JPS6155707A - ２軸位置決め装置 - Google Patents
２軸位置決め装置Info
- Publication number
- JPS6155707A JPS6155707A JP17770684A JP17770684A JPS6155707A JP S6155707 A JPS6155707 A JP S6155707A JP 17770684 A JP17770684 A JP 17770684A JP 17770684 A JP17770684 A JP 17770684A JP S6155707 A JPS6155707 A JP S6155707A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- linear motor
- guide stator
- motor
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D3/00—Control of position or direction
- G05D3/12—Control of position or direction using feedback
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は計測・制御機器、事務機器、産業機器などの分
野に用いることのできるｘＹプロッタやＸＹテーブルな
どの２軸位置決め装置に関する。
野に用いることのできるｘＹプロッタやＸＹテーブルな
どの２軸位置決め装置に関する。
従来例の構成とその問題点
従来リニアモータを用いた２軸位置決め装置は、Ｗ、１
図にその具体的構成例を示すように、矢印Ｘ方向に沿っ
て配設固定された案内固定子１ｓ と案内固定子１ｓ
に案内される可動子１Ｍとを備えたりリニアモータ１Ｌ
と、案内固定子１ｓ と所定間隔をあけて平行に配
設固定された案内固定子２ｓと案内固定子２ｓ に案内
される可動子２Ｍとを備えたリニアモータ２Ｌと、矢印
Ｙ方向に沿い、かつ可動子１Ｍ・２Ｍに両端を固定支持
された案内固定子３ｓに案内される可動子３Ｍとを備え
たリニアモータ３Ｌとにより構成され、可動子３Ｍに取
り付けられた２軸位置決め制御対象３Ｐを位置決□めす
る。
図にその具体的構成例を示すように、矢印Ｘ方向に沿っ
て配設固定された案内固定子１ｓ と案内固定子１ｓ
に案内される可動子１Ｍとを備えたりリニアモータ１Ｌ
と、案内固定子１ｓ と所定間隔をあけて平行に配
設固定された案内固定子２ｓと案内固定子２ｓ に案内
される可動子２Ｍとを備えたリニアモータ２Ｌと、矢印
Ｙ方向に沿い、かつ可動子１Ｍ・２Ｍに両端を固定支持
された案内固定子３ｓに案内される可動子３Ｍとを備え
たリニアモータ３Ｌとにより構成され、可動子３Ｍに取
り付けられた２軸位置決め制御対象３Ｐを位置決□めす
る。
第１図の２軸位置決め装置では、案内固定子１ｓと２８
が厳密に平行に配設されていない又は案内固定子１ｓ
もしくは案内固定子２ｓあるいは両方とも湾曲してい
る場合、案内固定子１ｓ と可動子１Ｍ及び案内固定
子２ｓと可動子２Ｍの間に、圧力もしくは張力が働き、
リニアモータ１Ｌ 及び２Ｌの正常な動作が防げられ
る。
が厳密に平行に配設されていない又は案内固定子１ｓ
もしくは案内固定子２ｓあるいは両方とも湾曲してい
る場合、案内固定子１ｓ と可動子１Ｍ及び案内固定
子２ｓと可動子２Ｍの間に、圧力もしくは張力が働き、
リニアモータ１Ｌ 及び２Ｌの正常な動作が防げられ
る。
可動子の移動を円滑に行うには、平行度や湾曲度を数μ
ｍ〜数１０μｍにおさえる必要があシ、精度的に非常に
高いものが要求され量産性やコストに重大な影響がある
。
ｍ〜数１０μｍにおさえる必要があシ、精度的に非常に
高いものが要求され量産性やコストに重大な影響がある
。
発明の目的
本発明の目的゛は、従来のこうした問題点を除去し、リ
ニアモータを用いた２軸位置決め装置の性能を向上させ
、量産性を向上させることである。
ニアモータを用いた２軸位置決め装置の性能を向上させ
、量産性を向上させることである。
発明の構成
本発明の２軸位置決め装置は、第１の軸方向に沿って配
設固定された第１の案内固定子部材と、この第１の案内
