JP2001108130A - 半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブ - Google Patents
半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブInfo
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Abstract
り緻密な設計と熱伝導の改善を提供することにより設備
メンテナンスを容易にする代替を提供する。 【解決手段】 バルブ組立体200は、内部弁座と複数
のアダプタポートを有するバルブ本体202を備える。
非金属封止材料が、隣接の真空部品の合わせ面間の真空
封止を提供し、合わせ面間の物理的直接接触が、バルブ
組立体200内での良好な熱伝導を確保する。
Description
理装置で用いられる真空バルブ組立体に関し、より詳細
にはクラスタバルブに関する。
(CVD)などの半導体ウェーハプロセスは、大気圧以
下の条件で行われることが多い。ウェーハ処理において
最高性能を確保するよう、反応副生成物を真空引き排出
してプロセスチャンバへの反応性ガスの新気供給を維持
するために、排気装置組立体の効果的な操作が必要とさ
れる。図1は、チャンバ本体101へ接続された典型的
な排気装置組立体100を概略的に示す。排気装置組立
体100は、例えば真空引き操作の制御のための隔離バ
ルブ104とスロットルバルブ106とを有する真空カ
プラー102を備える。診断付属装置(図示せず)も、
バルブ108を介して真空カプラー102へ接続でき
る。スロットルバルブ106が真空引き操作の制御を可
能にする一方、隔離バルブ104は、プロセスチャンバ
本体101を真空引きフォアライン (pumping forelin
e) 110から隔離することに使用される。真空部品の
フランジ間の真空封止を提供するために、普通にはO−
リングシールが使用される。O−リングシールを取入れ
た真空フランジ結合の現行の設計は、通常、合わさる真
空フランジ間にスペースを残すようにしている。これ
は、図1で、チャンバ本体101、真空カプラー10
2、隔離バルブ104、およびスロットルバルブ106
間の隙間112、114、および116で示される。非
金属O−リング材料は、熱不良導体でもある。その場
合、隔離バルブ104やスロットルバルブ106等の排
気装置組立体100における部品とプロセスチャンバ本
体101との間の熱伝達は最少となる。
および副生成物は、不揮発性または容易に凝固可能であ
ることが多く、結果として、チャンバ本体101または
排気装置組立体100の内面に望ましくない堆積物を生
じ得る。例えば、テトラエチルオルソシリケート(TE
OS)とオゾン(O3)の反応を用いるケイ素堆積で
は、TEOSと反応副生成物は、排気装置組立体100
の冷たい内部表面上に凝固する傾向がある。これらの堆
積物の蓄積は、隔離バルブ104やスロットルバルブ1
06等の真空部品を詰まらせて、真空引き排出能力およ
びプロセス性能の劣化の一因となる。約200torr
の圧力で、TEOSは約65°C未満の温度で凝固す
る。従って、これらの堆積物の形成を最少化するようチ
ャンバ本体101および排気装置組立体100を多少高
い温度に維持するのが通例である。例えば、チャンバ本
体101は、チャンバーライナーに埋設した抵抗ヒータ
(図示せず)により加熱可能である。一定の用途では、
ウェーハ支持ペデスタルを最適処理温度に維持するよう
使用されるヒータも、チャンバ本体101を加熱するこ
とに寄与できる。排気装置組立体100は、普通には、
種々の真空部品の周囲の加熱テープまたはカートリッジ
ヒータ(図示せず)により外部から加熱される。しか
し、これらのヒータは、間違いなく、排気装置組立体1
00のコストと、操作の複雑さを増す。加熱されたチャ
ンバ本体101と排気装置組立体100との間の熱伝導
が改善できれば、排気装置組立体100のための外部ヒ
ータの必要性を排除できる。
排気装置組立体100は、熱条件またはプラズマ条件の
