JPS6058621A - 化合物半導体素子の電極の製造方法 - Google Patents
化合物半導体素子の電極の製造方法Info
- Publication number
- JPS6058621A JPS6058621A JP16779483A JP16779483A JPS6058621A JP S6058621 A JPS6058621 A JP S6058621A JP 16779483 A JP16779483 A JP 16779483A JP 16779483 A JP16779483 A JP 16779483A JP S6058621 A JPS6058621 A JP S6058621A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- semiconductor
- electrode
- metal film
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 12
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 abstract 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002366 mineral element Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は化合物半導体素子の電極の製造方法に関するも
のである。化合物半導体は光通信素子あるいは高速素子
等に広く用いられて来ているが、これらの素子は場合に
よっては厳しい条件下で、かつまた保守が困難という状
況で使用される。従ってこれらの素子には優れた特性と
同時にその使用環境によっては高い信頼性が要求される
。信頼性に最も影響する因子の１つに電極と半導体との
反応によって進行する電極劣化が挙げられる。半導体素
子には従来少量のドーピング不純物（ｈ、ｅ 等）を含
むＡ、を直接半導体に接触させる構造のオーム性電極が
広く用いられて来た。しかしこの構造においてはＡ、が
２００℃程度から半導体と反応するため時に鉱素子を著
しく劣化させていた。これを改善するためにＴＩ、Ｐｄ
、 ＰＬ、 Ｗ等の高融点金属を挾んだＴｌ１ｉ （５
Ｌはｐａ、 ＶＶ１７Ａ−多層構造の電極が注目されて
来た。ＴＶＰｔ／Ａ１１電極はアロイ層としてＴＩ、ポ
ンディングパッドとしてＡａ を使用しそれら２層の間
にル のバリアメタルとして高触点金属であるｐｔ を
挾んだ３層構造から成っておシ、多層構造電極の中でも
代表的なもので強い関心を集めている。
のである。化合物半導体は光通信素子あるいは高速素子
等に広く用いられて来ているが、これらの素子は場合に
よっては厳しい条件下で、かつまた保守が困難という状
況で使用される。従ってこれらの素子には優れた特性と
同時にその使用環境によっては高い信頼性が要求される
。信頼性に最も影響する因子の１つに電極と半導体との
反応によって進行する電極劣化が挙げられる。半導体素
子には従来少量のドーピング不純物（ｈ、ｅ 等）を含
むＡ、を直接半導体に接触させる構造のオーム性電極が
広く用いられて来た。しかしこの構造においてはＡ、が
２００℃程度から半導体と反応するため時に鉱素子を著
しく劣化させていた。これを改善するためにＴＩ、Ｐｄ
、 ＰＬ、 Ｗ等の高融点金属を挾んだＴｌ１ｉ （５
Ｌはｐａ、 ＶＶ１７Ａ−多層構造の電極が注目されて
来た。ＴＶＰｔ／Ａ１１電極はアロイ層としてＴＩ、ポ
ンディングパッドとしてＡａ を使用しそれら２層の間
にル のバリアメタルとして高触点金属であるｐｔ を
挾んだ３層構造から成っておシ、多層構造電極の中でも
代表的なもので強い関心を集めている。
しかしＡａ とバリアメタルとの相互拡散による金属間
反応性は高温下では十分に小さいとは云い難い、このた
めＴ％〜ル蒸着膜形成後の熱処理時に乃、ＴＩ を通シ
抜は半導体界面まで達するＡＩ＋原子が、半導体と反応
を起こしてアロイスパイクを生じさせ劣化の原因となる
場合がある。
反応性は高温下では十分に小さいとは云い難い、このた
めＴ％〜ル蒸着膜形成後の熱処理時に乃、ＴＩ を通シ
抜は半導体界面まで達するＡＩ＋原子が、半導体と反応
を起こしてアロイスパイクを生じさせ劣化の原因となる
場合がある。
本発明の目的はへΔシル電極を始めとする多層構造電極
をよυ信頼性の高い構造に改良するものである。
をよυ信頼性の高い構造に改良するものである。
本発明の製造方法は化合物半導体表面に選択的ＫＴＪ、
Ｐｄ、Ｐｉ、Ｗのいずれか少なくとも２種以上から成る
第１の多層金属膜を形成する工程と、この多層金属膜を
熱処理する工程と、熱処理した多層金属膜及び半導体表
面上に表面保護絶縁膜を形成ブる工程と、該絶縁膜中上
記第１の多層金属膜上の一部の領域を選択的に除去して
第１の多層金属膜表面を露出させる工程と、多層金属膜
表面が露出した領域に’ｌ’１． Ｐｄ、 Ｐｔ、 Ｗ
のいずれか１種類以上の金属膜を形成しその最上層表面
上にんを形成して第２の多層金属膜を形成する工程とを
有する構成となっている。
Ｐｄ、Ｐｉ、Ｗのいずれか少なくとも２種以上から成る
第１の多層金属膜を形成する工程と、この多層金属膜を
熱処理する工程と、熱処理した多層金属膜及び半導体表
面上に表面保護絶縁膜を形成ブる工程と、該絶縁膜中上
記第１の多層金属膜上の一部の領域を選択的に除去して
第１の多層金属膜表面を露出させる工程と、多層金属膜
表面が露出した領域に’ｌ’１． Ｐｄ、 Ｐｔ、 Ｗ
のいずれか１種類以上の金属膜を形成しその最上層表面
上にんを形成して第２の多層金属膜を形成する工程とを
有する構成となっている。
次に一実施例として多層構造電極の代表例としてのＴＶ
Ｐｔ／Ａ＝系の例について説明する。
Ｐｔ／Ａ＝系の例について説明する。