固定子部材に対して僅かな一定空隙を維持しつつ、この
部材に案内されて前記第１の軸方向に直線的に移動可能
な第１の可動子とを備え、第１の案内固定子部材と、第
１の可動子との間に構成される磁気回路で推力を得るよ
うな第１のＩＪ ニアモータと、前記第１の案内固定子
部材と所定の間隔をあけて第１の軸方向と平行に配設固
定された第２の案内固定子と、この第２の案内固定子部
材に案内されて第１の軸方向に移動可能な第２の可動子
とを備え、上記第１のリニアモータと同様の構成の第２
のリニアモータと、前記第１の軸と交差する第２の軸方
向に沿い、かつ前記第１の可動子に一端を固定支持され
、第２の可動子に他端が第２の軸方向に移動可能に支持
された第３の案内固定子部材と、この第３の案内固定子
部材に案内されて前記第２の軸方向に直線的に移動可能
な第３の可動子とを備え、上記第１のリニアモータと同
様の構成の第３のリニアモータと、この第３のリニアモ
ータの第３の可動子に取り付けられたこ軸位置決め制御
対象から構成したものである。
設固定された第１の案内固定子部材と、この第１の案内
固定子部材に対して僅かな一定空隙を維持しつつ、この
部材に案内されて前記第１の軸方向に直線的に移動可能
な第１の可動子とを備え、第１の案内固定子部材と、第
１の可動子との間に構成される磁気回路で推力を得るよ
うな第１のＩＪ ニアモータと、前記第１の案内固定子
部材と所定の間隔をあけて第１の軸方向と平行に配設固
定された第２の案内固定子と、この第２の案内固定子部
材に案内されて第１の軸方向に移動可能な第２の可動子
とを備え、上記第１のリニアモータと同様の構成の第２
のリニアモータと、前記第１の軸と交差する第２の軸方
向に沿い、かつ前記第１の可動子に一端を固定支持され
、第２の可動子に他端が第２の軸方向に移動可能に支持
された第３の案内固定子部材と、この第３の案内固定子
部材に案内されて前記第２の軸方向に直線的に移動可能
な第３の可動子とを備え、上記第１のリニアモータと同
様の構成の第３のリニアモータと、この第３のリニアモ
ータの第３の可動子に取り付けられたこ軸位置決め制御
対象から構成したものである。
実施例の説明
以下、第１の軸をＸ軸、第２の軸をＹ軸として本発明の
詳細な説明する。
詳細な説明する。
本発明は、Ｘ軸方向に２つのリニアモータ、Ｙ軸方向に
１つのリニアモータを用い、Ｙ軸ＩＪニアモータの案内
固定子部材の一端は一方のＸ軸すニアモータの可動子に
固定支持され、他端は他方のＸ軸すニアモータの可動子
にＹ方向に摺動可能に支持されるように構成される。
１つのリニアモータを用い、Ｙ軸ＩＪニアモータの案内
固定子部材の一端は一方のＸ軸すニアモータの可動子に
固定支持され、他端は他方のＸ軸すニアモータの可動子
にＹ方向に摺動可能に支持されるように構成される。
以下Ｙ軸すニアモータの案内固定子の移動可能な支持機
構について、図面を参照にしながら説明するＯ 第２図は本発明の２軸位置決め装置の第１の実施例の主
要部斜視図であシ、１ｓはＸ軸すニアモータの案内固定
子、３ｓはＹ軸すニアモータの案内固定子、１ＭはＸ軸
すニアモータの可動子である。
構について、図面を参照にしながら説明するＯ 第２図は本発明の２軸位置決め装置の第１の実施例の主
要部斜視図であシ、１ｓはＸ軸すニアモータの案内固定
子、３ｓはＹ軸すニアモータの案内固定子、１ＭはＸ軸
すニアモータの可動子である。
４はＸ軸すニアモータの可動子に設けられた突起であシ
、これをＹ軸すニアモータの案内固定子３ｓの一端に設
けられた溝にかみ合わせることによって、Ｘ軸すニアモ
ータの可動子はＹ軸すニアモータの案内固定子を支持す
る。第２図の様な支持機構を用いることによシ、Ｘ軸す
ニアモータの可動子１Ｍに対して、Ｙ軸すニアモータの
案内固定子３ｓはＹ方向に摺動可能である。
、これをＹ軸すニアモータの案内固定子３ｓの一端に設
けられた溝にかみ合わせることによって、Ｘ軸すニアモ
ータの可動子はＹ軸すニアモータの案内固定子を支持す
る。第２図の様な支持機構を用いることによシ、Ｘ軸す
ニアモータの可動子１Ｍに対して、Ｙ軸すニアモータの
案内固定子３ｓはＹ方向に摺動可能である。
第３図は本発明の２軸位置決め装置の第２の実施例の主
