JPS60131670A - 原盤記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本梵明はビデオディスクやコンパクトディスク或いはデ
ータファイルディスク等等の原盤記録装置に関覆るもの
である。

従来例の構成とその即題点 一般に原盤記録装置においては、先ず、記録剤が塗イＦ
された。ガラス原盤が装置内のターンテーブル上に載置
される３、シかる後に前記原盤が回転駆動され、記録す
べき信号に変調されて盤面上に集束されたレーザー光線
が霞光される。このとぎに前記原盤とレーザー光線を相
対的に移動させることに１二りスパイラル状に信号が９
ｔ１録される。これらの装置に用いられる記録剤、は例
えば感光剤であり、」−配（Ｃ号記録の後の現像■稈に
よって原盤上に幾何学的な形状のバタ、−ンが得られる
。これらのパターンは例えば大ぎさ、が１ミクロン以−
１・、深さが０．１ミクロン程度の微細なくぼみであり
、スパイラルのトラックピッチも１．６ミクロン程度の
小さなりので゛ある。従って、通常の空犠中に浮遊する
塵埃がこれら原盤作成工程中に原盤上に付着すれば信号
のドロップアウトにつながる。イのために原盤作成工程
はクリーン度の高いクリ−、ンルームで行なわれている
のが現状である。又ターンテーブル上に原盤を装着する
とぎに人の装着動作によってゴミやほこり等が発生し原
！１Ｉ−１−に付着覆ることがある。これを避けるため
に原盤をカートリッヂ内に収納し、記録装置にはカート
リッジを装填するだけで後は自動的にはターンテーブル
上に原盤が装着されてるシステムが考えら−れている二
このシステムでは原盤装着時のミスやアクシデントにＪ
、って原盤」−に傷や指紋をつ【プることが防げる。

又、原盤は常時カートリッヂに収納されていて装置内で
のみカートリッヂ外に出るので、装置内のクリーン度の
みを上げるだけで良い等の利点を有している。このシス
テムにおいて問題となるのは、原盤を自動的にターンテ
ーブル上に載置するときの原盤の芯出しである。ターン
テーブルの回転軸と原盤の中心がずれると回転時にダイ
ブミックアンバランスによる振動が生じ、トラックピッ
チ等の記録精度に大きな影響を与える。従来において、
ガラス原盤の装着時の芯出しは一般的にガラス原盤中心
部に設けられた孔とターンテーブルのセンターボスどの
嵌合にＪ：つて行なわれて来た。しかし記録の前後工程
、例えばレジスト塗布や現像時において原盤重心孔があ
るための各種の弊害がでてぎており、そのために中心孔
のない原盤が用いられる傾向にある。中心孔なしの原盤
の場合には、外周側面を位置決めして８合わせを行なう
必要がある。従来このＪ：うな８合わせにはコレットチ
ャック方式の８合わせ機構が用いられていたが、ビデオ
ディスクの原盤等は直径が３５０ｍ’ｂあり、これを精
庶良く芯出しするためにはかなりの大きさの高ｔ？１度
なＩ［が必要になり、又］スト的にも高くならざるを得
ない。

発明の目的 本発明は上記従来の欠点を解消する一ｂので、構成が簡
単で確実な動作を行ない、記録装置として十分な精度を
満たす芯出し門構を有する原盤記録装置を提供すること
を目的とする。

発明の構成 上記目的を達成するため、本発明の原盤記録装置は、タ
ーンテーブル上に載置された原盤の８合□゛わせを行な
う８合わせ機構と、この８合わせ機構による８合わせ動
作終了後に□前記原盤を前記ターンテーブルに真空吸着
する＊構とを有し、前記８合わせ機構は前記ターンテー
ブルを含む回転部分から騒立して設けられて輌記□原盤
の外周側面□を位―規制する複数個の位置固定状態の位
置決め部材を備えているものである。

