JPS60131670A - 原盤記録装置 - Google Patents
原盤記録装置Info
- Publication number
- JPS60131670A JPS60131670A JP58240407A JP24040783A JPS60131670A JP S60131670 A JPS60131670 A JP S60131670A JP 58240407 A JP58240407 A JP 58240407A JP 24040783 A JP24040783 A JP 24040783A JP S60131670 A JPS60131670 A JP S60131670A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turntable
- contact
- center
- master
- glass master
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B17/00—Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor
- G11B17/02—Details
- G11B17/022—Positioning or locking of single discs
- G11B17/028—Positioning or locking of single discs of discs rotating during transducing operation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本梵明はビデオディスクやコンパクトディスク或いはデ
ータファイルディスク等等の原盤記録装置に関覆るもの
である。
ータファイルディスク等等の原盤記録装置に関覆るもの
である。
従来例の構成とその即題点
一般に原盤記録装置においては、先ず、記録剤が塗イF
された。ガラス原盤が装置内のターンテーブル上に載置
される3、シかる後に前記原盤が回転駆動され、記録す
べき信号に変調されて盤面上に集束されたレーザー光線
が霞光される。このとぎに前記原盤とレーザー光線を相
対的に移動させることに1二りスパイラル状に信号が9
t1録される。これらの装置に用いられる記録剤、は例
えば感光剤であり、」−配(C号記録の後の現像■稈に
よって原盤上に幾何学的な形状のバタ、−ンが得られる
。これらのパターンは例えば大ぎさ、が1ミクロン以−
1・、深さが0.1ミクロン程度の微細なくぼみであり
、スパイラルのトラックピッチも1.6ミクロン程度の
小さなりので゛ある。従って、通常の空犠中に浮遊する
塵埃がこれら原盤作成工程中に原盤上に付着すれば信号
のドロップアウトにつながる。イのために原盤作成工程
はクリーン度の高いクリ−、ンルームで行なわれている
のが現状である。又ターンテーブル上に原盤を装着する
とぎに人の装着動作によってゴミやほこり等が発生し原
!1I−1−に付着覆ることがある。これを避けるため
に原盤をカートリッヂ内に収納し、記録装置にはカート
リッジを装填するだけで後は自動的にはターンテーブル
上に原盤が装着されてるシステムが考えら−れている二
このシステムでは原盤装着時のミスやアクシデントにJ
、って原盤」−に傷や指紋をつ【プることが防げる。
された。ガラス原盤が装置内のターンテーブル上に載置
される3、シかる後に前記原盤が回転駆動され、記録す
べき信号に変調されて盤面上に集束されたレーザー光線
が霞光される。このとぎに前記原盤とレーザー光線を相
対的に移動させることに1二りスパイラル状に信号が9
t1録される。これらの装置に用いられる記録剤、は例
えば感光剤であり、」−配(C号記録の後の現像■稈に
よって原盤上に幾何学的な形状のバタ、−ンが得られる
。これらのパターンは例えば大ぎさ、が1ミクロン以−
1・、深さが0.1ミクロン程度の微細なくぼみであり
、スパイラルのトラックピッチも1.6ミクロン程度の
小さなりので゛ある。従って、通常の空犠中に浮遊する
塵埃がこれら原盤作成工程中に原盤上に付着すれば信号
のドロップアウトにつながる。イのために原盤作成工程
はクリーン度の高いクリ−、ンルームで行なわれている
のが現状である。又ターンテーブル上に原盤を装着する
とぎに人の装着動作によってゴミやほこり等が発生し原
!1I−1−に付着覆ることがある。これを避けるため
に原盤をカートリッヂ内に収納し、記録装置にはカート
リッジを装填するだけで後は自動的にはターンテーブル
上に原盤が装着されてるシステムが考えら−れている二
このシステムでは原盤装着時のミスやアクシデントにJ
、って原盤」−に傷や指紋をつ【プることが防げる。
又、原盤は常時カートリッヂに収納されていて装置内で
のみカートリッヂ外に出るので、装置内のクリーン度の
