JPS6065705A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPS6065705A JPS6065705A JP17098883A JP17098883A JPS6065705A JP S6065705 A JPS6065705 A JP S6065705A JP 17098883 A JP17098883 A JP 17098883A JP 17098883 A JP17098883 A JP 17098883A JP S6065705 A JPS6065705 A JP S6065705A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- discharge
- dielectric layer
- ozone
- electrode
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、オゾン発生Hii′i′(以下オゾナイザと
称する)に関するものである。
称する)に関するものである。
従来のオゾナイザは平行板ないし、平行同心円筒電極間
にガラス板を介在せしめて交流高電圧を印加し、電極間
隙に無声放電を発生せしめつつ1この間に乾燥せる空気
又は酸素を流通せしめ、該無声放電に固有の放置化学的
作用で酸素をオゾンに転化せしめてオゾンを発生する方
式のものであった。しかし、この方式のオゾン発生の重
力効率は極めて低く、理論値の数%以下に止るものであ
った。これに対して本に発明者は別発明「オゾン発生装
置」(昭和52年2月23Bffl& ;qt?願FI
s55−21878号)ニオイテパルス巾の着るしく短
かい極短パルス高電圧の、生ずる沿面コロナ放電の有効
なオゾン生成作用を利用して電力効率を向上する方法を
提案したがこの方法には沿面放電による誌一体の加熱と
いう欠点があつ7e□ 本発明者はこれらの欠点を改良するため1先に別の先願
発明「オゾン発生装置(昭和57年12月15日出願;
特願昭57−219455号)を完成し−O その先順発明はパルス巾の著るしく短い極短パルス高′
眠圧を丈用することは6U記別発明と同じものの、これ
によって強力なストリーマ−コロナ放電をガスを間に生
ぜしめ、そσノ放i狂化学作用を利用することにより克
服し、4カ効率の大l」な同上を達成せるオゾナイザ−
を提供するものである。
にガラス板を介在せしめて交流高電圧を印加し、電極間
隙に無声放電を発生せしめつつ1この間に乾燥せる空気
又は酸素を流通せしめ、該無声放電に固有の放置化学的
作用で酸素をオゾンに転化せしめてオゾンを発生する方
式のものであった。しかし、この方式のオゾン発生の重
力効率は極めて低く、理論値の数%以下に止るものであ
った。これに対して本に発明者は別発明「オゾン発生装
置」(昭和52年2月23Bffl& ;qt?願FI
s55−21878号)ニオイテパルス巾の着るしく短
かい極短パルス高電圧の、生ずる沿面コロナ放電の有効
なオゾン生成作用を利用して電力効率を向上する方法を
提案したがこの方法には沿面放電による誌一体の加熱と
いう欠点があつ7e□ 本発明者はこれらの欠点を改良するため1先に別の先願
発明「オゾン発生装置(昭和57年12月15日出願;
特願昭57−219455号)を完成し−O その先順発明はパルス巾の著るしく短い極短パルス高′
眠圧を丈用することは6U記別発明と同じものの、これ
によって強力なストリーマ−コロナ放電をガスを間に生
ぜしめ、そσノ放i狂化学作用を利用することにより克
服し、4カ効率の大l」な同上を達成せるオゾナイザ−
を提供するものである。
不発明は上記別発明の欠点を改良しようとする目的につ
いては上記先願発明と同様であるがその他の目的として
先願発明が上述のストリーマ−コロナ放電力)ら蒔とし
て火花放電に移行するおそれQ)あるのを防止して、−
!J:定したオゾナイザ放電を行わせることである。
いては上記先願発明と同様であるがその他の目的として
先願発明が上述のストリーマ−コロナ放電力)ら蒔とし
て火花放電に移行するおそれQ)あるのを防止して、−
!J:定したオゾナイザ放電を行わせることである。
不発明はガス通路と誘電体11を介して対間した長大な
