DE19945584A1 - Mehrdimensionaler Antrieb für Arbeitsmaschinen - Google Patents

Abstract

Um für eine Arbeitsmaschine wie z. B. Positioniergerät, Mischmaschine, Werkzeugmaschine oder dgl. mit wenigstens zweidimensionalem Antrieb ein Antriebssystem zu schaffen, das modular aufgebaut ist und das voneinander unabhängige Übertragungen der von den einzelenen Modulen eingeleiteten Bewegungen in die gewünschten Achsrichtungen ermöglicht, wird erfindungsgemäß ein Antriebssystem vorgeschlagen mit wenigstens zwei sich kreuzenden, unabhängig voneinander betreibbaren gleichartigen Linearantriebsmodulen (X-Achse, Y-Achse) mit jeweils einem ortsfesten Stator (10), in den ein Läufer (11) eintaucht, der als ein an einer Linearführung für die Linearbewegung in der X-Achse, Y-Achse etc. geführter Führungsschlitten (12) ausgebildet ist, der sich jeweils an einem axial wirkenden Federelement (14) mit gesteuerter Federkraft abstützt, wobei das X bzw. Y-Achsen- Linearantriebsmodul (2-D-Version) bzw. das Z-Achsen- Linearantriebsmodul (3-D-Version) bzw. der jeweilige Führungsschlitten mit der Arbeitsplattform bzw. mit dem Werkzeug in Wirkverbindung stehen.

Description

Die Erfindung betrifft ein System mit wenigstens zwei Linearmotoren für den wenigstens zweidimensionalen Antrieb der Arbeitsplattform bzw. des Werkzeuges einer Arbeitsmaschine wie z. B. Positionierge­ rät, Mischmaschine, Werkzeugmaschine oder dergl.

In der Technik gibt es viele Bedarfsfälle, bei denen eine Arbeitsplatt­ form, ein Arbeitspunkt, ein Bearbeitungswerkzeug etc. mehrdimensio­ nal ganz genau bewegt werden müssen, z. B. bei einem Lagerege­ lungs-Gerät bzw. Positioniergerät, auch Aktuator genannt. Außerdem gibt es viele Bedarfsfälle, bei denen eine Arbeitsplattform, ein Ar­ beitspunkt, ein Bearbeitungswerkzeug etc. in mehrdimensionale Schwingbewegungen versetzt werden müssen, z. B. bei Mischma­ schinen, Rüttelmaschinen oder auch bei bestimmten Werkzeugma­ schinen. Alle diese Geräte und Arbeitsmaschinen bedürfen eines An­ triebes, der die mehrdimensionalen Bewegungen ermöglicht.

Aus der DE-U 93 07 761.0 ist bereits ein Mischer mit einem Schwingantrieb für einen beweglich gelagerten Objektträger bekannt, der in allen drei Raumachsen, nämlich X-Achse, Y-Achse und Z- Achse in Schwingungen versetzbar ist. Dabei sind drei ineinander verschachtelte, mittels Blattfedern jeweils für sich schwingfähige Rahmen aufgehängt angeordnet, nämlich ein X-Rahmen, ein Y-Rah­ men und ein Z-Rahmen, an denen jeweils ein elektrischer Schwingantrieb angreift. Die drei Schwingrahmen, die untereinander nicht gleichartig, sondern unterschiedlich ausgebildet sind und die sich gegenseitig abstützen, übertragen ihre jeweilige Schwingbewe­ gung mittelbar auf den Objektträger mit dem Mischbehälter. Schon die Ungleichheit der drei Schwingrahmen, auch bezüglich ihres Mas­ senträgheitsmoments, erfordert eine stark unterschiedliche Behand­ lung bzw. Steuerung der drei Schwingantriebe, wodurch der Betrieb des bekannten Mischers hinsichtlich der Erzielbarkeit ganz bestimm­ ter gewünschter mehrdimensionaler Schwingbewegungen erschwert ist. Außerdem ist durch die Art der gegenseitigen Abstützung der drei Schwingrahmen beim bekannten Mischer die Gefahr nicht ausge­ schlossen, daß bei der Übertragung der unterschiedlichen Schwing­ bewegungen auf den Objektträger das Massenträgheitsmoment des einen Schwingrahmens die Bewegung des anderen Schwingrahmens und schließlich die Bewegung des Objektträgers beeinflußt, wodurch voneinander unabhängige mehrdimensionale Bewegungen des Objektträgers nicht mehr möglich sind.

