JPS60238702A - 三次元測定機 - Google Patents
三次元測定機Info
- Publication number
- JPS60238702A JPS60238702A JP9581284A JP9581284A JPS60238702A JP S60238702 A JPS60238702 A JP S60238702A JP 9581284 A JP9581284 A JP 9581284A JP 9581284 A JP9581284 A JP 9581284A JP S60238702 A JPS60238702 A JP S60238702A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leg
- air
- end support
- bearing device
- air bearing
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、三次元測定機に係り、特に、被測定物を載置
する載置台に対して被測定物に関与して検出信号を生じ
させる検出器を三次元方向に移動させる移動機構の改良
に関する。
する載置台に対して被測定物に関与して検出信号を生じ
させる検出器を三次元方向に移動させる移動機構の改良
に関する。
［背景技術とその問題点］
タッチ信号プローブ等の検出器を移動機構により三次元
方向に移動可能に支持させ、載物台上の被測定物に前記
検出器を関与させつつ、検出器の移動変位量を各軸方向
毎に検出し、これら検出値を処理して被測定物の測定、
検査等を行なう三次元測定機が知られ、広範な分野で利
用されているが、このような三次元測定機の移動機構の
一つとして、門型支柱を備えた、いわゆる円型三次元測
定機がある。
方向に移動可能に支持させ、載物台上の被測定物に前記
検出器を関与させつつ、検出器の移動変位量を各軸方向
毎に検出し、これら検出値を処理して被測定物の測定、
検査等を行なう三次元測定機が知られ、広範な分野で利
用されているが、このような三次元測定機の移動機構の
一つとして、門型支柱を備えた、いわゆる円型三次元測
定機がある。
第１図には従来の円型三次元測定機が示され、図中、載
物台ｌの上端面は極めて平滑に仕上られ、その上には被
測定物（図示せず）が載置されるとともに、移動機構２
を介してタッチ信号プローブ等の検出器３が三次元方向
に移動自在に支持されている。前記移動機構２は載物台
ｌ上の被測定物を跨ぐよう配置された円型支柱４を含み
、この円型支柱４は載物台ｌの両側部に配置された脚部
５．６とこれら両脚部５．６の上端間に掛渡された折部
７とから構成されている０桁部７にはＸ軸スライダ８が
Ｘ方向に沿って移動自在に支持され、その変位量は折部
７に沿って取付けられたＸ方向スケール７Ａにより検出
されるようになっている。また、Ｘ軸スライダ８にはＺ
軸スライダ９がＺ方向に沿って移動自在に支持され、こ
のＺ軸スライダ９の下端部に前記検出器３が取付けられ
ている。また、両脚部５．６のうち一方の脚部、 ５は
載物台ｌ上を自由移動可能とされ、他方の脚部６はＹ方
向に沿った案内レールｉｉに案内され、これにより円型
支柱４はＹ方向に沿って往復移動可能に載物台ｌ上に載
置されている０両脚部５．６の夫々の下端部はＹ方向に
沿って長尺な下端支持部１２．１３とされており、゛・
円型支柱４のＹ方向の移動中にもその立設状態が安定的
に維持されるようになっている。なお、円型支柱４のＹ
方向の変位量およびＺ軸スライダ９のＺ軸方向の変位量
についても夫々図示しないＹ方向およびＺ方向スケール
により検出されるようになっている。
物台ｌの上端面は極めて平滑に仕上られ、その上には被
測定物（図示せず）が載置されるとともに、移動機構２
を介してタッチ信号プローブ等の検出器３が三次元方向
に移動自在に支持されている。前記移動機構２は載物台
ｌ上の被測定物を跨ぐよう配置された円型支柱４を含み
、この円型支柱４は載物台ｌの両側部に配置された脚部
５．６とこれら両脚部５．６の上端間に掛渡された折部
７とから構成されている０桁部７にはＸ軸スライダ８が
Ｘ方向に沿って移動自在に支持され、その変位量は折部
７に沿って取付けられたＸ方向スケール７Ａにより検出