電極対の一端力)ら他端に同って進行する極めて短いパ
ルス巾の極短パルス1% %圧乞印加し1該ガス通路内
にその全長に亘って強力な無声放電を生ぜしめ、このガ
ス通路内を流れる?と気又は酸素を高い効率でしか5女
ボした伏腺でオゾン化せしめるオゾン元生装Mfである
。
電極対の一端力)ら他端に同って進行する極めて短いパ
ルス巾の極短パルス1% %圧乞印加し1該ガス通路内
にその全長に亘って強力な無声放電を生ぜしめ、このガ
ス通路内を流れる?と気又は酸素を高い効率でしか5女
ボした伏腺でオゾン化せしめるオゾン元生装Mfである
。
ここに不発明において利用する極短パルス1j電圧のパ
ルス巾はinsから数十μ80間とし、特にInsから
1000 noの間に選ぶのを好適とする。この様な極
短パルス高電圧を相対向する電極間に印加する時は、該
−万の放電極から極めて強力な無声放1を火花の発生な
しに生ぜしめることが出来、その有効なオゾン生成作用
を安定に利用することが可能となる。この場合1オI対
向する電極は、同心円状に設けられた二つの円筒状電極
であっても良く、また両方とも平板状放電極であっても
よ0゜この両電極からなる電極対を多数組直列状に結合
して、その全長を長大なちび)とし、その一端部に印加
せる極短パルス高電圧のパルス巾を著るしく小さくする
時は、該パルス高電圧は、これら長形電極対に活って進
行波として伝播し、その過程において該両数電極間に設
けられた誘電体Jきに沿って一様に強力な無声放電を発
生、そのオゾン生成効率は更に大巾に向上する。この場
合、進行波の速度はI ” 0.3 (m / no
)であり、その幾何学的波長はパルス+ljがτ〔n8
〕のときt=o−3t(”)となる。そして、上記長ル
r在極対の全長L[m ]に対してtくLとする時、挨
dすると該極短パルス高電圧をほぼτ≦L/ (0,3
) (ns )に選ぶとき、この様に該パルス高電圧は
進行波としての( 振舞を呈する様になる。この様に長大形のSu電極対し
て印加パルス高電圧を進行波として振舞わせ1進高波高
電圧に固有の強力な無声放電を発生せしめる所の電極対
を将に無声放電伝送線路として形成する。か\る無声放
電伝送線路たらしめるための条件は、その長さL [m
]を、・ぐルス巾工(no)に対してL≧0.3τ(
m〕にとることであるが1笑際にはその173程度のL
≧0.1 r〔m ]位にとっても進行波の性質は残存
し1ここに発生する放電化学作用は同程度の活性を保持
する。 この場合オゾン生成に使用する空気や酸素は充
分乾燥(例えば露点を一40℃以下とTる如<)シてい
ることが必要である。
ルス巾はinsから数十μ80間とし、特にInsから
1000 noの間に選ぶのを好適とする。この様な極
短パルス高電圧を相対向する電極間に印加する時は、該
−万の放電極から極めて強力な無声放1を火花の発生な
しに生ぜしめることが出来、その有効なオゾン生成作用
を安定に利用することが可能となる。この場合1オI対
向する電極は、同心円状に設けられた二つの円筒状電極
であっても良く、また両方とも平板状放電極であっても
よ0゜この両電極からなる電極対を多数組直列状に結合
して、その全長を長大なちび)とし、その一端部に印加
せる極短パルス高電圧のパルス巾を著るしく小さくする
時は、該パルス高電圧は、これら長形電極対に活って進
行波として伝播し、その過程において該両数電極間に設
けられた誘電体Jきに沿って一様に強力な無声放電を発
生、そのオゾン生成効率は更に大巾に向上する。この場
合、進行波の速度はI ” 0.3 (m / no
)であり、その幾何学的波長はパルス+ljがτ〔n8
〕のときt=o−3t(”)となる。そして、上記長ル
r在極対の全長L[m ]に対してtくLとする時、挨
dすると該極短パルス高電圧をほぼτ≦L/ (0,3
) (ns )に選ぶとき、この様に該パルス高電圧は
進行波としての( 振舞を呈する様になる。この様に長大形のSu電極対し
て印加パルス高電圧を進行波として振舞わせ1進高波高
電圧に固有の強力な無声放電を発生せしめる所の電極対
を将に無声放電伝送線路として形成する。か\る無声放
電伝送線路たらしめるための条件は、その長さL [m
]を、・ぐルス巾工(no)に対してL≧0.3τ(
m〕にとることであるが1笑際にはその173程度のL
