JPS6061921A - Production of magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To correct the curl of a magnetic recording medium which is produced by forming a ferromagnetic thin metallic film on a nonmagnetic supporter, by irradiating the electron beams to said recording medium. CONSTITUTION:The electron beams of a prescribed dose are irradiated to a magnetic recording medium 6 through the surface or rear side of the medium by means of an electron beam irradiating device. This irradiating device can irradiating device can irradiate the electron beams generated from a scan type or curtain type electron beam generator 3 evenly to the recording medium 6 which is supplied consecutively by a feed roll 4 and a take-up roll 5. The dose of the electron beams can be controlled by varying the driving speed of the medium 6 or the current of the generator 3. Thus it is possible to set the processing speed of the medium 6 at several meters per minute by increasing the current of the generator to some extent. In this way, the processing speed is remarkably decreased.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体の製造方法
に関し、特に、強磁性金属薄膜形成後のカールを矯正す
るための処理方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for manufacturing a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium, and particularly relates to a treatment method for correcting curl after forming a ferromagnetic metal thin film. .

〔背景技術とその問題点〕[Background technology and its problems]

従来、高密度記録が可能な磁気記録媒体として、磁性層
を強磁性金属薄膜で形成した強磁性金属薄膜型磁気記録
媒体、所謂蒸着テープが注目されている。2. Description of the Related Art Conventionally, a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium in which a magnetic layer is formed of a ferromagnetic metal thin film, a so-called vapor-deposited tape, has attracted attention as a magnetic recording medium capable of high-density recording.

この強磁性金属薄膜型磁気記録媒体においては、塗布型
のテープと比較して磁性層の厚さを極めて薄くすること
ができるので長時間記録が可能となるとともに高域周波
数特性が良好なものとなることが知られている。In this ferromagnetic metal thin film magnetic recording medium, the thickness of the magnetic layer can be made extremely thin compared to coated tapes, making it possible to record for long periods of time and offering good high frequency characteristics. It is known that

ところで、この種の磁気記録媒体にあっては、上記強磁
性金属薄膜を形成する手段として真空蒸着法等を用いる
ため非磁性支持体であるベースフィルムに熱的損傷を受
け易く、また、このベースフィルム上に蒸発金属原子が
再結晶して薄膜となる際に収縮して内部応力が発生し、
第１図に示すように非磁性支持体１が強磁性金属薄膜２
が内側となるように凹状にカールしてしまうという欠点
を有している。このようなカールが生ずると、こ゛の磁
気記録媒体と磁気ヘッドの当りが悪くなって、再生出力
が低下してしまったり巻き乱れが生じたりする。By the way, in this type of magnetic recording medium, since a vacuum evaporation method or the like is used as a means of forming the ferromagnetic metal thin film, the base film, which is a non-magnetic support, is susceptible to thermal damage. When the evaporated metal atoms recrystallize on the film and form a thin film, they shrink and generate internal stress.
As shown in FIG. 1, a nonmagnetic support 1 is a ferromagnetic metal thin film 2.
It has the disadvantage that it curls in a concave shape so that it is on the inside. When such curling occurs, the contact between the magnetic recording medium and the magnetic head becomes poor, resulting in a reduction in the reproduction output and the occurrence of irregular winding.

そこで従来、上述のようなカールを解消するために種々
の方法が提案されている。Therefore, various methods have been proposed to eliminate the above-mentioned curls.

例えば、上記磁気記録媒体の裏面側、すなわち磁性層と
反対側にバックコート層を設け、このバックコート層が
反対方向に湾曲しようとする力で上記カールを解消する
ことが試みられている。For example, attempts have been made to provide a back coat layer on the back side of the magnetic recording medium, that is, on the side opposite to the magnetic layer, and to eliminate the curl by applying a force that causes the back coat layer to curve in the opposite direction.

しかしながら、上述のようにバックコート層を設けると
いう方法では、特別なフィルムあるいは塗膜を形成しな
ければならないので製造コストを増大するとともに工程
の煩雑化を惹起する。However, in the method of providing a back coat layer as described above, a special film or coating must be formed, which increases manufacturing costs and complicates the process.

また、ヒータの如き熱処理装置を用いて上記磁気記録媒
体を張力を与えながら加熱し、歪を除去して上記カール
を解消するという方法も提案されているが、装置が犬が
かりなものとなるとともに処理時間も長時間を要し、ま
た、温度制御も難かしい。A method has also been proposed in which the magnetic recording medium is heated while applying tension using a heat treatment device such as a heater to remove distortion and eliminate the curl, but as the device becomes more complicated and Processing time is long, and temperature control is also difficult.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

そこで本発明は、上述の従来技術の有する欠点を解消す
るために提案されたものであって、製造コストを増大す
ることなく、簡単にしかも短時間でカールの無い平坦な
磁気記録媒体を得ることが可能な磁気記録媒体の製造方
法を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in order to eliminate the drawbacks of the above-mentioned prior art, and it is possible to easily obtain a flat magnetic recording medium without curls in a short time without increasing manufacturing costs. The purpose of the present invention is to provide a method for manufacturing a magnetic recording medium that enables the following.