されるようになっている。また、Ｘ軸スライダ８にはＺ
軸スライダ９がＺ方向に沿って移動自在に支持され、こ
のＺ軸スライダ９の下端部に前記検出器３が取付けられ
ている。また、両脚部５．６のうち一方の脚部、 ５は
載物台ｌ上を自由移動可能とされ、他方の脚部６はＹ方
向に沿った案内レールｉｉに案内され、これにより円型
支柱４はＹ方向に沿って往復移動可能に載物台ｌ上に載
置されている０両脚部５．６の夫々の下端部はＹ方向に
沿って長尺な下端支持部１２．１３とされており、゛・
円型支柱４のＹ方向の移動中にもその立設状態が安定的
に維持されるようになっている。なお、円型支柱４のＹ
方向の変位量およびＺ軸スライダ９のＺ軸方向の変位量
についても夫々図示しないＹ方向およびＺ方向スケール
により検出されるようになっている。
下端支持部１２の長手方向両端部には夫々空気軸受装置
１５が設けられ、この空気軸受装置１５は、第２〜４図
に示されるように、下端支持部１２とは別部材のエアー
パッド１６と、取付部材１７と、空気供給接続具として
の接続ノズル１８とから構成されている。前記エアーパ
ッド１６には、下端支持部１２に取付けられる取付面１
９の中央に円形の凹部２１が設けられるとともに、載物
台ｌに対面する空気噴出面２２に極めて小さな直径（例
えば０．２ｍ層以下程度）の複数の空気噴出孔２３が基
盤目状に整列して配設され、更に、内部にこれら空気噴
出孔２３と連通する連結空間２４が設けられ、連結空間
２４を介して各空気噴出孔２３には接続ノズル１８より
連結空間２４内に導入された圧縮空気が供給されるよう
になっている。なお、空気噴出孔２３の分布密度は実際
は図面上の表現よりも遥に密である。
１５が設けられ、この空気軸受装置１５は、第２〜４図
に示されるように、下端支持部１２とは別部材のエアー
パッド１６と、取付部材１７と、空気供給接続具として
の接続ノズル１８とから構成されている。前記エアーパ
ッド１６には、下端支持部１２に取付けられる取付面１
９の中央に円形の凹部２１が設けられるとともに、載物
台ｌに対面する空気噴出面２２に極めて小さな直径（例
えば０．２ｍ層以下程度）の複数の空気噴出孔２３が基
盤目状に整列して配設され、更に、内部にこれら空気噴
出孔２３と連通する連結空間２４が設けられ、連結空間
２４を介して各空気噴出孔２３には接続ノズル１８より
連結空間２４内に導入された圧縮空気が供給されるよう
になっている。なお、空気噴出孔２３の分布密度は実際
は図面上の表現よりも遥に密である。
一方、前記取付部材１７は、前記エアーパッド１６の凹
部２１に取付けられ、その上面中央に下端支持部１２と
の間に介在されるポール２７・を支持する円錐面状の係
合溝２８が形成されている。
部２１に取付けられ、その上面中央に下端支持部１２と
の間に介在されるポール２７・を支持する円錐面状の係
合溝２８が形成されている。
また、前記下端支持部１３においては、同様に構成され
る空気軸受装置１５が、第５図に示されるように、案内
レール１１の上端水平案内面１１Ａおよび両側垂直案内
面１１Ｂの夫々との間に介在され、また、このような空
気軸受装置１５も前記下端支持部１２の場合と同様に下
端支持部１３の長手方向両端部に設けられている。
る空気軸受装置１５が、第５図に示されるように、案内
レール１１の上端水平案内面１１Ａおよび両側垂直案内
面１１Ｂの夫々との間に介在され、また、このような空
気軸受装置１５も前記下端支持部１２の場合と同様に下
端支持部１３の長手方向両端部に設けられている。
しかしながら、このような従来構造にあっては次のよう
な問題点を有していた。
な問題点を有していた。
即ち、従来、エアーパッド１６の空気噴出面２２と案内
面（載物台ｌ、案内レール１１の上端水平案内面１１Ａ
および両側垂直案内面１１Ｂ）との平行度の保持をこれ
らの加工精度から確保しようとすると製作上の困難性や
経済上の負担が大きいところから、エアーパッド１６を
ポール２７を介して回動調整可能にピボット結合するこ
ととして製作上の誤差等を吸収させようとしていた。そ
のため、Ｘ軸スライダ８を含む折部７の全体荷重重量や
折部７上でのＸ軸スライダ８の移動による荷重（Ｗ）変
化によって折部７に撓みが生ずると、折部７と両脚部５
．６との接合個所はラーメン（剛接）構造とみることが
