用例如多根外螺纹等紧固构件92D紧固。

定子外壳41的第1圆环状构件41D具有驱动部2的定子21被固定于内周面的圆筒部41Da。另外，第1圆环状构件41D与轴承支承构件41F一起沿着轴向夹持轴承5的内圈5A。旋转检测器固定部41G在外周面固定有旋转检测器3的定子。第1圆环状构件41D和轴承支承构件41F从图6的轴向的上端侧朝向下端侧按照轴承支承构件41F、第1圆环状构件41D的顺序配置。轴承支承构件41F和第1圆环状构件41D利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件91C紧固。第1圆环状构件41D和旋转检测器固定部41G从图6的轴向的上端侧朝向下端侧按照旋转检测器固定部41G、第1圆环状构件41D的顺序配置，利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件(未图示)紧固。

在第3定子外壳部41B的外周面，在周向的整周上设置有在径向外侧开口的呈凹形状的第1槽部12A。另外，第3定子外壳部41B具有向径向外侧伸出来的颚部41Bb。第3定子外壳部41B的颚部41Bb与第1圆环状构件41D的凹部41Db嵌合，在第3定子外壳部41B的外周面与第1圆环状构件41D的内周面之间，在周向的整周上设置有沿着径向隔着第2间隙8A而沿着径向相对的第1节流部9A。由此，第1内部空间100A与设置到第3定子外壳部41B的圆筒部41Bc的外周面的第1槽部12A连通。

另外，在第3定子外壳部41B的内周面与第3转子外壳部42C之间，在周向的整周上设置有沿着径向隔着第1间隙6A而沿着径向相对的第1密封部7A。第3定子外壳部41B和第1圆环状构件41D利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件91D紧固。

在图6中，利用第2定子外壳部41C的与第2圆环状构件41相对的面41C1和面41C2设置有台阶，该台阶用于在与作为第2圆环状构件的第2圆环状构件41E之间设置第4间隙8B。由此，在将第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E组合时，在周向的整周上设置有第2圆环状构件41E和第2定子外壳部41C隔着第4间隙8B沿着轴向相对的第2节流部9B。在第2定子外壳部41C的第2圆环状构件41E侧，呈环状设置有相对于面41C1沿着轴向突出的突出部41Ca。突出部41Ca的外周面与第1圆环状构件41D的圆筒部41Da的内周面嵌合，突出部41Ca的内周面与第2圆环状构件41E的外周面相接而进行第2圆环状构件41E的径向的定位。在突出部41Ca的外周面，在周向的整周上设置有凹部16a，在该凹部16a设置有O形密封圈17。通过该O形密封圈17a介于第3定子外壳部41B与第1圆环状构件41D的圆筒部41Da的内周面之间，而确保气密性。另外，第2定子外壳部41C在供第2圆环状构件41E设置的那一侧的面，在周向的整周上设置有在轴向下端侧开口的呈凹形状的第2槽部12B。

第2圆环状构件41E以从轴向下侧覆盖设置于第2定子外壳部41C的第2槽部12B的方式配置，在第2圆环状构件41E与第2定子外壳部41C之间，在周向的整周上设置有沿着轴向隔着第4间隙8B而沿着轴向相对的第2节流部9B。由此，第2内部空间100B与设置到第2定子外壳部41C的第2槽部12B连通。

另外，在第2定子外壳部41C的轴向上端面与第3转子外壳部42C之间，在周向的整周上设置有沿着轴向隔着第3间隙6B而沿着轴向相对的第2密封部7B。设置到第2定子外壳部41C的圆环部的外周面外周面与第1圆环状构件41D的圆筒部的内周面嵌合，第2定子外壳部41C和第1圆环状构件41D利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件92E紧固。

此外，定子外壳41和转子外壳42并不限于上述的结构。定子外壳41例如由包括设置有第1槽部12A的构件、与设置有第1槽部12A的构件一起构成第2间隙8A的构件、设置有第2槽部12B的构件、与设置有第2槽部12B的构件一起构成第4间隙8B的构件的多个构件构成即可。另外，转子外壳42既可以是例如1个构件，也可以由两个以上的构件构成。

