JPS60180093A - 薄膜el素子 - Google Patents

薄膜el素子

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JPS60180093A
JPS60180093A JP59034017A JP3401784A JPS60180093A JP S60180093 A JPS60180093 A JP S60180093A JP 59034017 A JP59034017 A JP 59034017A JP 3401784 A JP3401784 A JP 3401784A JP S60180093 A JPS60180093 A JP S60180093A
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back electrode
thin film
transmittance
emitting layer
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河合 久雄
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Hoya Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はコントラストを高くした薄膜[L素子に関する
従来、この簿膜EL素子としては、第1図(a)、(b
)及び(C)に示すような構造のものが知られていた。
先ず、第1図(a)は、ガラス基板1上にIn2O3,
8002等の透明電極2と、Y2O3゜■102等から
なる第1の絶縁層3を順次、スパッタリング法又は電子
ビーム蒸着法により重畳形成し、この第1の絶縁層3上
にはZnS:Hn焼結ペレットを電子ビーム蒸着するこ
とにより発光層4をVi層する。この時ZnS蒸着材料
に添加する8口の濃度は目的により異なるが、通常0.
1〜2.0wt%に設定される。この発光層4上には第
1の絶縁層3と同様の材質からなる第2の絶縁層5を積
層し、この上にはAl1等からなる背面電極6を蒸着形
成する。そして、透明電極2と背面電極6に交流又は直
流電源を接続して、この&9 fl!I!E L素子を
駆動して、黄橙色の発光を呈する。
このような構造の薄膜EL素子は、その発光特性、寿命
の面では実用化に迫る特性を備えているにもか)ねらず
、第2の絶縁層5と背面電極6との間の光反射係数が大
きく、外部から大剣した光の50%以上をも反射するこ
とから、明るい場所で表示させる場合には、コントラス
トが低下する欠点があった。このような欠点を除去する
ために、第1図(b)及び(C)に示すような構造の薄
膜EL素子が提案されている。
先ず、第1図(b)は同図<a)に示した発光層4と第
2の絶縁層5どの間にCaTe等の高抵抗光吸収体層7
を挿入することにより、EL素子のコントラストを高く
している。しかし、このEL素子は、発光特性において
同図(a)に示したEl素子と対比して大きく変わって
しまい、輝度が低下する欠点があり、高電界を加えたと
きには絶縁破壊しやすい欠点もあった。
次に、第1図(C)は同図(a)に示した第2の絶縁層
5と背面電極6との間にCaTe等の高抵抗光吸収体層
8を挿入することにより、同図(b)に示したものと同
様、EL素子のコントラストを高くしているが、発光開
始電圧が高くなってしまうという致命的欠点があり、ま
た同図(C)のものと同様、高電界を加えたときには絶
縁破壊しやすい欠点もあった。
本発明は、上記のような従来の欠点を除去するためにな
されたものであり、光反射体を背面電極の後方に設置し
、かつ光吸収体をE’L素子の光取り出し側に配置する
ことを主構成とすることにより、発光輝度特性を変える
ことなく、発光時のコン1〜ラストを高くした薄膜EL
索子を提供することを目的としている。
以下、本発明の実施例図面を参照しながら、本発明の詳
細な説明する。
第2図(a)は本発明の一実施例を示し、透明144f
i1から背面電極6までの構造部分は、第1図(a)に
示したEL素子と同一であり、先ず、石英ガラス基板1
上に酸化インジウムスズ(以下、[I TOJという。
)の透明電極2(膜厚: 2000人)を直流マグネト
ロン・スパッタリング法(基板温度Ts=200℃、ス
パッタ電流密度I=1 、5mへ/ cA 。
pAr= 3x10 Torr)により成膜Jる。その
際、透明電極2の表面を平滑面状に形成するために、ス
パッタリング法が適している。真空蒸着法によれば、そ
の表面に突起部が発生しがちであり、その突起部に電界
が集中して、絶縁破壊を起こしやづくなる。次に、Y2
O3の第1の絶縁層3(膜厚: 3000人)を反応性
蒸着法(Ts=300℃、P02=1×101Orr)
により蒸着し、次に、Hnを0.5wt%m 加したZ
nS:Hn焼結ペレットを素材にして真空蒸着法(Ts
=200℃)により発光層4(°膜厚:5000人)を
蒸着し、次に、第1の絶縁層3と同様に第2の絶縁層5
(膜厚: 3000人)を蒸着する。
そして、この第2の絶縁層5上にAlからなる背面電極
6(膜厚: 2000人)を真空蒸着法(TS=180