でき、第６図に示されるように、両脚部５．６が傾斜し
てしまっていた。その結果、Ｘ方向スケール７Ａがその
検出方向（Ｘ方向）に図中文で示される値だけ位置ずれ
し、Ｘ方向の測定精度の低下を招いていた。
面（載物台ｌ、案内レール１１の上端水平案内面１１Ａ
および両側垂直案内面１１Ｂ）との平行度の保持をこれ
らの加工精度から確保しようとすると製作上の困難性や
経済上の負担が大きいところから、エアーパッド１６を
ポール２７を介して回動調整可能にピボット結合するこ
ととして製作上の誤差等を吸収させようとしていた。そ
のため、Ｘ軸スライダ８を含む折部７の全体荷重重量や
折部７上でのＸ軸スライダ８の移動による荷重（Ｗ）変
化によって折部７に撓みが生ずると、折部７と両脚部５
．６との接合個所はラーメン（剛接）構造とみることが
でき、第６図に示されるように、両脚部５．６が傾斜し
てしまっていた。その結果、Ｘ方向スケール７Ａがその
検出方向（Ｘ方向）に図中文で示される値だけ位置ずれ
し、Ｘ方向の測定精度の低下を招いていた。
このような事情は、被測定物の大型化や自動側、定機能
の付加に伴なう折部７やＸ軸スライダ８等をはじめとす
る装置全体の大型且つ高重量化によって益々顕著なもの
となり、高精度測定を確保する上で無視できないものと
なっている。
の付加に伴なう折部７やＸ軸スライダ８等をはじめとす
る装置全体の大型且つ高重量化によって益々顕著なもの
となり、高精度測定を確保する上で無視できないものと
なっている。
［発明の目的１
本発明の目的は、Ｘ方向の精度低下を減少させ、特に、
装置全体が大型で高重量な場合にも高精度な測定が可能
な三次元測定機を提供することにある。
装置全体が大型で高重量な場合にも高精度な測定が可能
な三次元測定機を提供することにある。
［問題点を解決するための手段および作用Ｊそのため、
本発明は、門型支柱の一方の脚部の下端支持部に設けら
れた空気軸受装置を、当該脚部を載物台上で自由移動さ
せるよう形成するとともに、他方の脚部の下端支持部に
設けられた空気軸受装置を、当該脚部を傾斜困難かつ両
脚部を結ぶ方向（幅方向）に変位困難に形成し、これに
より、前記他方脚部の傾斜と幅方向への変位を困難にし
て円型支柱の相部に取付けられたＸ方向スケールの位置
ずれを生じさせないようにし、また、前記一方の脚部を
自由移動可能にして門型支” 柱全体の構造に過度のひ
ずみが生じないようにして前記目的を達成しようとする
ものである。
本発明は、門型支柱の一方の脚部の下端支持部に設けら
れた空気軸受装置を、当該脚部を載物台上で自由移動さ
せるよう形成するとともに、他方の脚部の下端支持部に
設けられた空気軸受装置を、当該脚部を傾斜困難かつ両
脚部を結ぶ方向（幅方向）に変位困難に形成し、これに
より、前記他方脚部の傾斜と幅方向への変位を困難にし
て円型支柱の相部に取付けられたＸ方向スケールの位置
ずれを生じさせないようにし、また、前記一方の脚部を
自由移動可能にして門型支” 柱全体の構造に過度のひ
ずみが生じないようにして前記目的を達成しようとする
ものである。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明するが、前
出の従来構造と同様の部分は符号を共通にして説明を省
略する。
出の従来構造と同様の部分は符号を共通にして説明を省
略する。
第７図には本発明に係る三次元測定機の一実施例が示さ
れ、この図において、両脚部５，６の一方の下端支持部
１２は従来構造と同様に構成されるが、案内部材４１に
て案内されている下端支持部材４３については第８図に
示されるような構成となっている。即ち、案内部材４１
は断面角型で、上端水平案内面４１Ａと両側垂直案内面
４１Ｂとを有し、これら案内面４１Ａおよび４１Ｂは互
いに直角の角度関係を有している。この案内部材４１に
案内される下端支持部４３は、前記各案内面４１Ａおよ
び４１Ｂの夫々に対向する空気噴出面４３Ａおよび４３
Ｂを有しており、これにより、下端支持部４３に植設さ
れた前記他方の脚部６は傾斜困難かつ両脚部５および６
を結ぶ方向に（幅方向に）変位困難とされている。各空
気噴出面４３Ａ 、４３Ｂには夫々複数の空気噴出孔２
３が基盤目状に配列する等して配設され、これら空気噴
出孔２３は連結空間２４および接続ノズル１８を介して