≧0.1 r〔m ]位にとっても進行波の性質は残存
し1ここに発生する放電化学作用は同程度の活性を保持
する。 この場合オゾン生成に使用する空気や酸素は充
分乾燥(例えば露点を一40℃以下とTる如<)シてい
ることが必要である。
また−万あるいは両方の′成極を適当な方法で充分冷却
するのが好適であり、これによりオゾン収率ヲより向上
せしめ得る。
するのが好適であり、これによりオゾン収率ヲより向上
せしめ得る。
この様にしてなる本発明は進行波極短パルス高電圧によ
り形成せる安定、一様かつ強力な無声放電の放電化学的
6用を利用することにより削述のオゾナイザに比べて著
しく高い電力効率で有効にオゾンを発生せしめつるとい
うすぐれた作用効果を発揮し、オゾン生成の※経済性を
大巾に向上せしめる〇 また、本発明に使用すべき魯短パルス高圧電源としては
、本発明者が別発明rノクルス電源」(特願昭5l−4
183)、「パルス電源装置」(’1Hi1’(旧印−
109717)、「極短パルス高電圧発生装置」(特願
昭56−144399)、「高電圧極短パルス電源」(
I#幀1157−172797)等を用いると有効であ
るが、本発明はこれに限定されることなく、適当な凡め
る形式・構造の極短′ゞルス高圧電源を用いることがで
きる。
り形成せる安定、一様かつ強力な無声放電の放電化学的
6用を利用することにより削述のオゾナイザに比べて著
しく高い電力効率で有効にオゾンを発生せしめつるとい
うすぐれた作用効果を発揮し、オゾン生成の※経済性を
大巾に向上せしめる〇 また、本発明に使用すべき魯短パルス高圧電源としては
、本発明者が別発明rノクルス電源」(特願昭5l−4
183)、「パルス電源装置」(’1Hi1’(旧印−
109717)、「極短パルス高電圧発生装置」(特願
昭56−144399)、「高電圧極短パルス電源」(
I#幀1157−172797)等を用いると有効であ
るが、本発明はこれに限定されることなく、適当な凡め
る形式・構造の極短′ゞルス高圧電源を用いることがで
きる。
本発明を添付図面の実施例について説明Tると1才1図
において、対向する′電極対1の一万を外側円筒電極2
、他方を内側円開放TIE極3として外側円筒電極2の
中心軸に内側円筒放電極3を絶縁張架し、外fllll
F(fi電極2を接地し1この様にして借成せる複数
個の電極対1、la。
において、対向する′電極対1の一万を外側円筒電極2
、他方を内側円開放TIE極3として外側円筒電極2の
中心軸に内側円筒放電極3を絶縁張架し、外fllll
F(fi電極2を接地し1この様にして借成せる複数
個の電極対1、la。
1に+・・・を函体14の内部に平行に配Lαの上、該
内側円筒放電極3.3as3b・・・を図σ)如く順次
直列に接続して長大放電伝送線路5を形式し、極短パル
ス高電圧電源6より導線7.7aおよび碍管8を介して
該無声放電伝送融結5の入力房1“J9に該内側円筒放
電極3.3a・・・を負とするダIJき極性で極短パル
ス高電圧な印加する。その波高値は電極間距離を加(、
m)とすると@Vべ幻〜40[KY]W度とすれば充分
である。また、そのパルス1ゴは該無声放電伝送線路5
Cl)全長がL=100(m〕のときτ=300 (
na )程度として進行波形成条件L≧0.37を満す
様にする(Tでに述べた如<L=30(m)としてL≧
0.1τとしてもよい)。そこで、該パルス:j−/I
;Llt圧は進行波として電極対2−3 →2a−3
a→2b −3b iCl’r1 って伝播し、この間
の誘i15体層4上に強力な負の、Q(e声放屯を発生
せしめ、遂に開放終端10に至って、ここで同極性で反
射されて逆方同に進行、かくして該長大無声放電伝送線
路5の上を多重反射して遂にそのエネルギーを消耗し、
波高値Vが下って無声放電が消失する・次に−ある周期
ののち再び6よりペルス高電圧を印加して同じ過程をく
り返し、その周波数は50 [Hz ]〜故十(KHz
]の間で任意に選定することができる。
内側円筒放電極3.3as3b・・・を図σ)如く順次
直列に接続して長大放電伝送線路5を形式し、極短パル
ス高電圧電源6より導線7.7aおよび碍管8を介して
該無声放電伝送融結5の入力房1“J9に該内側円筒放
電極3.3a・・・を負とするダIJき極性で極短パル