℃)により蒸着する。本例の薄膜[L素子も透明電極2
と背面電極6との間に電界を印加することにより、両電
極2,6間で互に交差した発光層4の部分(絵素)から
透明基板1を通して黄橙色のEL発光を呈Jる。
以上得られた透明基板1から背面電極6までのEL素子
において、背面電極6の存在する領域Aとその存在しな
い領域Bでの透明基板1側で児1こ可視光平均反射率を
測定した結果、領v1.A及び領域Bではそれぞれ約6
0%及び約20%であり、コントラストが低いばかりで
なく、背面電極6のノくターン形状が明瞭に見えてしま
う。
そこで本発明では、先ず、ソーダライムガラスからなる
封止用のガラス板10の上面(又はその−ト面、すなわ
ち背面電極6と対面する側の面)にCrからなる反射用
の金属膜11(膜厚: 1ooo人)をスパッタリング
法又は真空蒸着法により形成してなる光反射体12を背
面゛電極6の後方に配置している。
本例では、この配置手段として透明電極2の周辺に光硬
化型接着剤9を塗布して、前述したガラス板10と接合
し、同時に透明電極2にり上方の絶縁層3から背面電極
6までの積層部分を封止している。このような光反射体
により、透明基板1側で見た可視光平均反射率は、領域
Aにおいて背面電極6で反射されて前述した通り約60
%であり、領域已において金属膜11で反射されてここ
でも約60%になり、両領域A及び已において実質的に
等しくなる。その結果、背面電極6のパターン形状にお
けるコントンストが著しく低下するために、そのパター
ン形状を透明基板1側から非常に見にくくすることがで
きる。
更に本発明では、シリカボウ酸n2o<アルカリ金属酸
化物)系ガラスに鉄とコバルトを添加したガラス板13
と、その両面に蒸谷形成したH(] F2の誘電体層1
4(光学膜厚:入/71.入=580nm )とからな
る光吸収体15を本例EL素子の光取り出し側に配置し
ている。本例の光吸収体15の可視光透過率は、第3図
の分光透過率特性曲線aで示すように、24%〜34%
であり、その中心値29%に対して±5%の透過率でほ
ぼ平坦特性を有している。
そして、この可視光透過率の好ましい範囲は、次のよう
な理由により10〜70%の範囲内である。光吸収体1
5の両面での光反射を実用上無視して、光吸収体15の
透過率をtとし、領域Aにおける光反射率をrとし、こ
の光吸収体15が存在しないときのEL素子の発光輝度
をbとすると、本発明によるE、L素子の発光輝度B及
び光反射率Rは、B=tb及びR=t rとなる。ここ
で、透過率tを小さくすることにより、光反射率Rを小
さくりることかできるが、発光輝度Bも透過率tに比例
して小さくなるため、透過率tを無制限に小さくしても
無意味である。そこで、この透過率tの実用上好ましい
範囲を検討すると、その上限値t maxについては光
反射率Rを光反射率rの1/2にまで減少させることが
望ましいことから、tmax−f]てフγ〒−−70%
となり、その下限値については、発光輝度b(本例: 
100cd / rd )に対する最小限必要とされる
発光輝度3 m1n(本例: 10cd/ ml )の
比tmin =Bmin /b=10%となる。そして
、この光吸収体15の透過率tは10%〜70%範囲内
にあって、可視光(波長:400〜80onm )にお
いて一様なコントラストを得るために、波長に対する透
過率の変動の許容差が±10%内で実質的に平坦特性で
あることが望ましい。
本例の光吸収体15を通した分光反射率特性は、第4図
の曲線すで示すように可視光反射率を4〜7%にまで著
しく低下させることができ、その結果、EL素子のコン
トラストを充分に高くすることができる。
本発明は以上の実施例の他、光反射体12についではガ
ラス板10の材質をアルミノボロシリケート等の多成分
系ガラス又は石英ガラスなど透光性ガラスにしてもよく
、金属膜11の材質をTa、旧。
NiCr、 No、Al1等の金属にしてもよい。更に
ガラス板10を使用しないで、前記金属素材を板状に加
工したものでもよい。光吸収体15については、誘電体
層14をSi Oの単層、又はH!II F2. Si
 02゜Ti O□、 III 02等のうら2層以上
の多層にしてもよく、また、PbTe、 CdTe、 
C等の光吸収性簿膜をガラス板13の両面又は片面に形
成してもにり、ここで使用づるガラス板13を透明基板
1として兼用してもよい。この兼用の場合は、第2図に
おいて透明基板1の代わりに光吸収体15を設置するこ
とになる。ここで使用したガラス板13については、誘
電体層又は光吸収性薄膜をその表面に形成した場合に、
前述したどおり可視光透過率が10〜70%の範囲内に
あって、波長に対してその透過率の変動の許容差が±1
0%内であるガラスであることが好ましいが、ガラスの
硝種については実施例に限定されない。また、シリカホ
ウ酸R2o系ガラスの添加物としてニッケルとコバルト
を使用してもよい。
その伯の変形例を挙げれば、本発明では透明電極2から
背面電極6までの積層構造は任意であり、例えば第1図
(a)の基本構造において絶縁層3を除いて透明電極2
と発光層4を隣接した、いわゆるMIS構造タイプでも
よく、また次の通り材質を変えてもよい。先ず、透明長
