JPS60127544A - 光情報担体ディスクの製造方法 - Google Patents
光情報担体ディスクの製造方法Info
- Publication number
- JPS60127544A JPS60127544A JP58235303A JP23530383A JPS60127544A JP S60127544 A JPS60127544 A JP S60127544A JP 58235303 A JP58235303 A JP 58235303A JP 23530383 A JP23530383 A JP 23530383A JP S60127544 A JPS60127544 A JP S60127544A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- sheet
- stamper
- optical information
- peeling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学的に映像情報等の記録・再生あるいは再
生を行なう光学情報担体ディスク(以下、単に光ディス
クと称す)の製造方法に関するものである。
生を行なう光学情報担体ディスク(以下、単に光ディス
クと称す)の製造方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
光学記録再生方式は光ディスクの記録薄膜に、情報信号
に対応したレーザ光を照射することにより、記録薄膜に
光学的濃淡あるいは凹凸を設けて情報の記録・再生を行
うもので、数μmの微小信号を記録することが可能で原
理的には光の波長程度の高密度記録が可能な方式である
。
に対応したレーザ光を照射することにより、記録薄膜に
光学的濃淡あるいは凹凸を設けて情報の記録・再生を行
うもので、数μmの微小信号を記録することが可能で原
理的には光の波長程度の高密度記録が可能な方式である
。
この光学記録再生方式は記録・再生時にレーザ光のピッ
クアップと光ディスクが接触しないので摩耗がなく静止
画、高速検索等の多機能が得られ、静止画ファイル、文
書ファイル等、産業用、業務用として実用化されつつあ
る。また光学式ビデオディスク、デジタルオーディオデ
ィ、スフのように再生専用の光ディスクも実用化されて
いる。これらの光ディスクにレーザ光ガイド用トラック
溝あるいは凹凸位相型の信号ピットをディスク基板に形
成する方法の一つとして硬化性樹脂、例えば紫外線硬化
樹脂(以下、単にUV樹脂と称す。)を用いて、スタン
パに形成された前記トラック溝等をディスク基板に転写
する方法がある。
クアップと光ディスクが接触しないので摩耗がなく静止
画、高速検索等の多機能が得られ、静止画ファイル、文
書ファイル等、産業用、業務用として実用化されつつあ
る。また光学式ビデオディスク、デジタルオーディオデ
ィ、スフのように再生専用の光ディスクも実用化されて
いる。これらの光ディスクにレーザ光ガイド用トラック
溝あるいは凹凸位相型の信号ピットをディスク基板に形
成する方法の一つとして硬化性樹脂、例えば紫外線硬化
樹脂(以下、単にUV樹脂と称す。)を用いて、スタン
パに形成された前記トラック溝等をディスク基板に転写
する方法がある。
以下に従来のUV樹脂を用いだトラック溝等の転写方法
について説明する。
について説明する。
第1図はUV樹脂を用いた従来のトラック溝等の転写方
法を示す正面図であり、1はトラック溝2を形成したス
タンパである。3はディスク基板となる樹脂基板で、4
はスタンパ1のトラック溝2と樹脂基板3の間に充填さ
れたUV樹脂である。
法を示す正面図であり、1はトラック溝2を形成したス
タンパである。3はディスク基板となる樹脂基板で、4
はスタンパ1のトラック溝2と樹脂基板3の間に充填さ
れたUV樹脂である。
5は紫外線を透過する透明な加圧ガラス板である。
6は紫外線ランプで反射板7によって矢印8の方向に紫
外線を照射する。
外線を照射する。
以上のよう如構成されたトラック溝2の転写方法におい
て、その製造方法を説明する。スタンパ1のトラック溝
2側にUV樹脂4を塗布し、その上に気泡が混入しない
ように樹脂基板3を重ね合わせ、加圧ガラス板5によっ
て押圧して、UV樹脂4を樹脂基板3の全面に充填する
。次に矢印8の如く紫外線を照射する−と、紫外線は加
圧ガラス板6、樹脂基板3を透過してUV’樹脂4を硬
化させる。このようにUV樹脂4を硬化させた後、第2
図に示すように加圧ガラス板5を除去し、樹脂基板3に
