JPS6031013A - 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ - Google Patents

磁気抵抗体を使用してなす位置センサ

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JPS6031013A
JPS6031013A JP13873183A JP13873183A JPS6031013A JP S6031013 A JPS6031013 A JP S6031013A JP 13873183 A JP13873183 A JP 13873183A JP 13873183 A JP13873183 A JP 13873183A JP S6031013 A JPS6031013 A JP S6031013A
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JP
Japan
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magnetoresistive
position sensor
magnetic
moving direction
magnetoresistive elements
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Application number
JP13873183A
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English (en)
Inventor
Yasuo Tanii
谷井 靖夫
Yoshiichi Kenmori
芳一 権守
Kenzaburo Miura
三浦 健三郎
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Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
Kawaguchiko Seimitsu KK
Sanyo Denki Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
Kawaguchiko Seimitsu KK
Sanyo Denki Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6031013A publication Critical patent/JPS6031013A/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/147Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の技術分野 本発明は磁気抵抗体を使用してなす位置センサの改良に
関する。特に、2個の磁気抵抗体(または磁気抵抗体群
)をもって構成された直列回路に交流電圧を印加してお
き、上記2個の磁気抵抗体のそれぞれが文楽する磁界強
度を交互に変化させ、−1−配置列回路の中間端子の電
位の変化を測定してなす位置センサにおいて、上記中間
端子の電位の変化として得られる交流電圧を正しい正弦
波となるようにする改良に関する。
(2)技術の背景 インジウムアンチモナイド(In5b) 、インジウム
アーセナイド(InAs)等、文楽する磁界強度に対応
して自身の抵抗を変化する材料があり、磁気抵抗性材料
と呼ばれる。かかる磁気抵抗性材料よりなる素子(以下
磁気抵抗体という。)を磁界中に配置しておき、かかる
磁気抵抗体と文楽する磁路のリラクタンスに規則的な変
化を与えるような幾何学的形状を有する物体を磁気抵抗
体にそって移動させると上記の磁気抵抗体の抵抗は上記
の規則的なりラフタンスの変化に対応して変化するから
上記物体の位置や移動速度等の移動状態を検出すること
ができる。
(3)従来技術と問題点 かかる基本原理にもとづく、磁気抵抗体を使用してなす
位置センサは1個の磁気抵抗体を用いても実現しうるが
、第1図に示すように、2個の磁気抵抗体1.1’を直
列に接続してこの直列回路の二つの端子11.12間に
電圧を印加しておき、2個の磁気抵抗体1.1°は共通
の磁界Hと文楽させておき、2個の磁気抵抗体1.1°