みを上げるだけで良い等の利点を有している。このシス
テムにおいて問題となるのは、原盤を自動的にターンテ
ーブル上に載置するときの原盤の芯出しである。ターン
テーブルの回転軸と原盤の中心がずれると回転時にダイ
ブミックアンバランスによる振動が生じ、トラックピッ
チ等の記録精度に大きな影響を与える。従来において、
ガラス原盤の装着時の芯出しは一般的にガラス原盤中心
部に設けられた孔とターンテーブルのセンターボスどの
嵌合にJ:つて行なわれて来た。しかし記録の前後工程
、例えばレジスト塗布や現像時において原盤重心孔があ
るための各種の弊害がでてぎており、そのために中心孔
のない原盤が用いられる傾向にある。中心孔なしの原盤
の場合には、外周側面を位置決めして8合わせを行なう
必要がある。従来このJ:うな8合わせにはコレットチ
ャック方式の8合わせ機構が用いられていたが、ビデオ
ディスクの原盤等は直径が350m’bあり、これを精
庶良く芯出しするためにはかなりの大きさの高t?1度
なI[が必要になり、又]スト的にも高くならざるを得
ない。
のみカートリッヂ外に出るので、装置内のクリーン度の
みを上げるだけで良い等の利点を有している。このシス
テムにおいて問題となるのは、原盤を自動的にターンテ
ーブル上に載置するときの原盤の芯出しである。ターン
テーブルの回転軸と原盤の中心がずれると回転時にダイ
ブミックアンバランスによる振動が生じ、トラックピッ
チ等の記録精度に大きな影響を与える。従来において、
ガラス原盤の装着時の芯出しは一般的にガラス原盤中心
部に設けられた孔とターンテーブルのセンターボスどの
嵌合にJ:つて行なわれて来た。しかし記録の前後工程
、例えばレジスト塗布や現像時において原盤重心孔があ
るための各種の弊害がでてぎており、そのために中心孔
のない原盤が用いられる傾向にある。中心孔なしの原盤
の場合には、外周側面を位置決めして8合わせを行なう
必要がある。従来このJ:うな8合わせにはコレットチ
ャック方式の8合わせ機構が用いられていたが、ビデオ
ディスクの原盤等は直径が350m’bあり、これを精
庶良く芯出しするためにはかなりの大きさの高t?1度
なI[が必要になり、又]スト的にも高くならざるを得
ない。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消する一bので、構成が簡
単で確実な動作を行ない、記録装置として十分な精度を
満たす芯出し門構を有する原盤記録装置を提供すること
を目的とする。
単で確実な動作を行ない、記録装置として十分な精度を
満たす芯出し門構を有する原盤記録装置を提供すること
を目的とする。
発明の構成
上記目的を達成するため、本発明の原盤記録装置は、タ
ーンテーブル上に載置された原盤の8合□゛わせを行な
う8合わせ機構と、この8合わせ機構による8合わせ動
作終了後に□前記原盤を前記ターンテーブルに真空吸着
する*構とを有し、前記8合わせ機構は前記ターンテー
ブルを含む回転部分から騒立して設けられて輌記□原盤
の外周側面□を位―規制する複数個の位置固定状態の位
置決め部材を備えているものである。
ーンテーブル上に載置された原盤の8合□゛わせを行な
う8合わせ機構と、この8合わせ機構による8合わせ動
作終了後に□前記原盤を前記ターンテーブルに真空吸着
する*構とを有し、前記8合わせ機構は前記ターンテー
ブルを含む回転部分から騒立して設けられて輌記□原盤
の外周側面□を位―規制する複数個の位置固定状態の位
置決め部材を備えているものである。
実施例の説明
以下、本発明の一実゛施例について、図面に基づいて説
明する。
明する。
□第1図はガラス原盤搬送メカニズムを示し、′1はカ
ートリッヂで、レジストを塗布されたガラス1!jW2
が収納されている。本装置によれば、作業者の手によっ
て装置内に挿入されたカートリッヂ1は図示しない機構
により第1図に示−4(?/置に搬送される。これには
リニアスライドのような機構が用いられる。所定の位置
に到達したカートリッヂ1は図示しない機構により矢印
3の方向に蓋が開かれる。次に軸14を中心に回8りる
搬送アーム4が矢印6の方向に移□動し、ガラス原盤2
の上方軸1Oに取付けられたタイミングプーリー11、
タイミングベル1−12、アー云ゝ軸14に取f・口)
られたタイミングプーリー13によって行なわれる。第
2図に搬送フI−ム取付部の□側御1′図を示ず。搬送
アーム4の先端には軸18の周:す□に゛回動するガラ
ス原盤挟持部材19が設けられ、この挟持部1119に
は左右に一゛対の□爪5.5が設けられている。爪5,
5は挟持部′U19の中に段けられたエアーシリンダー
等ににって左右に開閉動作ができる。軸18とアーム軸
14にはタイミングプーリー 15.17が設けられて
おり、タイミングベルト16&:′よって連結されてい
る。(のだめに、搬送アーム4の位置に関係なく挟持さ
