JPS60241566A - 静圧ネジ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、工作機械或いは測定器等のテーブルの送り機
構に用いられる静圧空気送りネジ機構に関するものであ
る。

〔従来技術〕

従来のこの種の静圧ネジを第８図によって説明する。図
において、■は多孔質材料からなる雌ネジ２を駆動する
雄ネジで、雌ネジ２の両端部２ａ。

２ｂは空気流出抜止用の目つぶしがなされている。

３は外筒、４は給気孔、５は螺線状給気孔で、空気を雌
ネジ全面に効率的に導くためネジと同ピツチで加工され
ている。

ここで、雌ネジフランク面２ｃと雄ネジフランク面１ａ
との隙間、雌ネジ谷径部面２ｄと雄ネジ外径部面１ｂと
の隙間、及び雌ネジ内径部面２ｅと雄ネジ谷径部面１ｃ
との隙間は夫々数μｍ程度になされ、空気は雌ネジ全面
から噴射されるように構成されている。このため送りネ
ジ装置のラジアル剛性は噴射空気の静圧により増大しそ
の大きさは数ｋＦＶＩｔｍ　の値となっている。従って
このような構造の静圧ネジにおいては、雄ネジｌに回転
による軸振れが発生したり雄ネジ１のネジ形状に加工誤
差があると、雌ネジ２もこれに対応して変位し、この結
果、雌ネジ２と固定しである図示しないテーブルにピッ
チングやヨーイングを発生させてしまう欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記の欠点を克服し、送りネジ装置の
ラジアル剛性を減少させることにより、雄ネジの回転に
よる軸振れやネジ加工精度に誤差があってもこれらがテ
ーブルの精度に影響を及ぼすことのない静圧ネジを提供
することにある。

＼　＼ 即ち′後述する本発明の実施例は、回転運動を直線運動
に変換する送りネジ装置において、前記送りネジ装置の
雄ネジ外径部面と雌ネジ谷径部１面との隙間及び雄ネジ
谷径部面と雌ネジ内径部面との隙間を大きくとり、前記
雄ネジ並びに雌ネジのネジ山角度を小さくし、前記雌ネ
ジに形成される通気部のうち、雌ネジ谷径部面近傍及び
雌ネジ内径部面の通気部を閉止し該個所からの流体噴出
を防出することにより、送りネジ装置のラジアル剛性を
減少させ、雄ネジの回転による軸振れやイ・ジ加工精度
に誤差があってもこれらがテーブルの精度に影響を及ぼ
すことのないように構成した静圧ネジである。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について添付図面を参照して説明
する。笹１図は本発明の一実施例を示す静圧ネジ部一部
の縦断面図、第２図は本発明の他の実施例を示す静圧ネ
ジ部一部の縦断面図である。

第１図において、６は多孔質である雌ネジ２の表面にな
された目つぶしで、この目つぶし６は雄ネジ谷径部面２
ｂ−、雌ネジ内径部面２Ｃ１及び雌ネジフランク面２ｃ
上で雄ネジフランク面１ａと対向しない部分２ｆに施さ
れている。７は雌イ・シフランク面２ｃと雄ネジフラン
ク面１ａとの隙間で数μｍ程度になされている。８並び
に９は、夫々雌ネジ谷径部面２ｂと雄ネジ外径部面１ｂ
、並びに雌ネジ内径部面２Ｃと雄ネジ内径部面１ｃとの
隙間で、各々０５〜Ｉｎｏｎ程度になされている。

このような構成において、螺線状給気溝５から供給され
た空気は多孔質材料である雌ネジ２の全表面から噴射さ
れようとするが、雌ネジ谷径部面２ｂと雌ネジ内径部面
２ｅにおいては目つぷし６が施されているため空気噴出
は行われず、静圧は上昇することがないので空気噴射に
よるラジアル剛性は生じない。また、雌ネジフランク面
２ｃから噴射された空気は隙間７における圧力を上昇さ
せたのち隙間８及び９に流入し、これら隙間８．９にお
ける圧力を上昇させようとするが、隙間８．９は０．５
〜１ｍ程度と大きいためその圧力は殆んど上昇せず、従
って若しラジアル剛性が生じてもその大きさは非常に僅
かとなる。また一方において、このように隙間８及び９
を大きくとると雌フランク面２ｃ上で雄ネジフランク面
１ａと対向せぬ部分２ｆが生じ、この部分２ｆがら空気
が噴射されるとラジアル剛性が生ずるが、本実施例にお
いては前記部２ｆには目つぶし′６が施されており空気
噴射が行われないので、ラジアル剛性を生ずることはな
い。このように隙間８及び９においてはラジアル剛性が
生じないので、静圧ネジのラジアル剛性は隙間７に生ず
るラジアル剛性のみとなり、このときの大きさは隙間７
における全剛性の５ｉｎ２（ＯＡ）成分のみとなる。従
って従来の静圧ネジに比べてラジアル剛性を大巾に減小
させることができる。更にここにおいて、ネジ山角度θ
は従来通常とられる６　０’から３０２下にとられてい
るので、前記ラジアル剛性の成分５ｉｎ２（ＯＡ）は従
来の６０゜における場合の全剛性に対する２５チから約
１７−以下に減少することができる。