いずれかで、塩素(Cl2)またはフッ化窒素(NF3)
ガスを使用する定期的なドライ洗浄手順にもさらされ
る。スロットルバルブ106は、排気装置組立体100
の最下流に位置するので、反応性洗浄ガスの減損が部分
的に原因して、例えば、隔離バルブ104ほど効果的に
洗浄されないかもしれない。
101と排気装置組立体100間のより緻密な設計と熱
伝導の改善を提供することによって設備メンテナンスを
容易にする代替に対するニーズが依然としてある。
テナンスと熱伝導の改善のために設計された真空排気装
置組立体である。排気装置/バルブ組立体は、他の真空
部品への接続のための内部弁座と幾つかのアダプタポー
トを有するバルブ本体を備える。物理的直接接触が、隣
接する合わせ面間に維持されて、真空部品間の良好な熱
伝導を確保する。
排気装置組立体として使用される場合、バルブ本体は、
チャンバ内面への望ましくない堆積物を最少化するよう
高温に維持されるプロセスチャンバへ直接に接続され
る。本実施の形態は、外部ヒータを必要とせず、排気装
置組立体全体を実質的に同じ高温に維持することを可能
にする。本発明の緻密な設計は、排気装置組立体におけ
るバルブ部品のより効率的なドライ洗浄ももたらす。
以下の詳細な説明を熟慮することにより容易に理解でき
る。理解を容易にするために、図で共通な同一構成要素
を指示するために可能な限り、同一の符号を使用した。
おいて2点の方策を取り入れる。第1に、隣接部品間の
真空結合は、(金属と金属の)実質的な物理的直接接触
を有するように設計され、合わせ部品間のスペースを排
除する。その場合、排気装置組立体における個々の真空
部品とチャンバ本体101との間に良好な熱接触を達成
できる。第2に、緻密なクラスタバルブ設計が採用さ
れ、バルブ、例えば、隔離バルブ及びスロットルバルブ
104、106をチャンバ本体101へ可能な限り近接
して取付けることを可能にする。これは、排気装置組立
体全体にわたって反応性核種の利用を確保することによ
り、ドライ洗浄効率を改善する。
クラスタバルブ設計の概略図である。クラスタバルブ/
排気装置組立体200は、半導体ウェーハ処理装置(図
示せず)のチャンバ本体101へ直接に接続される。ク
ラスタバルブ組立体200は、単一のバルブ本体202
へ取付られた幾つかのバルブ204、206、および2
08を備える。例えば、バルブ208は、排気装置組立
体200へ接続される洩れ試験または診断装置(図示せ
ず)等の付属品を許容する手動バルブであってもよい。
真空引きフォアライン210は、例えば、スロットルバ
ルブであってもよいバルブ206へ接続される。
バルブ組立体200の、部分的に分解した斜視図を概略
で示し、バルブ本体202、隔離バルブ204、および
スロットルバルブ206を備える。図4aは、バルブ本
体202の別の斜視図を示し、図4bは、図3aの線4
−4'に沿うバルブ本体202の断面図を示す。実施の
形態の1つでは、アダプタプレート326を使用して、
スロットルバルブ206をバルブ本体202へ結合す
る。しかしながら、オプションとして、アダプタプレー
ト326は、スロットルバルブ206の一体の一部分と
して、例えばフランジとして設計されてもよい。
バルブ本体202は、中空円筒に類似しており、円筒形
側面部300を有し、バルブ本体202の種々の部分3
02、304、306、402で画成される開口31
2、314、316、412を有する。これらの開口3
12、314、316、412は、フランジ302、3
04、306および凹部402と共に、バルブ本体20
2に対する「アダプタポート」と一般に称される。本実
施の形態は、これらのアダプタポートの設計融通性を例
証するものであり、アダプタポートは、異なる大きさと
形状を取ることができ、外部に取付けられた構造(例え
ば、フランジ306、302)、またはバルブ本体20
2と一体(例えば、凹部402)に構成できる。上フラ
ンジ302は、例えば、バルブ本体202を半導体ウェ
ーハ処理装置のチャンバ本体101へ結合するよう使用
される。側面フランジ306は、アダプタプレート32
