JPS6029952A - 電子ビーム記録装置 - Google Patents
電子ビーム記録装置Info
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- JPS6029952A JPS6029952A JP13825683A JP13825683A JPS6029952A JP S6029952 A JPS6029952 A JP S6029952A JP 13825683 A JP13825683 A JP 13825683A JP 13825683 A JP13825683 A JP 13825683A JP S6029952 A JPS6029952 A JP S6029952A
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
- G11B9/10—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using electron beam; Record carriers therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明は、電子ビームを利用して情報の記録及び再生を
なす電子ビーム記録再生装装置に使用される情報記録媒
体である電子ビーム記録用ディスクの改良に関する。
なす電子ビーム記録再生装装置に使用される情報記録媒
体である電子ビーム記録用ディスクの改良に関する。
（２）技術の背景
電気パルス信号等の形で与えられる情報を記録再生する
装置として、磁気ディスク装置、光デイスク装置、更に
は、レーザディスク装置等が知られている。
装置として、磁気ディスク装置、光デイスク装置、更に
は、レーザディスク装置等が知られている。
これらの情報記録再生装置は、電気信号として入力され
た情報を磁束信号、光信号、レーザ信号等に変換して、
これらの変換された信号をもってディスク状の情報記録
媒体に物理的化学的変化を与えて情報の書き込みをなし
、この物理的化学的変化に起因する何らかの物理量の変
化を検出して情報の読み出しをなすことを基本原理とす
る。
た情報を磁束信号、光信号、レーザ信号等に変換して、
これらの変換された信号をもってディスク状の情報記録
媒体に物理的化学的変化を与えて情報の書き込みをなし
、この物理的化学的変化に起因する何らかの物理量の変
化を検出して情報の読み出しをなすことを基本原理とす
る。
上記の情報書き込み拳読み出し媒体をもってしては情報
記録媒体たる情報記録ディスクの単位面積当り記録容量
が満足すべきものでなかった。
記録媒体たる情報記録ディスクの単位面積当り記録容量
が満足すべきものでなかった。
この欠点は上記各種の信号媒体、すなわち、磁束、光、
レーザ等をもって微細なビームを形成したときその断面
積の下限に限界があることに起因する点に着目して、よ
り細いビームとなしうる電子ビームを信号媒体となした
電子ビーム記録再主装置が提案されており、この電子ビ
ーム記録再生装置においては、１ビツトの所要面積を５
００Ａ Ｘ ５００ Ａ程度に減少しうろことが確認さ
れている。この電子ビーム記録再生装置は、情報を化体
した微細な電子ビームをもって情報記録ディスクに物理
的化学的変化例えば電子ビーム照射点の溶融にもとづく
微細開口の形成を実現して情報を書き込み、一方、情報
の書き込まれた領域から得られるある種の物理量と書き
込まれていない領域から得られる同種の物理量との差例
えば二次電子放出量、反射電子放出量、Ｘ線放出量、け
い光量、リン光量等の差を検出して情報の読み出しをな
すものである。
レーザ等をもって微細なビームを形成したときその断面
積の下限に限界があることに起因する点に着目して、よ
り細いビームとなしうる電子ビームを信号媒体となした
電子ビーム記録再主装置が提案されており、この電子ビ
ーム記録再生装置においては、１ビツトの所要面積を５
００Ａ Ｘ ５００ Ａ程度に減少しうろことが確認さ
れている。この電子ビーム記録再生装置は、情報を化体
した微細な電子ビームをもって情報記録ディスクに物理
的化学的変化例えば電子ビーム照射点の溶融にもとづく
微細開口の形成を実現して情報を書き込み、一方、情報
の書き込まれた領域から得られるある種の物理量と書き
込まれていない領域から得られる同種の物理量との差例
えば二次電子放出量、反射電子放出量、Ｘ線放出量、け
い光量、リン光量等の差を検出して情報の読み出しをな
すものである。
３、従来技術の問題点
ただ、従来技術における電子ビーム記録用ディスクは、
その表面に凹凸のない平面状のディスクを使用していた