このようにラジアル剛性が減少した状態で雄イ・ジｌを
回転する場合には、雄ネジの軸振れや雄イ・ジ１のネジ
形状の加工誤差のために雄ネジ１と雌ネジ２との間の隙
間８，９の間隔が変化しても、前述したラジアル剛性が
非常に小さいことと且つ隙間８，９が非常に大きいこと
により、雌ネジ２は径方向には殆んど変位することがな
（・。従って、雌ネジ２に固定される図示しないテーブ
ルにもピッチングやヨーイングを生じさせることがない
。

また隙間８，９は０５■から１ｍｍ程度と大きくとられ
ていることから、従来のように隙間が数μｍになる様に
雌ネジの谷径、内径及び雄ネジの外径、谷径を加工する
のに対し、ネジの径方向の寸法が多少ラフでもよく加工
が容易となる。

なお、上記の説明においては、雌ネジを多孔質材で形成
しその表面の所定個所に目つぶしを施した場合について
述べたが、オリフィス型又は絞り型の通気部を用いる場
合においても給気孔を雌ネジフランク面中央付近のみに
設置すれば、上述したと同様の効果が達成されることは
明らかである。

次いで、第２図は本発明による他の実施例でネジ山形状
が矩形になされた場合を示す。即ち、第１図に示す実施
例におけるネジ山角度θを０としたものである。本実施
例においては隙間７に発生する圧力はすべて軸方向成分
となるからラジアル剛性はゼロとなる。従ってこの場合
、雄ネジ１の精度は雌ネジ２に固定される図示しないテ
ーブルの精度には全く影響しないこととなる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明は、雄ネジと雌ネジの径方
向の隙間を大きくとり、ネジ山角度な小さくし、雌ネジ
の谷径部面及び内径部面に目つぶしを行なうことにより
、送りネジ装置のラジアル剛性を減少させたものである
から、雄ネジの回転による軸振れやイ・ジ加工精度の誤
差が雌ネジに固定されるテーブルの精度に悪影響を及ぼ
すことがなくなるという利点があると共に、ネジの径方
向の加工を従来に比べて大巾に簡単且つ容易にできる利
点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す静圧ネジ一部の縦断面
図、第２図は本発明の他の実施例を示す静圧ネジ一部の
縦断面図、第３図は従来の静圧ネジを示す縦断面図であ
る。 ■・・・・・・雄ネジ。 ｌａ・・・・・・雄ネジフランク面。 ■ｂ・・・・・・雄ネジ外径部面。 ｌｃ・・・・・・雄ネジ谷径部面。 ２・・・・・・雌ネジ。 Ｚａ、Ｚｂ・・・・・・雌ネジ端面。 ２ｃ・・・・・・雌ネジフランク面。 ２ｄ・・・・・・雌ネジ谷径部面。 ２ｅ・・・・・・雌ネジ内径部面。 ３・・・・・・・・・外筒。 ４・・・・・・・・・給気筒。 ５・・・・・・・・・螺線状給気溝。 ６・・・・・・・・・目つぶし。 ７、８．９・・・・・・隙間。 θ・・・・・・・・・ネジ山角度。 特許出願人　キャノン株式会社 代　理　人　若　林　忠 第１図　第２図 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、回転運動を直線運動に変換するための送りネジ装置
   において、径方向の剛性を減少させ調心作用を低下する
   ことを特徴とする静圧ネジ２、前記送りネジ装置の雄ネ
   ジ外径部面と雌ネジ谷径部面との隙間を大きくとること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の静圧ネジ８
   、　前記雄ネジ並びに雌ネジのネジ山角度を小さくする
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載した静圧
   ネジ ４、前記雌ネジに形成される通気部のうち、雌ネジ谷径
   部面近傍及び雌ネジ内径部面の通気部を閉止し、該個所
   からの流体噴出を防止するようにした特許請求の範囲第
   １項記載の静圧ネジ