ス高電圧な印加する。その波高値は電極間距離を加(、
m)とすると@Vべ幻〜40[KY]W度とすれば充分
である。また、そのパルス1ゴは該無声放電伝送線路5
Cl)全長がL=100(m〕のときτ=300 (
na )程度として進行波形成条件L≧0.37を満す
様にする(Tでに述べた如<L=30(m)としてL≧
0.1τとしてもよい)。そこで、該パルス:j−/I
;Llt圧は進行波として電極対2−3 →2a−3
a→2b −3b iCl’r1 って伝播し、この間
の誘i15体層4上に強力な負の、Q(e声放屯を発生
せしめ、遂に開放終端10に至って、ここで同極性で反
射されて逆方同に進行、かくして該長大無声放電伝送線
路5の上を多重反射して遂にそのエネルギーを消耗し、
波高値Vが下って無声放電が消失する・次に−ある周期
ののち再び6よりペルス高電圧を印加して同じ過程をく
り返し、その周波数は50 [Hz ]〜故十(KHz
]の間で任意に選定することができる。
図において12.12aは外側、円筒電極2.2a。
2b・・・群をその両端において函体14の円部でガス
が外側円筒の外側の部分を通してバイパスするのを防止
するための接地された導体Flft壁である。
が外側円筒の外側の部分を通してバイパスするのを防止
するための接地された導体Flft壁である。
15.16・・・は二つの内側円筒伏放ff1t!3と
3a〜3aと3bとを直列に接続Tるための導線である
。
3a〜3aと3bとを直列に接続Tるための導線である
。
いまガス人口17より函体14内に乾燥せる空気ないし
酸素を導入し、該外側円筒トに極2.2a、2b高い電
力効率をもってオゾンを発生し、生成オゾンを含むガス
はガス出口18より外部に供給される。
酸素を導入し、該外側円筒トに極2.2a、2b高い電
力効率をもってオゾンを発生し、生成オゾンを含むガス
はガス出口18より外部に供給される。
なお第3図は前述の電極対1の詳細を拡大断面図で示し
たものであり、内側円荊′l狂極3は7Jラス菅等から
なる。1冬?U体層4 (1)内面に金)q↓箔膜特を
密着させて形成し7こものである。又外側円筒電極2の
内面を円筒形肪′屯体ノ屯4の外曲との間の長大無声放
屯腺に’155をガス通路とし、このd路をnU述の空
気ないし、版索を流通するものである。
たものであり、内側円荊′l狂極3は7Jラス菅等から
なる。1冬?U体層4 (1)内面に金)q↓箔膜特を
密着させて形成し7こものである。又外側円筒電極2の
内面を円筒形肪′屯体ノ屯4の外曲との間の長大無声放
屯腺に’155をガス通路とし、このd路をnU述の空
気ないし、版索を流通するものである。
しかしながら、本発明の電極対lはこりようなものだけ
に限定されるものでなく、適宜その溝近を変更すること
ができる。
に限定されるものでなく、適宜その溝近を変更すること
ができる。
例えば;)ly 4図に示す如く外11U円商電極2を
外側円筒電極電1杢11の外周に新AJ L/て形成し
、この内側円筒電極3の外向と外側円崗伏誘屯体11の
内面との1川にガス進路となる長大力!(声放電伝送線
路5を形成したものでもル支えない。
外側円筒電極電1杢11の外周に新AJ L/て形成し
、この内側円筒電極3の外向と外側円崗伏誘屯体11の
内面との1川にガス進路となる長大力!(声放電伝送線
路5を形成したものでもル支えない。
又矛5図の舛1く外側円筒電極2・ど外u111誘1f
Ji体1曽110外tOjに蕾7I’J L/て形成し
、内jiff円!if ’i4c極3を内側円筒形iM
Yu庫層4の内面に密ηJして形成し、両誘電体JW
21..40間にガス雇路を形成しT:、す、或は、2
6図の叩く二つσ)平板伏’iff極n12うからなる
平板状電極5C421の間に平板伏訪電体J1ゲスを介
入し、この誘電体ム1と、前述の平板伏篭極匹との間が
ガス通路となる無声長大放電伝送線路5を形成したりす
ることもできる〇更に311図の磁極対lは図示の如く
、外側円1)i電極2と外側電極3とが夫々直円筒抜に
形成されているが、217図の電極対31は夫々の電極
32.33の半径rl 、r2の一層もしくは両方をパ
ルス進行波の巡行波の進行方向゛に同って変化せしめこ
れによって、両′Cd極間の静電8債(単位長当す)
C” 2”6 /An(rl /r1)を進行方向に向