ので、電子ビームを微細な幅のトラック上にガイドする
ことが容易でなく、結果として、その上に情報が記録さ
れる情報記録トラックの幅を１ル■程度以下に減少する
ことが困難で、電子ビーム自身はその径５０Ａ程度まで
減少することが可能であるにかかわらず、電子ビーム情
報記録ディスクの単位面積当り記録容量を十分向上する
ことができないという欠点があった。
その表面に凹凸のない平面状のディスクを使用していた
ので、電子ビームを微細な幅のトラック上にガイドする
ことが容易でなく、結果として、その上に情報が記録さ
れる情報記録トラックの幅を１ル■程度以下に減少する
ことが困難で、電子ビーム自身はその径５０Ａ程度まで
減少することが可能であるにかかわらず、電子ビーム情
報記録ディスクの単位面積当り記録容量を十分向上する
ことができないという欠点があった。
（４）発明の目的
本発明の目的はこの欠点を解消することにあり、電子ビ
ームをトラック上にガイドすることが容易であり、単位
面積当り記録容量が大きな電子ビーム記録用ディスクを
提供することにある。
ームをトラック上にガイドすることが容易であり、単位
面積当り記録容量が大きな電子ビーム記録用ディスクを
提供することにある。
（５）発明の構成
本発明の構成は、ディスク上に渦巻き状または同心円状
に形成された帯状凸部または凹部領域を情報記録トラッ
クとしてなる電子ビーム記録用ディスクにある。そして
、情報記録トラックを構成する帯状凸部または凹部領域
は、テルル、セレン、アンチモン、またはこれらの化合
物がすぐれており、ディスクはシリコンよりなる円板部
材が有利である。
に形成された帯状凸部または凹部領域を情報記録トラッ
クとしてなる電子ビーム記録用ディスクにある。そして
、情報記録トラックを構成する帯状凸部または凹部領域
は、テルル、セレン、アンチモン、またはこれらの化合
物がすぐれており、ディスクはシリコンよりなる円板部
材が有利である。
本発明は、第１図に示すように、電子ビーム記録−用デ
ィスクのトラックＡを渦巻き状または同心。
ィスクのトラックＡを渦巻き状または同心。
円状に形成された帯状凸部、（または凹部）に形成して
おき、電子ビームＢが電子ビーム記録用ディスクに照射
される位置の近傍に上記のトラックＡを挟んで少なくと
も２個の電子線、Ｘ線、または、光線を検出する手段ｃ
、ｃ’を設けておき、図示するように電子ビームＢがト
ラックＡ上に照射されているときは２個の検出手段ｃ、
ｃ’の出力の差はないが、電子ビームＢがＢｏと図示す
るように図において右にずれたときは検出手段Ｃの入力
が検出手段Ｃ°の入力より大きくなるので、常時、検出
手段ｃ、ｃ’の出力を比較しておき、その出力の小さい
側（図においては右側）に電子ビームを偏光させて常時
電子ビームＢがトラックＡに照射されるようにしたもの
である。電子ビームＢが８”と図示するように図におい
て右側にずれたときは上記の関係は全く逆となり電子ビ
ームＢは図において左側に引きもどされる。
おき、電子ビームＢが電子ビーム記録用ディスクに照射
される位置の近傍に上記のトラックＡを挟んで少なくと
も２個の電子線、Ｘ線、または、光線を検出する手段ｃ
、ｃ’を設けておき、図示するように電子ビームＢがト
ラックＡ上に照射されているときは２個の検出手段ｃ、
ｃ’の出力の差はないが、電子ビームＢがＢｏと図示す
るように図において右にずれたときは検出手段Ｃの入力
が検出手段Ｃ°の入力より大きくなるので、常時、検出
手段ｃ、ｃ’の出力を比較しておき、その出力の小さい
側（図においては右側）に電子ビームを偏光させて常時
電子ビームＢがトラックＡに照射されるようにしたもの
である。電子ビームＢが８”と図示するように図におい
て右側にずれたときは上記の関係は全く逆となり電子ビ
ームＢは図において左側に引きもどされる。
電子ビームは直径が５０Ａ程度まで集束しうるので、ト
ラック１の頂部の幅は０．Ｉｇ腸程度まで縮少すること
ができる。なお、トラックとトラックとの間隔も０．１
＃Ｌ■程度に縮少しうるから、単位面積当りの記録容
量は１０８ビツト／■２程度まで拡大しうるから、ディ
スク一枚当り記録容量は１０１１ビツト程度となしうる
。また、蛇足ながら、トラックは帯状凸部ではなく四部
をもって構成することも可能である。
ラック１の頂部の幅は０．Ｉｇ腸程度まで縮少すること
ができる。なお、トラックとトラックとの間隔も０．１
＃Ｌ■程度に縮少しうるから、単位面積当りの記録容
量は１０８ビツト／■２程度まで拡大しうるから、ディ
スク一枚当り記録容量は１０１１ビツト程度となしうる
。また、蛇足ながら、トラックは帯状凸部ではなく四部
をもって構成することも可能である。
（６）発明の実施例