れたガラス原盤2は常に水平状態を保つことができる。
ートリッヂで、レジストを塗布されたガラス1!jW2
が収納されている。本装置によれば、作業者の手によっ
て装置内に挿入されたカートリッヂ1は図示しない機構
により第1図に示−4(?/置に搬送される。これには
リニアスライドのような機構が用いられる。所定の位置
に到達したカートリッヂ1は図示しない機構により矢印
3の方向に蓋が開かれる。次に軸14を中心に回8りる
搬送アーム4が矢印6の方向に移□動し、ガラス原盤2
の上方軸1Oに取付けられたタイミングプーリー11、
タイミングベル1−12、アー云ゝ軸14に取f・口)
られたタイミングプーリー13によって行なわれる。第
2図に搬送フI−ム取付部の□側御1′図を示ず。搬送
アーム4の先端には軸18の周:す□に゛回動するガラ
ス原盤挟持部材19が設けられ、この挟持部1119に
は左右に一゛対の□爪5.5が設けられている。爪5,
5は挟持部′U19の中に段けられたエアーシリンダー
等ににって左右に開閉動作ができる。軸18とアーム軸
14にはタイミングプーリー 15.17が設けられて
おり、タイミングベルト16&:′よって連結されてい
る。(のだめに、搬送アーム4の位置に関係なく挟持さ
れたガラス原盤2は常に水平状態を保つことができる。
搬送アーム4が前記矢印6の方向に回動して第1図二点
鎖線で示した位置に来ると、それまで聞いていた爪5,
5が閉じてガラス原盤2を挟持づる。ガラス原盤2は取
出し自在にカートリッヂ1内に収納されているので、搬
送アーム4が矢印7の方向に回動づることによってガラ
ス原盤2はカートリッヂ1の中から取出され、ターンテ
ーブル8の方向に搬送される。第1図の実線で示した位
置に搬送アーム4が来ると、爪5,5が開放され、がラ
ス原盤2がターンテーブル8上に載置される。第3図に
その動作をitシ<示す。第3図aは搬送アーム4がタ
ーンテーブル8の上に来た状態を示し、ガラス原M2は
ターンテーブル8上に接触している。第3図すは更に搬
送アーム4が第1図矢印7の方向に若干最回動じた状態
を示している。一対の爪5,5の間でガラス原盤2は若
干のクリアランスを持って支持されているので、第3図
すの状態ではガラス原盤2がターンテーブル8上に残り
、爪5,5から離れている。第3図Cは爪5,5が軸2
4の周りで回動し開放状態になっだ状態を示しており、
この状態で搬送アーム4が再び第1図矢印6の方向に移
動すると、ガラス原盤2だけがターンテーブル8上に残
される。王の後搬送アーム4は鉛直状態で保持され待機
することiこなる。以上でガラス原盤2の載置動作が完
了する。
鎖線で示した位置に来ると、それまで聞いていた爪5,
5が閉じてガラス原盤2を挟持づる。ガラス原盤2は取
出し自在にカートリッヂ1内に収納されているので、搬
送アーム4が矢印7の方向に回動づることによってガラ
ス原盤2はカートリッヂ1の中から取出され、ターンテ
ーブル8の方向に搬送される。第1図の実線で示した位
置に搬送アーム4が来ると、爪5,5が開放され、がラ
ス原盤2がターンテーブル8上に載置される。第3図に
その動作をitシ<示す。第3図aは搬送アーム4がタ
ーンテーブル8の上に来た状態を示し、ガラス原M2は
ターンテーブル8上に接触している。第3図すは更に搬
送アーム4が第1図矢印7の方向に若干最回動じた状態
を示している。一対の爪5,5の間でガラス原盤2は若
干のクリアランスを持って支持されているので、第3図
すの状態ではガラス原盤2がターンテーブル8上に残り
、爪5,5から離れている。第3図Cは爪5,5が軸2
4の周りで回動し開放状態になっだ状態を示しており、
この状態で搬送アーム4が再び第1図矢印6の方向に移
動すると、ガラス原盤2だけがターンテーブル8上に残
される。王の後搬送アーム4は鉛直状態で保持され待機
することiこなる。以上でガラス原盤2の載置動作が完
了する。
第1図で、ターンテーブル8はスピンドル20に取付け
られており、スピンドル20は装ft1M台23に周定
され−Cいるる。ターンテーブル8が光学系に対して移
動する装置では装置基台23は送りステージの基板にな
る。21はスピンドル20に自活したターンテーブル駆
#Jモータである。22はガラス原盤をターンテーブル
8に真空吸省するときのエアーの排気ヂコーブである。
られており、スピンドル20は装ft1M台23に周定
され−Cいるる。ターンテーブル8が光学系に対して移
動する装置では装置基台23は送りステージの基板にな
る。21はスピンドル20に自活したターンテーブル駆
#Jモータである。22はガラス原盤をターンテーブル
8に真空吸省するときのエアーの排気ヂコーブである。
−に記しlこJ:うにガラス原盤2がターンテーブル8
上に載置され、搬送アーム4が中立点の待機位置に来た
のが確認されると次の芯合わせ動作が1ift蛤する。