って減少せしゆるように形成したものである。
Ji体1曽110外tOjに蕾7I’J L/て形成し
、内jiff円!if ’i4c極3を内側円筒形iM
Yu庫層4の内面に密ηJして形成し、両誘電体JW
21..40間にガス雇路を形成しT:、す、或は、2
6図の叩く二つσ)平板伏’iff極n12うからなる
平板状電極5C421の間に平板伏訪電体J1ゲスを介
入し、この誘電体ム1と、前述の平板伏篭極匹との間が
ガス通路となる無声長大放電伝送線路5を形成したりす
ることもできる〇更に311図の磁極対lは図示の如く
、外側円1)i電極2と外側電極3とが夫々直円筒抜に
形成されているが、217図の電極対31は夫々の電極
32.33の半径rl 、r2の一層もしくは両方をパ
ルス進行波の巡行波の進行方向゛に同って変化せしめこ
れによって、両′Cd極間の静電8債(単位長当す)
C” 2”6 /An(rl /r1)を進行方向に向
って減少せしゆるように形成したものである。
この顔は矛1図の長大磁極対がその最終囲放上偏10で
、パルス、司電圧の進?i波を反射するのに対し、矛7
図のものは単位;a :舶対31の傾斜面に宿って連続
的に部分反射U;εめC1こり反射波を入力波と重畳せ
しめ、オゾナイザ放電によってパルス電圧の波高が漸次
低下する分を袖い、パルス波のMするエネルギの大部ガ
ビ無声放電発生に活用することができる。
、パルス、司電圧の進?i波を反射するのに対し、矛7
図のものは単位;a :舶対31の傾斜面に宿って連続
的に部分反射U;εめC1こり反射波を入力波と重畳せ
しめ、オゾナイザ放電によってパルス電圧の波高が漸次
低下する分を袖い、パルス波のMするエネルギの大部ガ
ビ無声放電発生に活用することができる。
又更に単位無声放電伝送線路5を矛7図のように進行波
の方向に従って漸次その半径r、 、 rlを変化して
静電容量Cを漸次減少せしめるようにテーバ伏にする代
りに矛8図の実施例のように進行波の方向に従って順次
半径rいr、の−万もしくは両方が変化し、その結果静
電容Ml (,1が減少する直円筒状の電極対41%
41as 41bを複数個直列的に配置して、前述の進
行波の部分反射を単位電極対の接点ごとに行わせること
もできる〇この際は矛7図のものと比較して電極対41
.41a%41bの工作が容易である。なおこのような
部分反射はもつとも一般的には上記伝送線路のサージイ
ンピーダンスz0=lしで(但しLは単位長当りのイン
ダクタンス)を通行方向に増大せしめればよく、このた
めには上記LcI)増大をはかつてもよい。
の方向に従って漸次その半径r、 、 rlを変化して
静電容量Cを漸次減少せしめるようにテーバ伏にする代
りに矛8図の実施例のように進行波の方向に従って順次
半径rいr、の−万もしくは両方が変化し、その結果静
電容Ml (,1が減少する直円筒状の電極対41%
41as 41bを複数個直列的に配置して、前述の進
行波の部分反射を単位電極対の接点ごとに行わせること
もできる〇この際は矛7図のものと比較して電極対41
.41a%41bの工作が容易である。なおこのような
部分反射はもつとも一般的には上記伝送線路のサージイ
ンピーダンスz0=lしで(但しLは単位長当りのイン
ダクタンス)を通行方向に増大せしめればよく、このた
めには上記LcI)増大をはかつてもよい。
この図中44は長大放電伝送線路45のサージインピー
ダンスを進行方向に段階的に増大TるためのコイルLで
あり、Lの値は下流になる程大きくとる必要があること
は云うまでもない〇又図や矛1図の図面符号と同一の部
分はその機能も亦それと同様である。
ダンスを進行方向に段階的に増大TるためのコイルLで
あり、Lの値は下流になる程大きくとる必要があること
は云うまでもない〇又図や矛1図の図面符号と同一の部
分はその機能も亦それと同様である。
本発明は上述の通りであり、長大電極対の両電極間のガ
ス通路内に進行波無声放電を発生するための無声放電伝
送線路を形成したから、そのオゾン発生効率は極度に上
り、熱に変換される電力損失が大巾に低減して、電極対
を購成する両電極間に介在する誘電体層を加熱すること
が少い。
ス通路内に進行波無声放電を発生するための無声放電伝
送線路を形成したから、そのオゾン発生効率は極度に上