以下１図面を参照しつつ、本発明の一実施例に係る電子
ビーム記録用ディスクについて更に説明する。
ビーム記録用ディスクについて更に説明する。
第２図参照
厚さ２．０腸−のシリコンよりなり、直径２０ｃｍの円
板１上にマグネトロンスパッタを使用して厚さ５００λ
のテルル薄膜２を形成し、この円板上にレジスト（ＰＭ
ＭＡ）を溶剤（ＭＥＫ）に溶解してスピンコードし、０
．１ ｇ層の厚さのレジスト膜３を形成する。
板１上にマグネトロンスパッタを使用して厚さ５００λ
のテルル薄膜２を形成し、この円板上にレジスト（ＰＭ
ＭＡ）を溶剤（ＭＥＫ）に溶解してスピンコードし、０
．１ ｇ層の厚さのレジスト膜３を形成する。
この円゛板を１７０℃程度の温度で３０分程度プリベー
クして、レジスト膜３とテルル薄膜２とを十分接着する
。
クして、レジスト膜３とテルル薄膜２とを十分接着する
。
第３図、第４図参照
電子線リソグラフィー法を使用して、レジスト膜３を、
幅が０．１ ｇｍであり、間隔が０．１ ｇｍの同心円
状または渦巻き状に露光した後露光領域をイソプロピル
アルコールとメチルインプロピルアルコールとの３＝１
混合液をもって溶解除去してこの形状のエツチングマス
ク３°を形成する。
幅が０．１ ｇｍであり、間隔が０．１ ｇｍの同心円
状または渦巻き状に露光した後露光領域をイソプロピル
アルコールとメチルインプロピルアルコールとの３＝１
混合液をもって溶解除去してこの形状のエツチングマス
ク３°を形成する。
第５図参照
１３０℃程度の温度で３０分程度ポストベークをした後
、プラズマエツチング法を実行してテルル薄膜２をエツ
チングして、渦巻き状または同心円上の帯状凸部よりな
るテルル層２°を形成する。このとき、テルル層２°の
側面は図示するように斜面になっていることが必須であ
るが、上記の手法をもってエツチングをなすときは特別
の配慮することなく、上記の要請は満足する。
、プラズマエツチング法を実行してテルル薄膜２をエツ
チングして、渦巻き状または同心円上の帯状凸部よりな
るテルル層２°を形成する。このとき、テルル層２°の
側面は図示するように斜面になっていることが必須であ
るが、上記の手法をもってエツチングをなすときは特別
の配慮することなく、上記の要請は満足する。
アセトンに約５分間浸漬してレジストマスク３゛を溶解
除去する。
除去する。
上記のようにして製造した電子ビーム記録用ディスクを
使用して、情報の記録Φ再生をなすときは、第６図に示
すような電子ビーム記録再生装置を使用する必要がある
。
使用して、情報の記録Φ再生をなすときは、第６図に示
すような電子ビーム記録再生装置を使用する必要がある
。
第６図参照
図において、１１はタングステンフィラメント型電子銃
であり、５０ＫｅＶ程度に加速された電子ビーム１２を
放出する。 １３は電子ビーム集束装置であり、電子ビ
ーム１２の直径を５００Ａ程度に集束する。１４は偏向
器であり、クロック１５に追従して情報記録トラックを
追跡または変更する。１Ｂは情報記録ディスクであり、
上述せるとおり、直径２０ｃｍのシリコンウェーハ上に
厚さ５００Ａにテルル膜を形成したものであり、渦巻き
状または同心円状に情報記録トラックが設けられている
。 ｌ？はディスク回転用モータでありクロック１５に
追従して回転する。１８は情報読み出し制御装置であり
電子線。
であり、５０ＫｅＶ程度に加速された電子ビーム１２を
放出する。 １３は電子ビーム集束装置であり、電子ビ
ーム１２の直径を５００Ａ程度に集束する。１４は偏向
器であり、クロック１５に追従して情報記録トラックを
追跡または変更する。１Ｂは情報記録ディスクであり、
上述せるとおり、直径２０ｃｍのシリコンウェーハ上に
厚さ５００Ａにテルル膜を形成したものであり、渦巻き
状または同心円状に情報記録トラックが設けられている
。 ｌ？はディスク回転用モータでありクロック１５に
追従して回転する。１８は情報読み出し制御装置であり
電子線。
Ｘ線、光等１２′を検出し情報信号をクロック１５と同
期して出力する。
期して出力する。
１８．１８°は電子線、Ｘ線、または、光線を検出する
手段であり、電子ビーム１２がディスク１８に照射され
る領域の近傍にトラックを挟んで設けられ、この出力は
比較回路２０をもって比較され、その差にしたがって偏
光器１４が制御されて電子ビーム１２は常にトラック上
に保持される。
手段であり、電子ビーム１２がディスク１８に照射され
る領域の近傍にトラックを挟んで設けられ、この出力は
比較回路２０をもって比較され、その差にしたがって偏
光器１４が制御されて電子ビーム１２は常にトラック上
に保持される。
なお、この装置の内部圧力は１Ｇ−３Ｐ ａ程度の真空
状態に保たれる。そのため、真空ポンプ２２とバルブ２