に対接させて規則的に突起21.21°、 21” 、
・・・・・・と凹部22.22°、22”、・・・・・
・とを有し磁性材料よりなる物体2を図において矢印A
の方向に移動させ、上記の直列回路の中間端子13から
突起21凹部22等の交番的移動に対応する周期と同一
の周期の交流電圧を得ることが一般である。
更に、第2図に示すように上記の位置センサ2組を互い
に90°電気角を異にする位置に配設し、互いにSθ°
位相を異にする二つの交流電圧を得ることにすれば、位
置の検出精度も向上し、回転の方向も容易に識別しうる
ことは下式より明らかである。
A cos Osin (+) t +As1n θC
O8ωt=Bsin(ωt+θ) 但し、θは被検出電気角位置であり。
ωは直列回路の端子11.12に印加 される交流電圧の電気角速度であ る。
図において、磁気抵抗体l、1°の組は突起21と凹部
22とに対接し、一方、磁気抵抗体10.10°の組は
凹部22と突起21’ との境界と突起21’ と四部
22”の境界とに対接しており、互いに80°電気角位
置がずれている。
上式にもとづく機能が正しく実現されるためには、それ
ぞれの磁気抵抗体の組の中間端子から得られる交流出力
が正しい正弦波または余弦波である必要がある。
磁気抵抗体1.1’の組(直列回路)の中間端子13か
ら得られる交流電圧を正弦波に近づけるためには、第3
図に示すように、2個の磁気抵抗体l、1°の中心間距
離りと突起21の幅P1と凹部22の幅P2とを同一に
することが有効ではあるが、このように配置することは
幾何学的に困難であるとともに、磁気抵抗体l、1′の
幅文が火き゛くなるため、磁気抵抗体1.1’の抵抗が
極端に小さくなり実用に供しえないという欠点があり、
第3図のような構造は現実的に採用困難である。 その
ため、従来技術においては、第4図に示すように、磁気
抵抗体1.1’の幅文を小さくし、かつ、突起21の幅
P1を小さくし、四部22の幅P2を大きくすることが
一般であった。
その結果、従来技術において、磁気抵抗体の直列回路の
中間端子13から得られる電圧波形は第5図にEをもっ
て示すように、位相が反転しているpiS3高周波を含
む傾向が避は難いという欠点があった。
(4)発明の目的 本発明の目的はこの欠点を解消することにあり、2個の
磁気抵抗体(または磁気抵抗体群)をもって構成され中
間端子を有する直列回路を少なくとも1組設けておき、
この回路に交流電圧を印加しておき、上記2個の磁気抵
抗体(または磁気抵抗体群)の直列回路の前半と後半計
1:れ宅゛れが文楽する磁界強度を交互に変化させ、上
記夫々の直列回路の中間端子の電位の変化を測定してな
す位置センサにおいて、上記夫々の2個の磁気抵抗体(
または磁気抵抗体群)の直列回路の中間端子から正しい
正弦波状の信号電圧を供給しうる、磁気抵抗体を使用し
てなす位置センサを提供することにある。
(5)発明の構成 本発明の構成は、磁束と文楽する領域に配設された2個
の磁気抵抗体(または磁気抵抗体群)の直列回路を少な
くとも1組有し、数少なくとも1組の直列回路に交流電
圧を印加しておき、該2個の磁気抵抗体(または磁気抵
抗体群)の直列回路を少なくとも1組有する回路と文楽
する前記磁束を横切って移動し磁性材料よりなる物体の
位置に対応して抵抗値を変化する前記少なくとも1組の
2個の磁気抵抗体(または磁気抵抗体群)の直列回路よ
りなる回路を構成する直列回路のそれぞれの中間端子の
電位を測定して前記物体の位置を検出する、磁気抵抗体
を使用してなす位置センサにおいて、前記磁気抵抗体が
前記物体の移動方向と交わる端面は前記物体の移動方向
に対して不整形とされていることを特徴とする磁気抵抗
体を使用してなす位置センサにある。
本発明の依拠する技術思想は、第6図に示すように、磁
気抵抗体l、1′、・・・・・・の1部例えば上部la
と突起21とが対接を開始する時期と磁気抵抗体1.1
’、・・・・・・の他の1部例えば下部1bと凹部22
とが対接を開始する時期との間に時間差を発生させるこ
ととし、全体として高調波の発生を防止することとした
ものである。
この技術思想を実現するには、上記せるとおり磁気抵抗
体1.1’、・・・・・・の端面1αと突起21.21
°、・・・・・・の端面21αとを一致させず、磁気抵
抗体の端面を物体2の移動方向に対して不整形にすれば
よく、具体的には第6図に示すように、磁気抵抗体1.