接着され硬化したUV樹脂4をスタンパ1から剥離する
ことにより、樹脂基板3上にスタンパ1のトラック溝2
を転写するものである。まだこのトラック溝あるいは凹
凸位相型の信号ビットのピッチは通常1〜3μmの高精
度なもので、微少な異物の付着あるいは欠陥があっても
ドロップアウト等のエラーとなるため、クリーンルーム
内で前記製造が行なわれるものである。
て、その製造方法を説明する。スタンパ1のトラック溝
2側にUV樹脂4を塗布し、その上に気泡が混入しない
ように樹脂基板3を重ね合わせ、加圧ガラス板5によっ
て押圧して、UV樹脂4を樹脂基板3の全面に充填する
。次に矢印8の如く紫外線を照射する−と、紫外線は加
圧ガラス板6、樹脂基板3を透過してUV’樹脂4を硬
化させる。このようにUV樹脂4を硬化させた後、第2
図に示すように加圧ガラス板5を除去し、樹脂基板3に
接着され硬化したUV樹脂4をスタンパ1から剥離する
ことにより、樹脂基板3上にスタンパ1のトラック溝2
を転写するものである。まだこのトラック溝あるいは凹
凸位相型の信号ビットのピッチは通常1〜3μmの高精
度なもので、微少な異物の付着あるいは欠陥があっても
ドロップアウト等のエラーとなるため、クリーンルーム
内で前記製造が行なわれるものである。
ところが、作業環境を完全にクリーン化したとしても、
従来のスタンパからディスク基板を剥離する方法では微
少異物が発生しドロップアウト等のエラーの要因の大半
を占めていた。
従来のスタンパからディスク基板を剥離する方法では微
少異物が発生しドロップアウト等のエラーの要因の大半
を占めていた。
従来の代表的な剥離方法を第3図、第4図にて法ではク
サビの挿入時に硬化したUV樹脂の端部4′が欠け、微
少な樹脂屑となって、剥離時に発生する静電気によって
、トラック溝等を転写したUV樹脂面に付着しドロップ
アウト等のエラーの原因となるものであった。
サビの挿入時に硬化したUV樹脂の端部4′が欠け、微
少な樹脂屑となって、剥離時に発生する静電気によって
、トラック溝等を転写したUV樹脂面に付着しドロップ
アウト等のエラーの原因となるものであった。
第4図はディスク基板押し上げピン1oを矢印の方向に
移動させ、UV樹脂層4を押し上げて剥離を行う方法で
・ある。この方法では、スタンパに設けた穴11とディ
スク基板押し上げピン1oとのスキマにUV樹脂が充填
され、バリ12が発生することにより、両面張り合わせ
ディスク製造時に支障をきたすばかりでなくピン押上げ
時にバリ12が欠けて微少な樹脂屑となって前記第3図
の場合と同様にエラーの原因となるものであった。
移動させ、UV樹脂層4を押し上げて剥離を行う方法で
・ある。この方法では、スタンパに設けた穴11とディ
スク基板押し上げピン1oとのスキマにUV樹脂が充填
され、バリ12が発生することにより、両面張り合わせ
ディスク製造時に支障をきたすばかりでなくピン押上げ
時にバリ12が欠けて微少な樹脂屑となって前記第3図
の場合と同様にエラーの原因となるものであった。
発明の目的
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、UV樹脂
を用いてスタンパのトランク溝等ヲディスク基板に転写
する時に樹脂屑の微少異物を発生させず高品質なトラッ
ク溝等を得るものであり、また製造工程もクリーン化す
ることのできる製造方法を提供することを目的とする。
を用いてスタンパのトランク溝等ヲディスク基板に転写
する時に樹脂屑の微少異物を発生させず高品質なトラッ
ク溝等を得るものであり、また製造工程もクリーン化す
ることのできる製造方法を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は信号トラックを形成したスタンパの有効信号ト
ラック形成領域外の一部に、粘着性を有するシートを貼
り付け、ディスク基板とスタンバ間にUV樹脂を信号ト
ラック領域とシートの領域に充填させ、UV樹脂を硬化
せしめた後に、シートのスタンパ貼り付は面にシートを
スタンパから剥離する力を加えて、シート部より、ディ
スク基板をUV樹脂層と共にスタンパから剥離すること
によってUV樹脂の剥離時に生じる樹脂屑の発生を軽減
し、またテープ部を保持することにより、移送時に新ら
たに生じる樹脂屑の発生を軽減させるものである。
ラック形成領域外の一部に、粘着性を有するシートを貼
り付け、ディスク基板とスタンバ間にUV樹脂を信号ト
ラック領域とシートの領域に充填させ、UV樹脂を硬化
