JPS60118915A - 流量調整器 - Google Patents
流量調整器Info
- Publication number
- JPS60118915A JPS60118915A JP22635683A JP22635683A JPS60118915A JP S60118915 A JPS60118915 A JP S60118915A JP 22635683 A JP22635683 A JP 22635683A JP 22635683 A JP22635683 A JP 22635683A JP S60118915 A JPS60118915 A JP S60118915A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- piezoelectric element
- flow
- voltage
- gas
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
- F16K31/005—Piezoelectric benders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は気体の質量流量を制御する流量調整器におい
て、流量を調整する機能を有する流量調整部に関するも
のである。
て、流量を調整する機能を有する流量調整部に関するも
のである。
従来のこの種装置として第１図及び第２図に示すものが
あった。
あった。
第１図において、（１）は気体、（２）は気体＋１１が
流れるチューブ、（３）は流量検出部、（４）はヒータ
、Ｒ１゜几２は感熱抵抗、几は抵抗、（５）は流量制御
回路。
流れるチューブ、（３）は流量検出部、（４）はヒータ
、Ｒ１゜几２は感熱抵抗、几は抵抗、（５）は流量制御
回路。
（６）は流量調整部である。
流量検出部（３）にあるヒータ（４）には一定電力が加
えられており、上流側と下流側の感熱抵抗Ｒ１＋几２と
抵抗几とでブリッジ回路を構成し、気体（１）の流量に
よる温度変化を測定する。流量検出部（３）から出る流
量に比例した出力信号は流量制御回路（５）において、
他の設定信号と比較される。この比較によって生じた差
信号は流量調整部（６）の流量調整機能を作動させ、設
定と同じになるまで気体（１）ノ流量をコントロールす
る。
えられており、上流側と下流側の感熱抵抗Ｒ１＋几２と
抵抗几とでブリッジ回路を構成し、気体（１）の流量に
よる温度変化を測定する。流量検出部（３）から出る流
量に比例した出力信号は流量制御回路（５）において、
他の設定信号と比較される。この比較によって生じた差
信号は流量調整部（６）の流量調整機能を作動させ、設
定と同じになるまで気体（１）ノ流量をコントロールす
る。
第２図は第１図における従来の流量調整部（６）の詳細
図である１図において、（１）は気体、（２）は気体（
１）が流れるチューブ、（４）はヒータ、（７）はステ
ム。
図である１図において、（１）は気体、（２）は気体（
１）が流れるチューブ、（４）はヒータ、（７）はステ
ム。
（８）はステム（７）の先に取付けられたボール、（９
）はノ（ルプシートである。
）はノ（ルプシートである。
ヒータ（４）は、第１図における流量制御回路（５）よ
り送られる信号に応じて発熱する。ステム（７）はヒー
タ（４）の発熱量に対応して熱膨張し、ステム（７）と
共に作動するボール（８）とバルブシート（９）とｎ０
間Ｍを変化させ、気体（１）の流量を制御する。
り送られる信号に応じて発熱する。ステム（７）はヒー
タ（４）の発熱量に対応して熱膨張し、ステム（７）と
共に作動するボール（８）とバルブシート（９）とｎ０
間Ｍを変化させ、気体（１）の流量を制御する。
従来の流量調整器における流量調整部は以上のように構
成されているので、流量の制御性を高めるには１発熱量
に対し、ステム（カの変位を大きくしなければならず、
そのためには、ステム（７）の長さを長くしなければな
らないため流量調整器の形状が大きくなシ、小型・軽量
化に制約があった。
成されているので、流量の制御性を高めるには１発熱量
に対し、ステム（カの変位を大きくしなければならず、
そのためには、ステム（７）の長さを長くしなければな
らないため流量調整器の形状が大きくなシ、小型・軽量
化に制約があった。
又、構成が複雑であるため、工作性が悪いなどの欠点が
あった。
あった。
この発明はこれらの欠点を改善するためになされたもの
で、軽量小型で、工作の容易な制御性の良い流量調整器
を提供するものである。
で、軽量小型で、工作の容易な制御性の良い流量調整器
を提供するものである。
以下、第・３図に示すこの発明の一実施例について説明
する。第３図は第１図における流量調整部の詳細図であ
り、（１）は気体、（２）は気体（１）が流れるチュー
ブ、０〔はオリフィス、ａυはバイモルフ型圧電素子、
α乃はオリフィス四とバイモルフ型圧′電素子（Ｉｌｌ