1’、・・・・・・の端面lαと突起21.21°、・
・・・・・の端面21αとを傾斜させておくなり、第7
図に示すように、磁気抵抗体l、1゛・・・・・・の端
面の少なくとも一方lαは蛇行させておくなり、第8図
に示すように、磁気抵抗体l、1°、・・・・・・の中
央部を大きくして紡錘形にするなり、第9図に示すよう
に、磁気抵抗体l、1′、・・・・・・の端面の少なく
とも一方の端面lαは階段状にしておくなりすればよい
また、移動物体は、第1θ図に示すように、規則的に形
成された歯車状突起を外周に有する円筒状部材であり該
突起が前記2個の磁気抵抗体(または磁気抵抗体群)の
それぞれに順次接近するように配設されてなるもの(2
0をもって図示せるもの)でもよく、また、第1図等に
示すように、規則的に形成されたラック状突起を有する
棒状部材であり、該突起が前記2個の磁気抵抗体(また
は磁気抵抗体群)のそれぞれに順次接近するように配設
されてなるもの(2をもって図示せるもの)でもよい。
(6)発明の実施例 本発明の構成は比較的明瞭であるから、以下、図面を参
照しつつ、本発明の代表的実施例に係る磁気抵抗体を使
用してなす位置センサについて更に説明する。
第1θ図参照 図は特許請求の範囲第6項により限定された特許請求の
範囲第2項記載の磁気抵抗体を使用してなす位置センサ
の一実施例の側面図である0図において、4は永久磁石
であり、約1キロガウス程度の平行磁界Hを形成する。
3はフェライト等強磁性体よりなるヨーク兼支持体であ
り、本例においては高さが数■■幅が数層■で厚さが0
.5 mm程度である。
1 第11図参照 1(1’等も含む)はインジウムアンチモナイド(In
Sb)よりなる磁気抵抗体であり、厚さは約5#L11
である。その正面からヨーク兼支持体3と永久磁石4の
方向を見た図(第11図)より明らかなように、その端
面lαが垂直方向に対して傾斜している平行四辺形であ
り、その幅見は0.3−lであり、その高さhは1.5
■程度である。磁気抵抗体lとloとは銅膜をもって形
成された導電路5をもって直列に接続されており双方の
端子11.12と中間端子13が設けられている。磁気
抵抗体l、lo と導電路5とはフォトリソグラフィー
法とイオンブレーティング法、スパッタリング法、真空
蒸着法等と接着剤を使用してなす接着法との組み合わせ
でもって容易に形成しうる。なお、かかる構造の磁気抵
抗体の組が1対(2組)第2図に示すように配設されて
いることは云うまでもない。
なお、使用目的によっては、この対数が2対、3対と多
くなりうることも云うまでもない。
20は規則的に形成された歯車状突起121、2 121°、と凹部122 、122°、・・・・・・と
を外周に有する軟鉄製円筒状部材であり軸6を中心にし
て回転する。歯車状突起121 、121°、・・・・
・・と磁気抵抗体1、loとの間隔は0.3m■程度が
適当である。
上記のような構造の磁気抵抗体を使用してなす位置セン
サの端子11.12間に5V程度の電圧を印加すると中
間端子13の電位は歯車状突起121.121°、・・
Oが磁気抵抗体1.1’と対接する周期と同一の周期を
もって±0.2v程度の極めて正弦波に近い波形をもっ
て交番する。
なお、第12、特許請求の範囲第7項により限定された
特許請求の範囲第2項記載の磁気抵抗体を使用してなす
位置センサの一実施例の平面図であるが軟鉄製移動物体
2が規則状の凹凸を有するラック状棒状体であること以
外全く相違はなく、作用効果も全く同様である。
第13図、第14図参照 ところで、上記の中間端子13の電圧はある程度大きい
