JPS6023941B2 - Ｘｙテーブル - Google Patents
ＸｙテーブルInfo
- Publication number
- JPS6023941B2 JPS6023941B2 JP18861582A JP18861582A JPS6023941B2 JP S6023941 B2 JPS6023941 B2 JP S6023941B2 JP 18861582 A JP18861582 A JP 18861582A JP 18861582 A JP18861582 A JP 18861582A JP S6023941 B2 JPS6023941 B2 JP S6023941B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- linear motor
- base
- main body
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、上下二層式のＸＹテーブルに係り、特に上層
テーブルを駆動するりニアモータの改良に関する。
テーブルを駆動するりニアモータの改良に関する。
一般的な上下二層構造のＸＹテーブルにおいては、近時
高速、高精度の要求を満足するために、テーブル駆動源
としてリニアモータ（リニア直流モータ）が多用される
。
高速、高精度の要求を満足するために、テーブル駆動源
としてリニアモータ（リニア直流モータ）が多用される
。
ここで問題となるのが、上層テーブル駆動用リニアモー
タの配置構造である。何故なら、たとえば推力が１０ｋ
９程度のものでも、その重量が１０ｋ９以上もあり、配
置次第では高速、高精度が損われる。１つの手段として
上記ＩＪニァモータを下層テーブルに戦置固定すること
が考られる。
タの配置構造である。何故なら、たとえば推力が１０ｋ
９程度のものでも、その重量が１０ｋ９以上もあり、配
置次第では高速、高精度が損われる。１つの手段として
上記ＩＪニァモータを下層テーブルに戦置固定すること
が考られる。
しかるにこの場合は、下層テーブルにリニアモータの荷
重が全てかかるから、テーフルの動きが悪くなり、採用
でき難い。別の手段として、上記りニアモータを上下層
テーブルを支持するベースに戦層固定することが考えら
れる。上記ベースには当然、下層テーブル駆動用の１」
ニァモータも敦層固定される。この場合は各テーブルの
動きが損われなくて好都合である。第１図はその具体的
構成を示す。
重が全てかかるから、テーフルの動きが悪くなり、採用
でき難い。別の手段として、上記りニアモータを上下層
テーブルを支持するベースに戦層固定することが考えら
れる。上記ベースには当然、下層テーブル駆動用の１」
ニァモータも敦層固定される。この場合は各テーブルの
動きが損われなくて好都合である。第１図はその具体的
構成を示す。
図中１はベース、２はＸ軸ＩＪニアモータ、３は補助ベ
ース、４はＸテーフル、５はＹテーフル、６はＹ軸リニ
アモータ、７は補助ベース、８は接続テーブルである。
このように各リニアモータ２，６をベース１に固定する
場合は、接続テーブル８が必要である。接続テーブル８
はＹ触ＩＪニアモータコィルボビン９を保持し、その動
きを直接案内するとともにＹテーブル５から延長するア
ーム５ａの後端部と×方向で滑動しなければならない。
したがって、上記酸続テーブル８もＸＹ方向に移動する
一種のＸＹテーブルと言える。
ース、４はＸテーフル、５はＹテーフル、６はＹ軸リニ
アモータ、７は補助ベース、８は接続テーブルである。
このように各リニアモータ２，６をベース１に固定する
場合は、接続テーブル８が必要である。接続テーブル８
はＹ触ＩＪニアモータコィルボビン９を保持し、その動
きを直接案内するとともにＹテーブル５から延長するア
ーム５ａの後端部と×方向で滑動しなければならない。
したがって、上記酸続テーブル８もＸＹ方向に移動する
一種のＸＹテーブルと言える。
このため、部品点数の増加、設置面積の増大、２組のＸ
Ｙテーブルの組立てにおけるそれぞれの直角度を出すた
めの高精度加工など、種々のコストアップ条件が重さな
る。〔発明の目的〕 本発明は上記事情に着目してなされたものであり、その
目的とするところは、部品点数の低減化と、設置面積の
縮４・化および組立作業の簡単化を図り、高速、高精度
を保持するＸＹテーブルを提供しようとするものである
。
Ｙテーブルの組立てにおけるそれぞれの直角度を出すた
めの高精度加工など、種々のコストアップ条件が重さな