板については石英ガラスに代えて、ソーダライムガラス
、アルミノボロシリケートガラス等の多成分系のガラス
基板でもよく、透明電極についてはITOに代えて、l
0203若しくはこれにWを添加したもの又はSn O
,にSb、 F等を添加したものであってもよい。
次に、絶縁層については Y2O3に代えて、Ta20
5. Ti O2,AjL203. Si3N4又は5
i02等を使用してもよい。次に、発光層については、
母材としてZnSの代わりに、Zn5e又はこれら混合
物等を使用してもよく、これらの母材に対して活性材と
してHn、 Cu、An、希土類、ハロゲン等が添加さ
れる。例えば、ZnS :Cu、八jLでは黄緑色、加
(S−Se) : Cu、 8rでは緑色、母材Z’n
Sに対して活性材としてSmは赤色、Tbは緑色、Tm
は青色を発光1゛る。また、この発光層は中間層として
透明誘電体層(Y O、Ta2O,、Ti O2゜3 AL203,513N4又は、SiO2等)を介在して
第1及び第2の発光層に分けてもよく、その場合に第1
及び第2の発光層は同一材質に選定できることは勿論の
こと、異種材質、例えば第1の発光層として■b6F3
を添加したZnS H膜を使用した場合、第1の発光層
からは緑色を発光し、第2の発光層としてSm F3を
添加したZnS薄膜を使用した場合、第2の発光層から
は赤色を発光して、全体として緑色と赤色との中間色を
発光する薄膜[L素子が得られる。次に、背面電極につ
いてはAlに代えて、ra、 No、 Fe、 Nt、
 NiCr等の金属を使用してもよい。
以上のとおり、本発明の薄膜EL素子ににれば、発光輝
度特性を良好に維持しつ・、高いコントラストを得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、(b)及び(c)はそれぞれ従来の薄膜
EL素子を示す断面図、第2図は本発明の薄膜EL素子
による実施例を示す断面図、第3図は本実施例における
光吸収体の分光透過率特性図、並びに第4図は本実施例
の分光透過率特性図である。 2・・・透明電極、4・・・発光層、6・・パ背面電極
、12・・・光反射体、15・・・光吸収体第1図 2 1 第2図 第3図 浪 &(τ町 第4図 浪 長 (lrL俟〕 手 続 補 正 書 く自発) 1.事件の表示 昭和59年特許願第34017号2、
発明の名称 薄膜EL素子゛ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区中落合2丁目7番5号〒161’ 
置 03(952) 1151ホ ヤ ガラス 名称 株式会社 保 谷 硝 子 (1) 明細書の「発明の詳細な説明」の欄5、補正の
内容 (1) 明細書第1頁第19及び16行目に「CaTe
」とあるを[cdTelと訂正する。 以上 手 続 補 正 書 (自発) 昭和60年3月4日 1、事件の表示 昭和59年特許願第34017号2、
発明の名称 薄膜EL素子 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区中落合2丁目7番5号〒161 T
E L 03(952) 1151名称 ホ − ヤ 
株 式 会 社 (1)明細書の「発明の詳細な説明」の欄5、補正の内
容 (1)明細書第1頁第19行に「コントラストを」とあ
るを「コントラスト及び画像品位を」と補正する。 ストを」とあるを「コントラスト及び画像品位を」と補
正する。 (3)明細書第6頁第5行に1見えてしまう。」とある
を「見えてしまい、発光絵素が見にくくなり、画像品位
が低下する。」と補正する。 (4)明細書第7頁第16行に「実用上無視して、」と
あるを「単純化のため無視して、」と補正する。 (5)明細書第9頁第2行に「できる。」とあるを「で
きる。また、光反射体12を設置したことにより、背面
電極6のパターン形状を見えなくすることと、光吸収体
15による光吸収効果との相乗効果を得て、EL素子は
非富に見やすくなる。 」と補正する。 (6)明細書第12頁第1行から第2行に「高いコンl
−ラス[〜」とあるを「優れた画像品位と高いコントラ
スト」と補正する。 以上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 透明電極と背面電極との間に発光層を介在し、
    両電極間に電界を加えることにより、前記発光層がEL
    発光づるEL素子において、光反射体を前記背面電極の
    後方に配置し、かつ光吸収体を前記EL素子の光取り出
    し側に配置したことを特徴とづる薄膜Eし素子。 (2、特許請求の範囲第1項記載において、前記光反射
    体の可視光反射率が前記背面電極の存在づる領域におけ
    る前記透明電極側から見た可視光反射率と実質的に等し
    く、かつ前記光吸収体の可視透過率が10〜70%の範
    囲内にあって、波長に対する透過率の変動の許容差が±
    10%内であることを特徴とする薄膜EL素子。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS638594U (ja) * 1986-07-01 1988-01-20