Aus der DE-A-196 41 120 ist eine Vorrichtung zum Antrieb eines Werkzeuges, insbesondere zum Antrieb eines in der Zahnmedizin einsetzbaren Bohrmeißels bekannt, mit einem ersten und einem zweiten Schwingmotor, die elektrische Linearmotoren sein können und die an einer Taumelscheibe angreifen, die ihre Taumelbewegung über Bowdenzüge auf einen Werkzeugträger überträgt, so daß ein eingesetztes Werkzeug eine taumelnde schabende Bewegung zur Zahnbehandlung ausführen kann. Auch bei diesem Konzept eines mehrdimensionalen Antriebes sind die einzelnen Schwingantriebe bzw. Linearantriebe nicht untereinander gleichartig, und die Art der Kopplung der Schwingantriebe läßt voneinander unabhängige Bewe­ gungen und Bewegungsübertragungen auf das Werkzeug nicht zu.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, für eine Arbeitsma­ schine wie z. B. Positioniergerät, Mischmaschine, Werkzeugmaschine oder dergl. mit mehrdimensionalem, d. h. wenigstens zweidimensio­ nalem Antrieb ein Antriebssystem zu schaffen, das modular aufgebaut ist - somit kundenspezifische Aufgabenstellungen kostengünstig und schnell lösbar sind -, und das voneinander unabhängige Übertragun­ gen der von den einzelnen Modulen eingeleiteten Bewegungen in die gewünschten Achsrichtungen ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Antriebssystem mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Charakteristisch für das erfindungsgemäße Antriebssystem ist zu­ nächst einmal, daß es wenigstens zwei (2D-Antrieb), z. B. drei (3D- Antrieb) sich kreuzende Linearantriebsmodule aufweist, die unterein­ ander gleichartig sind, so daß das Antriebssystem modular aufgebaut ist, d. h. von einer 1D-Version in einfacher Weise bis zur 3D-Version erweitert werden kann, ohne die einzelnen Module irgendwie abän­ dern zu müssen. Die gleichartig ausgestalteten Linearantriebsmodule weisen auch entsprechend gleichartige physikalische Eigenschaften auf. Die einzelnen Linearantriebsmodule sind dabei nicht so mitein­ ander verbunden, daß die Linearbewegung des einen Linearantriebs­ moduls nur nach Überwindung der Massenträgheitsmomente auch des oder der anderen Linearantriebsmoduls/-module auf die Arbeits­ plattform bzw. das Werkzeug der Arbeitsmaschine übertragen werden kann, sondern die gleichartigen Linearantriebsmodule stehen derart untereinander sowie mit der Arbeitsplattform bzw. dem Werkzeug über jeweils wenigstens ein Kraftübertragungselement bzw. Kopp­ lungsmodul in Wirkverbindung, daß trotz Bewegungsüberlagerungen voneinander völlig unabhängige Bewegungsübertragungen von den einzelnen Linearantriebsmodulen auf die Arbeitsplattform bzw. das Werkzeug der Arbeitsmaschine realisierbar sind.

Die vorzugsweise mit Elektroenergie versorgten einzelnen Linearan­ triebsmodule weisen jeweils einen ortsfesten Stator auf, in den berüh­ rungslos ein Läufer eintaucht, der nach einem weiteren Merkmal der Erfindung als ein an einer Linearführung für die Linearbewegung in der X-Achse, Y-Achse etc. geführter Führungsschlitten ausgebildet ist, der sich jeweils an einem axial wirkenden Federelement mit ins­ besondere elektronisch gesteuerter Federkraft abstützt. Die linear beweglichen Führungsschlitten der Linearantriebsmodule stehen mit der Arbeitsplattform bzw. mit dem Werkzeug der Arbeitsmaschine in Wirkverbindung.