この発明によれは電極形成のためにまずＴ！／Ｐｔ蒸着
膜を形成した後、熱処理によシアロイ層を得更にその上
にＴ□Ｕ蒸着を行なってポンディングパッドを形成する
ものであり、熱処理時にＡ、の反応による劣化が生じな
くなる。以下この発明について図面を用いて詳細に説明
する。従来（７）Ｔｌ／Ｐｔ膜上−電極はその形成法に
よシ第１図に示すような、（ａ）、（ｂ）２種の構造が
ある。
膜を形成した後、熱処理によシアロイ層を得更にその上
にＴ□Ｕ蒸着を行なってポンディングパッドを形成する
ものであり、熱処理時にＡ、の反応による劣化が生じな
くなる。以下この発明について図面を用いて詳細に説明
する。従来（７）Ｔｌ／Ｐｔ膜上−電極はその形成法に
よシ第１図に示すような、（ａ）、（ｂ）２種の構造が
ある。
（ａ）に示す構造では表面保護の絶縁膜４と電極との間
にすき間が空いている。このためＴｌ３、Ｐｔ２、Ａａ
ｌの連続蒸着後の熱処理時における先に述べたん の高
反応性に起因する劣化の他にすき間の領域では半導体５
の表面が露出しているため、半導体表面の零囲気からの
汚染によル表面状態が変化し易くなる事による劣化とい
う問題点が挙がって来る。
にすき間が空いている。このためＴｌ３、Ｐｔ２、Ａａ
ｌの連続蒸着後の熱処理時における先に述べたん の高
反応性に起因する劣化の他にすき間の領域では半導体５
の表面が露出しているため、半導体表面の零囲気からの
汚染によル表面状態が変化し易くなる事による劣化とい
う問題点が挙がって来る。
（ｂ）に示す構造では電極金属が絶縁膜４の端の部分を
覆ってお９半導体表面が露出する事はない。
覆ってお９半導体表面が露出する事はない。
しかし絶縁［４の熱膨張係数が金属や半導体に比べて小
さ過ぎるため、熱処理時に絶縁膜の端の部分に応力がか
かり易く、劣化の原因になって来る。
さ過ぎるため、熱処理時に絶縁膜の端の部分に応力がか
かり易く、劣化の原因になって来る。
また絶縁膜ステップ側面における金属の被覆が悪い時に
は熱処理時にＡ、Ｉが金属と絶縁膜との界面に没って半
導体表面まで浸透して反応劣化を誘起するため（８７図
の構造に比べてさらにアロイスパイクが生じ易くなる。
は熱処理時にＡ、Ｉが金属と絶縁膜との界面に没って半
導体表面まで浸透して反応劣化を誘起するため（８７図
の構造に比べてさらにアロイスパイクが生じ易くなる。
に
次４本発明によるＴＶＸ’ｔ／［″ンｂの４層構造を有
する電極を用いた電極の構造図を第２図に示す。
する電極を用いた電極の構造図を第２図に示す。
本発ＩＰＩＶｃよれ／ｌｉまず最初にＴｌ３とＰｔ２を
選択的に蒸着、熱処理する事によシＴ１３と半導体との
アロイ層を形成して電極のオーミックを得る。しかる後
に絶縁膜４を形成し、Ｔｌ／Ｐｔ膜上にあたる絶縁膜の
特定部分を選択的に除去Ｔｌ／Ｐｔ膜を露出させその領
域上にＴ１６とＡｌｌを蒸着してポンディングパッドを
得る。本発明によれば熱処理時にはル１はまだ形成され
てないので、八−が相互拡散によ）バリアメタル中を通
シ抜は半導体との界面に達して反応を起こしアロイスパ
イクを形成する事による素子特性の劣化がなくなる。ま
た熱処理時に電極金属２．３と絶縁膜が接していないの
で熱膨張係数の差による応力が加わる事もない。そ１−
１て分は無く、表面劣化も防止でき、かつまた絶縁膜４
で電極金属２，３を押える事により電極の密着性も高く
なる。
選択的に蒸着、熱処理する事によシＴ１３と半導体との
アロイ層を形成して電極のオーミックを得る。しかる後
に絶縁膜４を形成し、Ｔｌ／Ｐｔ膜上にあたる絶縁膜の
特定部分を選択的に除去Ｔｌ／Ｐｔ膜を露出させその領
域上にＴ１６とＡｌｌを蒸着してポンディングパッドを
得る。本発明によれば熱処理時にはル１はまだ形成され
てないので、八−が相互拡散によ）バリアメタル中を通
シ抜は半導体との界面に達して反応を起こしアロイスパ
イクを形成する事による素子特性の劣化がなくなる。ま
た熱処理時に電極金属２．３と絶縁膜が接していないの
で熱膨張係数の差による応力が加わる事もない。そ１−
１て分は無く、表面劣化も防止でき、かつまた絶縁膜４
で電極金属２，３を押える事により電極の密着性も高く
なる。
以上説明したように本発明によれば化合物半導体素子の
電極としてよシ信頼性の高い電極構造が得られる。ここ
では’Ｉ’ｒ７Ｐｙ’ｒＩＡａの例についての説明を行
なって来たが、他の高融点金属を用いた場合についても
同様の効果が得られる。
電極としてよシ信頼性の高い電極構造が得られる。ここ
では’Ｉ’ｒ７Ｐｙ’ｒＩＡａの例についての説明を行
なって来たが、他の高融点金属を用いた場合についても
同様の効果が得られる。
第１図（ａ）、（ｂ）は従来のＴＩ／Ｐｔ／Ａ１１３層
構造の電極を有する化合物半導体素子の構造模式図、第
２図。 は本発明による’ｒｉ、／Ｐｔ／／ｌ’ｌ／Ａｍ ４層
構造の電極を有する化合物半導体素子の構造模式図であ
る。 図中、１はＡｕ、 ２はｐｔ、 ３，６はＴ＋、４は絶
縁膜、５は化合物半導体を示す。 ７１−１ 図 （ａ） （ｂ） ７１′２ 図
構造の電極を有する化合物半導体素子の構造模式図、第
２図。 は本発明による’ｒｉ、／Ｐｔ／／ｌ’ｌ／Ａｍ ４層
構造の電極を有する化合物半導体素子の構造模式図であ
る。 図中、１はＡｕ、 ２はｐｔ、 ３，６はＴ＋、４は絶
縁膜、５は化合物半導体を示す。 ７１−１ 図 （ａ） （ｂ） ７１′２ 図
Claims (1)
- 化合物半導体表面に選択的にＴＩ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｗのい
ずれか少なくとも２種以上から成る第１の多層金属膜を
形成する工程と、この多層金属膜を熱処理する工程と、
熱処理した多層金属膜及び半導体表面上に表面保護絶縁
膜を形成する工程と該絶縁膜中上記第１の多層金属膜上
の一部の領域を選択的に除去して第１の多層金属膜表面
を露出させる工程と、多層金属膜表面が露出した領域に