〔発明の概要〕 本発明者等は、上記目的を達成せんものと鋭意研究の結
果、電子線の照射によって上記カールを簡単に解消する
ことができることを見出し本発明を完成したものであっ
て、非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を形成してなる磁
気記録媒体に対し、電子線を照射することにより上記磁
気記録媒体のカールを矯正することを特徴とするもので
ある。[Summary of the Invention] As a result of intensive research to achieve the above object, the present inventors have discovered that the above curl can be easily eliminated by irradiation with an electron beam, and have completed the present invention, This method is characterized in that the curl of the magnetic recording medium, which is formed by forming a ferromagnetic metal thin film on a non-magnetic support, is corrected by irradiating the magnetic recording medium with an electron beam.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を適用した強磁性金属薄膜型磁気記録媒体
の製造方法をその工程順序に従って説明する。Hereinafter, a method for manufacturing a ferromagnetic metal thin film magnetic recording medium to which the present invention is applied will be explained in accordance with the process order.

本発明においては、先ず、非磁性支持体上に金属磁性材
料よりなる強磁性金属薄膜を被着形成する。In the present invention, first, a ferromagnetic metal thin film made of a metal magnetic material is deposited on a nonmagnetic support.

上記非磁性支持体としては、磁気記録媒体を製造するの
に従来より使用されているものであれば何れも使用でき
、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステ
ル、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、セルロース
トリアセテート、セルロースジアセテート等のセルロー
ス誘導体、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリイ
ミド等の高分子物質等が挙げられる。As the non-magnetic support, any material conventionally used for manufacturing magnetic recording media can be used, such as polyesters such as polyethylene terephthalate, polyolefins such as polypropylene, cellulose triacetate, cellulose diacetate, etc. Examples include cellulose derivatives such as, polycarbonate, polyvinyl chloride, polyimide, and other polymeric substances.

上記金属磁性材料としては、強磁性薄膜を形成しつるも
のであれば何れでも使用でき、例えば、鉄Ｆｅ、コバル
トＣＯ，ニッケルＮｉ等の金属、あるいはＣｏ　−Ｎｉ
合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、　Ｆｅ−Ｎｉ合金、　Ｃｏ−Ｎ
ｉ　−Ｆｅ　−Ｂ合金等の合金が挙げられる。As the metal magnetic material, any material that can form a ferromagnetic thin film can be used, such as metals such as iron Fe, cobalt CO, nickel Ni, or Co-Ni.
Alloy, Fe-Co alloy, Fe-Ni alloy, Co-N
Examples include alloys such as i-Fe-B alloy.

また、上記強磁性薄膜の被着手段としては、真空蒸着法
やイオンブレーティング法、スポツタ法等が挙げられる
。In addition, examples of the means for depositing the ferromagnetic thin film include a vacuum evaporation method, an ion blating method, a spotter method, and the like.

上記真空蒸着法は、１０’−’−１６８Ｔｏｒｒの真空
下で金属磁性材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム
加熱等により蒸発させ、非磁性支持体上に蒸発金属（金
属磁性材料）を沈着させるというものであり、斜方蒸着
と垂直蒸着に大別される。上記斜方蒸着は高い抗磁力を
得るために非磁性支持体に対して強磁性材料を斜めに蒸
着するものであって、より高い抗磁力を得るために上記
斜方蒸着を酸素雰囲気中で行なうものも含まれる。上記
垂直蒸着は蒸着効率を向上し高い抗磁力を得るために、
非磁性支持体上にビスマスＢＩ、タリウムＴｌ　、アン
チモンＳｂ、ガリウムＧａ、ゲルマニウムＧｅ等の下地
金属層を形成後、この下地層上に金属磁性材料を垂直に
蒸着するものである。In the vacuum evaporation method, a metal magnetic material is evaporated by resistance heating, high frequency heating, electron beam heating, etc. under a vacuum of 10'-'-168 Torr, and the evaporated metal (metal magnetic material) is deposited on a non-magnetic support. It is broadly divided into oblique deposition and vertical deposition. In the above-mentioned oblique deposition, a ferromagnetic material is obliquely deposited on a non-magnetic support in order to obtain a high coercive force, and in order to obtain a higher coercive force, the above-mentioned oblique vapor deposition is performed in an oxygen atmosphere. Also includes things. In order to improve the deposition efficiency and obtain high coercive force, the above vertical deposition is
After forming a base metal layer of bismuth BI, thallium Tl, antimony Sb, gallium Ga, germanium Ge, etc. on a nonmagnetic support, a metal magnetic material is vertically deposited on this base layer.