另外，在图7所示的马达1b中，在第3定子外壳部41Ba的轴向上端面，在周向的整周上设置有在轴向上端侧开口的呈凹形状的第1槽部12A。另外，第3定子外壳部41Ba具有向径向外侧伸出来的颚部。第3定子外壳部41Ba的颚部与第1圆环状构件41D嵌合，在第3定子外壳部41Ba与第1圆环状构件41D之间，在周向的整周上设置有沿着轴向隔着第2间隙8A而沿着轴向相对的第1节流部9A。由此，第1内部空间100A与设置到第3定子外壳部41Ba的轴向上端面的第1槽部12A连通。

如图6和图7所示，实施方式2的马达1a、1b的包括定子21和转子22的驱动部2与轴承沿着径向排列配置，轴承5和旋转检测器3沿着轴向排列配置。由此，抑制轴向上的马达1a、1b的尺寸、也就是说抑制轴向的高度的增大。

上述的结构的实施方式2的马达1a、1b与实施方式1的马达1同样地通过转子22相对于定子21旋转，转子外壳42相对于定子外壳41以旋转轴线AX为中心旋转。

工件(未图示)载置于转子外壳42。在利用驱动部2的工作而转子外壳42旋转时，工件与转子外壳42一起旋转。转子外壳42作为利用驱动部2的工作而以旋转轴线AX为中心旋转的输出轴发挥功能。

此外，对于第1密封部7A中的第1间隙6A、第2密封部7B中的第3间隙6B、第1节流部9A中的第2间隙8A、以及第2节流部9B中的第4间隙8B的各结构，与实施方式1的马达1同样。

即、在本实施方式的马达1a、1b中，也与实施方式1的马达1同样地，第1节流部9A和第2节流部9B在周向的整周上设置，该第1节流部9A的第2间隙8A和第2节流部9B的第4间隙8B极小到数μm～数十μm程度，从而抽吸排气装置P1，P2的空气的抽吸力较小，排气量即使较少，也能够在第1节流部9A和第2节流部9B的周向的整周上使抽吸压力均匀。由此，第1内部空间100A和第2内部空间100B被有效地密封。

另外，在实施方式2的马达1a、1b中，也与实施方式1的马达1同样地，第1密封部7A和第2密封部7B的第1间隙6A、第3间隙6B是例如0.1mm～0.5mm程度，在比第1节流部9A和第2节流部9B的第2间隙8A、第4间隙8B大的情况下，也能够利用上述的第1节流部9A和第2节流部9B使抽吸压力均匀，因此，能够有效地密封第1内部空间100A和第2内部空间100B。即、在实施方式2的马达1a、1b中，也与实施方式1的马达1同样地，空气分别在第1密封部7A和第2密封部7B的周向的整周上均匀地流入，从而第1内部空间100A和第2内部空间100B被有效地密封，因此，能够可靠地防止在第1内部空间100A和第2内部空间100B产生的扬尘向外部流出。

如此，实施方式2的马达1a、1b与实施方式1的马达1同样地，能够以较少的排气量有效地使第1密封部7A和第2密封部7B发挥功能，能够更可靠地防止在马达1a、1b的内部的第1内部空间100A和第2内部空间100B产生的扬尘向外部流出。

另外，与实施方式1的马达1同样地，能够防止在马达1a、1b的内部产生的扬尘从第1密封部7A和第2密封部7B向外部流出，因此，在实施方式2的马达1a、1b中，也能够使用例如像滚动轴承、滑动轴承等那样无需电源、压缩空气那样的外部动力源的机械式的轴承作为轴承5。