る。〔発明の目的〕 本発明は上記事情に着目してなされたものであり、その
目的とするところは、部品点数の低減化と、設置面積の
縮４・化および組立作業の簡単化を図り、高速、高精度
を保持するＸＹテーブルを提供しようとするものである
。
本発明は、上層テーブルの駆動に用いられるリニアモー
タを、上層テーブルに固着される可動コイル部と、ベー
スに固定される本体とからなり、上記可動コイル部は、
本体の鞠方向に沿って進退駆動するとともに鞠方向とは
直交する方向に移動自在であるよう構成したもである。
タを、上層テーブルに固着される可動コイル部と、ベー
スに固定される本体とからなり、上記可動コイル部は、
本体の鞠方向に沿って進退駆動するとともに鞠方向とは
直交する方向に移動自在であるよう構成したもである。
〔発明の実施例〕以下、本発明の一実施例を第２図およ
び第３図にもとづいて説明する。
び第３図にもとづいて説明する。
図中１０はベースである。このべ−ス１０上には、補助
ベース１１が重ね合せて固定されるとともにＸ軸リニア
モーター２とＹ軸リニアモー夕１３とが戦直間定される
。これらＸ軸、Ｙ軸リニアモータ１２，１３のそれぞれ
軸方向は補助ベース１１に対してＸ−Ｙ方向に向い合っ
ている。上記補助ベース１１上面には×軸方向にすべり
案内加工がなされ、ここにすべり溝を有する下層テーブ
ルであるＸテーブル１４が摺動自在に重ね合される。こ
のＸテーブル１４の端面に上記×鞠リニアモーター２の
一端面から突出する可動コイル部１２ａが固着される。
なおＸ軸リニアモーター２の他端面からＸ軸タコゼネレ
ーション１２ｂが突出し、この突出量から上許可動コイ
ル部１２ａの進退量を計れるようになっている。Ｘテー
ブル１４の上面はＹ軸方向にすべり案内加工され、ここ
にすべり溝を有する上層テーブルであるＹテーブル１５
が摺動自在に鉄合する。このＹテーブル１５の端面に後
述するＹ軸リニアモータ１３の可動コイル部１７が固着
される。すなわち、Ｙ軸ＩＪニアモータ１３は断面矩形
枠状の本体１８の上下内面にそれぞれ永久磁石１９，１
９が取着され、これらの間にはセンタョーク２０が間隙
を存して設けられる。永久磁石１９，１９とセンタョー
ク２０との間隙には断面矩形枠状の上記可動コイル部１
７が介在する。この可動コイル部１７は、本体１８から
突出する端面が閉塞し、本体１８の奥側端面が開○して
上記センタョーク２０を囲綾するコイルボビン１７ａと
、このコイルボビン１７ａの開口端部側周面に巻装され
るコイル１７ｂとからなる。しかもコイルボビン１７ａ
の幅方向の寸法１，は、上記センタョーク２０の幅方向
の寸法ｌ２よりもはるかに大である。このため可動コイ
ル部１７は本体１８の幅方向に沿って進退駆動できると
ともに鞠方向とは直交する方向である幅方向に移動自在
である。幅方向は、すなわち×テーブル１４が移動する
×方向である。なお、Ｙテ−ブルー５上の隔部にはＸ軸
用プレーンミラー２１と、Ｙ軸用プレーンミラー２２が
載設されていて、これらにはそれぞれ図示しないレーザ
側長機からの光を反射し、離間して設けられたィンタ−
フェロメータ２３，２４との距離を測定できるようにな
っている。
ベース１１が重ね合せて固定されるとともにＸ軸リニア
モーター２とＹ軸リニアモー夕１３とが戦直間定される
。これらＸ軸、Ｙ軸リニアモータ１２，１３のそれぞれ
軸方向は補助ベース１１に対してＸ−Ｙ方向に向い合っ
ている。上記補助ベース１１上面には×軸方向にすべり
案内加工がなされ、ここにすべり溝を有する下層テーブ
ルであるＸテーブル１４が摺動自在に重ね合される。こ
のＸテーブル１４の端面に上記×鞠リニアモーター２の
一端面から突出する可動コイル部１２ａが固着される。
なおＸ軸リニアモーター２の他端面からＸ軸タコゼネレ
ーション１２ｂが突出し、この突出量から上許可動コイ
ル部１２ａの進退量を計れるようになっている。Ｘテー
ブル１４の上面はＹ軸方向にすべり案内加工され、ここ
にすべり溝を有する上層テーブルであるＹテーブル１５
が摺動自在に鉄合する。このＹテーブル１５の端面に後
述するＹ軸リニアモータ１３の可動コイル部１７が固着
される。すなわち、Ｙ軸ＩＪニアモータ１３は断面矩形
枠状の本体１８の上下内面にそれぞれ永久磁石１９，１
９が取着され、これらの間にはセンタョーク２０が間隙
を存して設けられる。永久磁石１９，１９とセンタョー
ク２０との間隙には断面矩形枠状の上記可動コイル部１
７が介在する。この可動コイル部１７は、本体１８から
突出する端面が閉塞し、本体１８の奥側端面が開○して
