JPS60241566A - 静圧ネジ - Google Patents
静圧ネジInfo
- Publication number
- JPS60241566A JPS60241566A JP9456184A JP9456184A JPS60241566A JP S60241566 A JPS60241566 A JP S60241566A JP 9456184 A JP9456184 A JP 9456184A JP 9456184 A JP9456184 A JP 9456184A JP S60241566 A JPS60241566 A JP S60241566A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw
- thread
- air
- static pressure
- female
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、工作機械或いは測定器等のテーブルの送り機
構に用いられる静圧空気送りネジ機構に関するものであ
る。
構に用いられる静圧空気送りネジ機構に関するものであ
る。
従来のこの種の静圧ネジを第8図によって説明する。図
において、■は多孔質材料からなる雌ネジ2を駆動する
雄ネジで、雌ネジ2の両端部2a。
において、■は多孔質材料からなる雌ネジ2を駆動する
雄ネジで、雌ネジ2の両端部2a。
2bは空気流出抜止用の目つぶしがなされている。
3は外筒、4は給気孔、5は螺線状給気孔で、空気を雌
ネジ全面に効率的に導くためネジと同ピツチで加工され
ている。
ネジ全面に効率的に導くためネジと同ピツチで加工され
ている。
ここで、雌ネジフランク面2cと雄ネジフランク面1a
との隙間、雌ネジ谷径部面2dと雄ネジ外径部面1bと
の隙間、及び雌ネジ内径部面2eと雄ネジ谷径部面1c
との隙間は夫々数μm程度になされ、空気は雌ネジ全面
から噴射されるように構成されている。このため送りネ
ジ装置のラジアル剛性は噴射空気の静圧により増大しそ
の大きさは数kFVItm の値となっている。従って
このような構造の静圧ネジにおいては、雄ネジlに回転
による軸振れが発生したり雄ネジ1のネジ形状に加工誤
差があると、雌ネジ2もこれに対応して変位し、この結
果、雌ネジ2と固定しである図示しないテーブルにピッ
チングやヨーイングを発生させてしまう欠点があった。
との隙間、雌ネジ谷径部面2dと雄ネジ外径部面1bと
の隙間、及び雌ネジ内径部面2eと雄ネジ谷径部面1c
との隙間は夫々数μm程度になされ、空気は雌ネジ全面
から噴射されるように構成されている。このため送りネ
ジ装置のラジアル剛性は噴射空気の静圧により増大しそ
の大きさは数kFVItm の値となっている。従って
このような構造の静圧ネジにおいては、雄ネジlに回転
による軸振れが発生したり雄ネジ1のネジ形状に加工誤
差があると、雌ネジ2もこれに対応して変位し、この結
果、雌ネジ2と固定しである図示しないテーブルにピッ
チングやヨーイングを発生させてしまう欠点があった。
本発明の目的は、上記の欠点を克服し、送りネジ装置の
ラジアル剛性を減少させることにより、雄ネジの回転に
よる軸振れやネジ加工精度に誤差があってもこれらがテ
ーブルの精度に影響を及ぼすことのない静圧ネジを提供
することにある。
ラジアル剛性を減少させることにより、雄ネジの回転に
よる軸振れやネジ加工精度に誤差があってもこれらがテ
ーブルの精度に影響を及ぼすことのない静圧ネジを提供
することにある。
\ \
即ち′後述する本発明の実施例は、回転運動を直線運動
に変換する送りネジ装置において、前記送りネジ装置の
雄ネジ外径部面と雌ネジ谷径部1面との隙間及び雄ネジ
谷径部面と雌ネジ内径部面との隙間を大きくとり、前記
雄ネジ並びに雌ネジのネジ山角度を小さくし、前記雌ネ
ジに形成される通気部のうち、雌ネジ谷径部面近傍及び
雌ネジ内径部面の通気部を閉止し該個所からの流体噴出
を防出することにより、送りネジ装置のラジアル剛性を
減少させ、雄ネジの回転による軸振れやイ・ジ加工精度
に誤差があってもこれらがテーブルの精度に影響を及ぼ
すことのないように構成した静圧ネジである。
に変換する送りネジ装置において、前記送りネジ装置の
雄ネジ外径部面と雌ネジ谷径部1面との隙間及び雄ネジ
谷径部面と雌ネジ内径部面との隙間を大きくとり、前記
雄ネジ並びに雌ネジのネジ山角度を小さくし、前記雌ネ
ジに形成される通気部のうち、雌ネジ谷径部面近傍及び
雌ネジ内径部面の通気部を閉止し該個所からの流体噴出
を防出することにより、送りネジ装置のラジアル剛性を
減少させ、雄ネジの回転による軸振れやイ・ジ加工精度
に誤差があってもこれらがテーブルの精度に影響を及ぼ
すことのないように構成した静圧ネジである。