6を介してスロットルバルブ206を取付けるために使
用され、下フランジ304は隔離バルブ204へ結合す
ることを可能にする。他のアダプタポートと同様に、図
4aに示す平坦な凹部402は、他の真空部品、例え
ば、図2の手動バルブ208へ接続するために提供され
る取付け孔414を有する。
対する封止を提供する内部弁座400も備える。1つだ
けの内部弁座400がこの実施の形態のバルブ本体20
2で提供されているが、この設計は、必要な場合、追加
の弁座を収容するよう適応できる。
上フランジ302は、開口312に外接するO−リング
溝302Gを有するように構成されている。複数の貫通
孔302H、この実施例では8個が、バルブ本体202
をチャンバ本体101へ取付けるために設けられてい
る。O−リング溝302Gは方形の断面を有し、2つの
合わせ面が相互に結合される場合、溝302Gの内側に
装着されたO−リング(図示せず)またはガスケットが
フランジ302の上表面302Tの上に突出しないよう
に設計されている。その場合、合わせ面の間に物理的直
接接触があり、良好な熱接触が、2つの隣接する部品、
例えば、バルブ本体202とチャンバ本体101に対し
て確保できる。図示の実施例のように、ケイ素の堆積の
ためにテトラエチルオルソシリケート(TEOS)とオ
ゾン(O3)との間の熱反応を使用するCVDチャンバ
は、チャンバ内面の望ましくない堆積物を回避するよ
う、略65°Cより上の温度に維持されなくてはならな
い。従来技術と対照的に、本発明は、クラスタバルブつ
まり排気装置組立体200が外部のヒータまたは加熱テ
ープを必要とせずに、65°Cを超える温度に維持され
ることを可能にする。クラスタバルブ組立体200にお
ける全てのO−リング接続は、同じ溝設計を使用するこ
とにより、バルブ本体202と;バルブ204、206
およびアダプタプレート326を含めた他の接続真空部
品との間に、金属と金属の実質的な直接接触がある。一
般に、溝302Gに使用されるO−リングは、チャンバ
本体101とバルブ本体202の周囲の化学的および熱
的環境に適合する限り、異なる材料で作成されてもよ
い。例えば、Chemres O−リングは、例えば、とりわけ
TEOS、O3、およびNF3を含め、CVDチャンバで
使用されるプロセス排気物または洗浄ガスと化学的に適
合する。用語「O−リング」の使用は例示のためだけの
目的であり、真空封止は、一般に、金属と非金属両方を
含め他の材料と同様に、ガスケットを使用することによ
り遂行できる。バルブ本体202、アダプタプレート3
26、およびスロットルバルブのハウジング500は、
部品間の熱伝導を改善するようアルミニウムで製作され
る。特定の用途によっては、他の材料、例えばステンレ
ス鋼も使用できる。
ルブ206のような追加部品への接続を可能にする側面
フランジ306を備えている。側面フランジ306は、
バルブ本体202の円筒形側部300の相補形状に成さ
れて溶接された凹状円筒面306CSを備えて設計され
ている。側面フランジ306は、バルブ本体202の円
筒形側部300における側面開口318と整列する開口
316(図4b参照)を持つ平坦面306FSも有す
る。本実施の形態では、アダプタプレート326が使用
されて、側面フランジ306をスロットルバルブ206
へ結合する。アダプタプレート326は、実質的に方形
で、側面フランジ306の開口318と整列するよう画
成された開口320を有する。図3bに示すように、ア
ダプタプレート326は、バルブ本体202の側面フラ
ンジ306と合わせ面322上にO−リング溝326G
を有する。O−リング(図示せず)またはガスケット
が、O−リング溝326Gの内側に用いられ、アダプタ
プレート326と側面フランジ306の平坦面306F
Sとの間の封止を提供する。繰返すが、O−リングは、
異なる材料で作成されてもよく、例えば、Kalrez が本
発明の実施の形態の1つで使用された。アダプタプレー
ト326のもう一方の面324は(図3a参照)、開口
320の周囲に環状のリップ328を有し、4個で一セ
ットの貫通孔323が、アダプタプレート326をスロ