を保持するハウジング、 ｕ３ｆ′ｉ電源である。
する。第３図は第１図における流量調整部の詳細図であ
り、（１）は気体、（２）は気体（１）が流れるチュー
ブ、０〔はオリフィス、ａυはバイモルフ型圧電素子、
α乃はオリフィス四とバイモルフ型圧′電素子（Ｉｌｌ
を保持するハウジング、 ｕ３ｆ′ｉ電源である。
オリフィスα値とバイセルフ型圧電素子αυはハウジン
グαつによって保持されている。バイモルフ型圧電素子
ａυは電圧に応じて正確に相反して伸縮する圧電素子を
重ね合わせであるため、第１図における流量制御回路（
５）より送られてくる信号によυ制御された電源αｊの
電圧に応じて１例えば（１１ａ）の状態から（Ｎｂ）の
状態に変化する。すなわち。
グαつによって保持されている。バイモルフ型圧電素子
ａυは電圧に応じて正確に相反して伸縮する圧電素子を
重ね合わせであるため、第１図における流量制御回路（
５）より送られてくる信号によυ制御された電源αｊの
電圧に応じて１例えば（１１ａ）の状態から（Ｎｂ）の
状態に変化する。すなわち。
オリフィス０Ｉの気体流出部とバイモルフ型圧電素子α
υとの間隔は、制御された電源α国の発生電圧によシ調
整され、気体の流量は制御される。
υとの間隔は、制御された電源α国の発生電圧によシ調
整され、気体の流量は制御される。
このように、流量調整器の流量調整部ｒオリフィスｕｆ
１とバイモルフ型圧電素子（１１）で構成すれば。
１とバイモルフ型圧電素子（１１）で構成すれば。
構成が簡単になるため工作性が良く、小ｍ＠量化でき、
かつ、圧電素子に加える電圧により、変位量が制御でき
るため、高い流量制御性が得られる。
かつ、圧電素子に加える電圧により、変位量が制御でき
るため、高い流量制御性が得られる。
又、圧電素子での消費電力は著しく小きくすることがで
きる。
きる。
なお以上は、バイセルフ型圧電素子を構成する圧電素子
に同一電圧を加える場合について説明したが、この発明
はこれに限らず各圧電素子に別の電圧を印加シフ、制御
性を高めるために、１つの圧電素子には一定電圧を加え
、別の１つの圧電素子には変位制御用の電圧を加えるこ
とも可能である。
に同一電圧を加える場合について説明したが、この発明
はこれに限らず各圧電素子に別の電圧を印加シフ、制御
性を高めるために、１つの圧電素子には一定電圧を加え
、別の１つの圧電素子には変位制御用の電圧を加えるこ
とも可能である。
以上のように、この発明に係る流量調整器では。
バイモルフ型圧電素子により流量詞整ができるため、流
量調整器の構成がｍ〕単になり、工作性、制御性がよく
、かつ、小型・軽量化が可能で、しかも流量調整部の消
費電力を低減できる利点がある。
量調整器の構成がｍ〕単になり、工作性、制御性がよく
、かつ、小型・軽量化が可能で、しかも流量調整部の消
費電力を低減できる利点がある。
第１図は流量調整器の構成図、第２図は第１図における
従来の流量調整部の詳細図、第３図は第１図における流
量調整部で本発明装置の詳細図である。 図中、（１）は気体、（２）は気体（１）が流れるチュ
ーブ。 （３）ｄ流量検出部、（４）はヒータ、Ｒ１，几２は感
熱抵抗、Ｒは抵抗、（５）は流量制御回路、（６）は流
量調整部、（７）はステム、（８）はステム（７）の先
に取付けられたボール、（９）はバルブシート、ａＩは
オリフィス。 ａυはバイモルフ型圧′亀素子、 Ｑ３はオリフィスａ
Ｑとバイモルフ型圧電素子（Ｉｌｌを保持するハウジン
グ。 ０は電源である。 なお２図中、同一あるいは相当部分には同一符号を示し
である。 代理人大岩増雄 第 １ 図 単 ２ 図
従来の流量調整部の詳細図、第３図は第１図における流
量調整部で本発明装置の詳細図である。 図中、（１）は気体、（２）は気体（１）が流れるチュ
ーブ。 （３）ｄ流量検出部、（４）はヒータ、Ｒ１，几２は感
熱抵抗、Ｒは抵抗、（５）は流量制御回路、（６）は流
量調整部、（７）はステム、（８）はステム（７）の先
に取付けられたボール、（９）はバルブシート、ａＩは
オリフィス。 ａυはバイモルフ型圧′亀素子、 Ｑ３はオリフィスａ
Ｑとバイモルフ型圧電素子（Ｉｌｌを保持するハウジン
グ。 ０は電源である。 なお２図中、同一あるいは相当部分には同一符号を示し
である。 代理人大岩増雄 第 １ 図 単 ２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 気体の質量流量を制御する流量調整器において。 質量流量を検出する流量検出部と、流量を調整する機能
を有する流量調整部と、上記検出部で検出した流量信号
を所定の設定信号と比較し調整部に流量制御に必要な制
御信号を出力する流量制御回路部とで構成するとともに
、流量調整部として流路にオリフィスを配し、このオリ
フィスのコンダクタンスを調整するために、！歪効果を
