JPS6058981U - 真空バルブ装置 - Google Patents
真空バルブ装置Info
- Publication number
- JPS6058981U JPS6058981U JP14992083U JP14992083U JPS6058981U JP S6058981 U JPS6058981 U JP S6058981U JP 14992083 U JP14992083 U JP 14992083U JP 14992083 U JP14992083 U JP 14992083U JP S6058981 U JPS6058981 U JP S6058981U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- valve device
- vacuum valve
- recess
- air cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の真空バルブ装置の縦断側面図、第２図は
本考案に係る真空バルブ装置の縦断側面図である。
・ １・・・ケース本体、２・・・カバー、３・・・エアー
シリンダ、４・・・ロッド、１０・・・吸込み孔、１１
・・・凹部、１３・・・閉塞板。
本考案に係る真空バルブ装置の縦断側面図である。
・ １・・・ケース本体、２・・・カバー、３・・・エアー
シリンダ、４・・・ロッド、１０・・・吸込み孔、１１
・・・凹部、１３・・・閉塞板。
Claims (1)
- ケース本体と、このケース本体の一側面に設けられたカ
バーと、このカバーの外面に固着され該カバーを貫通し
て前記ケース本体内で伸縮するロッドを備えたエアーシ
リンダとを有し、前記ロッドの先端に設け７られた閉塞
板によりケース本体の他側面に設けられた吸込み孔を遮
断するようにした真空バルブ装置において、前記カバー
の中央部分を内面側に凹陥させて凹部を形成し、この凹
部の外面部分を前記ケース本体に内挿するとともにこの
凹部の内底部にエアーシリンダを固着し、前記凹部の内
底部は前記エアーシリンダのストロークに支障のない距
離まで他側面に近接させるよう構成したことを特徴とす
る真空バルブ装置。 ゛
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14992083U JPS6058981U (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 真空バルブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14992083U JPS6058981U (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 真空バルブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6058981U true JPS6058981U (ja) | 1985-04-24 |
Family
ID=30332657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14992083U Pending JPS6058981U (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 真空バルブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6058981U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0292179U (ja) * | 1989-01-07 | 1990-07-23 | ||
| JP2001108130A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-04-20 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブ |
| JP2011133005A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Murata Mfg Co Ltd | 開閉バルブ |
| JP2013228109A (ja) * | 2013-07-31 | 2013-11-07 | Murata Mfg Co Ltd | 開閉バルブ |
-
1983
- 1983-09-28 JP JP14992083U patent/JPS6058981U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0292179U (ja) * | 1989-01-07 | 1990-07-23 | ||
| JP2001108130A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-04-20 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブ |
| JP2011133005A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Murata Mfg Co Ltd | 開閉バルブ |
| JP2013228109A (ja) * | 2013-07-31 | 2013-11-07 | Murata Mfg Co Ltd | 開閉バルブ |
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