KR19980051759A - 반도체 가스실린더 교체용 공구 - Google Patents
반도체 가스실린더 교체용 공구 Download PDFInfo
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Abstract
반도체장치를 제작에 필요한 공정가스를 소정량 담아 교체하여 사용하는 가스실린더를 보다 용이하게 교체할 수 있도록 하는 반도체 가스실린더 교체용 공구에 관한 것이다.
본 발명은 작업자가 파지하기 용이하게 형성된 손잡이와, 상기 손잡이의 단부에 연장 형성된 머리부와, 상기 머리부의 일측부에서 상기 머리부의 중심 부위까지 소정 폭으로 절개한 삽입부와, 가스실린더와 관통 연결되는 체결구와 부합되는 형상과 소정 깊이로 형성된 자리홈으로 구성됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 가스실린더와 연결관을 연결시키기 위한 체결구의 손상을 줄이게 되고, 체결구를 안전하고 손쉽게 분리 및 결합할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 반도체 가스실린더 교체용 공구에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체장치를 제작에 필요한 공정가스를 소정량 담아 교체하여 사용하는 가스실린더를 보다 용이하게 교체할 수 있도록 하는 반도체 가스실린더 교체용 공구에 관한 것이다.
일반적으로 반도체장치 제조공정에서는 공정 특성에 따른 가연성 또는 독성이 강한 가스가 많이 사용되고 있으며, 이러한 가스는 통상 가스실린더에 고압 상태로 담겨져 잔존하는 가스 잔량에 따라 교체하여 사용하도록 되어 있다.
한편, 상술한 가스실린더는 설비측과 연결된 연결관과 체결구에 의해 관통 연결되어 있어 이 가스실린더를 교체하기 위해서는 가스실린더의 밸브와 설비측 밸브를 차단한 상태에서 상술한 체결구를 분리하여야 하고, 가스실린더를 설치하기 위해서는 상술한 과정의 역순으로 진행하면 된다.
여기서, 가스실린더를 체결하고 있는 체결구는 통상 가스실린더 쪽의 수소켓과 연결관 단부에 설치되는 암소켓의 나사결합으로 이루고 있으며, 이 체결구를 분리 결합하는 공구로는 소정 크기의 몽키스패너가 사용되어 왔다.
그러나, 상술한 바와 같이 몽키스패너를 사용하게 되면, 몽키스패너의 압착부 간격을 체결구의 외측에 맞게 조절해야 하는 번거로움이 있고, 체결구를 중심으로 회전함에 있어 몽키스패너가 쉽게 분리되며, 가스의 누출시 응급조치가 어려워 인적 물적 피해가 발생되는 문제가 있었다.
또한, 몽키스패너의 손잡이가 필요 이상으로 길어 교체 작업시 가스실린더와 쉽게 부딪치게 되고, 이때 가스실린더의 밸브에 부딪치게 되면 밸브가 개방되어 가스가 누출되는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은, 가스실린더의 교체시 체결구를 안전하고 용이하게 분리 및 결합하도록 하는 반도체 가스실린더 교체용 공구를 제공함에 있다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 가스실린더 교체용 공구의 사용 관계를 나타낸 사시도이다.
도2는 도1의 가스실린더 교체용 공구의 자리홈 부위를 나타낸 사시도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10: 교체용 공구 12: 연결관
14: 가스실린더 16: 배출구
18: 체결구 20: 손잡이
22: 머리부 24: 삽입부
26: 자리홈 28: 메인밸브
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 작업자가 파지하기 용이하게 형성된 손잡이와, 상기 손잡이의 단부에 연장 형성된 머리부와, 상기 머리부의 일측부에서 상기 머리부의 중심 부위까지 소정 폭으로 절개한 삽입부와, 가스실린더와 관통 연결되는 체결구와 부합되는 형상과 소정 깊이로 형성된 자리홈으로 구성됨을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 가스실린더 교체용 밸브의 사용 관계를 나타낸 사시도이고, 도2는 도1의 가스실린더 교체용 공구의 자리홈 부위를 나타낸 사시도이다.
먼저 도1을 참조하여 설명하면, 설비측과 연결된 연결관(12)의 일단부에는 가스실린더(14)의 배출구(16)와 체결되는 소정 형상의 체결구(18)가 결합되어 있다.
한편, 상술한 체결구(18)를 배출구(16)로부터 분리하기 위한 가스실린더 교체용 공구(10)는 도2에 도시된 바와 같이 작업자가 파지하기 용이하게 형성된 손잡이(20)와, 이 손잡이(20)의 단부에 연장 형성된 머리부(22)와, 이 머리부(22)의 일측부에서 머리부(22) 중심 부위까지 소정 폭과 형상으로 절개한 삽입부(24)와, 상술한 체결구(18)와 부합되는 형상으로 소정 깊이를 갖는 자리홈(26)으로 구성된다.
이렇게 형성된 가스실린더 교체용 공구(10)의 사용 관계를 도1을 참조하여 설명하기로 한다.
먼저, 작업자는 가스실린더(14)의 메인밸브(28)와 설비측의 연결관(12)상에 설치된 밸브(도시 안됨)를 차단한 상태에서 가스실린더 교체용 공구(10)의 손잡이(20)를 파지하고, 이어 자리홈(26)이 체결구(18) 방향으로 향하도록 하여 삽입부(24)를 통해 연결관(12)의 측부를 삽입하여 연결관(12)이 머리부(22) 중심에 위치되도록 한다.
그리고, 머리부(22)를 체결구(18) 방향으로 이동시켜 체결구(18)의 외측 부위가 자리홈(26)에 안착되도록 하여 손잡이(20)를 회전시켜 분리 및 결합한다.
따라서, 본 발명에 의하면 가스실린더와 연결관을 연결시키기 위한 체결구의 손상을 줄이게 되고, 체결구를 안전하고 손쉽게 분리 및 결합할 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (1)
- 작업자가 파지하기 용이하게 형성된 손잡이와, 상기 손잡이의 단부에 연장 형성된 머리부와, 상기 머리부의 일측부에서 상기 머리부의 중심 부위까지 소정 폭으로 절개한 삽입부와, 가스실린더와 관통 연결되는 체결구와 부합되는 형상과 소정 깊이로 형성된 자리홈으로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 가스실린더 교체용 공구.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960070674A KR19980051759A (ko) | 1996-12-23 | 1996-12-23 | 반도체 가스실린더 교체용 공구 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960070674A KR19980051759A (ko) | 1996-12-23 | 1996-12-23 | 반도체 가스실린더 교체용 공구 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980051759A true KR19980051759A (ko) | 1998-09-25 |
Family
ID=66383802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960070674A KR19980051759A (ko) | 1996-12-23 | 1996-12-23 | 반도체 가스실린더 교체용 공구 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| KR (1) | KR19980051759A (ko) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100420124B1 (ko) * | 2001-12-05 | 2004-03-02 | 삼성전자주식회사 | 부품 교체를 위한 공구 |
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-
1996
- 1996-12-23 KR KR1019960070674A patent/KR19980051759A/ko not_active Application Discontinuation
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