り、熱に変換される電力損失が大巾に低減して、電極対
を購成する両電極間に介在する誘電体層を加熱すること
が少い。
又両電極間に誘電体層を存在せしめであるので、この間
に火花放電を生じさせることなく安定したオゾナイザ放
電を発生させることfJs可能である0 更に又、長大な無声放電伝送線路のサージインピーダン
スをパルス進行波の進行方向に沿って連続的ないし階段
的に増加することによってパルス波頭を部分的に反射せ
しめ、オゾナイザ効率を一層同上することができる0
に火花放電を生じさせることなく安定したオゾナイザ放
電を発生させることfJs可能である0 更に又、長大な無声放電伝送線路のサージインピーダン
スをパルス進行波の進行方向に沿って連続的ないし階段
的に増加することによってパルス波頭を部分的に反射せ
しめ、オゾナイザ効率を一層同上することができる0
矛1図は不5@朋のオゾン発生装置の縦断面図1.8I
P2図は矛1図の■−n線部の断面図、矛3図は矛2図
の一部分の拡大図、矛4図は矛3図の部分の他の実施例
の断面図、矛5図は、1−3図の部分の更に他の実施例
の断面図、2・6図はΔ・3図の部分の又更に他の実施
例の断面図、矛7図は71図の一部分の他の実施例の断
面図S、!1’8図は矛1図の要部の他の実施例の断面
図である。 1Sla翫1b・・・電極対 2.2a N 2b−’m極 3 s 3a s 3b ・・・Tli極4・・・誘電
体層” 5・・・放電伝送線路 6・・・極端パルス高圧電源 代理人弁理士 斎 藤 佑 外2名 83m コ 第 6 図 第 7 αj 18 囚
P2図は矛1図の■−n線部の断面図、矛3図は矛2図
の一部分の拡大図、矛4図は矛3図の部分の他の実施例
の断面図、矛5図は、1−3図の部分の更に他の実施例
の断面図、2・6図はΔ・3図の部分の又更に他の実施
例の断面図、矛7図は71図の一部分の他の実施例の断
面図S、!1’8図は矛1図の要部の他の実施例の断面
図である。 1Sla翫1b・・・電極対 2.2a N 2b−’m極 3 s 3a s 3b ・・・Tli極4・・・誘電
体層” 5・・・放電伝送線路 6・・・極端パルス高圧電源 代理人弁理士 斎 藤 佑 外2名 83m コ 第 6 図 第 7 αj 18 囚
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 互に対向して配設せる所の少くとも一万が進行波無
声放電を行うための無声放電極である長大な電極対の両
電極間に、ガス通路と誘電体層を形成し、又両電極向に
パルス巾が数十μ8以下、特に1000 ns以下の極
短パルス高圧電源を接続し、該ガス通路内に前記進行波
無声放電極による放電伝送線路を形成することを特徴と
するオゾン発生装置。 2 該両電極及びその間のガス通路と誘電体層が夫々同
心円状に配置されていることを特徴とする特許請求の範
囲lに記載のオゾン発生装置。 3 該両゛電極及びその間のガス通路と誘電体層が夫々
平板伏に形成されていることを特徴とする特許請求の範
囲1に記載のオゾン発生装置。 4 該両電極及びその間のガス通路と誘電体層が一組の
オゾナイザを形属し、これが複数組直列的に連結されて
いることを特徴とする特許請求の範囲IKε載のオゾン
発生装置。 5 該両電極間のサージインピーダンスがパルス進行波
の進行方向に涜って連続的又は段階的に増大する様に形
成されていることを特徴とする特FF請求の範囲1〜4
の何れかに記載のオゾン向方向に清って減少しているこ
とを特徴とする特許請求の範囲5に記載のオゾン発生装
置。 7 該両電極及びその間のガス通路と誘電体層が一組の
オゾナイザを形成し、これが複数組直列的に連結され、
各組のオゾナイザの接続部に下流に向って値を増大する
如きインダクタンスを挿入したことを特徴とする9゛ケ
Wf請求の範囲5に記載のオゾン発生@籠。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17098883A JPS6065705A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17098883A JPS6065705A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6065705A true JPS6065705A (ja) | 1985-04-15 |