２°が設けられている。
状態に保たれる。そのため、真空ポンプ２２とバルブ２
２°が設けられている。
なお、情報の書き込みは、情報を化体した二進情報をク
ロック１５の信号に同期して電子銃１１から、同じくク
ロック１５の信号に同期して回転しているディスク１Ｂ
に向って電子ビーム１２を照射してディスク１６上に開
口を形成することによりなす。
ロック１５の信号に同期して電子銃１１から、同じくク
ロック１５の信号に同期して回転しているディスク１Ｂ
に向って電子ビーム１２を照射してディスク１６上に開
口を形成することによりなす。
一方、情報の読み出しはクロック１５の信号と同期して
回転しているディスク１６に向って電子銃１１から電子
ビーム１２を照射し、この電子ビーム１２にもとづいて
発生する２次電子、反射電子、Ｘ線、けい光、リン光等
をやはりクロック１５と同期して動作している検出器１
８をもって検出して出力する。
回転しているディスク１６に向って電子銃１１から電子
ビーム１２を照射し、この電子ビーム１２にもとづいて
発生する２次電子、反射電子、Ｘ線、けい光、リン光等
をやはりクロック１５と同期して動作している検出器１
８をもって検出して出力する。
いづれの動作においても、検出器１Ｂ、１９°はディス
ク１６の反射信号を検出し、これらの差をめて、偏光器
１４に向って修正信号を印加し、電子ビーム１２’が常
にトラック状に保持されるように機能する。
ク１６の反射信号を検出し、これらの差をめて、偏光器
１４に向って修正信号を印加し、電子ビーム１２’が常
にトラック状に保持されるように機能する。
（７）発明の詳細
な説明せるとおり、本発明によれば、電子ビームをトラ
ック上にガイドすることが容易であり、単位面積当り記
録容量が大きな電子ビーム記録用ディスクを提供するこ
とができる。
ック上にガイドすることが容易であり、単位面積当り記
録容量が大きな電子ビーム記録用ディスクを提供するこ
とができる。
第１図は本発明の詳細な説明するための説明図である。
第２．３．４．５図は本発明の実施例に係る電子ビーム
記録用ディスクの主要製造工程完了後のそれぞれ断面図
、断面図、平面図、断面図である。第６図は本発明の実
施例に係る電子ビーム記録用ディスクの使用状態を説明
するための説明図である。 Ａ・・・電子ビーム記録用ディスクのトラック、Ｂ・争
・電子ビーム、 ｃ、ｃ’・・・電子線、Ｘ線、光線を
検出する手段、ｌ−・・シリコン基板、２・・・テルル
薄膜、 ２′Φ・・テルル。
記録用ディスクの主要製造工程完了後のそれぞれ断面図
、断面図、平面図、断面図である。第６図は本発明の実
施例に係る電子ビーム記録用ディスクの使用状態を説明
するための説明図である。 Ａ・・・電子ビーム記録用ディスクのトラック、Ｂ・争
・電子ビーム、 ｃ、ｃ’・・・電子線、Ｘ線、光線を
検出する手段、ｌ−・・シリコン基板、２・・・テルル
薄膜、 ２′Φ・・テルル。
Claims (3)
- （１）ディスク上に渦巻き状または同心円状に形成され
た帯状凸部または凹部領域を情報記録トラックとしてな
る電子ビーム記録用ディスク。 - （２）前記帯状凸部または凹部領域はテルル、セレン、
アンチモン、または、これらの化合物である、特許請求
の範囲第１項記載の電子ビーム記録用ディスク。 - （３）前記ディスクは、シリコンよりなる円板状部材で
ある、特許請求の範囲第１項または゛第２項記載の電子
ビーム記録用ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13825683A JPS6029952A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 電子ビーム記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13825683A JPS6029952A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 電子ビーム記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6029952A true JPS6029952A (ja) | 1985-02-15 |
| JPH0519212B2 JPH0519212B2 (ja) | 1993-03-16 |
Family
