JP5808100B2 - 静圧気体軸受 - Google Patents
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Description
また、上記目的を達成するため、本発明の静圧気体軸受は、多孔質軸受面から気体を供給することによって気体膜を形成し回転体を支持する静圧気体軸受において、前記多孔質軸受面は、前記回転体の回転方向に並設された、前記気体の所定の通気流量を満たす複数の有効通気部と、前記複数の有効通気部をそれぞれ分離するために延在する線状の非有効通気部と、を有し、前記非有効通気部は、前記回転方向に垂直な方向に階段状に形成されていることを特徴とする。
あたりの通気流量変動は3%程度であり、その影響は気体膜の平均化効果により鈍化され問題とならないレベルに収まっている。図4に、本実施例によるラジアル静圧気体軸受にロータ(回転体)を設置して、回転させ、慣性運動させたときのリサージュ測定波形を示す。通気流量の変動が回転精度に悪影響を及ぼすことなくナノメートルオーダーの回転精度を達成している。
2、8 多孔質体
3、9、23、33、53、63 有効通気部
4、10、24、34、54、64 非有効通気部
Claims (10)
- 多孔質軸受面から気体を供給することによって気体膜を形成し回転体を支持する静圧気体軸受において、
前記多孔質軸受面は、前記回転体の回転方向に並設され、前記気体の、前記多孔質軸受面の軸受幅であって前記回転方向に沿った1mm以下の区分幅の総通気流量が、前記回転方向のいずれの位置においても所定の通気流量を満たす複数の有効通気部と、前記複数の有効通気部をそれぞれ分離するために延在する線状の非有効通気部と、を有し、
前記非有効通気部は、前記回転方向に垂直な軸に対して前記回転方向に傾斜していることを特徴とする静圧気体軸受。 - 前記非有効通気部は、目止め処理により前記通気流量が抑制されていることを特徴とする請求項1記載の静圧気体軸受。
- 前記多孔質軸受面は、前記有効通気部がオーバーラップした、過通気流量を有するオーバーラップ部をさらに有することを特徴とする請求項1または2記載の静圧気体軸受。
- 前記有効通気部は、平行四辺形となる形状を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 前記有効通気部は、三角形となる形状を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 前記非有効通気部は、前記回転方向に垂直な方向の各有効通気部の長さをh、前記非有効通気部の線幅の最大値をΔbとするとき、0.1<(1−(h−Δbtan|θ|)/h)の関係を満たす範囲の角度θで傾斜していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 多孔質軸受面から気体を供給することによって気体膜を形成し回転体を支持する静圧気体軸受において、
前記多孔質軸受面は、前記回転体の回転方向に並設された、前記気体の所定の通気流量を満たす複数の有効通気部と、前記複数の有効通気部をそれぞれ分離するために延在する線状の非有効通気部と、を有し、
前記非有効通気部は、前記回転方向に垂直な方向に階段状に形成されていることを特徴とする静圧気体軸受。 - 前記非有効通気部は、目止め処理により前記通気流量が抑制されていることを特徴とする請求項7記載の静圧気体軸受。
- 前記多孔質軸受面は、前記有効通気部がオーバーラップし、過通気流量を有するオーバーラップ部をさらに有することを特徴とする請求項7または8に記載の静圧気体軸受。
- 前記有効通気部は、四角形となる形状を有することを特徴とする請求項7ないし9のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
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