ことが望ましいから、磁気抵抗体1.1’は、図示する
ように複数の磁気抵抗体の直列回路(luとl v 、
 lu″ とlv’ 、 lu″とlv”、 lu”と
lv’”との直列回路)とし、この直列回路を構成する
それぞれと移動体2の凹凸との相対的位置関係を同一に
することは有利である。すなわち、luとl v 、 
Iu’ とIv’ 、 lu”と1v″、 lu”とl
v’”とはそれぞれ同一の抵抗変化をなす。なお、この
磁気抵抗体の組のそれぞれが2個をもって構成されるべ
き理由はなく、3個以上でもさしつかえない。また、第
14図に示すように、直列回路2の対数を2以」二とす
ることのあることは、すでに、第11図を参照して説明
した部分においても述べたとおりである。
また、本発明に係る磁気抵抗体を使用してなす位置セン
サは磁気抵抗体と文楽する磁路のリラクタンスの変化に
もとづく磁束の変化によってひきおこされる磁気抵抗体
の抵抗変化を検出することを基本原理とするものである
から、リラクタンスを変化させる手段は上来述べて来た
凹凸に限定されるものではない。現実的に最も代表的な
他の例は特定の形状(一般には矩形)のスリットを有す
る強磁性材よりなる棒状部材または円筒状部材である。
スリットに対応する場合と強磁性材部に対応する場合と
でリラクタンスが変化するからである。
本発明の構成は比較的明瞭であるから特許請求の範囲の
すべてに対して記述する繁を避ける。
(7)発明の詳細 な説明せるとおり、本発明によれば、2個の磁気抵抗体
(または磁気抵抗体群)をもって構成され中間端子を有
する直列回路を少なくとも1組設けておき、この回路に
交流電圧を印加しておき、上記2個の磁気抵抗体(また
は磁気抵抗体群)の直列回路の前半と後半とそれぞれが
文楽する磁界強度を交互に変化させ、上記夫々の直列回
路の中間端子の電位の変化を測定してなす位置センサに
おいて、上記夫々の2個の磁気抵抗体(または磁気抵抗
体群)の直列回路の中間端子から正しい正弦波状の信号
電圧を供給しうる、磁気抵抗体を使用してなす位置セン
サを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来技術における磁気抵抗体を使用してなす位
置センサの一例の斜視図である。第2図は磁気抵抗体の
直列回路を2組有する従来技術における磁気抵抗体を使
用してなす位置センサの一例の平面図である。第3図、
第4図は第2図に示す従来技術における磁気抵抗体を使
用してなす位置センサの一例の欠点すなわち本発明の詳
細な説明するために書いた従来技術における磁気抵抗体
を使用してなす位置センサの一例の平面図である。第5
図は第4図に示す従来技術における磁気抵抗体を使用し
てなす位置センサの一例の中間端子から得られる出力電
圧を示す図である。第6図、第7図、第8図、第9図は
本発明の実施例に係る磁気抵抗体を使用してなす位置セ
ンサの磁気抵抗体と移動物体との正面図である。第1θ
図、第11図は本発明の実施例に係る磁気抵抗体を使用
してなす位置センサの側面図とその磁気抵抗体の正面図
である。第12図は本発明の実施例に係る磁気抵抗体を
使用してなす位置センサの平面図であ6 る。第13図、第14図は磁気抵抗体直列回路を構成す
る要素が磁気抵抗体群である磁気抵抗体を使用してなす
位置センサの1例の平面図である。 1.1′、1O110’ 、l u、1 v、 lu’
 、 lv’ 。 lu” 、 Iv″、 lu”、lv’”see磁気抵
抗体、1a・・・磁気抵抗体の上部、■b・・・磁気抵
抗体の下部、lα・・・磁気抵抗体の端面、11、12
.11’ 、12° ・・・磁気抵抗体の端子、13.