実施例の説明 以下、本発明の一実゛施例について、図面に基づいて説
明する。

□第１図はガラス原盤搬送メカニズムを示し、′１はカ
ートリッヂで、レジストを塗布されたガラス１！ｊＷ２
が収納されている。本装置によれば、作業者の手によっ
て装置内に挿入されたカートリッヂ１は図示しない機構
により第１図に示−４（？／置に搬送される。これには
リニアスライドのような機構が用いられる。所定の位置
に到達したカートリッヂ１は図示しない機構により矢印
３の方向に蓋が開かれる。次に軸１４を中心に回８りる
搬送アーム４が矢印６の方向に移□動し、ガラス原盤２
の上方軸１Ｏに取付けられたタイミングプーリー１１、
タイミングベル１−１２、アー云ゝ軸１４に取ｆ・口）
られたタイミングプーリー１３によって行なわれる。第
２図に搬送フＩ−ム取付部の□側御１′図を示ず。搬送
アーム４の先端には軸１８の周：す□に゛回動するガラ
ス原盤挟持部材１９が設けられ、この挟持部１１１９に
は左右に一゛対の□爪５．５が設けられている。爪５，
５は挟持部′Ｕ１９の中に段けられたエアーシリンダー
等ににって左右に開閉動作ができる。軸１８とアーム軸
１４にはタイミングプーリー　１５．１７が設けられて
おり、タイミングベルト１６＆：′よって連結されてい
る。（のだめに、搬送アーム４の位置に関係なく挟持さ
れたガラス原盤２は常に水平状態を保つことができる。

搬送アーム４が前記矢印６の方向に回動して第１図二点
鎖線で示した位置に来ると、それまで聞いていた爪５，
５が閉じてガラス原盤２を挟持づる。ガラス原盤２は取
出し自在にカートリッヂ１内に収納されているので、搬
送アーム４が矢印７の方向に回動づることによってガラ
ス原盤２はカートリッヂ１の中から取出され、ターンテ
ーブル８の方向に搬送される。第１図の実線で示した位
置に搬送アーム４が来ると、爪５，５が開放され、がラ
ス原盤２がターンテーブル８上に載置される。第３図に
その動作をｉｔシ＜示す。第３図ａは搬送アーム４がタ
ーンテーブル８の上に来た状態を示し、ガラス原Ｍ２は
ターンテーブル８上に接触している。第３図すは更に搬
送アーム４が第１図矢印７の方向に若干最回動じた状態
を示している。一対の爪５，５の間でガラス原盤２は若
干のクリアランスを持って支持されているので、第３図
すの状態ではガラス原盤２がターンテーブル８上に残り
、爪５，５から離れている。第３図Ｃは爪５，５が軸２
４の周りで回動し開放状態になっだ状態を示しており、
この状態で搬送アーム４が再び第１図矢印６の方向に移
動すると、ガラス原盤２だけがターンテーブル８上に残
される。王の後搬送アーム４は鉛直状態で保持され待機
することｉこなる。以上でガラス原盤２の載置動作が完
了する。

第１図で、ターンテーブル８はスピンドル２０に取付け
られており、スピンドル２０は装ｆｔ１Ｍ台２３に周定
され−Ｃいるる。ターンテーブル８が光学系に対して移
動する装置では装置基台２３は送りステージの基板にな
る。２１はスピンドル２０に自活したターンテーブル駆
＃Ｊモータである。２２はガラス原盤をターンテーブル
８に真空吸省するときのエアーの排気ヂコーブである。