Jedenfalls kann beim erfindungsgemäßen Antriebssystem jeder der Linearmotoren seine Kräfte und Bewegungen jederzeit beliebig, aber unabhängig voneinander gesteuert, spielfrei auf die Arbeitsplattform bzw. das Werkzeug übertragen. In allen drei Raumachsen sind daher Lageregelungen, Positionieraufgaben, genau vektoriell gerichtete Im­ pulse, unendlich viele Varianten von Bewegungsabläufen und Rüttel­ bewegungen von Stoffen, die in Behältern der Arbeitsplattform ent­ halten sind, bei gleichzeitiger Messung verschiedener Stoffeigen­ schaften wie z. B. Viskosität, Gewicht etc. möglich, und zwar durch genau steuerbare reproduzierbare Bewegungsabläufe mit den jeweils veränderbaren Parametern Zeit, Amplitude, Kraft und Frequenz.

Dabei werden sehr starke räumlich gerichtete Impulse und hochfre­ quente dreidimensionale Bewegungsabläufe mit Frequenzen bis über ca. 1 kHz und Beschleunigungen bis über ca. 160 m/s² bei Amplitu­ den von z. B. plus/minus 15 mm (Gesamtweg also z. B. 30 mm) erreicht.

Das erfindungsgemäße Antriebssystem ermöglicht angewendet z. B. auf ein Positioniergerät eine präzise spielfreie Positionierung ohne Hysteresefehler, eine genaue Reproduzierbarkeit und vor allem eine hohe Dynamik der Kraft- und Bewegungsübertragung, da der Energieinhalt des Linearmotors jeweils eines Linearantriebsmoduls, bezogen auf seine Masse, sehr viel höher dimensioniert werden kann als bei bisher bekannten Antriebssystemen, wodurch hohe Leistungs­ gewichte erreichbar sind.

Die Erfindung und deren weitere Merkmale und Vorteile werden an­ hand der in den Figuren schematisch dargestellten Ausführungsbei­ spiele näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 die Draufsicht auf ein einzelnes Linearantriebsmodul des mo­ dular aufgebauten mehrdimensionalen Antriebssystems mit einer er­ sten Ausführungsform der Linearführung,

Fig. 2 die Seitenansicht auf das Linearantriebsmodul der Fig. 1,

Fig. 3 die Draufsicht auf ein Linearantriebsmodul mit einer zweiten Ausführungsform der Linearführung als Alternative zu Fig. 1,

Fig. 4 in perspektivischer schematischer Darstellung zwei sich kreu­ zende Linearantriebsmodule für einen wenigstens zweidimensionalen Antrieb,

Fig. 5 ebenfalls perspektivisch zwei sich kreuzende Linearantriebs­ module für den 2D-Antrieb einer Arbeitsplattform, die über Kraftüber­ tragungselemente mit den Linearantriebsmodulen in Wirkverbindung steht,

Fig. 6 perspektivisch ein zwischen zwei Linearantriebsmodulen (X- Achse und Y-Achse) eingesetztes Kraftübertragungselement bzw. Kopplungsmodul als Alternative zu den Kraftübertragungselementen der Fig. 5, und

Fig. 7 den 2D-Antrieb der Fig. 6 erweitert zu einem 3D-Antrieb.

Das Linearantriebsmodul der Fig. 1 und 2 weist einen ortsfesten Li­ nearmotor-Stator 10 auf, in den ein Läufer 11 eintaucht, der als ein an einer Linearführung für die Linearbewegung z. B. in der X-Achse geführter Führungsschlitten 12 ausgebildet ist. Der Führungsschlitten 12 kann auch an einem Stator direkt angekoppelt sein. An seinem anderen Ende stützt sich der linear bewegliche geführte Führungs­ schlitten 12 über ein Verbindungselement 13 an einem axial wirken­ den Federelement 14 mit gesteuerter Federkraft ab. Der Führungs­ schlitten 12 steht mit einer nicht dargestellten Arbeitsplattform bzw. mit einem Werkzeug eines Positioniergerätes, einer Werkzeugma­ schine etc. in Wirkverbindung.