上に載置され、搬送アーム4が中立点の待機位置に来た
のが確認されると次の芯合わせ動作が1ift蛤する。
ガラス原盤2がターンテーブル8上に載1ζtされてい
るかどうかは光学的検出手段等により確認することがで
きる。
るかどうかは光学的検出手段等により確認することがで
きる。
次に芯合わせ機構について説明する。第4図にターンテ
ーブル8、ガラス原盤2を含む芯合わせ機構を示す。第
4図はガラス原盤2がターンテーブル8上に載置された
状態を示し、芯合わせ動作はまだ行なわれていない。2
5はガラス原盤2の外周側面を位置規制する位置決め部
材であり、ターンテーブル8を含む回転部分からは独立
して複数個設けられている。第4図では3つの位置決め
部材25が示されている。41は芯合わせ機構を取付(
)た基板であり、装vltt台23に取付けられている
。
ーブル8、ガラス原盤2を含む芯合わせ機構を示す。第
4図はガラス原盤2がターンテーブル8上に載置された
状態を示し、芯合わせ動作はまだ行なわれていない。2
5はガラス原盤2の外周側面を位置規制する位置決め部
材であり、ターンテーブル8を含む回転部分からは独立
して複数個設けられている。第4図では3つの位置決め
部材25が示されている。41は芯合わせ機構を取付(
)た基板であり、装vltt台23に取付けられている
。
前記位置決め部1J25は軸26の周りに回動自在であ
る。29はタイミングベルトであり、ターンテーブルの
周りに設けられたタイミングプーリー27・・・に掛け
られている。タイミングベルト20は同じく駆動プーリ
ー30にも係合しており、駆動モータ31によって時計
方向又は反時計方向に移動させられる。
る。29はタイミングベルトであり、ターンテーブルの
周りに設けられたタイミングプーリー27・・・に掛け
られている。タイミングベルト20は同じく駆動プーリ
ー30にも係合しており、駆動モータ31によって時計
方向又は反時計方向に移動させられる。
第4図ではタイミングベル1−29に取付けた係止片3
2がタイミングベルト29の矢印42方向の移動に伴な
って位置決め部材25のチャンネル部33を押し、位置
決め部材25を時計方向に回動させている。このとぎ4
i1置決め部材25はばね34をff 11i 7J向
に変形させている。タイミングベルト29が矢印42の
方向に一定距離移動すると、タイミングベルト29に取
(dけたスイッチ動作部材35の傾斜部35aがマイク
ロスイッチ36を押して駆動モータ31の回転を停止1
させる。このとぎ、ばね34の力にJ:リタイミングベ
ル1−29は矢印43の方向に移動゛Jる力を受【プる
が、駆動モータ31の減速機の負荷が大ぎいため、この
位置で停Jl−L、ている。v54図はこの状態を示し
ており、位置決め部材25の先端の第1、第2の当接部
38.39はガラス原盤2、ストッパ−40から離れて
いる。第4図の状態が芯合わせ機構の14機状態であり
、この状態でガラス原盤2がターンテーブル8の上に載
置される。。
2がタイミングベルト29の矢印42方向の移動に伴な
って位置決め部材25のチャンネル部33を押し、位置
決め部材25を時計方向に回動させている。このとぎ4
i1置決め部材25はばね34をff 11i 7J向
に変形させている。タイミングベルト29が矢印42の
方向に一定距離移動すると、タイミングベルト29に取
(dけたスイッチ動作部材35の傾斜部35aがマイク
ロスイッチ36を押して駆動モータ31の回転を停止1
させる。このとぎ、ばね34の力にJ:リタイミングベ
ル1−29は矢印43の方向に移動゛Jる力を受【プる
が、駆動モータ31の減速機の負荷が大ぎいため、この
位置で停Jl−L、ている。v54図はこの状態を示し
ており、位置決め部材25の先端の第1、第2の当接部
38.39はガラス原盤2、ストッパ−40から離れて
いる。第4図の状態が芯合わせ機構の14機状態であり
、この状態でガラス原盤2がターンテーブル8の上に載
置される。。
次に芯合わ′t!動作を第5図、第6図に11つき説明
する。第5図において、駆動モータ31によりタイミン
グベルト29が矢印43の方向にスイッチv)竹部材3
5の傾斜部35bがマイクにスイッチ31を押づ迄一定
量移動すると係11片32がり位置決め部材25のヂt
7ンネル部33から離れて位置決め部材25を解放する
。そのときばね34の力により位置決め部材25は反時
計方向に回動し、第2の当接面39がリング状のストッ
パー40に当接する。この過程において、第1の当接面
38がガラス原盤2の側面を強制的に押圧して芯合わせ
が行なわれる。位置決め部材25は複数個設けられてい
るが、第2の当接部39がストッパー40に当接してい
るときに人々の第1の当接面38がなす接円の中心はタ
ーンテーブル回転軸芯44と一致りるように設h1され
ている。又イの接円の直径はガラス原盤2の直径と一致
している。ガラス原!32の外形寸法は公差の範囲内で
