JPS61156741A - リンケイ酸膜の形成方法 - Google Patents
リンケイ酸膜の形成方法Info
- Publication number
- JPS61156741A JPS61156741A JP59274521A JP27452184A JPS61156741A JP S61156741 A JPS61156741 A JP S61156741A JP 59274521 A JP59274521 A JP 59274521A JP 27452184 A JP27452184 A JP 27452184A JP S61156741 A JPS61156741 A JP S61156741A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- phosphosilicate glass
- torr
- pinholes
- reaction chamber
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体装置の製造、より詳しくは、半導体装
置の構成要素となるリンケイ酸ガラス膜(Phosph
osillcate Glams:PSG)のCVD法
による形成方法に関するものである。
置の構成要素となるリンケイ酸ガラス膜(Phosph
osillcate Glams:PSG)のCVD法
による形成方法に関するものである。
従来の技術
リンケイ酸ガラス膜はノ臂、シペーシ、ン膜、リンの拡
散源、あるいは眉間絶縁膜として使用されており、この
膜を形成大るちめのCVD(ChemicalVapo
rpDepo s i t l on )技術も公知
である(例えは、前田和夫著:最近LSIプロセス技術
、第6章CVO技術、(1983)、工業調査会)。
散源、あるいは眉間絶縁膜として使用されており、この
膜を形成大るちめのCVD(ChemicalVapo
rpDepo s i t l on )技術も公知
である(例えは、前田和夫著:最近LSIプロセス技術
、第6章CVO技術、(1983)、工業調査会)。
リンケイ酸ガラス膜は5IH4−0□−PH3系での熱
分解のCVD法によって所定の基板上に形成される。
分解のCVD法によって所定の基板上に形成される。
そのためには、反応室温度および基板の温度を300〜
700℃程度にし、反応ガスとしてPH。
700℃程度にし、反応ガスとしてPH。
ガス、5IH4ガスおよび02t!スそして希釈ガスか
つキャリガスとしてN2ガスを反応室内へ流し、所定反
応室内圧力(成長圧力)状態を保って所定厚さのリンケ
イ酸ガラス膜を成長させている。
つキャリガスとしてN2ガスを反応室内へ流し、所定反
応室内圧力(成長圧力)状態を保って所定厚さのリンケ
イ酸ガラス膜を成長させている。
発明が解決しようとしている問題点
上述のようにしてリンケイ酸ガラス膜を形成する際に、
反応室内圧力を常圧(760Torr)Qように比較的
高い圧力で成長させると、成長膜にピンホールが生じて
場合によりてはそれがクラックの発生を招く。一方、反
応室内圧力を減圧状態、特に、数Torr以下の低い圧
力状態で成長させると、成長膜の段差部(例えばアルミ
ニウム配線のあるような平坦でない表面を覆うために生
じる段差)において膜質に異状があることがわかった。
反応室内圧力を常圧(760Torr)Qように比較的
高い圧力で成長させると、成長膜にピンホールが生じて
場合によりてはそれがクラックの発生を招く。一方、反
応室内圧力を減圧状態、特に、数Torr以下の低い圧
力状態で成長させると、成長膜の段差部(例えばアルミ
ニウム配線のあるような平坦でない表面を覆うために生
じる段差)において膜質に異状があることがわかった。
すなわち、リンケイ酸ガラス膜が後工程で弗酸(弗化水
素酸)の工、チンダ液と接触する場合K(例えば、リン
ケイ酸ガラス膜にコンタクトホールをあける場合、各プ
ロセス処理ごとの表面洗浄の場合など)、段差部のエツ
チング速度が平坦部よシも大幅に大きいために空洞ある
いは巣が発生 。
素酸)の工、チンダ液と接触する場合K(例えば、リン
ケイ酸ガラス膜にコンタクトホールをあける場合、各プ
ロセス処理ごとの表面洗浄の場合など)、段差部のエツ
チング速度が平坦部よシも大幅に大きいために空洞ある
いは巣が発生 。
することがある。このことは半導体装置の信頼性を低下
させる要因となる。
させる要因となる。
問題点を解決するための手段
CVD法によって形成するリンケイ酸ガラス膜に生じる
であろうピンホールおよび膜質の異状をなくすために、
成長時の反応室内圧力を5ないし50Torrにして膜
形成を行なう。
であろうピンホールおよび膜質の異状をなくすために、
成長時の反応室内圧力を5ないし50Torrにして膜
形成を行なう。
実施例
以下、本発明の実施態様を含んだ実験例でもって本発明
の詳細な説明する。
の詳細な説明する。
従来の減圧cvn装置を使用して反応室内圧力を変動パ
ラメータとして下記成長条件にて半導体基板上にリンケ
イ酸ガラス膜を形成する。なお、半導体基板は第1図に
示すようにシリコンウェハ(基板)10表面に二酸化ケ
イ素5102膜を熱酸化法(又はCVD法)で形成し、
その上にアルミニウム配線3を形成したものを用いる。
ラメータとして下記成長条件にて半導体基板上にリンケ
イ酸ガラス膜を形成する。なお、半導体基板は第1図に
示すようにシリコンウェハ(基板)10表面に二酸化ケ
イ素5102膜を熱酸化法(又はCVD法)で形成し、
その上にアルミニウム配線3を形成したものを用いる。
そして、リンケイ酸ガラスJllI4(第1図)が段差
部を有するようく形成される。
部を有するようく形成される。
基板温度(成長温度):400℃
反応ガス
PH3:2CC/min (PH3ハ2=14)SiH
2:20CC/m1n(SIH4/N2=1 % )0
2 :200CC/ffl 1 n N2:2t/rn1n 得られたリンケイ酸ガラス膜のピンホールを調べてその