Die Linearführung zur Linearbewegung des jeweiligen eindimensional beweglichen Führungsschlittens besteht nach dem Ausführungsbei­ spiel der Fig. 1 und 2 aus jeweils zwei zueinander parallel angeord­ neten Führungsstangen 15, 16, an denen der jeweilige Führungs­ schlitten 12 über Gleitlager und/oder Wälzlager praktisch spielfrei geführt ist. Die Führungsstangen 15, 16 sind wie der Stator 10 orts­ fest befestigt, und zwar durch Befestigungselemente 17, 18.

Als Alternative zur Linearführung der Fig. 1 und 2 bestehen nach dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 die Führungselemente zur Linearfüh­ rung des jeweiligen Führungsschlittens 12 aus Parallelogrammarmen 19, 20, 21, 22, die aus vertikal angeordneten verhältnismäßig breiten Blattfedern bestehen können. Dabei soll sich zu beiden Seiten des Führungsschlittens 12 ein Parallelogramm ergeben. Die Parallelo­ grammarme 19-22, die vom Führungsschlitten 12 etwa senkrecht abgehen, sind an diesem über Gelenke 23, 24, 25, 26 angelenkt. Durch diesen Formschluß ist der Führungsschlitten 12 spielfrei, sehr torsionssteif und praktisch reibungsfrei linearbeweglich. Die Linear­ führung kann so mit sehr geringem Gewicht und geringem Träg­ heitsmoment realisiert werden, wodurch die Dynamik und Festigkeit des Linearantriebsmoduls enorm erhöht wird. An ihren dem Füh­ rungsschlitten 12 abgewandten Außenenden sind die um einen klei­ nen Winkel pendelnden Parallelogrammarme 19-22 nach Fig. 3 noch mit einer Einrichtung zum Ausgleich des Kreisbogen-Höhenver­ satzes ausgestattet, mit Gelenken 27, 28, 29, 30, die über Blattfe­ derelemente 31, 32, 33, 34 nachgiebig befestigt sind.

Das Federelement 14 wirkt der Antriebskraft des Linearmotors entge­ gen und bildet das notwendige Element zur Erzeugung eines mecha­ nischen Schwingkreises, der wiederum die Voraussetzung zur Erzeu­ gung eines hohen mechanischen Wirkungsgrades des erfindungsge­ mäßen Linearantriebsmoduls bildet. Da der praktische Einsatz des Linearantriebsmoduls im erfindungsgemäßen mehrdimensionalen An­ triebssystem einen weit gesteckten Rahmen der Arbeitsfrequenz bei der Arbeitsmaschine mit feinsten Abstufungen erforderlich macht, ist es erforderlich, die Federkraft bzw. den Elastizitätsmodul dieses axial wirkenden Federelements 14 so an die jeweilige Linearbewegungs- Frequenz anzupassen, daß bei allen eingestellten Arbeitsfrequenzen immer mit dem maximalen Wirkungsgrad gearbeitet werden kann. Diese hohe Anforderung läßt sich mit einer Feder mit elektronischer Steuerung, die auf den physikalischen Ablauf des Antriebs die glei­ chen Auswirkungen hat wie unterschiedliche rein mechanische Fe­ dern, gut erfüllen.

Fig. 4 zeigt für einen zweidimensionalen (2D) Antrieb zwei sich kreu­ zende Linearantriebsmodule im Prinzip vom Typ der Fig. 1, d. h. mit sich kreuzenden Führungsschlitten 12 der X-Achse und der Y-Achse. Die Kraftübertragungselemente bzw. Kopplungsmodule zwischen den beiden Linearantriebsmodulen bzw. deren Führungsschlitten 12 der X-Achse und Y-Achse sind in Fig. 4 nicht dargestellt, jedoch in Fig. 5, 6 und 7.