−に記しｌこＪ：うにガラス原盤２がターンテーブル８
上に載置され、搬送アーム４が中立点の待機位置に来た
のが確認されると次の芯合わせ動作が１ｉｆｔ蛤する。

ガラス原盤２がターンテーブル８上に載１ζｔされてい
るかどうかは光学的検出手段等により確認することがで
きる。

次に芯合わせ機構について説明する。第４図にターンテ
ーブル８、ガラス原盤２を含む芯合わせ機構を示す。第
４図はガラス原盤２がターンテーブル８上に載置された
状態を示し、芯合わせ動作はまだ行なわれていない。２
５はガラス原盤２の外周側面を位置規制する位置決め部
材であり、ターンテーブル８を含む回転部分からは独立
して複数個設けられている。第４図では３つの位置決め
部材２５が示されている。４１は芯合わせ機構を取付（
）た基板であり、装ｖｌｔｔ台２３に取付けられている
。

前記位置決め部１Ｊ２５は軸２６の周りに回動自在であ
る。２９はタイミングベルトであり、ターンテーブルの
周りに設けられたタイミングプーリー２７・・・に掛け
られている。タイミングベルト２０は同じく駆動プーリ
ー３０にも係合しており、駆動モータ３１によって時計
方向又は反時計方向に移動させられる。

第４図ではタイミングベル１−２９に取付けた係止片３
２がタイミングベルト２９の矢印４２方向の移動に伴な
って位置決め部材２５のチャンネル部３３を押し、位置
決め部材２５を時計方向に回動させている。このとぎ４
ｉ１置決め部材２５はばね３４をｆｆ　１１ｉ　７Ｊ向
に変形させている。タイミングベルト２９が矢印４２の
方向に一定距離移動すると、タイミングベルト２９に取
（ｄけたスイッチ動作部材３５の傾斜部３５ａがマイク
ロスイッチ３６を押して駆動モータ３１の回転を停止１
させる。このとぎ、ばね３４の力にＪ：リタイミングベ
ル１−２９は矢印４３の方向に移動゛Ｊる力を受【プる
が、駆動モータ３１の減速機の負荷が大ぎいため、この
位置で停Ｊｌ−Ｌ、ている。ｖ５４図はこの状態を示し
ており、位置決め部材２５の先端の第１、第２の当接部
３８．３９はガラス原盤２、ストッパ−４０から離れて
いる。第４図の状態が芯合わせ機構の１４機状態であり
、この状態でガラス原盤２がターンテーブル８の上に載
置される。。

次に芯合わ′ｔ！動作を第５図、第６図に１１つき説明
する。第５図において、駆動モータ３１によりタイミン
グベルト２９が矢印４３の方向にスイッチｖ）竹部材３
５の傾斜部３５ｂがマイクにスイッチ３１を押づ迄一定
量移動すると係１１片３２がり位置決め部材２５のヂｔ
７ンネル部３３から離れて位置決め部材２５を解放する
。そのときばね３４の力により位置決め部材２５は反時
計方向に回動し、第２の当接面３９がリング状のストッ
パー４０に当接する。この過程において、第１の当接面
３８がガラス原盤２の側面を強制的に押圧して芯合わせ
が行なわれる。位置決め部材２５は複数個設けられてい
るが、第２の当接部３９がストッパー４０に当接してい
るときに人々の第１の当接面３８がなす接円の中心はタ
ーンテーブル回転軸芯４４と一致りるように設ｈ１され
ている。又イの接円の直径はガラス原盤２の直径と一致
している。ガラス原！３２の外形寸法は公差の範囲内で
若干ばらつぎが生じるが、その場合の最大芯合わせ誤差
はそのばらつぎ分の１／２の値になり、殆んど無視でき
る址である。位置決め部材２５を３個所に設け１こ実施
例で考えると、９Ｊ３んどの場合は２つの位置決め部材
２５．２５の第１と第２の当接面３８゜３９が大々ガラ
ス原盤２側面とストッパ−４０側面に当接し、ガラス原
盤２を中心部分に変移させて芯合わせを行なっている。