以下、本発明の実施例について添付図面を参照して説明
する。笹1図は本発明の一実施例を示す静圧ネジ部一部
の縦断面図、第2図は本発明の他の実施例を示す静圧ネ
ジ部一部の縦断面図である。
する。笹1図は本発明の一実施例を示す静圧ネジ部一部
の縦断面図、第2図は本発明の他の実施例を示す静圧ネ
ジ部一部の縦断面図である。
第1図において、6は多孔質である雌ネジ2の表面にな
された目つぶしで、この目つぶし6は雄ネジ谷径部面2
b−、雌ネジ内径部面2C1及び雌ネジフランク面2c
上で雄ネジフランク面1aと対向しない部分2fに施さ
れている。7は雌イ・シフランク面2cと雄ネジフラン
ク面1aとの隙間で数μm程度になされている。8並び
に9は、夫々雌ネジ谷径部面2bと雄ネジ外径部面1b
、並びに雌ネジ内径部面2Cと雄ネジ内径部面1cとの
隙間で、各々05〜Inon程度になされている。
された目つぶしで、この目つぶし6は雄ネジ谷径部面2
b−、雌ネジ内径部面2C1及び雌ネジフランク面2c
上で雄ネジフランク面1aと対向しない部分2fに施さ
れている。7は雌イ・シフランク面2cと雄ネジフラン
ク面1aとの隙間で数μm程度になされている。8並び
に9は、夫々雌ネジ谷径部面2bと雄ネジ外径部面1b
、並びに雌ネジ内径部面2Cと雄ネジ内径部面1cとの
隙間で、各々05〜Inon程度になされている。
このような構成において、螺線状給気溝5から供給され
た空気は多孔質材料である雌ネジ2の全表面から噴射さ
れようとするが、雌ネジ谷径部面2bと雌ネジ内径部面
2eにおいては目つぷし6が施されているため空気噴出
は行われず、静圧は上昇することがないので空気噴射に
よるラジアル剛性は生じない。また、雌ネジフランク面
2cから噴射された空気は隙間7における圧力を上昇さ
せたのち隙間8及び9に流入し、これら隙間8.9にお
ける圧力を上昇させようとするが、隙間8.9は0.5
〜1m程度と大きいためその圧力は殆んど上昇せず、従
って若しラジアル剛性が生じてもその大きさは非常に僅
かとなる。また一方において、このように隙間8及び9
を大きくとると雌フランク面2c上で雄ネジフランク面
1aと対向せぬ部分2fが生じ、この部分2fがら空気
が噴射されるとラジアル剛性が生ずるが、本実施例にお
いては前記部2fには目つぶし′6が施されており空気
噴射が行われないので、ラジアル剛性を生ずることはな
い。このように隙間8及び9においてはラジアル剛性が
生じないので、静圧ネジのラジアル剛性は隙間7に生ず
るラジアル剛性のみとなり、このときの大きさは隙間7
における全剛性の5in2(OA)成分のみとなる。従
って従来の静圧ネジに比べてラジアル剛性を大巾に減小
させることができる。更にここにおいて、ネジ山角度θ
は従来通常とられる6 0’から302下にとられてい
るので、前記ラジアル剛性の成分5in2(OA)は従
来の60゜における場合の全剛性に対する25チから約
17−以下に減少することができる。
た空気は多孔質材料である雌ネジ2の全表面から噴射さ
れようとするが、雌ネジ谷径部面2bと雌ネジ内径部面
2eにおいては目つぷし6が施されているため空気噴出
は行われず、静圧は上昇することがないので空気噴射に
よるラジアル剛性は生じない。また、雌ネジフランク面
2cから噴射された空気は隙間7における圧力を上昇さ
せたのち隙間8及び9に流入し、これら隙間8.9にお
ける圧力を上昇させようとするが、隙間8.9は0.5
〜1m程度と大きいためその圧力は殆んど上昇せず、従
って若しラジアル剛性が生じてもその大きさは非常に僅
かとなる。また一方において、このように隙間8及び9
を大きくとると雌フランク面2c上で雄ネジフランク面
1aと対向せぬ部分2fが生じ、この部分2fがら空気
が噴射されるとラジアル剛性が生ずるが、本実施例にお
いては前記部2fには目つぶし′6が施されており空気
噴射が行われないので、ラジアル剛性を生ずることはな
い。このように隙間8及び9においてはラジアル剛性が
生じないので、静圧ネジのラジアル剛性は隙間7に生ず
るラジアル剛性のみとなり、このときの大きさは隙間7
における全剛性の5in2(OA)成分のみとなる。従
って従来の静圧ネジに比べてラジアル剛性を大巾に減小
させることができる。更にここにおいて、ネジ山角度θ
は従来通常とられる6 0’から302下にとられてい
るので、前記ラジアル剛性の成分5in2(OA)は従
来の60゜における場合の全剛性に対する25チから約
17−以下に減少することができる。
このようにラジアル剛性が減少した状態で雄イ・ジlを
回転する場合には、雄ネジの軸振れや雄イ・ジ1のネジ
形状の加工誤差のために雄ネジ1と雌ネジ2との間の隙
間8,9の間隔が変化しても、前述したラジアル剛性が
非常に小さいことと且つ隙間8,9が非常に大きいこと