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0679513B2 (ja) * 1985-12-25 1994-10-05 株式会社日本自動車部品総合研究所 薄膜エレクトロルミネセンス素子の製造方法
JPS63146398A (ja) * 1986-12-09 1988-06-18 日産自動車株式会社 薄膜elパネル
US5003221A (en) * 1987-08-29 1991-03-26 Hoya Corporation Electroluminescence element
US4963788A (en) * 1988-07-14 1990-10-16 Planar Systems, Inc. Thin film electroluminescent display with improved contrast
US5043631A (en) * 1988-08-23 1991-08-27 Westinghouse Electric Corp. Thin film electroluminescent edge emitter structure on a silicon substrate
US5688608A (en) * 1994-02-10 1997-11-18 Industrial Technology Research Institute High refractive-index IR transparent window with hard, durable and antireflective coating
JPH09245966A (ja) * 1996-03-04 1997-09-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光透過性反射層を有するelランプおよびその製造方法
JP2002014327A (ja) * 2000-06-28 2002-01-18 Victor Co Of Japan Ltd 液晶表示素子
JP2002208474A (ja) * 2001-01-11 2002-07-26 Tohoku Pioneer Corp 有機elディスプレイ
US6470594B1 (en) * 2001-09-21 2002-10-29 Eastman Kodak Company Highly moisture-sensitive electronic device element and method for fabrication utilizing vent holes or gaps
TW200417806A (en) * 2003-03-05 2004-09-16 Prime View Int Corp Ltd A structure of a light-incidence electrode of an optical interference display plate
US7247986B2 (en) * 2003-06-10 2007-07-24 Samsung Sdi. Co., Ltd. Organic electro luminescent display and method for fabricating the same
US7706050B2 (en) 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7355780B2 (en) * 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US7423297B2 (en) * 2006-05-03 2008-09-09 3M Innovative Properties Company LED extractor composed of high index glass
JP2012054040A (ja) * 2010-08-31 2012-03-15 Nitto Denko Corp 有機エレクトロルミネッセンス発光装置
CN115032209B (zh) * 2022-08-11 2022-11-15 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 一种透明导电薄膜质量检测方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54158199A (en) * 1978-06-02 1979-12-13 Sharp Corp Blackened electrode structure
JPS5858583A (ja) * 1981-09-21 1983-04-07 サン・ケミカル・コ−ポレ−シヨン 改良薄層エレクトロルミネセント表示デバイス

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1568111A (en) * 1975-07-22 1980-05-29 Phosphor Prod Co Ltd Electroluminescent devices
JPS54122990A (en) * 1978-03-16 1979-09-22 Sharp Corp Manufacture for thin film el panel
CA1144265A (en) * 1978-12-29 1983-04-05 John M. Lo High contrast display device having a dark layer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54158199A (en) * 1978-06-02 1979-12-13 Sharp Corp Blackened electrode structure
JPS5858583A (ja) * 1981-09-21 1983-04-07 サン・ケミカル・コ−ポレ−シヨン 改良薄層エレクトロルミネセント表示デバイス

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS638594U (ja) * 1986-07-01 1988-01-20
JPS6317199Y2 (ja) * 1986-07-01 1988-05-16

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Publication number Publication date
US4590128A (en) 1986-05-20

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