若干ばらつぎが生じるが、その場合の最大芯合わせ誤差
はそのばらつぎ分の1/2の値になり、殆んど無視でき
る址である。位置決め部材25を3個所に設け1こ実施
例で考えると、9J3んどの場合は2つの位置決め部材
25.25の第1と第2の当接面38゜39が大々ガラ
ス原盤2側面とストッパ−40側面に当接し、ガラス原
盤2を中心部分に変移させて芯合わせを行なっている。
する。第5図において、駆動モータ31によりタイミン
グベルト29が矢印43の方向にスイッチv)竹部材3
5の傾斜部35bがマイクにスイッチ31を押づ迄一定
量移動すると係11片32がり位置決め部材25のヂt
7ンネル部33から離れて位置決め部材25を解放する
。そのときばね34の力により位置決め部材25は反時
計方向に回動し、第2の当接面39がリング状のストッ
パー40に当接する。この過程において、第1の当接面
38がガラス原盤2の側面を強制的に押圧して芯合わせ
が行なわれる。位置決め部材25は複数個設けられてい
るが、第2の当接部39がストッパー40に当接してい
るときに人々の第1の当接面38がなす接円の中心はタ
ーンテーブル回転軸芯44と一致りるように設h1され
ている。又イの接円の直径はガラス原盤2の直径と一致
している。ガラス原!32の外形寸法は公差の範囲内で
若干ばらつぎが生じるが、その場合の最大芯合わせ誤差
はそのばらつぎ分の1/2の値になり、殆んど無視でき
る址である。位置決め部材25を3個所に設け1こ実施
例で考えると、9J3んどの場合は2つの位置決め部材
25.25の第1と第2の当接面38゜39が大々ガラ
ス原盤2側面とストッパ−40側面に当接し、ガラス原
盤2を中心部分に変移させて芯合わせを行なっている。
残りの位置決め部材25についてはガラス原1lA2の
直径が第1の当接面38の接円J:り小さいときは第2
の当接部39がストッパー40に当たり、第1の当接面
38がガラス原盤2側面に接触しないままで止まる。又
ガラス原盤2の直径が前記接円より若干大きいとぎは第
1の当接面38がガラス原盤2側面に当たり、第2の当
接面39がストッパ−40から離れた状態になる。ガラ
ス原盤2の直径はできるだけ第1の当接面38の接円に
近づける方が芯合わぜの精度は良くなる。もしイれが一
致していれば芯合わt!誤差はぜ[1であり、ガラス原
盤2が設計値より異なるときは位置決め部材25のどち
らかの当接面とガラス原盤2又はストッパ−40とのク
リアランス量の1/2が芯合わせ誤Xとなる。ガラス原
盤2の外形加工の精度はかなり良く、それによる誤差の
値は実際上無視できる聞になっている。
直径が第1の当接面38の接円J:り小さいときは第2
の当接部39がストッパー40に当たり、第1の当接面
38がガラス原盤2側面に接触しないままで止まる。又
ガラス原盤2の直径が前記接円より若干大きいとぎは第
1の当接面38がガラス原盤2側面に当たり、第2の当
接面39がストッパ−40から離れた状態になる。ガラ
ス原盤2の直径はできるだけ第1の当接面38の接円に
近づける方が芯合わぜの精度は良くなる。もしイれが一
致していれば芯合わt!誤差はぜ[1であり、ガラス原
盤2が設計値より異なるときは位置決め部材25のどち
らかの当接面とガラス原盤2又はストッパ−40とのク
リアランス量の1/2が芯合わせ誤Xとなる。ガラス原
盤2の外形加工の精度はかなり良く、それによる誤差の
値は実際上無視できる聞になっている。
さて上記したようにターンテーブル上で芯合わせ動作が
完了Jると、次に吸着動作が開始する。
完了Jると、次に吸着動作が開始する。
これは図示されてはいないが、ターンテーブル8表1r
ii−にに多数の小孔が設けられており、真空ポンプの
吸引によって発生する負圧でガラス原盤2を吸@する。
ii−にに多数の小孔が設けられており、真空ポンプの
吸引によって発生する負圧でガラス原盤2を吸@する。
第6図における45はターンテーブル駆動モータ21の
下に取付けられたロータリージヨイントであり、そこか
ら排気チューブ22が出ていて真空ポンプ46につなが
っている。47は圧力検出器であり、一定の真空圧に到
達したことが確認されると次の動作が開始される。もし
ターンテーブル8上に異物が存在していてガラス原盤2
がターンテーブル8に確実に吸着されていないときは、
真空圧が下がらず圧力検出器47によりそれが検知され
、システムコント0−ル部にその異状を知らせることが
・できる。ガラス原1IlI2がターンテーブル8に吸
着されたことが確認されると、次に芯合わせ機構のM除
が行なわれる。上の段階ではまだ位置決め部材25の第
1の当接面38がガラス原盤2側面に当たっているので
それを解除する必要がある。
下に取付けられたロータリージヨイントであり、そこか
ら排気チューブ22が出ていて真空ポンプ46につなが
っている。47は圧力検出器であり、一定の真空圧に到