ットルバルブのハウジング500へ取付けるために提供
されている。別の4個一セットの貫通孔325(「外側
の」セット)が、スロットルバルブ206と共にアダプ
タプレート326を、バルブ本体202の側面フランジ
306上へ、対応するタップ孔305を通して取付ける
ために使用される。
6の分解斜視図を示す。スロットルバルブ206は、ハ
ウジング500、ハウジング500の内側に配設された
プランジャ540、ハウジングフランジアダプタ52
0、および、多種の座金やインサート(560、56
2、564;と570、572、574)を備える。図
5bは、スロットルバルブハウジング500の別の斜視
図を示し、図5cは、組立てられたスロットルバルブ2
06の断面略図を示す。ハウジング500は、実質的に
立方体形状であり、3つの表面510、512、と51
4に配設された3つの開口530、532、534へ接
続された中央チャンバ505を有する。表面514(図
5a参照)は方形であり、開口534に外接するO−リ
ング溝514Gを有する。表面514は、円形フランジ
524へ接続された実質的に正方形のフランジ522を
備えるフランジアダプタ520へ結合される。溝514
Gの内側のO−リング584は、スロットルバルブハウ
ジング500と、フランジアダプタ520の正方形フラ
ンジ522との間の封止を提供する。フランジアダプタ
520は、正方形フランジ522上の貫通孔522Hと
表面514に設けたタップ孔514Hを通すボルト(図
示せず)によりハウジング500上に取付られる。テフ
ロン(登録商標)インサート570、平座金572、お
よびばね574が、フランジアダプタ520とハウジン
グ500との間でハウジング開口534の内側の所定場
所に保持される。本実施の形態では、円形フランジ52
4は、真空引きフォアライン210へ接続されている。
テフロンインサート570は、環状の円筒に似ていて、
平坦な外側面570F、円筒部570C、およびアーチ
形状である内側面570Aを備える。フランジアダプタ
520が、ハウジング面514上へボルト止めされる場
合、ばね574は、テフロンインサート570の平坦面
570Fに対して平座金572を付勢して、円筒部57
0Cがハウジング500の中央チャンバ505の内側に
突出する。円筒部570Cは、「内側」面570Aでア
ーチ形状に成されている。
グ溝512Gを有するハウジング500の(表面514
に対向する)表面512を示す。適切な材料(例えば、
とりわけ、Viton, Chemres, Kalrez)製のO−リング5
82は、スロットルバルブハウジング500とアダプタ
プレート326の表面324との間の封止を提供するよ
う使用される(図5c参照)。ハウジング500の開口
532は、アダプタプレート326の環状リップ328
が開口532の内側に嵌合するような大きさにされる。
加えて、リッジ状のテフロン座金564、平座金56
2、およびテフロンインサート560が、開口532の
内側に嵌合される。テフロンインサート560は、テフ
ロンインサート570に類似しており、平坦面560
F、アーチ形内側面560Aを有する環状円筒部560
C、を有する。ハウジング500とアダプタプレート3
26は、例えば、アダプタプレート326上の貫通孔3
23とハウジング500の表面512上のタップ孔51
2Hを通すねじ(図示せず)を使用することにより取付
けできる。組立てられた状態では、アダプタプレート3
26の環状リップ328はリッジ形状テフロン座金56
4を押付け、他方、該リッジ形状テフロン座金564は
平座金562を押付ける。テフロン座金564のリッジ
形状の設計が迎合度を提供し、平座金562とテフロン
インサート560の平坦面560Fに対して実際的な付
勢圧力を維持する。この能力により、テフロン座金56
4がばね574と同様な役割を果たす。テフロンインサ
ート560の環状円筒部560Cも、ハウジング500
の中央チャンバ505の内側に突出する。
00の表面510は、スロットルバルブ206のプラン
ジャ540を収容する開口530を備えている。プラン