Fig. 5 zeigt schematisch den in der X-Achse linearbeweglichen Füh­ rungsschlitten 12X und den in der Y-Achse linearbeweglichen Füh­ rungsschlitten 12Y. Am Führungsschlitten 12X sind wenigstens zwei in X-Achsrichtung beabstandete feste, aber in Y-Achsrichtung nach­ giebige Kraftübertragungselemente bzw. Kopplungsmodule 35, 36 wie z. B. Blattfedern befestigt, und am Führungsschlitten 12Y sind wenig­ stens zwei in Y-Achsrichtung beabstandete feste, aber in X-Achs­ richtung nachgiebige Kraftübertragungselemente bzw. Kopplungsmo­ dule 37, 38 ebenfalls wie z. B. Blattfedern befestigt. Die Gelenkigkeit der Kraftübertragungselemente jeweils in der gewünschten Richtung ist durch die eingezeichneten Gelenkachsen 39X, 40X, 41X, 42X an­ gezeigt. Es sind also wenigstens vier (oder auch acht) sich kreuz­ weise gegenüberliegende sehr torsionssteife Kraftübertragungsele­ mente 35-38 angeordnet, an deren den Führungsschlitten 12X, 12Y abgewandt liegenden Oberenden wiederum über Gelenke 43, 44, 45; 46 ein einstückiges kreuzförmiges Bauteil 47 mit Befestigungslöchern 48 zum Befestigen der Arbeitsplattform bzw. Positionierplattform ei­ ner Arbeitsmaschine angelenkt ist. Durch diese Art der Kopplung zweier Linearantriebsmodule kann beim Bauteil 47 jede beliebige gewünschte Flächenbewegung erzeugt werden, und zwar trotz Bewe­ gungsüberlagerungen durch eine voneinander völlig unabhängige Übertragung der Linearbewegungen der X-Achse und der Y-Achse, d. h. ohne daß das Massenträgheitsmoment des einen Linearantriebs­ moduls die Bewegung des anderen Linearantriebsmoduls behindert. Beide Linearantriebsmodule sind bei ihrer gesteuerten Bewegung energetisch entkoppelt, d. h. also auch hinsichtlich der Massenträg­ heit entkoppelt, was keinen Widerspruch zur mechanischen Kopplung (Formschluß) der Ausführungsbeispiele darstellt.

Aus dem 2D-Antrieb der Fig. 5 wird ein 3D-Antrieb, wenn - mit Vorteil aus Symmetriegründen - wenigstens zwei sich symmetrisch gegen­ überliegende Linearantriebsmodule für die Z-Raumachse unterhalb des Bauteils 47 angeordnet sind und mit diesem ebenfalls über ein Kraftübertragungselement wie z. B. Blattfeder in Wirkverbindung ste­ hen. Während die in Fig. 5 dargestellten Kraftübertragungselemente 35, 36, 37, 38 für die X-Achse und Y-Achse in Vertikalebenen liegen, liegen die nicht dargestellten Kraftübertragungselemente für die Z- Achse in einer Horizontalebene.

Eine andere Art eines Kraftübertragungselements zwischen zwei sich kreuzenden Linearantriebsmodulen zeigt Fig. 6. Auf dem Führungs­ schlitten 49 der X-Achse ist ein Kraftübertragungselement bzw. Kopplungsstück 50 installiert, das einerseits die Linearbewegungen des Führungsschlittens 49 mitmacht und das andererseits mittels wenigstens einer quer zur X-Achse angeordneten Führungsstange 51, 52 auf dem Führungsschlitten 49 in Y-Richtung hin- und herver­ schieblich ist. Das Kopplungsstück 50 trägt an seiner Oberseite eine in X-Richtung liegende Führungsstange 53, an der der Führungs­ schlitten 54 der Y-Achse mittels Gelenklager 55 angelenkt ist und zwar so, daß linearer Bewegungsspielraum für die Führungsstange 53 im Lager 55 verbleibt.