另外，与实施方式1的马达1同样地，无需使用扬尘性较低的低扬尘润滑脂作为对轴承5等可动部进行润滑的润滑脂，能够根据驱动条件使用最佳的润滑脂。

另外，在本实施方式的马达1a、1b中，为了管理第1节流部9A中的第2间隙8A的精度，将第3定子外壳部41B、41Ba的与第1圆环状构件41D相对的面的精度、第1圆环状构件41D的与第3定子外壳部41B、41Ba相对的面的精度、以及构成第1圆环状构件41D与第3定子外壳部41B、41Ba之间的第2间隙8A的台阶的尺寸设为管理项目即可。另外，为了管理第2节流部9B中的第4间隙8B的精度，将第2定子外壳部41C的与第2圆环状构件41E相对的面的精度、第2圆环状构件41E的与第2定子外壳部41C相对的面的精度、以及构成第2圆环状构件41E与第2定子外壳部41C之间的第4间隙8B的台阶的尺寸设为管理项目即可。因此，零部件精度的管理项目变少，作为其结果，能够提高马达1a、1b的成品率。

如以上说明那样，实施方式2的马达1a、1b与实施方式1的马达1同样地，从第1密封部7A均匀地吸入空气，并经由第1排气孔13A从第1节流部9A均匀地排气。由此，马达1a、1b的内部的第1内部空间100A被有效地密封，因此，能够可靠地防止在第1内部空间100A产生的扬尘向外部流出。

另外，通过抽吸排气装置P2与第2排气孔13B连接，抽吸排气装置P2工作，从第2密封部7B均匀地吸入空气，并经由第2排气孔13B从第2节流部9B均匀地排气。由此，马达1a、1b的内部的第2内部空间100B被有效地密封，因此，能够可靠地防止在第2内部空间100B产生的扬尘向外部流出。

另外，实施方式2的马达1a、1b与实施方式1的马达1同样地，用于管理第1节流部9A中的第2间隙8A和第2节流部9B中的第4间隙8B的精度的管理项目较少就足矣，其结果，能够提高马达1a、1b的制造之际的成品率。

另外，实施方式2的马达1a、1b与实施方式1的马达1同样地，能够使用像滚动轴承、滑动轴承等那样无需电源、压缩空气那样的外部动力源的机械式的轴承。

另外，实施方式2的马达1a、1b与实施方式1的马达1同样地，无需使用扬尘性较低的低扬尘润滑脂作为对可动部进行润滑的润滑脂，能够根据驱动条件使用最佳的润滑脂。

另外，实施方式2的马达1a、1b的包括定子21和转子22的驱动部2与轴承5沿着径向排列配置，轴承5和旋转检测器3沿着轴向排列配置。由此，能够抑制轴向上的马达1a、1b的尺寸、也就是说抑制轴向的高度的增大。

(实施方式3)

图8是表示实施方式3的马达的一个例子的剖视图。此外，对与上述的实施方式1相同的构成要素标注相同的附图标记而省略重复的说明。

图8所示的实施方式3的马达1c与实施方式1的马达1和实施方式2的马达1a、1b同样地是内转子型的马达。

如图8所示，定子外壳41具备第3定子外壳部41B、第2定子外壳部41C、第1圆环状构件41D以及第2圆环状构件41E。第3定子外壳部41B、第2定子外壳部41C、第1圆环状构件41D以及第2圆环状构件41E分别是圆环状或圆筒状的构件。在实施方式3中，第2定子外壳部41C兼用作第1定子外壳部。

另外，如图8所示，转子外壳42具备共计两个的第1转子外壳部42A和第2转子外壳部42B。第1转子外壳部42A和第2转子外壳部42B分别是圆环状或圆筒状的构件。第1转子外壳部42A和第2转子外壳部42B沿着轴向夹持轴承5的外圈5B。第2转子外壳部42B在外周面固定有转子22。另外，第2转子外壳部42B在内周面固定有旋转检测器3的转子。第1转子外壳部42A和第2转子外壳部42B从图8所示的实施方式3的马达1c的轴向的上端侧朝向下端侧按照第1转子外壳部42A、第2转子外壳部42B的顺序配置，利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件92E紧固。

在第3定子外壳部41B，在周向的整周上设置有在轴向上端侧开口的呈凹形状的第1槽部12A。在第3定子外壳部41B的内周面固定有旋转检测器3的定子。

第1圆环状构件41D以从轴向上端侧覆盖设置于第3定子外壳部41B的第1槽部12A的方式配置，在第1圆环状构件41D与第3定子外壳部41B之间，在周向的整周上设置有沿着径向隔着第2间隙8A而沿着径向相对的第1节流部9A。由此，第1内部空间100A与设置到第3定子外壳部41B的第1槽部12A连通。