上記センタョーク２０を囲綾するコイルボビン１７ａと
、このコイルボビン１７ａの開口端部側周面に巻装され
るコイル１７ｂとからなる。しかもコイルボビン１７ａ
の幅方向の寸法１，は、上記センタョーク２０の幅方向
の寸法ｌ２よりもはるかに大である。このため可動コイ
ル部１７は本体１８の幅方向に沿って進退駆動できると
ともに鞠方向とは直交する方向である幅方向に移動自在
である。幅方向は、すなわち×テーブル１４が移動する
×方向である。なお、Ｙテ−ブルー５上の隔部にはＸ軸
用プレーンミラー２１と、Ｙ軸用プレーンミラー２２が
載設されていて、これらにはそれぞれ図示しないレーザ
側長機からの光を反射し、離間して設けられたィンタ−
フェロメータ２３，２４との距離を測定できるようにな
っている。
これらの作用により、高精度のテ−プル位置決めができ
る。また上記×テーブル１４上の隅部にはＹ軸タコゼネ
レータ２５が載遣されていて、その先端部はＹテーフル
１５の側面に敬着された基準片２６に当接している。Ｙ
軸タコゼネレータ２５は、Ｙ軸リニアモーター３の可動
コイル部１７の進退量を計れるようになっている。つぎ
に、このようにして構成されたＸＹテーフルの作用につ
いて説明する。
る。また上記×テーブル１４上の隅部にはＹ軸タコゼネ
レータ２５が載遣されていて、その先端部はＹテーフル
１５の側面に敬着された基準片２６に当接している。Ｙ
軸タコゼネレータ２５は、Ｙ軸リニアモーター３の可動
コイル部１７の進退量を計れるようになっている。つぎ
に、このようにして構成されたＸＹテーフルの作用につ
いて説明する。
Ｘテーブル１４を移動するにはＸ軸りニアモータ１２に
通電すればよい。可動コイル部１２ａは通電量に応じて
進退し、かつその移動量をプレンミラー２１とィンタフ
ェロメータ２４から検知してＸ軸ＩＪニアモー夕１２を
制御する。Ｙテーブル１５を移動するにはＹ軸リニアモ
ータ１３に通電すればよい。可動コイル部１７は通電量
に応じて進退し、かつその移動量をプレンミラー２２と
インクフェロメータ２３から検知してＹ軸りニアモータ
１３を制御する。またこの可動コイル部１７は×方向に
も移動自在であるから、Ｙテーブル１５がＸ方向へ移動
する際に何らの支障にもならない。しかも可動コイル部
１７の重量はごくわずか（数１０雌）であるから、Ｙテ
ーブル１５にかかる荷重が少く、移動動作に影響がほと
んどない。したがって、Ｘ，Ｙテーブル１４，１５とも
高速で、かつ高精度の位置決めを得る。なお上誌実施例
においては、Ｘテーブル１４を下層、Ｙテーブル１５を
上層としたが、互いに逆にしてもよい。
通電すればよい。可動コイル部１２ａは通電量に応じて
進退し、かつその移動量をプレンミラー２１とィンタフ
ェロメータ２４から検知してＸ軸ＩＪニアモー夕１２を
制御する。Ｙテーブル１５を移動するにはＹ軸リニアモ
ータ１３に通電すればよい。可動コイル部１７は通電量
に応じて進退し、かつその移動量をプレンミラー２２と
インクフェロメータ２３から検知してＹ軸りニアモータ
１３を制御する。またこの可動コイル部１７は×方向に
も移動自在であるから、Ｙテーブル１５がＸ方向へ移動
する際に何らの支障にもならない。しかも可動コイル部
１７の重量はごくわずか（数１０雌）であるから、Ｙテ
ーブル１５にかかる荷重が少く、移動動作に影響がほと
んどない。したがって、Ｘ，Ｙテーブル１４，１５とも
高速で、かつ高精度の位置決めを得る。なお上誌実施例
においては、Ｘテーブル１４を下層、Ｙテーブル１５を
上層としたが、互いに逆にしてもよい。
この場合にはＸテーブル１４側に軸方向とは直交する方
向に移動自在なりニアモータ１３の可動コイル部１７を
固着することになる。また、Ｙ軸リニアモーター３の本
体１８および可動コイル部１７をそれぞれ断面矩形枠体
としたが、これに限定されるものではなく、たとえば断
面長方円形状であってもよい。
向に移動自在なりニアモータ１３の可動コイル部１７を
固着することになる。また、Ｙ軸リニアモーター３の本
体１８および可動コイル部１７をそれぞれ断面矩形枠体
としたが、これに限定されるものではなく、たとえば断
面長方円形状であってもよい。
要は可動コイル部が鼠方向とは直交する方向に移動自在
であればよい。〔発明の効果〕 本発明は以上説明した通りであり、従来のような接続テ
ーブルが不要となり、この部分の重さと摩擦抵抗の負荷
が駆動用のＩＪニアモータにかからずにすみ、テーブル
の高速動作性の向上化を得るとともに組立作業が容易化
して高精度を得る。