Auf diese Weise können die über den X-Achsen-Führungsschlitten 49 und die über den Y-Achsen-Führungsschlitten 54 eingeleiteten jeweils eindimensionalen X- und Y-Bewegungen wiederum unabhängig von­ einander auf das Kopplungsstück 50 übertragen werden, das infolge ungestörter Bewegungsüberlagerungen jede beliebige gewünschte Flächenbewegung erfährt und diese auf die Arbeitsplattform bzw. Po­ sitionierplattform überträgt, die mittels Befestigungen 56, 57, 58, 59 auf der Oberseite des Kopplungsstücks 50 zu befestigen ist.

Fig. 7 zeigt, wie aus dem 2D-Antrieb der Fig. 6 in einfacher Weise ein 3D-Antrieb wird. Dazu ist das Kopplungsstück 50 über die nach unten verlängerten Befestigungen 56, 57, 58, 59 auf einer Kopplungsplatte 60 aufgebaut, und unterhalb der Kopplungsplatte 60 ist das Linearan­ triebsmodul für die Z-Achse mit seinem Führungsschlitten 61 ange­ ordnet, an dessen Oberende über einen Gelenkkopf 62 eine Stange 63 angelenkt ist, die an ihrem oberen Ende wiederum über einen Gelenkkopf (in Fig. 7 nicht eingezeichnet) an der Unterseite der Kopplungsplatte 60 zur Bewegungsübertragung in Z-Richtung an­ greift. Auf diese Weise können den X- und Y-Bewegungen des Kopplungsstücks 50 quer dazu liegende Z-Achsen-Bewegungen überlagert werden. Dabei lassen die Gelenkköpfe 62 Schwenkbewe­ gungen der Stange 63 nach allen Seiten zu. In Fig. 7 ist die auf den Befestigungen 56, 57, 58, 59 oberhalb des Kopplungsstücks 50 ange­ ordnete Arbeitsplattform bzw. Positionierplattform 64 eingezeichnet.

Es versteht sich, daß nach Fig. 7 die Führungsschlitten der Linearan­ triebsmodule für die X-Achse, die Y-Achse und die Z-Achse zu ihrer Linearführung geführt sein können an Führungsstangen, wie prinzipi­ ell in Fig. 1 und 2 gezeigt, oder an Parallelogrammarmen, wie prinzi­ piell in Fig. 3 gezeigt.

Grundsätzlich besteht auch die Möglichkeit, pro Raumachse mehrere erfindungsgemäße Linearantriebsmodule parallel zueinander anzu­ ordnen, die dann gesteuert in unterschiedliche Linearbewegungen versetzt werden können, um ganz bestimmte Bewegungsmuster der Arbeits- bzw. Positionierplattform bzw. des Arbeitswerkzeuges zu er­ zielen.

Claims (10)

1. System mit wenigstens zwei Linearmotoren für den wenigstens zweidimensionalen Antrieb der Arbeitsplattform bzw. des Werk­ zeuges einer Arbeitsmaschine wie z. B. Positioniergerät, Misch­ maschine, Werkzeugmaschine oder dergl., gekennzeichnet durch wenigstens zwei sich kreuzende, unabhängig voneinander betreibbare gleichartige Linearantriebsmodule (X-Achse, Y- Achse) mit jeweils einem ortsfesten Stator (10), in den ein Läufer (11) eintaucht, der als ein an einer Linearführung für die Linear­ bewegung in der X-Achse, Y-Achse etc. geführter Führungs­ schlitten (12) ausgebildet ist, der sich jeweils an einem axial wir­ kenden Federelement (14) mit gesteuerter Federkraft abstützt, wobei das X bzw. Y-Achsen-Linearantriebsmodul (2D-Version) bzw. das Z-Achsen-Linearantriebsmodul (3D-Version) bzw. der jeweilige Führungsschlitten (12) mit der Arbeitsplattform bzw. mit dem Werkzeug in Wirkverbindung stehen.