せしめた後に、シートのスタンパ貼り付は面にシートを
スタンパから剥離する力を加えて、シート部より、ディ
スク基板をUV樹脂層と共にスタンパから剥離すること
によってUV樹脂の剥離時に生じる樹脂屑の発生を軽減
し、またテープ部を保持することにより、移送時に新ら
たに生じる樹脂屑の発生を軽減させるものである。
実施例の説明
第6図は本発明の一実施例による信号トラックの転写方
法を示す断面図であり、第1図〜第4図と同一物は同一
番号を付して説明を省略する。
法を示す断面図であり、第1図〜第4図と同一物は同一
番号を付して説明を省略する。
第6図において、1は信号トラック溝2を形成したスタ
ンパ、3はディスク基板、4はUV樹脂層、13はシー
トである。UV樹脂層4は押圧ガラス板5によって押圧
され、13のシート領域に充填されている。以降、紫外
線ランプ6、反射板7の構成及び動作は従来例で説明し
たも・のと同様である。
ンパ、3はディスク基板、4はUV樹脂層、13はシー
トである。UV樹脂層4は押圧ガラス板5によって押圧
され、13のシート領域に充填されている。以降、紫外
線ランプ6、反射板7の構成及び動作は従来例で説明し
たも・のと同様である。
以上のように構成されたこの実施例の信号トラックの転
写方法について以下に説明する。
写方法について以下に説明する。
第6図、第7図に示すように、スタンパ1の有効信号ト
ラック形成領域外の一部に、粘着性を有し、かつ、厚み
がUV樹脂層厚より薄いシート13を貼り付け、スタン
パ1とディスク基板3との間にUV樹脂をシート13の
領域に充填させ、紫外線を照射しUV樹脂を硬化せしめ
た後、シートとスタンバ間にクサビ9を挿入し、シート
をスタンパから剥離する力を加えて、ディスク基板と洪
にUV樹脂層をスタンパから剥離する。この方法で剥離
を行うとクサビがUV環樹層に触れることなく、剥離が
行なえる。その後シート13をUV樹脂層4より除去す
る。なお、第6図はクサビ9の挿入前、第6図は剥離途
中の図である。
ラック形成領域外の一部に、粘着性を有し、かつ、厚み
がUV樹脂層厚より薄いシート13を貼り付け、スタン
パ1とディスク基板3との間にUV樹脂をシート13の
領域に充填させ、紫外線を照射しUV樹脂を硬化せしめ
た後、シートとスタンバ間にクサビ9を挿入し、シート
をスタンパから剥離する力を加えて、ディスク基板と洪
にUV樹脂層をスタンパから剥離する。この方法で剥離
を行うとクサビがUV環樹層に触れることなく、剥離が
行なえる。その後シート13をUV樹脂層4より除去す
る。なお、第6図はクサビ9の挿入前、第6図は剥離途
中の図である。
以上に本発明から成る一実施例を示したが、第8図に示
す様に、シート13、ディスク押し上げビン10による
剥離方法についてもUV樹脂は従来のようにビン10と
穴11のスキマに入ってパリが発生することはなく、ま
たビン1oとUV樹脂が直接接触することはないので同
様な効果が得られる。
す様に、シート13、ディスク押し上げビン10による
剥離方法についてもUV樹脂は従来のようにビン10と
穴11のスキマに入ってパリが発生することはなく、ま
たビン1oとUV樹脂が直接接触することはないので同
様な効果が得られる。
なおシート13とスタンパ1の粘着力はUV樹脂4の充
填時の樹脂の圧力によってスタンパ1からシートが剥離
しない程度の弱い粘着力があれば十分である。したがっ
てシートとスタンパの粘着力はUV樹脂とスタンパの接
着力よりも十分弱いのでシートを起点として樹脂基板を
UV樹脂層と共に剥離することは容易であり、またUV
樹脂にかかる力も弱くなることに加えてクサビやビンが
UV樹脂と直接接触しないという2重の効果により、U
V樹脂屑が発生することを防止することができる。
填時の樹脂の圧力によってスタンパ1からシートが剥離
しない程度の弱い粘着力があれば十分である。したがっ
てシートとスタンパの粘着力はUV樹脂とスタンパの接
着力よりも十分弱いのでシートを起点として樹脂基板を
UV樹脂層と共に剥離することは容易であり、またUV
樹脂にかかる力も弱くなることに加えてクサビやビンが
UV樹脂と直接接触しないという2重の効果により、U
V樹脂屑が発生することを防止することができる。
°またシート13のUV樹脂4側の面を粘着性及びUV
樹脂の接着性のない面としておけば樹脂基板をスタンパ
から剥離した後シートをUV樹樹から容易にごく弱い力
で剥離できるのでこの時にUV樹脂屑が発生することは
無い。
樹脂の接着性のない面としておけば樹脂基板をスタンパ