残りの位置決め部材２５についてはガラス原１ｌＡ２の
直径が第１の当接面３８の接円Ｊ：り小さいときは第２
の当接部３９がストッパー４０に当たり、第１の当接面
３８がガラス原盤２側面に接触しないままで止まる。又
ガラス原盤２の直径が前記接円より若干大きいとぎは第
１の当接面３８がガラス原盤２側面に当たり、第２の当
接面３９がストッパ−４０から離れた状態になる。ガラ
ス原盤２の直径はできるだけ第１の当接面３８の接円に
近づける方が芯合わぜの精度は良くなる。もしイれが一
致していれば芯合わｔ！誤差はぜ［１であり、ガラス原
盤２が設計値より異なるときは位置決め部材２５のどち
らかの当接面とガラス原盤２又はストッパ−４０とのク
リアランス量の１／２が芯合わせ誤Ｘとなる。ガラス原
盤２の外形加工の精度はかなり良く、それによる誤差の
値は実際上無視できる聞になっている。

さて上記したようにターンテーブル上で芯合わせ動作が
完了Ｊると、次に吸着動作が開始する。

これは図示されてはいないが、ターンテーブル８表１ｒ
ｉｉ−にに多数の小孔が設けられており、真空ポンプの
吸引によって発生する負圧でガラス原盤２を吸＠する。

第６図における４５はターンテーブル駆動モータ２１の
下に取付けられたロータリージヨイントであり、そこか
ら排気チューブ２２が出ていて真空ポンプ４６につなが
っている。４７は圧力検出器であり、一定の真空圧に到
達したことが確認されると次の動作が開始される。もし
ターンテーブル８上に異物が存在していてガラス原盤２
がターンテーブル８に確実に吸着されていないときは、
真空圧が下がらず圧力検出器４７によりそれが検知され
、システムコント０−ル部にその異状を知らせることが
・できる。ガラス原１ＩｌＩ２がターンテーブル８に吸
着されたことが確認されると、次に芯合わせ機構のＭ除
が行なわれる。上の段階ではまだ位置決め部材２５の第
１の当接面３８がガラス原盤２側面に当たっているので
それを解除する必要がある。

この動作は芯合わせ動作と逆の動作を行なわせることに
よって達成される。つまり第４図に示すようにタイミン
グベルト２９が矢印４２の方向に移動すれば、係止片３
２が位置決め部＄１２５を時計方向に回動し、第１、第
２の当接面３８．３９を夫々当接部より引きＩＩす。タ
イミングベルト２９が一定聞移動すると、マイクロスイ
ッチ３Ｇが働き、駆動モータ３１が停止する。駆動モー
タ３１の減速機の負部によりタイミングベルト２９はこ
の状態で固定され、ガラス原！！１２は拘束を受けない
フリーな状態となる。

このときに始めてターンテーブル駆動モータ２１は回転
をＶ８始し、光学系部分へ相対的に移動を始め、記録段
階に入る。記録作業が終了するとターンテーブル８の回
転も止まり、光学系部分との相対位置も元の状態に戻る
。そして真空ポンプ４Ｇも止まりガラス原盤２の吸着力
をゼロにする。そして搬送アーム４が待機状態から第１
図の実線で示す位置迄移動し、ガラス［１１１２をつか
まえてカートリッヂ１内に再び収納する。

、本発明の芯合わせｌｌ＠では、位置決め部材の動きは
他の位置決め部材の動きには無関係にただストッパー４
０にのみ規制されるので、その動きに精度が要求されな
い。、一方、コレットチャック方式の芯合わせでは常に
位置決め部材は当接面が同心円を保ち且つその中心が回
動軸と一致するような動きをする必要があり、高精度の
機構が必要になる。それに対し本発明の装置では位置決
め部材２５の第２の当接面３９がストッパー４０に当接
したときに第１の当接面３８のなす接円の中心がターン
テーブル８の中心と一致するように一度調整すれば良い
。それは以下の手順で簡単に調整することができる。先
ず標準のガラス原盤をターンテーブル上ヒに載せて、そ
の端面を顕微鏡で見ながら可能な限り芯合わせを行なう
。できれば１０μＴｒＬ程度迄追い込めば十分である。