另外，在第1圆环状构件41D的轴向上端面与第1转子外壳部42A之间，在周向的整周上设置有沿着轴向隔着第1间隙6A而沿着轴向相对的第1密封部7A。第3定子外壳部41B和第1圆环状构件41D从图8所示的实施方式3的马达1c的轴向的上端侧朝向下端侧按照第1圆环状构件41D、第3定子外壳部41B的顺序配置，利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件91F紧固。

第2定子外壳部41C与第3定子外壳部41B一起沿着轴向夹持轴承5的内圈5A。第2定子外壳部41C和第3定子外壳部41B利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件91E紧固。另外，第2定子外壳部41C具有从轴承5的内圈5A的固定部沿着径向延伸的圆环部，在该圆环部的径向端部固定有定子21。另外，在第2定子外壳部41C的圆环部，在周向的整周上设置有在轴向上端侧开口的呈凹形状的第2槽部12B。

第2圆环状构件41E以从轴向上端侧覆盖设置于第2定子外壳部41C的第2槽部12B的方式配置，在第2圆环状构件41E与第2定子外壳部41C之间，在周向的整周上设置有沿着隔着轴向第4间隙8B而沿着轴向相对的第2节流部9B。由此，第2内部空间100B与设置到第2定子外壳部41C的第2槽部12B连通。

另外，在第2圆环状构件41E的轴向上端面与第2转子外壳部42B之间，在周向的整周上设置有沿着轴向隔着第3间隙6B而沿着轴向相对的第2密封部7B。第2定子外壳部41C和第2圆环状构件41E从图8所示的实施方式3的马达1c的轴向的上端侧朝向下端侧按照第2圆环状构件41E、第2定子外壳部41C的顺序配置，利用例如沿着周向配置的多根外螺纹等紧固构件(未图示)紧固。

此外，定子外壳41和转子外壳42并不限于上述的结构。定子外壳41例如由包括设置有第1槽部12A的构件、与设置有第1槽部12A的构件一起构成第2间隙8A的构件、设置有第2槽部12B的构件、与设置有第2槽部12B的构件一起构成第4间隙8B的构件的多个构件构成即可。另外，转子外壳42既可以是例如1个构件，也可以由3个以上的构件构成。

在本实施方式中，优选轴承5是使用了圆筒形的交叉滚子作为滚动体5C的交叉滚子轴承。交叉滚子轴承的交叉滚子与内圈5A和外圈5B进行线接触，因此，具有能经得住较大的负荷这样的优点。另外，旋转轴线在相邻的交叉滚子处相互倾斜90°，因此，能够针对任一方向上的负荷保持较强且较高的刚性。

如图8所示，实施方式3的马达1c的驱动部2、轴承5以及旋转检测器3沿着径向排列配置。具体而言，从靠近旋转轴线AX的一侧按照旋转检测器3、轴承5、驱动部2的顺序排列配置。由此，与实施方式2的马达1a、1b相比，抑制马达1c的轴向的尺寸、也就是说抑制轴向的高度的增大。

另外，如图8所示，实施方式3的马达1c设置有第1保护用罩构件18a和第2保护用罩构件18b，以便防止异物从定子21的轴向一端部(上端部)和旋转检测器3的轴向另一端部(下端部)的进入。

此外，上述的本实施方式的马达1c以防止在轴承5产生的扬尘向外部流出为目的。即、以在驱动部2、旋转检测器3不产生扬尘为前提。因此，无需设为实施方式1和实施方式2所示那样的对马达1c的内部的空间整体进行密封的构造，不使马达1c大型化，能够获得能经得住清洁环境下的使用的马达1c。

如上述那样构成的马达1c通过转子22相对于定子21旋转，转子外壳42相对于定子外壳41以旋转轴线AX为中心旋转。

工件(未图示)载置于转子外壳42。在利用驱动部2的工作而转子外壳42旋转时，工件与转子外壳42一起旋转。转子外壳42作为利用驱动部2的工作而以旋转轴线AX为中心旋转的输出轴发挥功能。