13° IIII+1磁気抵抗体の中間端子、 2・・
ψ移動物体、20−−−回転体、 21.21’、21
″、 121 、121’・・・突起、 21α・・・
突起の端面、 22.22°、22″、 122 、1
22°、・・・凹部、 H・・・磁界方向、 A・・・
物体の移動方向、見・・・磁気抵抗体の幅、 L・・・
組をなす磁気抵抗体の中心間距離、 P ・・・突起の
幅、P ・・・四部の幅、 E・・・従来技術における
磁気抵抗体を使用してなす位置センサの中間端子から得
られる電圧波形、3 ・ O・ヨーク兼支持部材、4 
拳s 番永久磁石、 5・−・導電路、6・拳・回転体
の軸。 代理人 弁理士 寒 川 誠 − 手 続 補 正 書 (自発) 昭和59年 7月23日 特許庁長官 志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和58年特許願第138731号 2、発明の名称 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 守口市京阪本通2丁目18番地 名称 (18B) 三洋電機株式会社 4、代理人 〒185 住所 東京都中野区野方1丁目4番5号電話 (03)
 385−17711及び38B−05586、補正の
内容 第11図を別紙のとおり補正する第11図

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)磁束と文楽する領域に配設された2個の磁気抵抗
    体(または磁気抵抗体群)の直列回路を少なくとも1組
    有し、数少なくとも1組の直列回路に交流電圧を印加し
    ておき、該2個の磁気抵抗体(または磁気抵抗体群)の
    直列回路を少なくとも1組有する回路と文楽する前記磁
    束を横切って移動し磁性材料よりなる物体の位置に対応
    して抵抗値を変化する前記少なくとも1組の2個の磁気
    抵抗体(または磁気抵抗体群)の直列回路よりなる回路
    を構成する直列回路のそれぞれの中間端子の電位を測定
    して前記物体の位置を検出する、磁気抵抗体を使用して
    なす位置センサにおいて、前記磁気抵抗体が前記物体の
    移動方向と交わる端面は前記物体の移動方向に対して不
    整形とされていることを特徴とする磁気抵抗体を使用し
    てなす位置センサ。
  2. (2)前記磁気抵抗体は前記物体の移動方向とおおむね
    平行する板状部材であり、前記端面の少なくとも一つは
    前記物体の移動方向とは傾斜している平行四辺形である
    、特許請求の範囲第1項記載の磁気抵抗体を使用してな
    す位置センサ。
  3. (3)前記磁気抵抗体は前記物体の移動方向とおおむね
    平行する板状部材であり、その端面の少なくとも一つは
    前記物体の移動方向に対し蛇行している、特許請求の範
    囲第1項記載の磁気抵抗体を使用してなす位置センサ。
  4. (4)前記磁気抵抗体は前記物体の移動方向とおおむね
    平行する板状部材であり、その端面の中央部は膨大して
    いる紡錘形である、特許請求の範囲第1項記載の磁気抵
    抗体を使用してなす位置センサ。
  5. (5)前記磁気抵抗体は前記物体の移動方向とおおむね
    平行する板状部材であり、その端面は階段状をなす、特
    許請求の範囲第1項記載の磁気抵抗体を使用してなす位
    置センサ。
  6. (6)前記移動する物体は規則的に形成された歯車状突
    起を外周に有する円筒状部材であり該突起が前記磁気抵
    抗体のそれぞれに順次接近するように配設されてなる、
    特許請求の範囲第1項、第2項、第3項、第4項、また
    は、第5項記載の磁気抵抗体を使用してなす位置センサ
  7. (7)前記移動する物体は規則的に形成されたラック状
    突起を有する棒状部材であり、該突起が前記磁気抵抗体
    のそれぞれに順次接近するように配設されてなる特許請
    求の範囲第1項、第2項、第3項、第4項、または、第
    5項記載の磁気抵抗体を使用してなす位置センサ。
  8. (8)前記移動する物体は規則的に形成され特定の形状
    を有するスリットを外周に有する円筒状部材であり、該
    スリットが前記磁気抵抗体のそれぞれに順次接近するよ
    うに配設されてなる特許請求の範囲第1項、第2項、第
    3項、第4項、または、第5項記載の磁気抵抗体を使用
    してなす位置センサ。
  9. (9)前記移動する物体は規則的に形成され特定の形状
    を有するスリットを有する棒状部材であり、該スリット
    が前記磁気抵抗体のそれぞれに順次接近するように配設
    されてなる特許請求の範囲第1項、第2項、第3項、第
    4項、または、第5項記載の磁気抵抗体を使用してなす
    位置センサ。
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