JPS60166915A - 円環状ビ−ム作成用光学系 - Google Patents

円環状ビ−ム作成用光学系

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JPS60166915A
JPS60166915A JP59021932A JP2193284A JPS60166915A JP S60166915 A JPS60166915 A JP S60166915A JP 59021932 A JP59021932 A JP 59021932A JP 2193284 A JP2193284 A JP 2193284A JP S60166915 A JPS60166915 A JP S60166915A
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JP
Japan
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mirror
assembly
optical system
convex
concave
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Pending
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JP59021932A
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Kazuhiro Izukawa
和弘 伊豆川
Ichiro Okumura
一郎 奥村
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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    • G02B5/001—Axicons, waxicons, reflaxicons
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
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    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/085—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam into, or out of, its operative position or across tracks, otherwise than during the transducing operation, e.g. for adjustment or preliminary positioning or track change or selection
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、円環状ビーム作成用光学系に関する。
〔従来技術〕
光学情報の記録再生用光学系は、記録密度をできるだけ
大きくするため、そのスポット径を小さくしなければな
らない。そのため、レンズが十分に収差補正されること
はもちろん、開口数（Ｎ、Ａ、）の大きいレンズが必要
となる。しかし、Ｎ、Ａ、を大きくすると収差補正が厳
しくなるためレンズ重量が増加し、光ヘツド用レンズと
しては好ましくない。
そこで、レンズの中心部に遮光板を設け、レンズの周辺
のみを使うことが提案されている（特開昭５６−１１６
００４号公報）。しかし、この方法では光源よシ出た元
エネルギの一部を遮断することになシ、特に記録用光学
系としては好ましくない。
また、第１図に示す様に、凸円錐形状ミラー１と凹円錐
形状ミラー２とを組合せ、中空リング状の光をつくり、
レンズ７０周辺のみを使う方法もある。この方法は光エ
ネルギを損失することなく中心部を遮光するのと同じ効
果があシ、光ヘツド光学系として有効である。ところが
、この方法では凸円錐形状ミラー１と凹円錐形状ミラー
２とを両者の軸ずれ及び角度ずれをλ／１０程度におさ
えて組立てなければならない。そこで、従来かかる組立
は干渉計等の精密な測定器を使って行なわれていた。こ
のため、従来のこの種の方法は調整に時間がかか）、生
産能率が悪かった。
〔発明の目的〕
本発明は、上記の如き従来技術に鑑み、凹凸２つのミラ
ーを調整することなしに精度良く組立てることのできる
円環状ビーム作成用光学系を提供することを目的とする
。
〔発明の要旨〕
本発明によれば、上記の目的は、各ミラー、またはそれ
に固定された支持具に組立用テーパ面を設け、該テーパ
面どうしを突き合わせることによシ達成される。
〔発明の実施例〕
以下、図面を参照しつつ本発明の詳細な説明する。
第２図は本発明の一実施例を示す断面図である。
図において、１は凸円錐形状ミラーであり、反射面１′
をもつ。２はミラー１と同じ頂角をもつ凹円錐形状ミラ
ーであシ、反射面２′をもつ。該ミラー２は組立用テー
パ面１０をもつ。３は透明ガラス板であり、ここに凸円
錐形状ミラー１が固定されている。４はミラー支持具で
あ）、ここに透明ガラス板３が固定されている。該支持
具４はやはシ組立用チーｉＺ面１１をもつ。５はレーザ
光の入射口であシ、６はレーデ光の出射口である。円錐