外部空気供給源に接続され、各空気噴出孔２３から噴出
される空気圧により下端支持部４３が案内部材４１に沿
って摺動自在に案内されている。ここにおいて、空気噴
出孔２３を有する各空気噴出面４１Ａ、４１Ｂや前記外
部空気供給源等により空気軸受装置５５が構成されてい
る。
れ、この図において、両脚部５，６の一方の下端支持部
１２は従来構造と同様に構成されるが、案内部材４１に
て案内されている下端支持部材４３については第８図に
示されるような構成となっている。即ち、案内部材４１
は断面角型で、上端水平案内面４１Ａと両側垂直案内面
４１Ｂとを有し、これら案内面４１Ａおよび４１Ｂは互
いに直角の角度関係を有している。この案内部材４１に
案内される下端支持部４３は、前記各案内面４１Ａおよ
び４１Ｂの夫々に対向する空気噴出面４３Ａおよび４３
Ｂを有しており、これにより、下端支持部４３に植設さ
れた前記他方の脚部６は傾斜困難かつ両脚部５および６
を結ぶ方向に（幅方向に）変位困難とされている。各空
気噴出面４３Ａ 、４３Ｂには夫々複数の空気噴出孔２
３が基盤目状に配列する等して配設され、これら空気噴
出孔２３は連結空間２４および接続ノズル１８を介して
外部空気供給源に接続され、各空気噴出孔２３から噴出
される空気圧により下端支持部４３が案内部材４１に沿
って摺動自在に案内されている。ここにおいて、空気噴
出孔２３を有する各空気噴出面４１Ａ、４１Ｂや前記外
部空気供給源等により空気軸受装置５５が構成されてい
る。
なお、空気噴出孔２３の分布密度は図面上の表現よりも
実際は遥かに高密度に設けられている。
実際は遥かに高密度に設けられている。
このような本実施例によれば、下端支持部１２は空気軸
受装置１５′＋、介して載物台ｌ上を自由移動可能とさ
れるが、他方の下端支持部材４３は空気軸受装置５５に
より脚部６が傾斜困難かつ両脚部５および６を結ぶ方向
（Ｘ方向）に変位困難とされているため、門型支柱１４
の構造体の高重量やＸ軸スライダ８の移動による荷重変
化に伴なって生ずるＸ方向スケール７ＡのＸ方向の位置
ずれが極力押えられている。即ち、脚部６の立設状態を
その下端支持部４３に設けられた空気軸受装置５５によ
り堅固に維持させることとして相部４に設けられたＸ方
向スケール７Ａの位置ずれを極力防止している。
受装置１５′＋、介して載物台ｌ上を自由移動可能とさ
れるが、他方の下端支持部材４３は空気軸受装置５５に
より脚部６が傾斜困難かつ両脚部５および６を結ぶ方向
（Ｘ方向）に変位困難とされているため、門型支柱１４
の構造体の高重量やＸ軸スライダ８の移動による荷重変
化に伴なって生ずるＸ方向スケール７ＡのＸ方向の位置
ずれが極力押えられている。即ち、脚部６の立設状態を
その下端支持部４３に設けられた空気軸受装置５５によ
り堅固に維持させることとして相部４に設けられたＸ方
向スケール７Ａの位置ずれを極力防止している。
そのため、被測定物の近時の大型化に伴ない円型支柱４
等の高さを増大化させたり自動測定化に伴ないＸ軸スラ
イダ８等を高重量化させる場合にあっては従来は高精度
測定を確保する上で無視できない程のＸ方向スケール７
Ａの位置ずれを生じさせるのに反して、本実施例ではこ
のような場合であっても、Ｘ方向スケール７Ａの前述し
た位置ずれを極力防止して高精度な測定を確保すること
ができる。
等の高さを増大化させたり自動測定化に伴ないＸ軸スラ
イダ８等を高重量化させる場合にあっては従来は高精度
測定を確保する上で無視できない程のＸ方向スケール７
Ａの位置ずれを生じさせるのに反して、本実施例ではこ
のような場合であっても、Ｘ方向スケール７Ａの前述し
た位置ずれを極力防止して高精度な測定を確保すること
ができる。
なお、前記実施例では空気噴出面４３Ａ、４３Ｂが下端
支持部４３に直接形成されるものとしたが、第９図に示
されるように、案内部材４１の上端水平案内面４３Ａに
対向するエアバット１６が下端支持部４３に固定され、
両側垂直案内面４１Ｂに対向する部分については従来構
造通りのエアパット１６がポール２７を介して下端支持
部４３に取付けられ、これにより、脚部６がＸ方向に変
位困難かつ傾斜困難とされるものであってもよい。
支持部４３に直接形成されるものとしたが、第９図に示