達したことが確認されると次の動作が開始される。もし
ターンテーブル8上に異物が存在していてガラス原盤2
がターンテーブル8に確実に吸着されていないときは、
真空圧が下がらず圧力検出器47によりそれが検知され
、システムコント0−ル部にその異状を知らせることが
・できる。ガラス原1IlI2がターンテーブル8に吸
着されたことが確認されると、次に芯合わせ機構のM除
が行なわれる。上の段階ではまだ位置決め部材25の第
1の当接面38がガラス原盤2側面に当たっているので
それを解除する必要がある。
この動作は芯合わせ動作と逆の動作を行なわせることに
よって達成される。つまり第4図に示すようにタイミン
グベルト29が矢印42の方向に移動すれば、係止片3
2が位置決め部$125を時計方向に回動し、第1、第
2の当接面38.39を夫々当接部より引きIIす。タ
イミングベルト29が一定聞移動すると、マイクロスイ
ッチ3Gが働き、駆動モータ31が停止する。駆動モー
タ31の減速機の負部によりタイミングベルト29はこ
の状態で固定され、ガラス原!!12は拘束を受けない
フリーな状態となる。
よって達成される。つまり第4図に示すようにタイミン
グベルト29が矢印42の方向に移動すれば、係止片3
2が位置決め部$125を時計方向に回動し、第1、第
2の当接面38.39を夫々当接部より引きIIす。タ
イミングベルト29が一定聞移動すると、マイクロスイ
ッチ3Gが働き、駆動モータ31が停止する。駆動モー
タ31の減速機の負部によりタイミングベルト29はこ
の状態で固定され、ガラス原!!12は拘束を受けない
フリーな状態となる。
このときに始めてターンテーブル駆動モータ21は回転
をV8始し、光学系部分へ相対的に移動を始め、記録段
階に入る。記録作業が終了するとターンテーブル8の回
転も止まり、光学系部分との相対位置も元の状態に戻る
。そして真空ポンプ4Gも止まりガラス原盤2の吸着力
をゼロにする。そして搬送アーム4が待機状態から第1
図の実線で示す位置迄移動し、ガラス[1112をつか
まえてカートリッヂ1内に再び収納する。
をV8始し、光学系部分へ相対的に移動を始め、記録段
階に入る。記録作業が終了するとターンテーブル8の回
転も止まり、光学系部分との相対位置も元の状態に戻る
。そして真空ポンプ4Gも止まりガラス原盤2の吸着力
をゼロにする。そして搬送アーム4が待機状態から第1
図の実線で示す位置迄移動し、ガラス[1112をつか
まえてカートリッヂ1内に再び収納する。
、本発明の芯合わせll@では、位置決め部材の動きは
他の位置決め部材の動きには無関係にただストッパー4
0にのみ規制されるので、その動きに精度が要求されな
い。、一方、コレットチャック方式の芯合わせでは常に
位置決め部材は当接面が同心円を保ち且つその中心が回
動軸と一致するような動きをする必要があり、高精度の
機構が必要になる。それに対し本発明の装置では位置決
め部材25の第2の当接面39がストッパー40に当接
したときに第1の当接面38のなす接円の中心がターン
テーブル8の中心と一致するように一度調整すれば良い
。それは以下の手順で簡単に調整することができる。先
ず標準のガラス原盤をターンテーブル上ヒに載せて、そ
の端面を顕微鏡で見ながら可能な限り芯合わせを行なう
。できれば10μTrL程度迄追い込めば十分である。
他の位置決め部材の動きには無関係にただストッパー4
0にのみ規制されるので、その動きに精度が要求されな
い。、一方、コレットチャック方式の芯合わせでは常に
位置決め部材は当接面が同心円を保ち且つその中心が回
動軸と一致するような動きをする必要があり、高精度の
機構が必要になる。それに対し本発明の装置では位置決
め部材25の第2の当接面39がストッパー40に当接
したときに第1の当接面38のなす接円の中心がターン
テーブル8の中心と一致するように一度調整すれば良い
。それは以下の手順で簡単に調整することができる。先
ず標準のガラス原盤をターンテーブル上ヒに載せて、そ
の端面を顕微鏡で見ながら可能な限り芯合わせを行なう
。できれば10μTrL程度迄追い込めば十分である。
次にガラス原盤を吸着して固定する。次に位置決め部材
2!)を回転させて第2の当接面39がストッパー40
に当たるようにする。第1の当接面38はねじ等によっ
て位置決め部材25の本体に対して移動可能にしておき
、それがガラス原!112の外周側面に接触するように
して固定する。
2!)を回転させて第2の当接面39がストッパー40
に当たるようにする。第1の当接面38はねじ等によっ
て位置決め部材25の本体に対して移動可能にしておき
、それがガラス原!112の外周側面に接触するように
して固定する。
最初に一度この調整を行なうだ()で良い。尚以上の説
明は一実施例であり、同じ原理による他の機構であって
も良い。
明は一実施例であり、同じ原理による他の機構であって