であればよい。〔発明の効果〕 本発明は以上説明した通りであり、従来のような接続テ
ーブルが不要となり、この部分の重さと摩擦抵抗の負荷
が駆動用のＩＪニアモータにかからずにすみ、テーブル
の高速動作性の向上化を得るとともに組立作業が容易化
して高精度を得る。
さらに必要な設置面積が縮小し、コンパクト化を得るな
どの種々の効果を奏する。
どの種々の効果を奏する。
第１図は本発明の従来例を示すＸＹテーブルの斜視図、
第２図は本発明の一実施例を示すＸＹテーブルの斜視図
、第３図は上層テーブル駆動用リニアモータの縦断面図
である。 １０……ベース、１４……×（下層）テーフル、１５・
・・・・・Ｙ（上層）テーフル、１３・・・・・・（上
層テーブル駆動用）リニアモータ、１８……本体、１７
・・・・・・可動コイル部。 第１図 第２図 第３図
第２図は本発明の一実施例を示すＸＹテーブルの斜視図
、第３図は上層テーブル駆動用リニアモータの縦断面図
である。 １０……ベース、１４……×（下層）テーフル、１５・
・・・・・Ｙ（上層）テーフル、１３・・・・・・（上
層テーブル駆動用）リニアモータ、１８……本体、１７
・・・・・・可動コイル部。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- １ ベース上に上下二層に重ね合わせたＸＹテーブルを
それぞれリニアモータで駆動するものにおいて、上層テ
ーブルの駆動に用いられるリニアモータは、上記ベース
に載置固定される本体と、この本体の軸方向に沿つて進
退自在に駆動される上層テーブルに設けられた可動コイ
ル部とからなり、上記可動コイル部は、本体の軸方向と
は直交する方向に移動自在であることを特徴とするＸＹ
テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18861582A JPS6023941B2 (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | Ｘｙテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18861582A JPS6023941B2 (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | Ｘｙテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5976745A JPS5976745A (ja) | 1984-05-01 |
| JPS6023941B2 true JPS6023941B2 (ja) | 1985-06-10 |
Family
ID=16226773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18861582A Expired JPS6023941B2 (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | Ｘｙテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6023941B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62141402U (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-07 | ||
| DE19945584A1 (de) * | 1999-09-23 | 2001-03-29 | Siat Gmbh Technologiepark | Mehrdimensionaler Antrieb für Arbeitsmaschinen |
| JP5100346B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2012-12-19 | スターテクノ株式会社 | エアバックティアライン形成装置 |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP18861582A patent/JPS6023941B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5976745A (ja) | 1984-05-01 |
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