ID=15217694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13825683A Granted JPS6029952A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 電子ビーム記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029952A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62139154A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-22 | Res Dev Corp Of Japan | 情報記録再生方法 |
| EP0241934A2 (en) * | 1986-04-18 | 1987-10-21 | Hitachi, Ltd. | Ultrahigh-density recording system utilizing focused beam |
| JPS6355744A (ja) * | 1986-08-26 | 1988-03-10 | Canon Inc | オ−トトラツキング機構 |
| JPS6355743A (ja) * | 1986-08-26 | 1988-03-10 | Canon Inc | 情報記録再生装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52110634A (en) * | 1976-03-15 | 1977-09-16 | Hitachi Ltd | Information recording material |
| JPS5614914A (en) * | 1979-07-14 | 1981-02-13 | Sentorarunii Osrodek Badaukuzo | Liquid flowrate measuring apparatus |
| JPS57130240A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-12 | Olympus Optical Co Ltd | Optical information recording and reproducing device and information recording medium for it |
-
1983
- 1983-07-28 JP JP13825683A patent/JPS6029952A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52110634A (en) * | 1976-03-15 | 1977-09-16 | Hitachi Ltd | Information recording material |
| JPS5614914A (en) * | 1979-07-14 | 1981-02-13 | Sentorarunii Osrodek Badaukuzo | Liquid flowrate measuring apparatus |
| JPS57130240A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-12 | Olympus Optical Co Ltd | Optical information recording and reproducing device and information recording medium for it |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62139154A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-22 | Res Dev Corp Of Japan | 情報記録再生方法 |
| EP0241934A2 (en) * | 1986-04-18 | 1987-10-21 | Hitachi, Ltd. | Ultrahigh-density recording system utilizing focused beam |
| JPS6355744A (ja) * | 1986-08-26 | 1988-03-10 | Canon Inc | オ−トトラツキング機構 |
| JPS6355743A (ja) * | 1986-08-26 | 1988-03-10 | Canon Inc | 情報記録再生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519212B2 (ja) | 1993-03-16 |
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