JPS60227499A - 半導体装置用選別機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の電気特性測定用選別機に関するも
のである。

〔従来技術〕

従来より高周波系のフラットパッケージ型トランジスタ
の電気特性測定は直流項目のみならず、高周波項目につ
いても測定する必要がある。最近の民生用トランジスタ
においては、低コス）（ｔＪｆ要求され、製造工程の一
工程である電気特性選別工程では、いかに短時間に効率
よく、電気特性を測定、分類するかがコストダウンのポ
イントとなる。

現在の測定方法は、作業者による手作業で直流項目、高
周波項目を別々の工程で測定を行ない、各々定められた
規格に分類している。そのため、工程毎のコストアップ
と、規格分類が複雑になる為、誤判定を生ずることがあ
る。

〔発明の目的〕

本発明は前記問題点を解消するもので、一つのハンドラ
ーで直流項目、高周波項目を別ステージで同時に測定す
る機能を有し、各々定められた規格に分類できる半導体
装置用選別機を提供するものである。

〔発明の構成〕

本発明は半導体装置の電気特性を測定して該半導体装置
を選別する半導体装置用選別機において、搬送路に沿っ
て、電気特性を測定するのに必要な測定ステージを設け
、搬入側に半導体装置の供給ステージを、搬出側に測定
法の半導体装置を分類してこれを搬送路から取出す分類
ステージをそれぞれ設け、供給ステージの半導体装置を
吸着したまま各ステージ間に搬送する搬送機構を備えだ
ことを特徴とする半導体装置用選別機である。

〔実施例〕

以下図面により本発明の詳細な説明する。

第３図、第４図は従来の電気特性測定方法を示すもので
ある。図に示すように、従来は、作業者が手作業により
、半導体装置１を測定用治工具受台２に置き、テスター
４に接続されている上型３を下方に引き落ろして該上型
３により半導体装置１を押え、直流或いは高周波項目の
電気特性を測定し、各々定められた規格に分類していた
。

これに対して、第１図に示すように本発明はターンテー
プ＃５の面に沿って、半導体装置を供給する供給ステー
ジ６ａ、半導体装置の電気特性を測定するのに必要な測
定ステニジ６ｂ、６ｃ、測定法の半導体装置を分類して
これを取出す分類ステージａｄ、　６ｅを所定間隔毎に
設置する。実施例では、測定ステージ６ｂで直流項目の
電気特性の測定ステージ、残シの測定ステージ６ｃ、６
ｃで２種類の高周波項目の電気特性の測定をステージに
設定している。

分類ステージ６ｄ、　６ｄは、定められた規格に分類済
の半導体装置を取出すだめのステージ、分類ステージ６
ｅは不良品を取出すステージである。

−４、前記ターンテープ）ｖ５の周方向に吸着ノズＡｚ
７．７・・・・・を各ステージ６　ａ−６ｅの設置間隔
に合せて配し、各吸着ノズル７のノズル先端７ａを下向
きにして該吸着ノズ／Ｖ　７・・・・・・をターンテー
ブル５の外周縁に昇降可能に吊下したものである。

本発明において、半導体装置の電気特性を測定してこれ
を分類するには、まずターンテーブル５を時計方向に回
転駆動させて、空の最初のノズル７を供給ステージ６ａ
の真上に移動し、次に該ノズル７を下降させ、供給ステ
ージ６ａの主の半導体装置１を真空８により吸着する。

第２図に示すように吸着ノズル７に半導体装置を吸着さ
せたまま、ターンテーブル５を角回転して吸着された半
導体装置１を直流項目の測定ステージ６ｂの真上に移動
し、次にノズル７を下降させてそのノズル先端７ａで半
導体装置１を測定ステージ６ｂＫ押し付けて半固定接続
し、該半導体装置ｌの直流項目の電気特性を測定させる
。その測定結果は分類ステージに出力する。

一方、ターンテーブル５が角回転するのに伴なって、次
の空のノズｙｖｒｌを供給ステージ６ａの真上に送り込
み、半導体装置を吸着させる。

測定ステージ６ｂでの測定が完了し、かつ空のノズル７
が半導体装置を吸着した時点で、ターンテーブル５を再
び角回転させる。

以上の動作が繰シ返えし行なわれ、測定法の半導体装置
Ｉは最終的に分類ステージに搬送され、仁の分類ステー
ジに至ったときに、初めて吸着ノズ／Ｉ／７から解放さ
れる。そして、両測定ステージからの出力に基づき分類
ステージは半導体装置を規格に合せて分類し、分類ステ
ージ６ｄ、６ｄにより、分類された半導体装置をケース
等に収容してこれを取出し、不良品の半導体装置を分類
ステージ６ｅにより取出す。

これによシ、ターンテーブル５を角回転させるごとに、
供給ステージでの供給、測定ステージでの電気特性の測
定、分類ステージでの分類作業が同時期に機械的にそれ
ぞれ行なわれて半導体装置が選別される。したがって、
従来材なわれていた手作業による測定が機械化され、か
つ多種類の工程が一つにまとめることが出来、コストダ
ウン測定の誤判定防止の手段として使用出来る。

尚、本発明の選別機は吸着ノズルに吸着固定出来る半導
体装置であれば、高周波項目ばかりでなく、直流項目だ
けを２〜８回繰シ返し測定することも可能であシ、分類
ステージに他機能テーピング又はマガジン等をセット可
能であシ、幅広い選別方法が可能である。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したように手作業による測定を機械化
でき、かつ多種類の工程を１つにまとめることができ、
したがって製造費のコストダウンを図ることができると
ともに、測定の誤判定を防止できる効果を有するもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は側面
図、第３図、第４図は従来の測定方法を示す構成図であ
る。 １・・半導体装置、５・・・ターンテーブル、６ａ・供
給ステージ、６ｂ、　６ｃ・・・測定ステージ、６ｄ、
　６ｅ・・分類ステージ、７・・・吸着ノズル。 特許出願人　日本電気株式会社 第１図 （ｍ 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体装置の電気特性を測定して該半導体装置を
   選別する半導体装置用選別機において、搬送路に沿って
   、電気特性を測定するのに必要な測定ステージを設け、
   搬入側に半導体装置の供給ステージを、搬出側に測定法
   の半導体装置を分類してこれを搬送路から取出す分類ス
   テージをそれぞれ設け、供給ステージの半導体装置を吸
   着したまま各ステージ間に搬送する搬送機構を備えたこ
   とを特徴とする半導体装置用選別機。