ジャ540は、円筒部542と軸544を備える。円筒
部542は、ハウジング500の内側に配置され、図5
cに示すように、円筒部542が実質的にC形断面を有
する切欠部または凹部545を有する。軸544は、プ
ランジャ540をハウジング500の内側で回転させる
よう駆動可能な動力伝達装置590へ接続されており、
スロットルバルブ206を開閉する。プランジャ540
は、軸544の周囲を封止するためのガスケット554
および取付板550とハウジング500との間を封止す
るためのO−リング552を組込んだ取付け組立体55
0によりハウジング500の内側に固定される。図5c
に示すように、スロットルバルブ206がアダプタプレ
ート326上にボルト止めされ、O−リング582が真
空封止を提供する場合、(金属と金属の)直接の物理的
接触が、隣接する合わせ面間、すなわち、アダプタプレ
ート326の表面324とハウジング500の表面51
2との間に維持される。その場合、良好な熱伝導が、ス
ロットルバルブ206とアダプタプレート326との間
で、従って、バルブ本体202とで達成される。
円筒部560C、570Cは、両方共、プランジャ54
0の円筒部542に相補的(または、従形)であるアー
チ形に成されている。ギアボックス590が、プランジ
ャ540をその垂直軸P−P'のまわりで回転させるよ
うに、スロットルバルブ206を作動させる場合(図5
a参照)、物理的直接接触(つまり真空封止)が、円筒
部542とテフロンインサート560、570との間に
維持される。一般に、テフロンインサート560、57
0は、「封止部材」とも称せられる。スロットルバルブ
206が開の場合、凹部545は、開口532、534
と縦に整合される。その場合、排出ガスがスロットルバ
ルブ206を通し流れるよう、通路が提供される。スロ
ットルバルブ206が閉の場合、プランジャ540の円
筒部542は、例えば、開位置から約90度回転され
る。閉位置では、図5cに示すように、凹部545は、
もはや開口532、534と整合されず、スロットルバ
ルブ206の開口532と534との間に通路は無い
(すなわち、排出ガスの流通が防止される)。このよう
に、バルブ本体202と隔離バルブ204は、真空引き
フォアライン210からスロットルバルブ206により
閉鎖隔離される。
下フランジ304は、例えば、MKS Instruments から部
品番号 100010102LPV-50-Sqr として購入できる、隔離
バルブ204へ適合できるよう機械加工されている。隔
離バルブ204は、この実施の形態では空圧バルブであ
り、バルブシリンダ352へ接続されたバルブステム3
50、およびバルブ本体202の下フランジ304と直
接合わさる取付フランジ354を備える。取付フランジ
354は、バルブ本体202の円筒側部300の内側に
嵌合する大きさの円形突出部356を備える。図4bに
示すように、例えば、Viton でできたO−リング404
が、フランジ354の突出部356の周辺356Cの周
りに嵌合して、フランジ354と、バルブ本体202の
内側に提供されている肩部414との間の真空封止を提
供する。隔離バルブ204は、常時閉バルブとして構成
されているので、O−リング402を収容するようその
上部350Tに(方形断面を持つ)溝350Gを有する
バルブステム350は、バルブ本体202の内側の弁座
400に対して常時封止されている。その場合、隔離バ
ルブ204は、バルブ本体202へ一体に接続される。
他の適切な材料も他の用途に対して使用できるが、この
実施の形態で使用されるO−リング402は Chemres
でできている。図4bに示すように、内部の弁座400
は、バルブ本体202の側面開口318の少し上に位置
しており、それにより、(想像線で示す)隔離バルブ2
04が閉の場合、バルブ本体202の上部開口312
は、側面開口318から封止され離されている。従っ
て、半導体ウェーハ処理装置のチャンバ本体101は、
スロットルバルブ206から隔離できる。隔離バルブ2
04を開くために、バルブシリンダ352は圧縮空気で
充填され、該圧縮空気が、弁座400から引離すよう付