も良い。
発明の効果
1) 本発明による装置では中心孔のないガラス原盤の
芯出しを簡単且つ確実に行なうことができる。又、他の
コレットチャック方式等のように複雑で高糖mな1at
llilを必要としない。
芯出しを簡単且つ確実に行なうことができる。又、他の
コレットチャック方式等のように複雑で高糖mな1at
llilを必要としない。
2) 安価な費用で製作可能である。
3) 芯出しに要する時間が短かくて済む。これは本装
置の位置決め部材はぞの動きに精度を要求しないので、
ストッパ−に当たる迄高速で動作さけることができるか
らであるー。
置の位置決め部材はぞの動きに精度を要求しないので、
ストッパ−に当たる迄高速で動作さけることができるか
らであるー。
4〉最初にターンテーブル上に載【する精度は要求され
ない。位置決め部材の当接面に当たらない限り、いくら
偏心した状態で置かれても良い。
ない。位置決め部材の当接面に当たらない限り、いくら
偏心した状態で置かれても良い。
5) 回転Jる部分と芯出しを行なうft111とが独
立しているため、芯出し機構の重量が回転負荷に4Tら
ず、ダイシミツクアンバランスも生じない。
立しているため、芯出し機構の重量が回転負荷に4Tら
ず、ダイシミツクアンバランスも生じない。
6) 芯出しを行なう位置決め部材の位置が固定されて
いる。従って、ガラス原盤をつかんで搬送してくる爪と
接触しないようにその位置を設定することができる。
いる。従って、ガラス原盤をつかんで搬送してくる爪と
接触しないようにその位置を設定することができる。
7) ターンテーブルは簡単な構成で良く、ガラス原盤
の外周を囲−むような芯合わせのための内壁を設ける必
要がない。従って回転系の質量を小さくすることができ
る。
の外周を囲−むような芯合わせのための内壁を設ける必
要がない。従って回転系の質量を小さくすることができ
る。
図面は本発明の一実施例を示し、第1図はガラス原盤搬
送メカニズムを示す説明図、第2図は第1図の要部側面
図、第3図a〜Cは第1図に示すメjjニズムのガラス
原盤搬送用爪の動作説明図、第4図は芯合わせ前の芯合
わせ機構の平面図、第5図は芯合わせ時の芯合わせ機構
の平面図、第6図は同要部縦断面図である。 1・・・カートリッf12・・・ガラス原盤、4・・・
搬送アーム、5・・・爪、8川ターンテーブル、19・
・・ガラス原盤挟持部材、20・・・スピンドル、21
・・・ターンデープル駆動モータ、22・・・排気チュ
ーブ、25・・・位置決め部材、26・・・軸、29・
・・タイミングベルト、3o・・・駆vjプーリー、3
1・・・駆動モーター、32・・・係止片、33・・・
ブヤンネル部、34・・・ばね、38.39・・・当接
面、40・、、ストッパー、46・・・真空ポンプ代理
人 森 本 義 弘 第1図 22 第2図 第3図 (d) 第4図 137 、、、 第S図
送メカニズムを示す説明図、第2図は第1図の要部側面
図、第3図a〜Cは第1図に示すメjjニズムのガラス
原盤搬送用爪の動作説明図、第4図は芯合わせ前の芯合
わせ機構の平面図、第5図は芯合わせ時の芯合わせ機構
の平面図、第6図は同要部縦断面図である。 1・・・カートリッf12・・・ガラス原盤、4・・・
搬送アーム、5・・・爪、8川ターンテーブル、19・
・・ガラス原盤挟持部材、20・・・スピンドル、21
・・・ターンデープル駆動モータ、22・・・排気チュ
ーブ、25・・・位置決め部材、26・・・軸、29・
・・タイミングベルト、3o・・・駆vjプーリー、3
1・・・駆動モーター、32・・・係止片、33・・・
ブヤンネル部、34・・・ばね、38.39・・・当接
面、40・、、ストッパー、46・・・真空ポンプ代理
人 森 本 義 弘 第1図 22 第2図 第3図 (d) 第4図 137 、、、 第S図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、原盤記録装置において、ターンテーブル−1−に載
置された原盤の芯台わせを行なう芯台わせ機構と、この
芯台わせ機構による芯台わせ動作終了後に前記原盤を前
記ターンデープルに真空吸看する機構とを有し、前記芯
台わせ機構は前記ターンテーブルを含む回転部分から独
立して設けられて前記原盤の外局側面を位置規制する複
数個の位置固定状態の位16決め部材を備えている原盤
記録装置。 2、複数個の位置決め部材は夫々原盤の外周側面に当接
する第1の当接面と、前記位置決め、部材の動きを1定
位置で規制するストッパーに当接する第2の当接面を有
し′えおり、前記第2の当接面が前記ストッパーに当接
したときに第1の当接面がなづ接円の中心は前記ターン
テーブルの中心と一致しており、前記接円の直径は前記
原盤の1径と略等しくなるようにした特許請求の範囲第