上記イオンブレーティング法は、１０−４〜１Ｏ−３Ｔ
ｏｒｒ　の不活性ガス、通常はアルゴンガスを主成分と
する雰囲気中でＤＣグロー放電、几Ｆグロー放電を起こ
し、放電中で金属を蒸発させるというものである。The above ion blating method uses 10-4 to 1O-3T.
In this method, a DC glow discharge or a F glow discharge is generated in an atmosphere containing an inert gas, usually argon gas, as a main component, and the metal is evaporated during the discharge.

上記スパッタ法は、１０−３〜１σ１Ｔｏｒｒ　のアル
ゴンを主成分とする雰囲気中でグロー放電を起し、生じ
たアルゴンイオンでターゲット表面の原子をたたき出す
というものであり、グロー放電を起こす方法により直流
２極、３極スパツタ法及び高周波スパッタ法、また、マ
グネトロン放電を利用したマグネトロンスパッタ法等が
ある。The above sputtering method generates glow discharge in an atmosphere mainly composed of argon at a pressure of 10-3 to 1σ1 Torr, and uses the generated argon ions to knock out atoms on the target surface. There are pole and three-pole sputtering methods, high-frequency sputtering methods, and magnetron sputtering methods that utilize magnetron discharge.

さらに、上記磁気記録媒体の強磁性金属薄膜被着形成面
と反対側の面に所謂バックコート層を設は潤滑性や帯電
性等の改善を図ってもよい。Furthermore, a so-called back coat layer may be provided on the surface of the magnetic recording medium opposite to the surface on which the ferromagnetic metal thin film is deposited in order to improve lubricity, charging property, etc.

次に、このようにして得られる磁気記録媒体に対して、
第２図に示すような電子線照射装置を用いて所定ドーズ
量の電子線を表面あるいは裏面から照射する。この電子
線照射装置は、走査型やカーテン型等の電子線発生器３
から発生する電子線を巻出ロール４や巻取ロール５によ
って連続的に供給される磁気記録媒体６に均一に照射す
るように構成され、また、上記磁気記録媒体６の走行ス
ピードや上記電子線発生器３の電流を変えることによっ
て、上記磁気記録媒体６に対する電子線のドーズ量を制
御することができるようになされている。したがって、
上記電子線発生器３の電流をある程度高めることにより
上記磁気記録媒体６の処理速度を１分間当り数ｍ程度と
することができ、極めて短時間で処理することができる
。なお、上記磁気記録媒体６のカールを解消するのに必
要な電子線のドーズ量は、使用する非磁性支持体の厚さ
や種類等によって異なるので、製造する磁気記録媒体の
種類に応じて適宜変更すればよい。Next, for the magnetic recording medium obtained in this way,
Using an electron beam irradiation device as shown in FIG. 2, a predetermined dose of electron beam is irradiated from the front or back surface. This electron beam irradiation device uses an electron beam generator 3 such as a scanning type or a curtain type.
The magnetic recording medium 6 that is continuously supplied by the unwinding roll 4 and the winding roll 5 is uniformly irradiated with the electron beam generated from the magnetic recording medium 6. By changing the current of the generator 3, the dose of the electron beam to the magnetic recording medium 6 can be controlled. therefore,
By increasing the current of the electron beam generator 3 to a certain extent, the processing speed of the magnetic recording medium 6 can be set to about several meters per minute, making it possible to process the magnetic recording medium 6 in an extremely short time. Note that the dose of the electron beam required to eliminate the curl of the magnetic recording medium 6 varies depending on the thickness and type of the non-magnetic support used, so it may be changed as appropriate depending on the type of magnetic recording medium to be manufactured. do it.

上述のように電子線を照射することによってカールの無
い平坦な磁気記録媒体が製造される。By irradiating the magnetic recording medium with an electron beam as described above, a flat magnetic recording medium without curling can be manufactured.

なお、上記真空蒸着の如き強磁性金属薄膜被着形成工程
と電子線照射工程は一連の連続システムとしてもよい。Note that the process of forming a ferromagnetic metal thin film such as vacuum evaporation and the electron beam irradiation process may be performed as a series of continuous systems.

以上述べたように、上記実施例においては、簡単な構成
の電子線照射装置を用いるだけで、短時間の処理により
極めて平坦な磁気記録媒体を得ることが可能である。As described above, in the above embodiments, it is possible to obtain an extremely flat magnetic recording medium in a short time by simply using an electron beam irradiation device with a simple configuration.