要部斜視図であり、ＩＳはＸ軸すニアモータの案内固定
子、１ＭはＸ軸すニアモータの可動子、３ｓはＹ軸すニ
アモータの案内固定子、５ａ。
要部斜視図であり、ＩＳはＸ軸すニアモータの案内固定
子、１ＭはＸ軸すニアモータの可動子、３ｓはＹ軸すニ
アモータの案内固定子、５ａ。
５ｂはそれぞれＸ軸すニアモータの可動子１Ｍに設けら
れた突起である。突起ｓａ、ｓｂをＹ軸すニアモータの
可動子に設けられた２本の溝にかみ合わせることによっ
て、Ｙ軸ＩＪ ニアモータの案内固定子を支持する。第
３図のような支持機構を用いることにより、Ｘ軸すニア
モータの可動子１Ｍに対して、Ｙ軸すニアモータの案内
固定子３ｓはＹ方向に摺動可能で、かつＹ軸すニアモー
タの案内固定子３ｓの摺動可能な支持部を中心とするＸ
’＋７平面での回転は規制される。
れた突起である。突起ｓａ、ｓｂをＹ軸すニアモータの
可動子に設けられた２本の溝にかみ合わせることによっ
て、Ｙ軸ＩＪ ニアモータの案内固定子を支持する。第
３図のような支持機構を用いることにより、Ｘ軸すニア
モータの可動子１Ｍに対して、Ｙ軸すニアモータの案内
固定子３ｓはＹ方向に摺動可能で、かつＹ軸すニアモー
タの案内固定子３ｓの摺動可能な支持部を中心とするＸ
’＋７平面での回転は規制される。
第４図は本発明の２軸位置決め装置の第３の実施例の主
要部斜視図であシ、１ｓはＸ軸１／ ニアモータの案内
固定子、１ＭはＸ軸＋７ ニアモータの可動子、３ｓは
Ｙ軸ＩＪ ニアモータの案内固定子、ｓａ、ａｂはそれ
ぞれＸ軸すニアモータ可動子１Ｍに設けられたベアリン
グである。ベアリングｅａ、ｅｂはＹ軸すニアモータの
案内固定子３ｓをはさみ、これを支持する。第３図のよ
うな支持機構を用いることにより、Ｘ軸すニアモータの
可動子１Ｍに対してＹ軸すニアモータの固定子３ｓはＹ
軸方向になめらかに摺動可能で、かつＹ軸すニアモータ
の案内固定子３ｓのＸ軸方向に摺動可能な支持部を中心
とするＸＹ平面での回転は規制される。
要部斜視図であシ、１ｓはＸ軸１／ ニアモータの案内
固定子、１ＭはＸ軸＋７ ニアモータの可動子、３ｓは
Ｙ軸ＩＪ ニアモータの案内固定子、ｓａ、ａｂはそれ
ぞれＸ軸すニアモータ可動子１Ｍに設けられたベアリン
グである。ベアリングｅａ、ｅｂはＹ軸すニアモータの
案内固定子３ｓをはさみ、これを支持する。第３図のよ
うな支持機構を用いることにより、Ｘ軸すニアモータの
可動子１Ｍに対してＹ軸すニアモータの固定子３ｓはＹ
軸方向になめらかに摺動可能で、かつＹ軸すニアモータ
の案内固定子３ｓのＸ軸方向に摺動可能な支持部を中心
とするＸＹ平面での回転は規制される。
前記第１．第２．第３の実施例は、Ｘ軸すニアモータの
可動子１Ｍが、Ｙ軸すニアモータの案内固定子３ｓを支
持する支持機構が、Ｙ軸すニアモータの案内固定子３ｓ
のＸ軸すニアモータの可動子１Ｍに対する移動機構を有
している点を説明しているので、Ｙ軸ＩＪ ニアモータ
の案内固定子３ｓのＸＹ平面に垂直方向の支持方法は省
略している。
可動子１Ｍが、Ｙ軸すニアモータの案内固定子３ｓを支
持する支持機構が、Ｙ軸すニアモータの案内固定子３ｓ
のＸ軸すニアモータの可動子１Ｍに対する移動機構を有
している点を説明しているので、Ｙ軸ＩＪ ニアモータ
の案内固定子３ｓのＸＹ平面に垂直方向の支持方法は省
略している。
第５図は本発明の２軸位置決め装置の第４の実施例の主
要部斜視図であシ、１ｓはＸ軸モータの案内固定子、１
Ｍ はＸ軸ＩＪ ニアモータの可動子、３ｓはＹ軸すニ
アモータの案内固定子、了は支持部材である。支持部材
７はその両端部でＸ軸すニアモータの可動子１Ｍにビス
ｓａ、ｓｂによシ固定支持され°ておシ、Ｙ軸すニアモ
ータの案内固定子３ｓは支持部材７にビス９ａ、９ｂに
よシ固定支持されている。支持部材７に適度な可撓性を
持つ喪材質を用いることによシ、Ｙ軸すニアモータの案
内固定子３ｓはＸ軸すニアモータの可動子１Ｍに対して
Ｙ方向に移動可能であり、又支持部材アの形状により、
Ｙ軸すニアモータの案内固定子の支持部材７による支持
部を中心とするＸＹ平面での回転と、前記支持部のＸ方
向の移動は、支持部材７の剛性が高いため規制され、さ
らに支持機構が簡単である。
要部斜視図であシ、１ｓはＸ軸モータの案内固定子、１
Ｍ はＸ軸ＩＪ ニアモータの可動子、３ｓはＹ軸すニ
アモータの案内固定子、了は支持部材である。支持部材
７はその両端部でＸ軸すニアモータの可動子１Ｍにビス
ｓａ、ｓｂによシ固定支持され°ておシ、Ｙ軸すニアモ
ータの案内固定子３ｓは支持部材７にビス９ａ、９ｂに
よシ固定支持されている。支持部材７に適度な可撓性を
持つ喪材質を用いることによシ、Ｙ軸すニアモータの案
内固定子３ｓはＸ軸すニアモータの可動子１Ｍに対して
Ｙ方向に移動可能であり、又支持部材アの形状により、
Ｙ軸すニアモータの案内固定子の支持部材７による支持
部を中心とするＸＹ平面での回転と、前記支持部のＸ方
向の移動は、支持部材７の剛性が高いため規制され、さ
らに支持機構が簡単である。
発明の効果
Ｘ軸方向の２つのリニアモータと、案内固定子の両端が
それぞれＸ軸方向のリニアモータの可動子に支持された
Ｙ方向のリニアモータによって構成される２軸位置決め
装置において、Ｙ軸すニアモータの案内固定子の一端を
一方のＸ軸すニアモ持する支持機構を具備することによ
り、２つのＸ軸すニアモータの案内固定子の平行度が十
分量ていない場合や、Ｘ軸ＩＪ ニアモータの案内固定
子が湾曲している場合にも、Ｘ軸すニアモータのこぜシ
をなくすことができるので、２つのＸ軸すニアモータの
なめらかで正常の動作を実現することが可能である。す
なわち、２つのＸ軸すニアモータの案内固定子を厳密に
平行に配設する必要がなく、かつＸ軸案内固定子の国体
への取付精度や、２つのＸ軸案内固定子の国体への取付
部の加工精度及び、長手方向の直線度への要求が大幅に
緩和される。
それぞれＸ軸方向のリニアモータの可動子に支持された
Ｙ方向のリニアモータによって構成される２軸位置決め
装置において、Ｙ軸すニアモータの案内固定子の一端を
一方のＸ軸すニアモ持する支持機構を具備することによ
り、２つのＸ軸すニアモータの案内固定子の平行度が十
分量ていない場合や、Ｘ軸ＩＪ ニアモータの案内固定
子が湾曲している場合にも、Ｘ軸すニアモータのこぜシ
をなくすことができるので、２つのＸ軸すニアモータの
なめらかで正常の動作を実現することが可能である。す
なわち、２つのＸ軸すニアモータの案内固定子を厳密に
平行に配設する必要がなく、かつＸ軸案内固定子の国体
への取付精度や、２つのＸ軸案内固定子の国体への取付
部の加工精度及び、長手方向の直線度への要求が大幅に
緩和される。
上記のような効果によシ２軸位置決め装置を製品化する
場合、安定した性能が得られ、又組立作業性が向上し、
作業コスト、部品コストを下げることができる。
場合、安定した性能が得られ、又組立作業性が向上し、
作業コスト、部品コストを下げることができる。
第１図は従来のリニアモータを用い７’（２軸位置決め
装置の概略斜視図、第２図は本発明の一実施例による２
軸位置決め装置の要部斜視図、第３図。 第４図、第５図はそれぞれ本発明の他の実施例における
要部の斜視図である。 １ｓ・・・・・・案内固定子、１Ｍ・・・・・・可動子
、１Ｌ・・・・・・第１のＸ軸すニアモータ、２ｓ・・
・・・・案内固定子、２Ｍ・・・・・・可動子、２Ｌ・
・・・・・第２のＸ軸すニアモータ、３ｓ・・・・・・
案内固定子、３Ｍ・・・・・・可動子、３Ｌ・・・・・
・Ｙ軸すニアモータ、３Ｐ・・・・・・２軸位置決め制
御対象、ａ 、５ａ 、ｓｂ・・・・・・突起、６ａ、
６ｂ・・・・・・ベアリング、７・・・・・・支持部材
、８ａ 、ｓｂ 、９ａ 。 ９ｂ・・・・・・ビス。
装置の概略斜視図、第２図は本発明の一実施例による２
軸位置決め装置の要部斜視図、第３図。 第４図、第５図はそれぞれ本発明の他の実施例における
要部の斜視図である。 １ｓ・・・・・・案内固定子、１Ｍ・・・・・・可動子
、１Ｌ・・・・・・第１のＸ軸すニアモータ、２ｓ・・
・・・・案内固定子、２Ｍ・・・・・・可動子、２Ｌ・
・・・・・第２のＸ軸すニアモータ、３ｓ・・・・・・
案内固定子、３Ｍ・・・・・・可動子、３Ｌ・・・・・
・Ｙ軸すニアモータ、３Ｐ・・・・・・２軸位置決め制
御対象、ａ 、５ａ 、ｓｂ・・・・・・突起、６ａ、
６ｂ・・・・・・ベアリング、７・・・・・・支持部材
、８ａ 、ｓｂ 、９ａ 。 ９ｂ・・・・・・ビス。
Claims (1)
- 第１の軸方向に沿って配設固定された第１の案内固定子
部材と、この第１の案内固定子部材に対して僅かな一定
空隙を維持しつつ、この部材に案内されて前記第１の軸
方向に直線的に移動可能な第１の可動子とを備え、第１
の案内固定子部材と、第１の可動子との間に構成される
磁気回路で推力を得るような第１のリニアモータと、前
記第１の案内固定子部材と所定の間隔をあけて第１の軸
方向と平行に配設固定された第２の案内固定子と、この
第２の案内固定子部材に案内されて第１の軸方向に移動
可能な第２の可動子とを備え、上記第１のリニアモータ
と同様の構成の第２のリニアモータと、前記第１の軸と
交差する第２の軸方向に沿いかつ前記第１の可動子に一
端を固定支持され第２の可動子に他端が第２の軸方向に
移動可能に支持された第３の案内固定子部材と、この第
３の案内固定子部材に案内されて前記第２の軸方向に直
線的に移動可能な第３の可動子とを備え、上記第１のリ
ニアモータと同様の構成の第３のリニアモータと、この
第３のリニアモータの第３の可動子に取り付けられた２
軸位置決め制御対象から成る２軸位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17770684A JPS6155707A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | ２軸位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17770684A JPS6155707A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | ２軸位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6155707A true JPS6155707A (ja) | 1986-03-20 |
Family
ID=16035679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17770684A Pending JPS6155707A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | ２軸位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6155707A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03243199A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 位置決め装置 |
| JP2002305894A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-18 | Shinko Electric Co Ltd | 移動体システム |
| JP2011161558A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Kreuz:Kk | ツイストスライド機構及びロボット |
-
1984
- 1984-08-27 JP JP17770684A patent/JPS6155707A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03243199A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 位置決め装置 |
| JP2002305894A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-18 | Shinko Electric Co Ltd | 移動体システム |
| JP2011161558A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Kreuz:Kk | ツイストスライド機構及びロボット |
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