1項記載の原盤記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58240407A JPH061586B2 (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 原盤記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58240407A JPH061586B2 (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 原盤記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60131670A true JPS60131670A (ja) | 1985-07-13 |
JPH061586B2 JPH061586B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=17059001
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58240407A Expired - Lifetime JPH061586B2 (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 原盤記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH061586B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0777225A2 (de) * | 1995-11-28 | 1997-06-04 | Balzers und Leybold Deutschland Holding Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Laserstrahlbelichten eines kreisscheibenförmigen Substrates und Verfahren zum zentrischen Spannen eines kreisscheibenförmigen Substrates |
US7313800B2 (en) | 2003-04-18 | 2007-12-25 | Sony Corporation | Disk centering system |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48100114U (ja) * | 1972-02-28 | 1973-11-26 |
-
1983
- 1983-12-19 JP JP58240407A patent/JPH061586B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48100114U (ja) * | 1972-02-28 | 1973-11-26 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0777225A2 (de) * | 1995-11-28 | 1997-06-04 | Balzers und Leybold Deutschland Holding Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Laserstrahlbelichten eines kreisscheibenförmigen Substrates und Verfahren zum zentrischen Spannen eines kreisscheibenförmigen Substrates |
EP0777225A3 (de) * | 1995-11-28 | 1999-03-24 | Balzers und Leybold Deutschland Holding Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Laserstrahlbelichten eines kreisscheibenförmigen Substrates und Verfahren zum zentrischen Spannen eines kreisscheibenförmigen Substrates |
US7313800B2 (en) | 2003-04-18 | 2007-12-25 | Sony Corporation | Disk centering system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH061586B2 (ja) | 1994-01-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |