JPS6081134A - オクタフルオロプロパンの製造方法 - Google Patents

オクタフルオロプロパンの製造方法

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JPS6081134A
JPS6081134A JP18927983A JP18927983A JPS6081134A JP S6081134 A JPS6081134 A JP S6081134A JP 18927983 A JP18927983 A JP 18927983A JP 18927983 A JP18927983 A JP 18927983A JP S6081134 A JPS6081134 A JP S6081134A
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浩一 片村
Yutaka Kageyama
影山 豊
Hidetoshi Nakayama
秀俊 中山
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ヘキサフルオロプロピレンに高次金属フッ化
物を反応させるオクタフルオロプロパンの製造方法に関
づる。
オクタフルオロプロパンは、低温用作動流体として、あ
るいは、最近半導体用エツチングガスとして注目されて
いる化合物である。
これまで、オクタフルオロプロパン(C3F8 )の製
造方法として、フッ素ガスを用いた気相フッ素化法、電
解フツ素化法、およびフッ素化剤を用いたフッ素化法等
が知られている。
フッ素ガスを用いた気相フッ素化法としては、例えばプ
ロパンのフッ素化(J、 A、C,S、、82゜582
7 (1960) ) 、ヘキサフルオロプロピレンの
フッ素化(特開昭58−41829 ) 、あるいは、
ヘキサフルオロプロピレンにフッ化水素を付加さUて得
るヘプタフルオロプロパンのフッ素化(特開昭53−1
19802)等が知られているが、これらの方法に85
いては、極めて反応性の強いフッ素ガスを用いるため、
反応が暴走、爆発の危険性が高く安全上問題があり、更
に多量の反応熱による炭素−炭素結合の切断、重合等が
発生し、これらの副反応を制御するため特殊構造の装置
を必要とし、あるいは多量の不活性ガスでフッ素ガスを
希釈しなければならない。また、フッ素化を完全にする
ために、過剰のフッ素を供給覆る必要があり、従って未
反応フッ素の処理を要する等の欠点がある。
電解フツ素化法の例としては、プロパン(米国特許第3
,840,445号)、あるいは1−クロルプロパン(
米国特許第3,709,800@ )からC3F8を製
造する方法が知られている。しかし、これらの方法にお
いては装置がきわめて複雑であり、更に炭素−炭素ヶ結
合の切断等の副反応が生じるため収率が低く、工業的に
有利な方法とはいえない。
フッ素化剤を用いたフッ木化法としては、例えばトリフ
ルオロペンタクロロプロパンと三フッ化マンガンの反応
(米国特許第2,578,721号)によりC3FBを
製造Jる方法が知られているが、この反応においては部
分的に塩素の残ったクロロフルAロブロバン類が副生し
、C3Feの収率は低く、また細点の近い副生物の分離
のために煩雑な操作を必要としCいる。一般に、フッ素
化剤として高原子価金属フッ化物−即ら高次金属フッ化
物−には三フッ化コバルト(COF3 ) 、三フッ化
マンガン(Mn F3 ) 、ニフッ化銀(A(] I
F )等、あるいはこれらとアルカリ金属フッ化物が混
合した組成の化合物(例えばKCOF4 )を用い、炭
北水素あるいは塩化炭化水素中の水素や塩素とフッ素を
置換しフッ素化を行うことは知られていた。しかしなが
ら高次金属フッ化物を用いたフッ素化反応においては、
副生物どして多くの部分フツ素化物を生成し、目的生成
物の収率は低く、しかもこれらの副生物は沸点の近いも
のが多く、目的生成物との分離が難しい等の欠点があっ
た。
本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、ヘキサフルオロ
プロピレン(C3F6 )に、高次金属フッ化物を反応
させると、原料であるC3 FBガスがほとんど未反応
として残らず、かつ副生物もほとんどなく、目的生成物
である03 FBが高純度にて得られることを見出し、
本発明を完成させた。
本発明について、更に詳しく説明すると、本発明に用い
られる高次金属フッ化物としては、COF3 、Mll
 F3およびA!] F2から選択された少くとも1種
を含んでおればよく、これらの高次金属フッ化物を単独
で、あるいは混合して使用覆る場合は、粉末状、粒状、
錠剤状等にて反応に用いることができる。錠剤状等に成
形して用いる方が取扱いが容易であるが、特にこの形に
限定されるものではない。これら高次金属フッ化物は、
対応する塩化物、臭化物、ヨウ化物、炭酸塩、硝酸塩、
硫酸塩、フルオロケイ酸塩、酢酸塩、酸化物あるいは対
応する金属粉末や低次金属フッ化物(例えばCo F2
他)等を、フッ素により対応づる高次金属フン化物とし
て使用することもできる。
高次金属フッ化物は、そのまま或いは安定な化合物(例
えばフッ化カルシウム等)と混ぜ合せて、打錠法など公
知の方法により成形してもよい。また安定な担体く例え
ば三フッ化アルミニウム等)へ担持して用い−Cもよい
フッ素により対応1゛る高次金属フッ化物とする際には
、通常用いられる耐食材質の反応器に充填させフッ素ガ
スによりフッ素化させる。フッ素ガスは窒素、ヘリウム
、)−IF等のフッ素に対して不活性なガスで希釈して
使用Jることもできる。また、フッ素ガスを用いるかわ
りに、三フッ化塩素のようなフッ素を放出しやすいフッ
素化合物で、ガス状のものを用い又もにい。
このようにして調整した高次金属フッ化物を充填した反
応器へ、03 Filを供給し反応せしめる。
この場合、流通法あるいは循環法のいずれを用いてもよ
く、又、反応器は、固定床あるいは流動床等いずれを用
いてもよい。反応圧力は、常圧、加圧、減圧のいずれも
可能であるが、常圧系が操作は容易である。
C3Fe原料ガスに、希釈ガスとして、窒素、ヘリウム
、アルゴン等の反応に不活性で、かつ生成ガスである0
3F8との分離が容易なものを用いることもできるが、
本発明においては、このような希釈ガスを使用しなくて
も反応を安全に行わせることができる。C3Feと高次
金属フッ化物の反応温度は、高次金属フッ化物として、
Co F3の場合は40〜500°C1好ましくは10
0〜400℃であり、Mn F3の揚台は100〜53
0℃、好ましくは200〜480℃であり、A(] I
Fの場合は30〜200℃、好ましくは40〜100℃
である。これらの高次金属フッ化物を単独でなく、二種
以上混合して反応を行なわせる場合は、上記の温度範囲
の中から適宜に選ぶことができる。又、上記のとがある
ので、循環法を行うことが好ましい。何故ならば、原料
ガスであるCa F6と製品ガスであるC3FBの沸点
は近似しているので、分@粕製する操作が煩雑となるか
らである。
上記の温度条件下では、副生成物はきわめて少なく、炭
素−炭素結合の切断、重答等も実質上認められず、純度
99.9%、またはそれ以上のCa FBを1qること
かでき、本発明の製造方法は極めて有利である。
次に、実施例によりさらに具体的に本発明を説明する。
実施例1 塩化コバルトを錠剤状(5mmφx5mm+)に成形し
、これをHF、次にF2ガスによりフッ素化しCo F
3を調整した。このCOFil 120gをニツウル製
反応器(25mmφx iooomm)に充填し、反応
温度270℃にて、常圧で、純度99.9%以上の03
−Fe b3.3gを0.6時間の間に流通法で反応器
に導入した。反応生成物は捕集し、計(6)を行い通常
のガスクロマ1−グラフィにより組成分析を行った結果
、未反応のCa Faは検出されず、純度99.9%以
上の03F866.3gを1!1だ。
実施例2 実施例1に用いたと同じCo F3 120Ilを、同
じ反応器に充填し、反応温度110℃、常圧下で純度9
9.9%以上のC3Fa 43.Ogを0.8時間の間
に、流通法で反応器に導入した。実施例1と同様にして
、組成分析の結果、未反応のCa Filは検出されず
純度99.9%以上のCa Fo 53.8!Jを得た
又、C3Fa 43.Ogを窒素ガスにて約50%に希
釈し、供給時間を1.5時間にした外は上記と同じ条件
で反応を行わせたところ、未反応の03 F6は検出さ
れず純度99.9%以上のCa Fa 53.8gを得
 lこ 。
実施例3 実施例1に用いたと同じCo F3 120gを、同じ
反応器に充填し、この反応器に純度99.9%以上の0
3 F816.Igをあらかじめ入れておき、ポンプに
てガスを循環させる循環法をとった。ガスの循環量は2
00Id/ m i nで、反応器中の温度を50℃に
して5時間反応させた。最初は03F6が多く、Ca 
F8は少量であったが、時間の経過とともにCa F6
が減じ、Cs Faは増加し、5時間経過後には03 
F6は痕跡となり、N!度99.9%以上のC3Fs 
20,0(l を 得 lこ 。
実施例4 ニフツ化マンガンを錠剤状(5mmφx5mm)に成形
し、これをF2ガスによりフッ素化し、1yln F3
を得た。このMnF3110gを実施例1と同様の反応
器に充填し、流通法にて反応を行なった。
反応温度110℃にて、03 FB 33.2!lを4
時間で供給し、反応生成物を捕集、計量後組成分析を行
なった。その結果、未反応C3FBは痕跡であ3F8 す、純度99.9%以上のに)−一41.2gを得た。
実施例5 塩化銀72(lとフッ化カルシウム7811の混合物(
10= 32+++esl+ )を、実施例1と同様の
反応器に充填し、ト11:、次にF2ガスによりフッ素
化した。
得られたフッ化カルシウムで希釈されたA!] F2を
用い゛C1反応を行なった。C3Fa a、Igを、窒
素ガスで濃度50%に希釈し、反応器に入れ、実施例3
と同様にして温度10℃にて4.5時間循環反応させた
。反応生成物は、捕集し、計量を行なった後、組成分析
を行なった。その結果、未反応C3Faは痕跡であり、
純度99.9%以上の03 Fa io、ogを得た。
実施例6 ニフツ化コバルト61(lとニフッ化マンガン59gの
混合物を錠剤状に成形し、これを1=2ガスにより、フ
ッ素化した。得られたCo FilとMn F3の混合
物を、実施例1と同様の反応器に充填し、流通法にて反
応を行なった。反応温度300’C#、常圧下で純度9
9.9%以上の03 F640.2gを3時間の間に反
応器に導入した。反応生成物は、捕集、計量後、組成分
析を行なった。その結果、未反応Cs F6は痕跡であ
り、純度99.9%以上のC3Fa 50.Ogを得た

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ヘキサフルオロプロピレンに、三フッ化コバルト、三フ
    ッ化マンガンd3よびニフツ化銀から選択された少なく
    とt)1種を含む高次金属フッ化物を、反応させること
    を特徴とするオクタフルオロプロパンの製造方法。
JP18927983A 1983-10-12 1983-10-12 オクタフルオロプロパンの製造方法 Granted JPS6081134A (ja)

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