勢ばね(図示せず)に抗して下方へバルブステム350
を移動させる。その場合、側面開口318は、バルブ本
体の上部開口312へ接続されて、排出ガスが通り抜け
る通路を提供する。
使用される全てのO−リング溝接続は、隣接する部品間
で実質的に金属と金属の接触を可能にするよう設計され
ているので、良好な熱伝導が、チャンバ本体101と、
スロットルバルブ206を含む、全体の排気装置組立体
200との間に維持できる。例えば、本発明を使用する
と、スロットルバルブ206は、チャンバ本体101と
実質的に同じ温度に、例えば、65°Cより上に、外部
ヒータを必要とせず、容易に維持できる。高温に維持さ
れるバルブ組立体200により、組立体200の緻密な
設計は、スロットルバルブ206のドライ洗浄の効率も
高める。その場合、排気装置組立体200の内面への望
ましくない堆積物の形成は最少化でき、排気装置組立体
200の頻繁な洗浄、またはメンテナンスの必要性を減
らすことにより、ウェーハ処理装置の操作を改善する結
果となる。
実施の形態が詳細に図示され説明されたが、この技術に
精通する者は、これらの教示を依然取入れる多くの他の
変更された実施の形態を容易に考案できる。
る。
である。
る。
る。
図である。
5'断面略図である。
Claims (17)
- 【請求項1】 バルブ組立体であって:内部弁座と複数
のアダプタポートとを有するバルブ本体と;前記内部弁
座と封止接触を可能にするよう第1の前記アダプタポー
トで前記バルブ本体へ一体に接続される第1バルブと;
第2の前記アダプタポートで前記バルブ本体へ接続され
る第2バルブと;を備え、 有効な真空封止のために隣接する合わせ面間に配設され
た封止材料を伴って、物理的直接接触が、前記アダプタ
ポートと前記第1および第2バルブとのそれぞれの合わ
せ面間に維持される、バルブ組立体。 - 【請求項2】 前記バルブ本体と、前記第1および第2
バルブとの間の有効な真空封止は、前記合わせ面に提供
される溝内に配設される非金属封止材料により維持され
る、請求項1記載のバルブ組立体。 - 【請求項3】 前記第2バルブは、前記バルブ本体の第
3のアダプタポートと前記第2バルブの出口との間に通
路を提供するよう、入口で前記バルブ本体へ接続され、
前記第1バルブが前記バルブ本体内側の前記内部弁座と
封止接触にある場合、前記通路が閉鎖される、請求項1
記載のバルブ組立体。 - 【請求項4】 前記バルブ本体は、前記第3のアダプタ
ポートでウェーハ処理チャンバへ接続され、真空封止と
実質的な物理的直接接触が、前記バルブ本体と前記ウェ
ーハ処理チャンバとのそれぞれの合わせ面間に維持され
る、請求項3記載のバルブ組立体。 - 【請求項5】 前記ウェーハ処理チャンバと前記バルブ
本体は、実質的に同じ温度に維持される、請求項4記載
のバルブ組立体。 - 【請求項6】 前記ウェーハ処理チャンバと前記バルブ
本体は、約65°Cより高い実質的に同じ温度に維持さ
れる、請求項4記載のバルブ組立体。 - 【請求項7】 前記第2バルブは:第1の表面で画成さ
れる第1開口と、第2の表面で画成される第2開口と、
前記第1と第2開口へ接続されて中央に位置するチャン
バとを有する、バルブハウジングと;前記チャンバ内側
に円筒部を有するプランジャであって、前記円筒部は、
前記第1開口と前記第2開口との間でガス流通を可能に
する通路を画成する第1の位置と、前記第1開口と前記
第2開口との間でガス流通を止める第2の位置とに配置
されることが可能である、プランジャと;前記第1開口
に配設される第1封止部材であって、前記第1封止部材
は第1端と第2端とを有する、第1封止部材と;前記第
2開口に配設される第2封止部材であって、前記第2封
止部材は第1端と第2端とを有する、第2封止部材と;
を備え、前記プランジャの前記円筒部は、前記第1封止
部材の前記第1端と、前記第2封止部材の前記第1端と
同時に封止接触を維持する、請求項2記載のバルブ組立
体。 - 【請求項8】 前記第2バルブの前記第1と第2封止部
材の前記第1端は、前記プランジャの前記円筒部に従う