有する圧電素子を用いたことを特徴とする流量調整器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22635683A JPS60118915A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 流量調整器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22635683A JPS60118915A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 流量調整器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60118915A true JPS60118915A (ja) | 1985-06-26 |
Family
ID=16843867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22635683A Pending JPS60118915A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 流量調整器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60118915A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0199108A (ja) * | 1987-10-12 | 1989-04-18 | Yamada Mitsue | 制御装置 |
| US5029805A (en) * | 1988-04-27 | 1991-07-09 | Dragerwerk Aktiengesellschaft | Valve arrangement of microstructured components |
| EP0787899A3 (de) * | 1996-01-30 | 1998-04-08 | Rudolphus Adrianus Jeanne Marie Van Boxel | Geräte zur Regelung des Durchflusses eines Fluidums |
| US5961096A (en) * | 1996-04-03 | 1999-10-05 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Ferroelectric fluid flow control valve |
| EP1331538A1 (de) * | 2002-01-26 | 2003-07-30 | Eppendorf Ag | Piezoelektrisch steuerbare Mikrofluidaktorik |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5250010A (en) * | 1975-10-20 | 1977-04-21 | Nippon Denso Co Ltd | Fluid injection valve |
| JPS5729871A (en) * | 1980-07-26 | 1982-02-17 | Daikin Ind Ltd | Valve using bimorph piezoelectric element |
| JPS5851295B2 (ja) * | 1978-11-21 | 1983-11-15 | オムロン株式会社 | 尿沈査分類計数器 |
-
1983
- 1983-11-30 JP JP22635683A patent/JPS60118915A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5250010A (en) * | 1975-10-20 | 1977-04-21 | Nippon Denso Co Ltd | Fluid injection valve |
| JPS5851295B2 (ja) * | 1978-11-21 | 1983-11-15 | オムロン株式会社 | 尿沈査分類計数器 |
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| US5961096A (en) * | 1996-04-03 | 1999-10-05 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Ferroelectric fluid flow control valve |
| EP1331538A1 (de) * | 2002-01-26 | 2003-07-30 | Eppendorf Ag | Piezoelektrisch steuerbare Mikrofluidaktorik |
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