から剥離した後シートをUV樹樹から容易にごく弱い力
で剥離できるのでこの時にUV樹脂屑が発生することは
無い。
シート13のUV樹脂4側の面を前記実施例とは逆に粘
着性あるいはUV樹脂との接着性のある面としておき、
シート13の樹脂基板3の外周からの突出量を多くして
おけば突出部を保持して樹脂基板を移送することが可能
となる。したがって樹脂基板本体に一切直接接触するこ
となく移送できるので新たな樹脂屑の発生を防止できる
ばかりでなく樹脂基板に傷がつくことも防止できる。
着性あるいはUV樹脂との接着性のある面としておき、
シート13の樹脂基板3の外周からの突出量を多くして
おけば突出部を保持して樹脂基板を移送することが可能
となる。したがって樹脂基板本体に一切直接接触するこ
となく移送できるので新たな樹脂屑の発生を防止できる
ばかりでなく樹脂基板に傷がつくことも防止できる。
また、シート13は1ケ所のみでなく必要に応じて数ケ
所に、またリング状等としてもよい。また、シート13
はスタンパ1の種類別あるいはロット別等に色分けして
おくと工程の管理が容易となる等の利点がある。
所に、またリング状等としてもよい。また、シート13
はスタンパ1の種類別あるいはロット別等に色分けして
おくと工程の管理が容易となる等の利点がある。
発明の効果
本発明によると、硬化性樹脂層にクサビ又はディスク押
し上げビン等が直接触れないので、81 #l+時に硬
化性樹脂の屑の発生を防止でき、また、接1【 そのテープを保持し移送を行えば、移送時にも新、だな
硬化性樹脂屑を発生させることがないため、ドロップア
ウト等エラーの少ないトラック溝等をディスク基板に転
写する効果のあるものであり、工程全体のクリーン化に
も効果がある〜ものである。
し上げビン等が直接触れないので、81 #l+時に硬
化性樹脂の屑の発生を防止でき、また、接1【 そのテープを保持し移送を行えば、移送時にも新、だな
硬化性樹脂屑を発生させることがないため、ドロップア
ウト等エラーの少ないトラック溝等をディスク基板に転
写する効果のあるものであり、工程全体のクリーン化に
も効果がある〜ものである。
第1図は従来の光情報担体ディスクの製造方法の概要を
示す装置の側断面図、第2図は同装置における製造工程
の剥離状態を示す装置の側断面図、第3図、第4図は従
来の剥離方法を示す装置の側断面図、第6図は本発明の
光情報担体ディスクの製造方法の概要を示す装置の断面
図、第6図は同スタンパに貼りつけたシート側断面図、
第7図は同党情報担体ディスクの剥離状態を示す側断面
図、第8図は本発明の光情報相体ディスクの製造方法の
他の実施例の装置の側断面図である。 1・・・・・・スタンパ、2・・・・・・信号トラック
溝、3・・・・・・ディスク基板、4・・・・・・UV
樹脂層、13・・・・・・シート、6・・・・・・紫外
線ランプ、γ・・・・・・反射板、9・・・・・クサビ
、1○・・・・・ピン、11・・・・・・穴。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 第3図 獅4f!1 第5囚 第 8 図 3/3
示す装置の側断面図、第2図は同装置における製造工程
の剥離状態を示す装置の側断面図、第3図、第4図は従
来の剥離方法を示す装置の側断面図、第6図は本発明の
光情報担体ディスクの製造方法の概要を示す装置の断面
図、第6図は同スタンパに貼りつけたシート側断面図、
第7図は同党情報担体ディスクの剥離状態を示す側断面
図、第8図は本発明の光情報相体ディスクの製造方法の
他の実施例の装置の側断面図である。 1・・・・・・スタンパ、2・・・・・・信号トラック
溝、3・・・・・・ディスク基板、4・・・・・・UV
樹脂層、13・・・・・・シート、6・・・・・・紫外
線ランプ、γ・・・・・・反射板、9・・・・・クサビ
、1○・・・・・ピン、11・・・・・・穴。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 第3図 獅4f!1 第5囚 第 8 図 3/3
Claims (3)
- (1)信号トラックを形成したスタンバの有効信号トラ
ック形成領域外の一部に、粘着性を有するシートを貼り
付け、ディスク基板と前記スタンバ間の信号トラック領
域と前記シートの領域に硬化性樹脂を充填させ、前記硬
化性樹脂を硬化せしめた後に、前記シートのスタンバ貼
り付は面にシー1・をスタンバから剥離する力を加えて
、シート部より、前記ディスク基板を硬化性樹脂と共に