により、雌ネジ2は径方向には殆んど変位することがな
(・。従って、雌ネジ2に固定される図示しないテーブ
ルにもピッチングやヨーイングを生じさせることがない
。
回転する場合には、雄ネジの軸振れや雄イ・ジ1のネジ
形状の加工誤差のために雄ネジ1と雌ネジ2との間の隙
間8,9の間隔が変化しても、前述したラジアル剛性が
非常に小さいことと且つ隙間8,9が非常に大きいこと
により、雌ネジ2は径方向には殆んど変位することがな
(・。従って、雌ネジ2に固定される図示しないテーブ
ルにもピッチングやヨーイングを生じさせることがない
。
また隙間8,9は05■から1mm程度と大きくとられ
ていることから、従来のように隙間が数μmになる様に
雌ネジの谷径、内径及び雄ネジの外径、谷径を加工する
のに対し、ネジの径方向の寸法が多少ラフでもよく加工
が容易となる。
ていることから、従来のように隙間が数μmになる様に
雌ネジの谷径、内径及び雄ネジの外径、谷径を加工する
のに対し、ネジの径方向の寸法が多少ラフでもよく加工
が容易となる。
なお、上記の説明においては、雌ネジを多孔質材で形成
しその表面の所定個所に目つぶしを施した場合について
述べたが、オリフィス型又は絞り型の通気部を用いる場
合においても給気孔を雌ネジフランク面中央付近のみに
設置すれば、上述したと同様の効果が達成されることは
明らかである。
しその表面の所定個所に目つぶしを施した場合について
述べたが、オリフィス型又は絞り型の通気部を用いる場
合においても給気孔を雌ネジフランク面中央付近のみに
設置すれば、上述したと同様の効果が達成されることは
明らかである。
次いで、第2図は本発明による他の実施例でネジ山形状
が矩形になされた場合を示す。即ち、第1図に示す実施
例におけるネジ山角度θを0としたものである。本実施
例においては隙間7に発生する圧力はすべて軸方向成分
となるからラジアル剛性はゼロとなる。従ってこの場合
、雄ネジ1の精度は雌ネジ2に固定される図示しないテ
ーブルの精度には全く影響しないこととなる。
が矩形になされた場合を示す。即ち、第1図に示す実施
例におけるネジ山角度θを0としたものである。本実施
例においては隙間7に発生する圧力はすべて軸方向成分
となるからラジアル剛性はゼロとなる。従ってこの場合
、雄ネジ1の精度は雌ネジ2に固定される図示しないテ
ーブルの精度には全く影響しないこととなる。
以上説明したように、本発明は、雄ネジと雌ネジの径方
向の隙間を大きくとり、ネジ山角度な小さくし、雌ネジ
の谷径部面及び内径部面に目つぶしを行なうことにより
、送りネジ装置のラジアル剛性を減少させたものである
から、雄ネジの回転による軸振れやイ・ジ加工精度の誤
差が雌ネジに固定されるテーブルの精度に悪影響を及ぼ
すことがなくなるという利点があると共に、ネジの径方
向の加工を従来に比べて大巾に簡単且つ容易にできる利
点がある。
向の隙間を大きくとり、ネジ山角度な小さくし、雌ネジ
の谷径部面及び内径部面に目つぶしを行なうことにより
、送りネジ装置のラジアル剛性を減少させたものである
から、雄ネジの回転による軸振れやイ・ジ加工精度の誤
差が雌ネジに固定されるテーブルの精度に悪影響を及ぼ
すことがなくなるという利点があると共に、ネジの径方
向の加工を従来に比べて大巾に簡単且つ容易にできる利
点がある。
第1図は本発明の一実施例を示す静圧ネジ一部の縦断面
図、第2図は本発明の他の実施例を示す静圧ネジ一部の
縦断面図、第3図は従来の静圧ネジを示す縦断面図であ
る。 ■・・・・・・雄ネジ。 la・・・・・・雄ネジフランク面。 ■b・・・・・・雄ネジ外径部面。 lc・・・・・・雄ネジ谷径部面。 2・・・・・・雌ネジ。 Za、Zb・・・・・・雌ネジ端面。 2c・・・・・・雌ネジフランク面。 2d・・・・・・雌ネジ谷径部面。 2e・・・・・・雌ネジ内径部面。 3・・・・・・・・・外筒。 4・・・・・・・・・給気筒。 5・・・・・・・・・螺線状給気溝。 6・・・・・・・・・目つぶし。 7、8.9・・・・・・隙間。 θ・・・・・・・・・ネジ山角度。 特許出願人 キャノン株式会社 代 理 人 若 林 忠 第1図 第2図 第3図
図、第2図は本発明の他の実施例を示す静圧ネジ一部の
縦断面図、第3図は従来の静圧ネジを示す縦断面図であ
る。 ■・・・・・・雄ネジ。 la・・・・・・雄ネジフランク面。 ■b・・・・・・雄ネジ外径部面。 lc・・・・・・雄ネジ谷径部面。 2・・・・・・雌ネジ。 Za、Zb・・・・・・雌ネジ端面。 2c・・・・・・雌ネジフランク面。 2d・・・・・・雌ネジ谷径部面。 2e・・・・・・雌ネジ内径部面。 3・・・・・・・・・外筒。 4・・・・・・・・・給気筒。 5・・・・・・・・・螺線状給気溝。 6・・・・・・・・・目つぶし。 7、8.9・・・・・・隙間。 θ・・・・・・・・・ネジ山角度。 特許出願人 キャノン株式会社 代 理 人 若 林 忠 第1図 第2図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、回転運動を直線運動に変換するための送りネジ装置