JPH052603B2 JPH052603B2 (ja) | 1993-01-12 |
Family
ID=15915040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17098883A Granted JPS6065705A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6065705A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01264908A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-23 | Teru Kyushu Kk | オゾン発生装置 |
JP2000195645A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-14 | Hideo Kameyama | 放電用電極及びそれを用いたオゾン発生装置 |
JP2009502719A (ja) * | 2005-08-03 | 2009-01-29 | デグレモン ソシエテ アノニム | オゾン発生器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5251140U (ja) * | 1975-10-11 | 1977-04-12 | ||
JPS5316386A (en) * | 1976-07-29 | 1978-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | Ozonizer |
JPS56120507A (en) * | 1980-02-23 | 1981-09-21 | Senichi Masuda | Ozonizer |
JPS5788005A (en) * | 1980-11-17 | 1982-06-01 | Toshiba Corp | Flat plate type ozonizer |
-
1983
- 1983-09-16 JP JP17098883A patent/JPS6065705A/ja active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5251140U (ja) * | 1975-10-11 | 1977-04-12 | ||
JPS5316386A (en) * | 1976-07-29 | 1978-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | Ozonizer |
JPS56120507A (en) * | 1980-02-23 | 1981-09-21 | Senichi Masuda | Ozonizer |
JPS5788005A (en) * | 1980-11-17 | 1982-06-01 | Toshiba Corp | Flat plate type ozonizer |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01264908A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-23 | Teru Kyushu Kk | オゾン発生装置 |
JP2000195645A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-14 | Hideo Kameyama | 放電用電極及びそれを用いたオゾン発生装置 |
JP2009502719A (ja) * | 2005-08-03 | 2009-01-29 | デグレモン ソシエテ アノニム | オゾン発生器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH052603B2 (ja) | 1993-01-12 |
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