スタンバから剥離し、この剥離部を起点として順次、デ
ィスク基板全面を剥離して、前記ディスク基板に信号ト
ラックを転写することを特徴とする光情報担体ディスク
のイル)爪。 - (2)スタンバ上に貼り付けた粘着性を有するシートの
厚みは、硬化性樹脂層厚以下とすることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の光情報担体ディスクの製造方
法。 - (3) シートの片面のみに粘着性をもたせたことを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の光情報相体ディス
クの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58235303A JPS60127544A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | 光情報担体ディスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58235303A JPS60127544A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | 光情報担体ディスクの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60127544A true JPS60127544A (ja) | 1985-07-08 |
JPH0452535B2 JPH0452535B2 (ja) | 1992-08-24 |
Family
ID=16984113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58235303A Granted JPS60127544A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | 光情報担体ディスクの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60127544A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5133824A (en) * | 1989-12-07 | 1992-07-28 | Philips And Du Pont Optical Company | Method and device for removing a flexible product from a carrier plate |
KR100831431B1 (ko) | 2007-02-09 | 2008-05-21 | 한동희 | 편광필름의 보호시트 분리장치 |
JP2011171364A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Tokyo Electron Ltd | インプリント方法 |
-
1983
- 1983-12-13 JP JP58235303A patent/JPS60127544A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5133824A (en) * | 1989-12-07 | 1992-07-28 | Philips And Du Pont Optical Company | Method and device for removing a flexible product from a carrier plate |
KR100831431B1 (ko) | 2007-02-09 | 2008-05-21 | 한동희 | 편광필름의 보호시트 분리장치 |
JP2011171364A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Tokyo Electron Ltd | インプリント方法 |
US9370875B2 (en) | 2010-02-16 | 2016-06-21 | Tokyo Electron Limited | Imprinting method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0452535B2 (ja) | 1992-08-24 |
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