JPH0292179U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0292179U JPH0292179U JP68189U JP68189U JPH0292179U JP H0292179 U JPH0292179 U JP H0292179U JP 68189 U JP68189 U JP 68189U JP 68189 U JP68189 U JP 68189U JP H0292179 U JPH0292179 U JP H0292179U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- opening
- vacuum
- valve body
- vacuum chamber
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示すもので、第1図は
真空装置用バルブの中央縦断面図、第2図は第1
図の―線で切断した平面図であり、第3図は
真空装置の従来例を説明する概要図である。 1…真空装置用バルブ、2…吸引管路、3…弁
箱、4…弁座、5…弁体、6…平行リンク機構、
10…開閉手段。
真空装置用バルブの中央縦断面図、第2図は第1
図の―線で切断した平面図であり、第3図は
真空装置の従来例を説明する概要図である。 1…真空装置用バルブ、2…吸引管路、3…弁
箱、4…弁座、5…弁体、6…平行リンク機構、
10…開閉手段。
Claims (1)
- ワークを収容する真空槽と、この真空槽の内部
を負圧に保つための真空ポンプとを接続する吸引
管路に設けられたもので、弁体が弁座に対し水平
を保つて上下移動可能に設けられるとともに、こ
の弁体を開閉するための開閉手段が、弁箱に沿つ
て設けられたことを特徴とする真空装置用バルブ
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989000681U JPH0540384Y2 (ja) | 1989-01-07 | 1989-01-07 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989000681U JPH0540384Y2 (ja) | 1989-01-07 | 1989-01-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0292179U true JPH0292179U (ja) | 1990-07-23 |
JPH0540384Y2 JPH0540384Y2 (ja) | 1993-10-13 |
Family
ID=31199927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989000681U Expired - Lifetime JPH0540384Y2 (ja) | 1989-01-07 | 1989-01-07 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0540384Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0439480A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-10 | Kokusai Electric Co Ltd | 真空装置用両圧対応型ロードロックバルブ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5676777U (ja) * | 1979-11-16 | 1981-06-23 | ||
JPS6058981U (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-24 | 株式会社 徳田製作所 | 真空バルブ装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA1109078A (en) * | 1975-11-05 | 1981-09-15 | Alfred A. Schleppnik | Malodor counteractants |
-
1989
- 1989-01-07 JP JP1989000681U patent/JPH0540384Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5676777U (ja) * | 1979-11-16 | 1981-06-23 | ||
JPS6058981U (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-24 | 株式会社 徳田製作所 | 真空バルブ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0439480A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-10 | Kokusai Electric Co Ltd | 真空装置用両圧対応型ロードロックバルブ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0540384Y2 (ja) | 1993-10-13 |