次にガラス原盤を吸着して固定する。次に位置決め部材
２！）を回転させて第２の当接面３９がストッパー４０
に当たるようにする。第１の当接面３８はねじ等によっ
て位置決め部材２５の本体に対して移動可能にしておき
、それがガラス原！１１２の外周側面に接触するように
して固定する。

最初に一度この調整を行なうだ（）で良い。尚以上の説
明は一実施例であり、同じ原理による他の機構であって
も良い。

発明の効果 １）　本発明による装置では中心孔のないガラス原盤の
芯出しを簡単且つ確実に行なうことができる。又、他の
コレットチャック方式等のように複雑で高糖ｍな１ａｔ
ｌｌｉｌを必要としない。

２）　安価な費用で製作可能である。

３）　芯出しに要する時間が短かくて済む。これは本装
置の位置決め部材はぞの動きに精度を要求しないので、
ストッパ−に当たる迄高速で動作さけることができるか
らであるー。

４〉最初にターンテーブル上に載【する精度は要求され
ない。位置決め部材の当接面に当たらない限り、いくら
偏心した状態で置かれても良い。

５）　回転Ｊる部分と芯出しを行なうｆｔ１１１とが独
立しているため、芯出し機構の重量が回転負荷に４Ｔら
ず、ダイシミツクアンバランスも生じない。

６）　芯出しを行なう位置決め部材の位置が固定されて
いる。従って、ガラス原盤をつかんで搬送してくる爪と
接触しないようにその位置を設定することができる。

７）　ターンテーブルは簡単な構成で良く、ガラス原盤
の外周を囲−むような芯合わせのための内壁を設ける必
要がない。従って回転系の質量を小さくすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図はガラス原盤搬
送メカニズムを示す説明図、第２図は第１図の要部側面
図、第３図ａ〜Ｃは第１図に示すメｊｊニズムのガラス
原盤搬送用爪の動作説明図、第４図は芯合わせ前の芯合
わせ機構の平面図、第５図は芯合わせ時の芯合わせ機構
の平面図、第６図は同要部縦断面図である。 １・・・カートリッｆ１２・・・ガラス原盤、４・・・
搬送アーム、５・・・爪、８川ターンテーブル、１９・
・・ガラス原盤挟持部材、２０・・・スピンドル、２１
・・・ターンデープル駆動モータ、２２・・・排気チュ
ーブ、２５・・・位置決め部材、２６・・・軸、２９・
・・タイミングベルト、３ｏ・・・駆ｖｊプーリー、３
１・・・駆動モーター、３２・・・係止片、３３・・・
ブヤンネル部、３４・・・ばね、３８．３９・・・当接
面、４０・、、ストッパー、４６・・・真空ポンプ代理
人　森　本　義　弘 第１図 ２２ 第２図 第３図 （ｄ） 第４図 １３７ 、、、　第Ｓ図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、原盤記録装置において、ターンテーブル−１−に載
   置された原盤の芯台わせを行なう芯台わせ機構と、この
   芯台わせ機構による芯台わせ動作終了後に前記原盤を前
   記ターンデープルに真空吸看する機構とを有し、前記芯
   台わせ機構は前記ターンテーブルを含む回転部分から独
   立して設けられて前記原盤の外局側面を位置規制する複
   数個の位置固定状態の位１６決め部材を備えている原盤
   記録装置。 ２、複数個の位置決め部材は夫々原盤の外周側面に当接
   する第１の当接面と、前記位置決め、部材の動きを１定
   位置で規制するストッパーに当接する第２の当接面を有
   し′えおり、前記第２の当接面が前記ストッパーに当接
   したときに第１の当接面がなづ接円の中心は前記ターン
   テーブルの中心と一致しており、前記接円の直径は前記
   原盤の１径と略等しくなるようにした特許請求の範囲第
   １項記載の原盤記録装置。