されるように、案内部材４１の上端水平案内面４３Ａに
対向するエアバット１６が下端支持部４３に固定され、
両側垂直案内面４１Ｂに対向する部分については従来構
造通りのエアパット１６がポール２７を介して下端支持
部４３に取付けられ、これにより、脚部６がＸ方向に変
位困難かつ傾斜困難とされるものであってもよい。
また、第１０図に示されるように、上端水平案内面４１
Ａに対向するエアバット１６と両垂直案内面４１Ｂのう
ちの一方の案内面４１Ｂに対向するエアパラ）１Ｂにつ
いての合計２つのエアパット１６を下端支持部４３に固
定的に設けたものであってもよい、更に、第１１図に示
されるように、下端支持部４３に固定的に設けられるエ
アバットは幅広のものをただ１つ設ける場合に限らず、
幅狭なエアーパット５６を複数配設す、る等して脚部６
の傾斜およびＸ方向の変位を困難なものとさせるよう構
成してもよい、また、空気噴出孔２３を個々に穿設する
のでなく、空気噴出面２２．４３Ａ 、４３Ｂを構成す
る部分に多孔質体を組込むこととしてもよい。
Ａに対向するエアバット１６と両垂直案内面４１Ｂのう
ちの一方の案内面４１Ｂに対向するエアパラ）１Ｂにつ
いての合計２つのエアパット１６を下端支持部４３に固
定的に設けたものであってもよい、更に、第１１図に示
されるように、下端支持部４３に固定的に設けられるエ
アバットは幅広のものをただ１つ設ける場合に限らず、
幅狭なエアーパット５６を複数配設す、る等して脚部６
の傾斜およびＸ方向の変位を困難なものとさせるよう構
成してもよい、また、空気噴出孔２３を個々に穿設する
のでなく、空気噴出面２２．４３Ａ 、４３Ｂを構成す
る部分に多孔質体を組込むこととしてもよい。
［発明の効果］
上述のように本発明によれば、Ｘ方向の精度低下を減少
させ、特に、装置全″体が大型化で高重量な場合にも高
精度な測定が可能な三次元測定機を提供できる。
させ、特に、装置全″体が大型化で高重量な場合にも高
精度な測定が可能な三次元測定機を提供できる。
第１図は従来の三次元測定機の全体構成を示す斜視図、
第２図、第３図、および第４図は夫々従来の三次元測定
機の空気軸受装置の一部を切欠いた平面図、正面図、お
よび底面図、第５図は前記従来例の案内部材側の下端支
持部を示す正面図、第６図は前記従来例におけるＸ方向
スケールの位置ずれ状態を示す正面図、第７図は本発明
に係る三次元測定機の一実施例の全体構成を示す斜視図
、第８図はその要部の拡大面面図、第９図、第１θ図、
および第１１図は夫々互いに異なる前記以外の実施例を
示す正面図である。 ｌ・・・載物台、２・・・移動機構、３・・・検出器、
４・・・門型支柱、５，６・・・脚部、７・・・術部、
１２．４３・・・下端支持部、２″２，４３Ａ、４３Ｂ
・・・空気噴出面、２３・・・空気噴出孔、４１・・・
案内部材、４１Ａ・・・上端水平案内面、４１Ｂ・・・
両側垂直案内面、５５・・・空気軸受装置。 第１図 第５図 第６図 第７図 フ 第８図 □−一 １ 第１０図 第１１図 貴
第２図、第３図、および第４図は夫々従来の三次元測定
機の空気軸受装置の一部を切欠いた平面図、正面図、お
よび底面図、第５図は前記従来例の案内部材側の下端支
持部を示す正面図、第６図は前記従来例におけるＸ方向
スケールの位置ずれ状態を示す正面図、第７図は本発明
に係る三次元測定機の一実施例の全体構成を示す斜視図
、第８図はその要部の拡大面面図、第９図、第１θ図、
および第１１図は夫々互いに異なる前記以外の実施例を
示す正面図である。 ｌ・・・載物台、２・・・移動機構、３・・・検出器、
４・・・門型支柱、５，６・・・脚部、７・・・術部、
１２．４３・・・下端支持部、２″２，４３Ａ、４３Ｂ
・・・空気噴出面、２３・・・空気噴出孔、４１・・・
案内部材、４１Ａ・・・上端水平案内面、４１Ｂ・・・
両側垂直案内面、５５・・・空気軸受装置。 第１図 第５図 第６図 第７図 フ 第８図 □−一 １ 第１０図 第１１図 貴
Claims (1)
- （１）被測定物を載置する載物台に対して被測定物に関
与して検出信号を生じさせる検出器を三次元方向に移動
させる移動機構が載物台上、の被測定物を跨ぐよう配置
された門型支柱を含んで構成されるとともに前記円型支
柱がその両脚部の下端支持部に設けられた空気軸受装置