’［’＋、ｐｄＰｔ、Ｗのいずれか１種類以上の金属膜
を形成しその最上層表面上にル を形成して第２の多層
金属膜を形成する工程とを有する事を特徴とする化合物
半導体素子の電極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16779483A JPS6058621A (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | 化合物半導体素子の電極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16779483A JPS6058621A (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | 化合物半導体素子の電極の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6058621A true JPS6058621A (ja) | 1985-04-04 |
Family
ID=15856226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16779483A Pending JPS6058621A (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | 化合物半導体素子の電極の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6058621A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04326635A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Tohoku Electric Power Co Inc | デジタルデータ伝送におけるクロック抽出回路 |
| JP2009206357A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 化合物半導体装置及び化合物半導体装置の製造方法 |
-
1983
- 1983-09-12 JP JP16779483A patent/JPS6058621A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04326635A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Tohoku Electric Power Co Inc | デジタルデータ伝送におけるクロック抽出回路 |
| JP2009206357A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 化合物半導体装置及び化合物半導体装置の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0365854A2 (en) | Semiconductor device having a multi-layered wiring structure | |
| JPS6364057B2 (ja) | ||
| JPS6058621A (ja) | 化合物半導体素子の電極の製造方法 | |
| JPS60176231A (ja) | 化合物半導体素子の電極の形成方法 | |
| JPH04731A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| JPH0730095A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| JPS62242331A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS60193362A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0629294A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS6290930A (ja) | 化合物半導体素子の電極形成方法 | |
| JPS6037125A (ja) | 化合物半導体素子の電極形成方法 | |
| JPH0482054B2 (ja) | ||
| JPH0648880Y2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPS5833833A (ja) | 半導体装置の電極形成法 | |
| JPH01253257A (ja) | 半導体集積デバイス | |
| JPS5873136A (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
| JPS6058622A (ja) | 化合物半導体素子の電極の製造方法 | |
| JPS58108738A (ja) | 半導体装置用電極の製造方法 | |
| JPH02116132A (ja) | 集積回路配線保護膜 | |
| JPS5925245A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS6056294B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPS6050334B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPS6133257B2 (ja) | ||
| JPH0320042A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0224021B2 (ja) |