次に、本発明の具体例について説明する。なお、本発明
がこの具体例に限定されるものでないことは言うまでも
ない。Next, specific examples of the present invention will be described. It goes without saying that the present invention is not limited to this specific example.

〔具体例〕〔Concrete example〕

非磁性支持体として厚さ９μｍのポリエチレンテレフタ
レートフィルムを用い、このフィルム上に第３図に示す
ような蒸着装置を用いてコバルトＣｏ８０％、ニッケル
Ｎｉ２Ｏ％を含有する合金を加熱蒸発させ、蒸着層の厚
さが１２０ＯＡとなるように蒸着を行なった。A polyethylene terephthalate film with a thickness of 9 μm is used as a non-magnetic support, and an alloy containing 80% cobalt Co and nickel Ni2O is heated and evaporated onto this film using a vapor deposition apparatus as shown in Fig. 3 to form a vapor deposited layer. Vapor deposition was performed so that the thickness was 120 OA.

上記蒸着装置は、所定の真空度、例えば約１×１Ｏ−３
Ｔｏｒｒ以下にした真空槽１１に、蒸着物質を蒸着させ
る非磁性支持体、すなわち上記フィルム１２が、ローラ
１３から案内ローラ１４を介して巻取りローラ１５に巻
取られるように配置されている。そして、上記真空槽１
１の下部に設けら入射角θ、例えば５０ないし９０で蒸
着させ、強磁性金属薄膜を被着形成した。なお、このと
き所定の入射角を確保するために、遮蔽部１９を設けて
、フィルム１２表面の不要部分に蒸発粒子が直接入射し
ないようにした。The vapor deposition apparatus has a predetermined degree of vacuum, for example, about 1×1O−3.
A non-magnetic support on which a deposition substance is deposited, ie, the film 12, is placed in a vacuum chamber 11 kept at a pressure below Torr so that it is wound up from a roller 13 to a take-up roller 15 via a guide roller 14. Then, the vacuum chamber 1
A ferromagnetic metal thin film was deposited on the lower part of 1 at an incident angle θ, for example, 50 to 90 degrees. At this time, in order to ensure a predetermined angle of incidence, a shielding portion 19 was provided to prevent the evaporated particles from directly entering unnecessary portions of the surface of the film 12.

得られた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体に対して第２図
に示すような電子線照射装置を用いて加速電圧１６０Ｋ
Ｖで電子線を照射し、この磁気記録媒体を完成した。The obtained ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium was exposed to an accelerating voltage of 160K using an electron beam irradiation device as shown in FIG.
This magnetic recording medium was completed by irradiating it with an electron beam at V.

照射した電子線のドーズ量と得られる磁気記録媒体のカ
ール量の関係を第４図に示す。なお、上記カール量は、
％インチ幅の磁気記録媒体におけこの第４図から、この
具体例においては電子線を約１７Ｍｒａｄ照射すればカ
ールを解消できることがわかる。FIG. 4 shows the relationship between the dose of the irradiated electron beam and the amount of curl in the resulting magnetic recording medium. In addition, the above curl amount is
4, it can be seen from FIG. 4 that in this specific example, curling can be eliminated by irradiating the electron beam at about 17 Mrad.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

上述した実施例の説明からも明らかなように、本発明に
よれば、製造コストを増大することなく簡単にしかも短
時間でカールの無い極めて平坦な磁気記録媒体を製造す
ることが可能である。As is clear from the above description of the embodiments, according to the present invention, it is possible to easily and quickly manufacture an extremely flat magnetic recording medium free of curls without increasing manufacturing costs.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は強磁性金属薄膜型磁気記録媒体のカール状態を
示す断面図である。 第２図は本発明に用いられる電子線照射装置の一例を示
す概略図であり、第３図は蒸着装置の一例を示す概略図
である。 第４図は照射した電子線のドーズ量と得られる磁気記録
媒体のカール量の関係を示すグラフである。 特許出願人　ソニー株式会社 代理人　弁理士　小　池　晃 同　１）　村　榮　−FIG. 1 is a sectional view showing a curled state of a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium. FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of an electron beam irradiation device used in the present invention, and FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a vapor deposition device. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the dose of the irradiated electron beam and the amount of curl of the resulting magnetic recording medium. Patent applicant Sony Corporation representative Patent attorney Kodo Koike 1) Sakae Mura -

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を形成してなる磁気記
録媒体に対し、電子線を照射することにより上記磁気記
録媒体のカールを矯正することを特徴とする磁気記録媒
体の製造方法。1. A method for manufacturing a magnetic recording medium, which comprises correcting the curl of a magnetic recording medium formed by forming a ferromagnetic metal thin film on a non-magnetic support by irradiating the magnetic recording medium with an electron beam.