此外，对于第1密封部7A中的第1间隙6A、第2密封部7B中的第3间隙6B、第1节流部9A中的第2间隙8A、以及第2节流部9B中的第4间隙8B的结构，与实施方式1的马达1和实施方式2的马达1a、1b同样。

即、在本实施方式的马达1c中，也与实施方式1的马达1和实施方式2的马达1a、1b同样地，第1节流部9A和第2节流部9B在周向的整周上设置，该第1节流部9A的第2间隙8A和第2节流部9B的第4间隙8B极小到数μm～数十μm程度，从而抽吸排气装置P1，P2的空气的抽吸力较小，排气量即使较少，也能够在第1节流部9A和第2节流部9B的周向的整周上使抽吸压力均匀。由此，第1内部空间100A和第2内部空间100B被有效地密封。

另外，在实施方式3的马达1c中，也与实施方式1的马达1和实施方式2的马达1a、1b同样地，第1密封部7A和第2密封部7B的第1间隙6A、第3间隙6B是例如0.1mm～0.5mm程度，在比第1节流部9A和第2节流部9B的第2间隙8A、第4间隙8B大的情况下，也能够利用上述的第1节流部9A和第2节流部9B使抽吸压力均匀，因此，能够有效地密封第1内部空间100A和第2内部空间100B。即、在实施方式3的马达1c中，也与实施方式1的马达1和实施方式2的马达1a、1b同样地，空气分别在第1密封部7A和第2密封部7B的周向的整周上均匀地流入，从而第1内部空间100A和第2内部空间100B被有效地密封，因此，能够可靠地防止在第1内部空间100A和第2内部空间100B产生的扬尘向外部流出。

如以上说明那样，实施方式3的马达1c与实施方式1的马达1和实施方式2的马达1a、1b同样地，从第1密封部7A均匀地吸入空气，并经由第1排气孔13A从第1节流部9A均匀地排气。由此，马达1c的内部的第1内部空间100A被有效地密封，因此，能够可靠地防止在第1内部空间100A产生的扬尘向外部流出。

另外，通过抽吸排气装置P2与第2排气孔13B连接，抽吸排气装置P2工作，从第2密封部7B均匀吸入空气，并经由第2节流部9B从第2排气孔13B均匀地排气。由此，马达1c的内部的第2内部空间100B被有效地密封，因此，能够可靠地防止在第2内部空间100B产生的扬尘向外部流出。

另外，实施方式3的马达1c与实施方式1的马达1和实施方式2的马达1a、1b同样地，用于管理第1节流部9A中的第2间隙8A和第2节流部9B中的第4间隙8B的精度的管理项目较少就足矣，其结果，能够提高马达1c的制造之际的成品率。

另外，实施方式3的马达1c与实施方式1的马达1和实施方式2的马达1a、1b同样地，能够使用像滚动轴承、滑动轴承等那样无需电源、压缩空气那样的外部动力源的机械式的轴承。

另外，实施方式3的马达1c与实施方式1的马达1和实施方式2的马达1a、1b同样地，无需使用扬尘性较低的低扬尘润滑脂作为对可动部进行润滑的润滑脂，能够根据驱动条件使用最佳的润滑脂。

而且，实施方式3的马达1c通过将轴承5设为交叉滚子轴承，能够针对任一方向上的负荷保持较强且较高的刚性。

另外，实施方式3的马达1c的驱动部2、轴承5以及旋转检测器3沿着径向排列配置。由此，与实施方式2的马达1a、1b相比，能够抑制马达1c的轴向的尺寸、也就是说抑制轴向的高度的增大。

而且，通过将实施方式3的马达1c中的构造适用于以在驱动部2、旋转检测器3不产生扬尘为前提的马达，不使马达1c大型化，就能够获得能经得住清洁环境下的使用的马达1c。