2. System nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen dreidi­ mensionalen Antrieb mit wenigstens drei Linearantriebsmodulen, wobei das Linearantriebsmodul für die Y-Achse über ein Kraftübertragungselement bzw. Kopplungsmodul (35-38; 50) mit dem Linearantriebsmodul für die X-Achse und das Linearan­ triebsmodul für die Z-Achse mit den Linearantriebsmodulen für die X-Achse und die Y-Achse in Wirkverbindung stehen.

3. System nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Linearführung zur Linearbewegung des jeweiligen eindi­ mensional beweglichen Führungsschlittens (12) aus jeweils zwei zueinander parallel angeordneten Führungsstangen (15, 16) be­ steht, an denen der jeweilige Führungsschlitten (12) über Gleit­ lager und/oder Wälzlager geführt ist.

4. System nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungselemente zur Linearbewegung des jeweiligen Führungsschlittens (12) aus Parallelogrammarmen (19-22) be­ stehen, die über Gelenke (23-26) am Führungsschlitten ange­ lenkt sind.

5. System nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Parallelogrammarme (19-22) aus Blattfedern bestehen.

6. System nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die pen­ delnden Parallelogrammarme (19-22) mit einer Einrichtung zum Ausgleich des Kreisbogen-Höhenversatzes ausgestattet sind.

7. System nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Kraftübertragungselemente bzw. Kopplungsmodule an dem bzw. an den Führungsschlitten (12X) des Linearantriebsmo­ duls für die X-Achse wenigstens zwei in X-Achsrichtung beab­ standete feste, aber in Y-Achsrichtung nachgiebige Kraftübertra­ gungselemente (35, 36) wie Blattfedern und an dem bzw. den Führungsschlitten (12Y) des Linearantriebsmoduls für die Y- Achse wenigstens zwei in Y-Achsrichtung beabstandete feste, aber in X-Achsrichtung nachgiebige Kraftübertragungselemente (37, 38) wie Blattfedern befestigt sind, so daß also wenigstens vier sich kreuzweise gegenüberliegende Kraftübertragungsele­ mente angeordnet sind, an deren den Führungsschlitten abge­ wandt liegenden Oberseiten ein einstückiges z. B. kreuzförmiges Bauteil (47) als Basis der Arbeitsplattform bzw. Positionierplatt­ form der Arbeitsmaschine angelenkt ist.

8. System nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß wenig­ stens zwei sich symmetrisch gegenüberliegende Linearantriebs­ module für die Z-Raumachse unterhalb des Bauteils (47) ange­ ordnet sind und mit diesem ebenfalls über Kraftübertragungs­ elemente wie z. B. Blattfedern in Wirkverbindung stehen.

9. System nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen zwei sich kreuzenden Linearantriebsmodulen bzw. deren Führungsschlitten (49) der X-Achse und (54) der Y-Achse ein Kraftübertragungselement bzw. Kopplungsstück (50) instal­ liert ist, das einerseits die Linearbewegungen in der X-Achse mitmacht und das andererseits auf dem Führungsschlitten (49) der X-Achse in der Y-Achse beweglich gelagert ist, und daß an der Oberseite des die Arbeitsplattform bzw. Positionierplattform (64) tragenden Kopplungsstücks (50) der Führungsschlitten (54) des Linearantriebsmoduls der Y-Achse angelenkt ist, während an die Unterseite des Kopplungsstücks (50) über Zwischenglieder der Führungsschlitten (61) des Linearantriebsmoduls der Z- Achse anlenkbar ist.

10. System nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, da­ durch gekennzeichnet, daß die jeweilige Federkraft bzw. der Ela­ stizitätsmodul des jeweiligen axial wirkenden steuerbaren Fe­ derelements (14) so an die jeweilige Linearbewegungs-Frequenz anpaßbar ist, daß bei allen eingestellten Arbeitsfrequenzen der Arbeitsmaschine für jede Arbeitsdimension (X-Achse, Y-Achse, Z-Achse) ein jeweils maximaler Arbeitswirkungsgrad erzielbar ist.