JPS6048241U - ウエ−ハキヤリア - Google Patents

ウエ−ハキヤリア

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JPS6048241U
JPS6048241U JP13995083U JP13995083U JPS6048241U JP S6048241 U JPS6048241 U JP S6048241U JP 13995083 U JP13995083 U JP 13995083U JP 13995083 U JP13995083 U JP 13995083U JP S6048241 U JPS6048241 U JP S6048241U
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JP
Japan
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wafer carrier
read
memory
contact terminal
print
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Pending
Application number
JP13995083U
Other languages
English (en)
Inventor
大槻　信雄
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウェーハキャリアの一例を示す外観図、
第２図は本考案のウェーハキャリアの一実施例を示す外
観図、第３図は第２図に示すプリント基板の拡大外観図
である。 １．１１・・・・・・ウェーハキャリア本体、２．１２
・・・・・・溝部、３，１３・・・・・・ウェーハ、４
，１４・・・・・・底部、５，１５・・・・・・側部、
６，１６・・・・・・切欠部、７・・・・・・通し番号
表示部、１７・・・・・・プリント基板、１８・・・・
・・ＩＣソケット、１９・・・・・・接触端子部、２０
・・・・・・リードオンリメモリ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェーハを収納するための複数の溝部と切欠部を有する
    底部とを有するウェーハキャリア本体と、リードオンリ
    メモリが搭載され前記リードオンリメモリからの信号を
    加工装置へ伝達するための接触端子部を有するプリント
    基板とを含むことを特徴とするウェーハキャリア。
JP13995083U 1983-09-09 1983-09-09 ウエ−ハキヤリア Pending JPS6048241U (ja)

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JP13995083U JPS6048241U (ja) 1983-09-09 1983-09-09 ウエ−ハキヤリア

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JP13995083U JPS6048241U (ja) 1983-09-09 1983-09-09 ウエ−ハキヤリア

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6048241U true JPS6048241U (ja) 1985-04-04

Family

ID=30313507

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13995083U Pending JPS6048241U (ja) 1983-09-09 1983-09-09 ウエ−ハキヤリア

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6048241U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06278816A (ja) * 1993-12-13 1994-10-04 Tokyo Electron Ltd 物品搬送システム
JPH0761538A (ja) * 1993-12-13 1995-03-07 Tokyo Electron Ltd 物品搬送及び処理方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06278816A (ja) * 1993-12-13 1994-10-04 Tokyo Electron Ltd 物品搬送システム
JPH0761538A (ja) * 1993-12-13 1995-03-07 Tokyo Electron Ltd 物品搬送及び処理方法

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