において、径方向の剛性を減少させ調心作用を低下する
ことを特徴とする静圧ネジ2、前記送りネジ装置の雄ネ
ジ外径部面と雌ネジ谷径部面との隙間を大きくとること
を特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の静圧ネジ8
、 前記雄ネジ並びに雌ネジのネジ山角度を小さくする
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載した静圧
ネジ 4、前記雌ネジに形成される通気部のうち、雌ネジ谷径
部面近傍及び雌ネジ内径部面の通気部を閉止し、該個所
からの流体噴出を防止するようにした特許請求の範囲第
1項記載の静圧ネジ
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9456184A JPS60241566A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 静圧ネジ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9456184A JPS60241566A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 静圧ネジ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60241566A true JPS60241566A (ja) | 1985-11-30 |
Family
ID=14113729
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9456184A Pending JPS60241566A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 静圧ネジ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60241566A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4793201A (en) * | 1987-06-29 | 1988-12-27 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Porous static pressure guide |
US20150345552A1 (en) * | 2014-05-27 | 2015-12-03 | Metal Industries Research & Development Centre | Aerostatic bearing |
-
1984
- 1984-05-14 JP JP9456184A patent/JPS60241566A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4793201A (en) * | 1987-06-29 | 1988-12-27 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Porous static pressure guide |
US20150345552A1 (en) * | 2014-05-27 | 2015-12-03 | Metal Industries Research & Development Centre | Aerostatic bearing |
US9400010B2 (en) * | 2014-05-27 | 2016-07-26 | Metal Industries Research & Development Centre | Aerostatic bearing |
US9739305B2 (en) | 2014-05-27 | 2017-08-22 | Metal Industries Research & Development Centre | Aerostatic bearing |
US10030699B2 (en) | 2014-05-27 | 2018-07-24 | Metal Industries Research & Development Centre | Aerostatic bearing |
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