形状ミラー１及び２はアルミニウム、銅等の金属をダイ
ヤモンドバイトで切削して作ることができる（尚、この
様にして作られたミラーには適宜反射膜を付与すること
ができる）。その時、凸円錐形状ミラー１、ガラス板３
及び支持具４は予め接着され、凸円錐形状ミラー１の反
射面１′と支持具４の組立用テーノ４面１１とは１つの
工程で切削されるため、両者の同軸度は非常に良く保証
される。たとえば切削加工機の回転主軸に静圧空気軸受
を用いたものでは、同軸度が０．０１μｍ以下となる。
同様にして凹円錐形状ミラー２０反射面２′と組立用テ
ーパ面ＩＯとを１つの工程で加工する。
しかる後に２つの組立用テーパ面１０及び１１を突き合
わせて固定する。
この様にして形成される凸円錐形状ミラー１と凹円錐形
状ミラー２との組合せにおいては、２つの反射面１′及
び２′の同軸度は極めて良好であシ、入射口５から入射
した平行光は中空リング状の平行光となって出射口６か
ら出射する。
第３図及び第４図は本発明の他の実施例を示す断面図で
ある。第３図の実施例においては、凹円錐形状ミラー２
０反射面２′と組立用テーパ面１０との間に段差をなく
しである。これによシ、凹円錐形状ミラー２の作製の際
の切削加工の工程を短縮することができる。同様に、第
４図の実施例においては、凸円錐形状ミラー１の反射面
１′と組立用テーノ４面１１との間の段差をなくしてア
ｖ１これＫよシロ円錐形状ミラー１の作製の際の切削加
工工程を短縮することができる。
第５図および第６図は、本発明の光学系を、Ｘ線顕微鏡
に適用した実施例を示す概略図である。
第５図、第６図において、第２図と同一の部材には共通
の符号を附した。Ｘ線源の像を被検物１４上に縮小投影
し、被検物１４上を走査し、その透過Ｘ線の量の変化を
光検出器１５で検出して、被検物形状を写し出すＸ線顕
微鏡では、第５図又は第６図のように、凸ミラー１３と
凹ミラー１２を組合せた反射光学系が必要である。又、
凹凸ミラーの組立精度は、顕微鏡の分解能に寄与するた
め、精度の高い組立が必要となる。このような場合にも
前述と同様に夫々の反射面１３’、１２’と同時に組立
テーパ面ｔｏ、ｉｔを加工し、組立てることができる。
この場合、凸ミラー１３の支持部材は、Ｘ線を透過する
材質、又は、第７図（、）　、　（ｂ）のように一部を
支柱で支持するか、第７図（Ｃ）のようにＸ線光路の一
部に穴をあけたような構造とすることが出来る。
〔発明の効果〕
以上の如き本発明の光学系によれば、凹凸２つの円錐形
状ミラーを特別の調整をすることなく精度良く組立てる
ことができ、安価に光ヘッド用光学系の改善をすること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は凹凸２つの円錐形状ミラーを組合せて円環状平
行ビームを作成する光ヘツド光学系の図であυ、第２〜
６図は夫々本発明の光学系の実施例を示す断面図、第７
図（、）　（ｂ）　（ｃ）は夫々、凸ミラーの支持部材
の構成例を示す図である。 １・・・凸円錐形状ミラー、１’、１３’・・・反射面
、２・・・凹円錐形状ミラー、２’　、　１２’・・・
反射面、３・・・ガラス板、４・・・支持具、５・・・
光入射口、６・・・光出射口、７・・・レンズ、８・・
・情報記録媒体、９°・。 レーザ光、１０．１１・・・組立用チー／４面、１２・
・・凹ミラー、１３・・・凸ミラー、１４・・・被検物
、１５・・・光検出器。 塩１図 ｉＩ　２　図 第３図 ２°　１ ＠４図 ２・１

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）　円環状ビームを作成するために、凸状ミラーと
    凹状ミラーとを組合せた光学系において、各ミラー又は
    それに固定された支持具に組立用テーパ面を設け、該チ
    ー、４１面どうしを突き合わせて組立てる様にしたこと
    を特徴とする、円環状ビーム作成用光学系。
  2. （２）凸状ミラーの反射面と該ミラーまたはその支持具
    の組立用テーノ９面とが同一円錐形の異なる部分である
    、第１項の円環状ビーム作成用光学系。
  3. （３）　凹状ミラーの反射面と該ミラーまたはその支持
    具の組立用チー／４’面とが同一円錐形の異なる部分で
    ある、第１項の円環状ビーム作成用光学系。
JP59021932A 1984-02-10 1984-02-10 円環状ビ−ム作成用光学系 Pending JPS60166915A (ja)

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JP59021932A JPS60166915A (ja) 1984-02-10 1984-02-10 円環状ビ−ム作成用光学系
US06/697,457 US4657360A (en) 1984-02-10 1985-02-01 Optical system for making an annular beam
DE19853504366 DE3504366A1 (de) 1984-02-10 1985-02-08 Optisches system zur ausbildung eines kreisringfoermigen strahls

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