图9是表示本实施方式的马达的适用例的图。本实施方式的马达1、1a、1b、1c在例如清洁环境400下在半导体制造装置401、平板显示器制造装置402中使用。马达1、1a、1b、1c的外壳(壳体)的一部分(定子外壳)利用紧固构件支承于基座500。此外，紧固构件是螺钉、螺栓、销等。由此，马达1、1a、1b、1c被固定于基座500。

致动器700具备马达1、1a、1b、1c中的任一者和由马达1、1a、1b、1c驱动的从动件600。从动件600被紧固构件支承于马达1、1a、1b、1c的外壳(壳体)的一部分(定子外壳)。此外，紧固构件是螺钉、螺栓、销等。由此，从动件600固定于马达1、1a、1b、1c。

在从动件600的上部配置有被制造物800。在基座500设置有空心孔501，在从动件600设置有空心孔601。

向被制造物800供给电源、信号的电缆900贯穿基座500的空心孔501、马达1、1a、1b、1c的空心孔23、从动件600的空心孔601，并与被制造物800连接。

如上所述，本实施方式的马达1、1a、1b、1c能够可靠地防止在内部产生的扬尘向外部流出，因此，该实施方式的马达1、1a、1b、1c、使用了该实施方式的马达1、1a、1b、1c而构成的致动器700适于在例如图9所示那样的清洁环境400下用于半导体制造装置401、平板显示器制造装置402。

附图标记说明

1、1a、1b、1c、马达；2、驱动部；3、旋转检测器；4、外壳；5、轴承；5A、内圈；5B、外圈；5C、滚动体；6A、第1间隙(第1进气侧间隙)；6B、第3间隙(第2进气侧间隙)；7A、第1密封部；7B、第2密封部；8A、第2间隙(第1排气侧间隙)；8B、第4间隙(第2排气侧间隙)；9A、第1节流部；9B、第2节流部；11、间隔构件；12A、第1槽部；12B、第2槽部；13A、第1排气孔；13B、第2排气孔；14A、14B、接头；15A、15B、排气用管；16、凹部；17、O形密封圈；18a、第1保护用罩构件；18b、第2保护用罩构件；19、第1电缆贯穿孔；20、第2电缆贯穿孔；21、定子；21A、定子芯；21B、线圈；22、转子；23、空心孔；41、定子外壳；41A、第1定子外壳部；41AA、41AB、构件(第1定子外壳部)；41B、41Ba、第3定子外壳部；41C、第2定子外壳部；41D、第1圆环状构件；41E、第2圆环状构件；41F、轴承支承构件；41G、旋转检测器固定部；42、转子外壳；42A、第1转子外壳部；42B、第2转子外壳部；42C、第3转子外壳部；42D、第4转子外壳部；100A、第1内部空间；100B、第2内部空间；200A、200B、电缆；400、清洁环境；401、半导体制造装置；402、平板显示器制造装置；500、基座；501、空心孔(基座)；600、从动件；601、空心孔(从动件)；700、致动器；800、被制造物；900、电缆(被制造物)；AX、旋转轴线；P1、P2、抽吸排气装置。

Claims (18)

1.一种马达，其具备：

定子，其具备线圈和定子芯；

转子，其配置于所述定子的径向内侧，该转子相对于所述定子相对旋转；

转子外壳，其与所述转子一起旋转；

定子外壳，其具备用于进行抽吸排气的第1排气孔，并且该定子外壳用于固定所述定子；

轴承，其将所述转子外壳支承为相对于所述定子外壳旋转自由；

第1密封部，在该第1密封部处，在所述定子外壳的内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着第1间隙相对；以及

第1节流部，其位于有别于所述第1密封部的位置，该第1节流部具有将所述内部空间和所述第1排气孔相连的第2间隙。

2.根据权利要求1所述的马达，其中，

该马达还具备第1槽部，该第1槽部介于所述第2间隙与所述第1排气孔之间，沿着所述第2间隙在周向的整周上设置于所述定子外壳。

3.根据权利要求1或2所述的马达，其中，

所述第2间隙位于所述定子外壳与第1圆环状构件相对的位置，在与所述第1圆环状构件相对的所述定子外壳的相对面或所述第1圆环状构件具有台阶。

4.根据权利要求1或2所述的马达，其中，

所述第2间隙位于所述定子外壳与第1圆环状构件相对的位置，

该马达具备介于所述定子外壳与所述第1圆环状构件之间的间隔构件。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的马达，其中，