アーチ状表面を有する、請求項7記載のバルブ組立体。 - 【請求項9】 更に、 前記第1封止部材の前記第1端と前記プランジャの前記
円筒部との間の封止接触を維持するよう前記第1封止部
材の前記第2端に対して圧力をかけるために、前記バル
ブハウジングの前記第1の表面へ接続される第1アダプ
タと;前記第2封止部材の前記第1端と前記プランジャ
の前記円筒部との間の封止接触を維持するよう前記第2
封止部材の前記第2端に対して圧力をかけるために、前
記バルブハウジングの前記第2の表面へ接続される第2
アダプタと;を備える、請求項8記載のバルブ組立体。 - 【請求項10】 前記第1アダプタは、更に前記バルブ
本体へ接続され、前記第2アダプタは、更に真空ポンプ
へ接続される、請求項9記載のバルブ組立体。 - 【請求項11】 バルブ組立体であって:内部弁座と複
数のアダプタポートとを有するバルブ本体と;前記内部
弁座との封止接触を可能にするよう第1の前記アダプタ
ポートで前記バルブ本体へ一体に接続される第1バルブ
と;第2の前記アダプタポートで前記バルブ本体へ接続
される第2バルブであって、 前記第2バルブは:第1の表面で画成される第1開口
と、第2の表面で画成される第2開口と、前記第1と第
2開口へ接続されて中央に位置するチャンバを有するバ
ルブハウジングと;前記バルブハウジングの前記第1の
表面と封止及び物理的直接接触する第1真空アダプタ
と;前記バルブハウジングの前記第2の表面と封止及び
物理的直接接触する第2真空アダプタと;前記チャンバ
内側に円筒部を有するプランジャであって、前記円筒部
は、前記第1開口と前記第2開口との間でガス流通を可
能にする通路を画成する第1の位置と、前記第1開口と
前記第2開口との間でガス流通を止める第2の位置とに
配置されることが可能である、プランジャと;を備え、 前記円筒部が前記第1と第2の位置との間に配置されて
いる場合、前記プランジャの前記円筒部は、前記第1開
口に保持されている第1封止部材と、前記第2開口に保
持されている第2封止部材と同時に封止接触を維持す
る;第2バルブと;を備え、 有効な真空封止のために隣接する合わせ面間に配設され
た封止材料を伴って、物理的直接接触が、前記アダプタ
ポートと前記第1および第2バルブとのそれぞれの合わ
せ面間に維持される、バルブ組立体。 - 【請求項12】 前記第2バルブの前記第1と第2封止
部材は、前記プランジャの前記円筒部に従うアーチ状形
状に成され、前記プランジャの前記円筒部は、前記プラ
ンジャの回転により前記第1の位置と前記第2の位置と
の間に配設され得る、請求項11記載のバルブ組立体。 - 【請求項13】 前記バルブ本体は、前記複数のアダプ
タポートの内の1つでウェーハ処理チャンバへ接続され
る、請求項11記載のバルブ組立体。 - 【請求項14】 ウェーハ処理チャンバ用バルブ組立体
であって:バルブ本体であって、前記バルブ本体は、内
部弁座と複数のアダプタポートを有するバルブ本体と;
前記内部弁座との間で封止接触を可能にするよう第1の
前記アダプタポートで前記バルブ本体へ一体に接続され
る第1バルブと;第2の前記アダプタポートで前記バル
ブ本体へ接続される第2バルブと;を備え、 前記バルブ本体は、更に、前記バルブ組立体を前記ウェ
ーハ処理チャンバの前記排気ポートと実質的に等しい温
度に維持する、真空封止手段により前記ウェーハ処理チ
ャンバの排気ポートへ接続される;ウェーハ処理チャン
バ用バルブ組立体。 - 【請求項15】 前記真空封止手段は、前記バルブ本体
および前記ウェーハ処理チャンバの隣接する合わせ面間
に配設される封止材料を備え、物理的直接接触が、前記
隣接する合わせ面間に維持される、請求項14記載のバ
ルブ組立体。 - 【請求項16】 前記封止材料が非金属であり、前記隣
接する合わせ面の内の1つに提供される溝内に配設され
る、請求項15記載のバルブ組立体。 - 【請求項17】 前記バルブ組立体の前記温度は約65
°Cより高い、請求項14記載のバルブ組立体。
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