結果を第2図の実線に示した。また、リンケイ酸ガラス
膜の弗化水素酸液によるエツチング速度を平坦部分(第
1図中矢印A)および段差部分(第1図矢印B)につい
て調べてその結果をエッチレート比CB/A)として第
2図の破線にて示した。
2:20CC/m1n(SIH4/N2=1 % )0
2 :200CC/ffl 1 n N2:2t/rn1n 得られたリンケイ酸ガラス膜のピンホールを調べてその
結果を第2図の実線に示した。また、リンケイ酸ガラス
膜の弗化水素酸液によるエツチング速度を平坦部分(第
1図中矢印A)および段差部分(第1図矢印B)につい
て調べてその結果をエッチレート比CB/A)として第
2図の破線にて示した。
第2図かられかるように、−ンホールについては反応室
内圧力が50Torrを越えるとその数が大幅に増加す
るようになシ、一方、エッチレート比については5 T
orr71E満で大きくなる(すなわち、段差部のエッ
チ速度が平坦部よシも大きい)ので、適正反応室内圧力
は5ないし50 Torrである。
内圧力が50Torrを越えるとその数が大幅に増加す
るようになシ、一方、エッチレート比については5 T
orr71E満で大きくなる(すなわち、段差部のエッ
チ速度が平坦部よシも大きい)ので、適正反応室内圧力
は5ないし50 Torrである。
発明の効果
本発明に係るCVD法によるリンシリケイ酸ガス膜の形
成方法によって得られる膜はピンホールが非常に少なく
かつ膜の段差部が異状に早くエツチングされることもな
いので、リンケイ酸膜自体には問題なく、結果として半
導体装置の信頼性向上に寄与する。
成方法によって得られる膜はピンホールが非常に少なく
かつ膜の段差部が異状に早くエツチングされることもな
いので、リンケイ酸膜自体には問題なく、結果として半
導体装置の信頼性向上に寄与する。
第1図はアルミニウム配線を有する半導体基板上にリン
ケイ酸ガラス膜を形成したときの概略断面図であり、 第2図は反応室内圧力とリンケイ酸ガラス膜のピンホー
ルおよび工、テレートとの関係を示す図でち′る。 1・・・半導体基板、3・・・アルミニウム配線、4・
・・リンケイ酸ガラス膜、A・・・平坦部、B・・・段
差部。
ケイ酸ガラス膜を形成したときの概略断面図であり、 第2図は反応室内圧力とリンケイ酸ガラス膜のピンホー
ルおよび工、テレートとの関係を示す図でち′る。 1・・・半導体基板、3・・・アルミニウム配線、4・
・・リンケイ酸ガラス膜、A・・・平坦部、B・・・段
差部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体装置製造過程でCVD法によってリンケイ酸
ガラス膜を形成する方法において、反応室内圧力を5な
いし50Torrとすることを特徴とするリンケイ酸ガ
ラス膜の形成方法。 2、反応ガスがPH_3、SiH_4およびO_2であ
りおよび希釈かつキャリアガスがN_2であることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59274521A JPS61156741A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | リンケイ酸膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59274521A JPS61156741A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | リンケイ酸膜の形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61156741A true JPS61156741A (ja) | 1986-07-16 |
Family
ID=17542857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59274521A Pending JPS61156741A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | リンケイ酸膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61156741A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03228332A (ja) * | 1990-02-02 | 1991-10-09 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52140274A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-22 | Hitachi Ltd | Pressure-reduction vapor growth method |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP59274521A patent/JPS61156741A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52140274A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-22 | Hitachi Ltd | Pressure-reduction vapor growth method |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03228332A (ja) * | 1990-02-02 | 1991-10-09 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
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