所述内部空间被所述轴承分隔成第1内部空间和第2内部空间，

所述定子外壳还包括第2排气孔，

所述马达具备：

所述第1密封部，在所述第1密封部处，在所述第1内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着所述第1间隙相对；

所述第1节流部，其位于有别于所述第1密封部的位置，该第1节流部具有将所述第1内部空间和所述第1排气孔相连的所述第2间隙；

第2密封部，在该第2密封部处，在所述第2内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着第3间隙相对；以及

第2节流部，其位于有别于所述第1密封部、所述第2密封部以及所述第1节流部的位置，该第2节流部具有将所述第2内部空间和所述第2排气孔相连的第4间隙。

6.根据权利要求5所述的马达，其中，

该马达还具备第2槽部，该第2槽部介于所述第4间隙与所述第2排气孔之间，沿着所述第4间隙在周向的整周上设置于所述定子外壳。

7.根据权利要求5或6所述的马达，其中，

所述第4间隙位于所述定子外壳与第2圆环状构件相对的位置，在与所述第2圆环状构件相对的所述定子外壳的相对面或所述第2圆环状构件具有台阶。

8.根据权利要求5或6所述的马达，其中，

所述第4间隙位于所述定子外壳与第2圆环状构件相对的位置，

该马达具备介于所述定子外壳与所述第2圆环状构件之间的间隔构件。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的马达，其中，

所述定子外壳包括：

第1定子外壳部，其沿着与所述转子的旋转轴线平行的方向的轴向具备用于使马达驱动用或者位置检测用的电缆贯穿的第1电缆贯穿孔；以及

第2定子外壳构件，其沿着所述轴向与所述第1定子外壳部重叠而被固定，沿着所述轴向设置有用于使所述电缆贯穿的第2电缆贯穿孔，

在所述第1定子外壳部和所述第2定子外壳部沿着所述轴向重叠而被固定起来时，以所述第1电缆贯穿孔和所述第2电缆贯穿孔沿着所述轴向重叠的开口面积与所述电缆的截面积大致一致的方式，使所述第1电缆贯穿孔的径向中心位置有别于所述第2电缆贯穿孔的径向中心位置。

10.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述定子外壳具备槽部构成构件和O形密封圈，

该槽部构成构件具备：第1面，其与平行于所述转子的旋转轴线的方向的轴向正交，与所述转子外壳相对而面对第1间隙；第2面，其面对所述第2间隙，且位于与所述第1面相反的一侧；以及所述第1槽部，

该O形密封圈介于所述槽部构成构件与构成所述定子外壳的其他构成构件之间。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的马达，其中，

该马达具备对所述转子相对于所述定子的旋转进行检测的旋转检测器，

包括所述定子和所述转子的驱动部、所述轴承、以及所述旋转检测器沿着轴向排列配置。

12.根据权利要求1～10中任一项所述的马达，其中，

该马达具备对所述转子相对于所述定子的旋转进行检测的旋转检测器，

包括所述定子和所述转子的驱动部、所述轴承沿着径向排列配置，所述轴承和所述旋转检测器沿着轴向排列配置。

13.根据权利要求1～10中任一项所述的马达，其中，

该马达具备对所述转子相对于所述定子的旋转进行进行检测的旋转检测器，

包括所述定子和所述转子的驱动部、所述轴承、以及所述旋转检测器沿着径向排列配置。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的马达，其中，

所述轴承是滚动轴承或者滑动轴承。

15.根据权利要求1～13中任一项所述的马达，其中，

所述轴承是交叉滚子轴承。

16.一种致动器，其构成为包括权利要求1～15中任一项所述的马达和由所述马达驱动的从动件。

17.一种半导体制造装置，其具备权利要求1～15中任一项所述的马达。

18.一种平板显示器制造装置，其具备权利要求1～15中任一项所述的马达。