を介して前記載物台上を所定方向に往復移動可能に案内
された三次元測定機において、前記一方の脚部の下端支
持部に設けられた空気軸受装置は当該脚部を載物台上で
自由移動させるよう形成されているとともに、前記他方
の脚部の下端支持部に設けられた空気軸受装置は当該脚
部を傾斜困難且つ両脚部を結ぶ方向に変位困難とするよ
う形成されていることを特徴とする三次元測定機。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記他方の脚部
の下端支持部に設けられた空気軸受装置は、ＩＲ載物台
上設けられた断面角型の案内部材の上端水平案内面およ
び両側垂直案内面の各々に対向して設けられた空気噴出
面を有しているとともに、これら空気噴出面のうち少な
くとも１つの空気噴出面は当該下端支持部に固定的に設
けられていることを特徴とする・三次元測定機。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9581284A JPS60238702A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 三次元測定機 |
| GB08512040A GB2160975B (en) | 1984-05-14 | 1985-05-13 | Coordinate measuring instrument |
| DE19853517421 DE3517421A1 (de) | 1984-05-14 | 1985-05-14 | Koordinatenmessinstrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9581284A JPS60238702A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 三次元測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60238702A true JPS60238702A (ja) | 1985-11-27 |
Family
ID=14147834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9581284A Pending JPS60238702A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 三次元測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60238702A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102706259A (zh) * | 2012-06-13 | 2012-10-03 | 无锡市麦希恩机械制造有限公司 | 汽车玻璃天窗检具的下弧面检测结构 |
| JP2016517957A (ja) * | 2013-04-02 | 2016-06-20 | カール ザイス インダストリエル メステクニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 測定対象物の形状輪郭を割り出す方法 |
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1984
- 1984-05-14 JP JP9581284A patent/JPS60238702A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102706259A (zh) * | 2012-06-13 | 2012-10-03 | 无锡市麦希恩机械制造有限公司 | 汽车玻璃天窗检具的下弧面检测结构 |
| JP2016517957A (ja) * | 2013-04-02 | 2016-06-20 | カール ザイス インダストリエル メステクニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 測定対象物の形状輪郭を割り出す方法 |
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