JP2011133005A - 開閉バルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】相互に直交する方向に開口する吸気口14と排気口16が形成されたバルブ本体12と、バルブ本体12の内部に配置され、排気口16を開放する弁体34と、弁体34を直進運動させる弁体可動部26と、軸方向が吸気口14に対して直交しかつ排気口16に対して平行となるように配置され弁体34を軸回りに回転可能にする揺動軸30と、弁体可動部26の直進運動を当該直進運動と揺動軸30の軸回りの回転運動に変換して弁体34に伝達する運動変換機構40と、を有し、弁体34は運動変換機構40により直進運動及び回転運動を行い、吸気口14及び排気口16に対して直交する姿勢となる位置に移動して排気口16を開放する。
【選択図】 図1
Description
なお、本発明の第1実施形態に係る開閉バルブは、被処理体に対して真空処理を行う処理チャンバと処理チャンバ内を真空排気する排気装置との間に設けられるものである。なお、処理チャンバとして、例えば、成膜装置が該当する。また、排気装置として、クライオポンプ(高真空ポンプ)が該当する。
なお、開閉バルブ10の作用は、バルブシート34が排気口16を閉塞している状態を初期状態として説明する。
なお、第1実施形態の開閉バルブ10の構成と重複する構成には同じ符号を付し、その説明を適宜省略する。
なお、第1実施形態の開閉バルブ10の構成と重複する構成には同じ符号を付し、その説明を適宜省略する。
12 バルブ本体
14 吸気口
16 排気口
26 アクチュエータ(弁体可動部)
30 揺動軸
32 可動連結部材(弁体)
34 バルブシート(弁体)
36 ヒンジ(動力伝達部材、運動変換機構)
38 ベアリング(運動変換機構)
40 板カム(運動変換機構)
42 カム溝(運動変換機構)
60 開閉バルブ
70 開閉バルブ
72 凹部
Claims (5)
- 被処理体に対して真空処理を行う処理チャンバと前記処理チャンバ内を真空排気する排気装置との間に設けられる開閉バルブであって、
相互に直交する方向に開口する吸気口と排気口が形成されたバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配置され、前記排気口を開放し、あるいは前記排気口を前記バルブ本体の内側から閉塞する弁体と、
前記弁体を直進運動させる弁体可動部と、
前記バルブ本体の内部であって軸方向が前記吸気口に対して直交しかつ前記排気口に対して平行となるように配置され、前記弁体を軸回りに回転可能にする揺動軸と、
前記バルブ本体の内部に配置され、前記弁体可動部の直進運動を当該直進運動と前記揺動軸の軸回りの回転運動に変換して前記弁体に伝達する運動変換機構と、
を有し、
前記弁体は、前記運動変換機構により前記直進運動及び前記回転運動を行い、前記吸気口及び前記排気口に対して直交する姿勢となる位置に移動して前記吸気口及び前記排気口を開放する開閉バルブ。 - 被処理体に対して真空処理を行う処理チャンバと前記処理チャンバ内を真空排気する排気装置との間に設けられる開閉バルブであって、
相互に直交する方向に開口する吸気口と排気口が形成されたバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配置され、前記排気口を開放し、あるいは前記排気口を前記バルブ本体の内側から閉塞する弁体と、
前記弁体を直進運動させる弁体可動部と、
前記バルブ本体の内部であって軸方向が前記吸気口及び前記排気口に対して平行となるように配置され、前記弁体を軸回りに回転可能にする揺動軸と、
前記バルブ本体の内部に配置され、前記弁体可動部の直進運動を当該直進運動と前記揺動軸の軸回りの回転運動に変換して前記弁体に伝達する運動変換機構と、
を有し、
前記弁体は、前記運動変換機構により前記直進運動及び前記回転運動を行い、前記吸気口に対向する前記バルブ本体の壁側に向かって、かつ前記吸気口に対して平行かつ前記排気口に対して直交する姿勢となる位置に移動して前記吸気口及び前記排気口を開放する開閉バルブ。 - 前記弁体が前記排気口を開放したときに、前記弁体は前記吸気口と前記排気口を結ぶ流路から退避した位置に移動している請求項1に記載の開閉バルブ。
- 前記運動変換機構は、前記バルブ本体の内部に固定されカム溝が形成された板カムと、前記カム溝に沿って移動するベアリングと、前記ベアリングの移動に伴い発生する動力を前記弁体に伝達する動力伝達部材と、から構成されている請求項1又は2に記載の開閉バルブ。
- 前記バルブ本体に凹部を形成し、
前記凹部に前記弁体可動部を設けた請求項1又は2に記載の開閉バルブ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016031117A (ja) * | 2014-07-29 | 2016-03-07 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
JP2016121751A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
JP2017172700A (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 東芝プラントシステム株式会社 | 流体用弁装置 |
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JPS6435188A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-06 | Canon Kk | Vacuum valve |
-
2009
- 2009-12-24 JP JP2009291988A patent/JP5515726B2/ja active Active
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