JPS5990246A - レ−ザ記録媒体 - Google Patents

レ−ザ記録媒体

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JPS5990246A
JPS5990246A JP57198977A JP19897782A JPS5990246A JP S5990246 A JPS5990246 A JP S5990246A JP 57198977 A JP57198977 A JP 57198977A JP 19897782 A JP19897782 A JP 19897782A JP S5990246 A JPS5990246 A JP S5990246A
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JP
Japan
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film
recording layer
recording
substrate
plasma
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JP57198977A
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Yoshihiro Asano
浅野 義曠
Hironori Yamazaki
裕基 山崎
Susumu Fujimori
進 藤森
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、レーザ光による熱作耳Iによりti’f報を
記録′4るレーザ記録媒体に関し、特に経時安定性に優
れ、かつ、l、’5 Itζ寺1縫のレーザ記録媒体に
関するもグ)′Cある。
レーザ記@#i &;l、高密度かつ高速の記録が可能
なだめ、人界filファイルメモリとしての同月1が検
討さJl、−Cいる。
従来、このような記録に用いる記録媒体としては、h(
板上にBi 、 Teなとの金1・4薄膜を記録層とし
て用いたものが知られている。しか17、これら金属薄
膜は、高い感度を得るために10〜100 nm惺度に
極めて薄く形成して用いる・1ネ要があり、従って耐候
性の点で劣る。そのため、長期間にわたる使用や保存に
より記録感度やコントラストの低下が生じるという問題
点を有している。一方、ファイルメモリとしてはlθ年
以−Hの長期経時安定性が要求されるので、記録層とし
て金属薄膜の代わりにAs −Se −TeなどのTe
化合物や金属う、・含有させたプラズマ重合膜を使用す
ることにより経時安定性を改善することが検刑されてい
る。
これら記録媒体に用いる基板と17ては、プラスチック
、ガラスあるいは金属がある。このうり、プラスチック
としてはポリメチルメタクリレート樹脂やポリカーボネ
ート樹脂が用いられているが、透湿性があるだめに記録
層の経時安定性上好寸しくない。さらに、ガラスや金属
基板をIllいる場合には、トラックリーボ用の案内溝
を設ける必要があるが、この:4(内溝は、1〜板上に
アクリル系紫外線硬化樹脂を設け、この樹脂に凹凸をつ
けることによってjビJアされる。しかし、この紫外線
硬化樹脂には未硬化物など低分子量のものが残留しやす
く、そJ]に起因して記録層の酸化が促進されるなどし
て、媒体の経時安定性が低下する。まだ、記録層10も
記録層と基板の界面張力など界面状態によね変化−Jる
。し7かも、加えて、アクリル系紫外線硬化樹脂を月1
いることに、しりポリメチルメタクリレート樹脂上i+
’(1(「J’;f記lIt層を付着させた場合に較べ
て記録感度が低下するという問題点を有L2ている。
そこで、本発明の目的は、これらの問題点を解決し7、
経時安定性にがれ、かつ記録感度の高いレーザ記)を媒
体省・提供することにある。
そのだめに、本発明の−の形J41でd1基板上にフル
オロカーボンのプラズマ重合膜を配置シ、ソの上に記録
層を+’b、!置する。
本発明の(111,の形μ(jでは、基板上にポリフル
オロカーボンのスパッタ膜を配置し、その上に記録層を
配置する。
以下、図面を参照して本発明を111” q、llIに
説明する。
第1図は本発明レーザ記録媒体の具体的構造の一例を示
す模式図であって、ここに/は塞板、2td基板/上に
配置したフルオロカーボンのプラズマηs 金膜あるい
はポリフルオロカーボンのスノくツタ膜、3は膜λ上に
配置した記録層、≠はトラックサーボ用の溝である。
第1図の例では、基板lけポリメチルメタクリレート樹
脂やポリカーボネート(☆f 脂などσ)プラスチック
で形成し、インジェクション法あるいはセルキャスト法
などにより直接プラスチック基板/上にトラックサーボ
Il’Jの溝qを形成する。
第2図は本発明レーザ記録媒体の具体的構造の他の例を
示し、ここではプラスチック、ガラスあるいはAlなど
の金属などから形成し7た基板/上に紫外線硬化樹脂膜
Sを塗布し、その樹脂膜Sには、凸凹を有するニッケル
スタンパ7よとを用いることによりトラックサーボ用1
の溝りが転写されるようにする。ここで紫外線硬化樹脂
としてはアクリル系樹脂やエポキシ系樹脂などを用いる
ことができる。+J7に、紫外線硬化樹脂膜S上にフル
オロカーボンのプラズマ重合膜あるいはポリフルオロカ
ーボンのスパッタ膜!を配置し、この膜−2上VCN己
fa層ψを配置する。
以上のよりなノ、(板/−ヒにフルオロカーボンCンの
プラズマ重合膜あるいはポリフルオロカーボンのスパッ
タ膜!を付着させるにあたり、フルオロカーボンとして
シ12、テトラフルオロエチレン、クロルトリフルオロ
エチレン、三弗化エチレン、六弗化プロピレン、弗化ビ
ニル、弗化ビニリデンを用い、これらをモノマとして容
駄式あるいは誘導式欣711を月1いることによりプラ
ズマ重合膜を形成する。
ポリフルオロカーボンとしては、列?リテトラフルオロ
エヂレン、ポリクロルトリフルオロエチレン。
ポリ三弗化エチレン、ボり六弗化プロピレン、ポリ弗化
ビニル、ポリ弗化ビニリデンなどを用い、これらをター
ゲットとし′CArなどの不活性ガスでスパッタするこ
とによりスパッタ膜を形成する。
そして、この膜λの上に記録層3を形成するが、この記
録層3としては、As5eTeなどのTe化合物膜、T
eあるいはBiを含有させた金属含有プラズマ重合膜な
どレーザ光の熱作用による継解・蒸発によりビットを形
成するのに適した各種材料を用いることができる。
以上のように構成された本発明レーザ記録媒体において
は、フルオロカーボン膜λを設けることによって次のよ
うな効果が得られる。寸ず、プラスチック基板を用いた
場合には、フルオロカーボン膜)には水分をiff’(
さない効果があるだめ、記録層3の酸化を防ぎ、記録媒
体の耐候性を高めることができる。寸だ、ガラスあるい
は金属基板/−にに紫外線硬化樹脂膜Jf:設けた記録
媒体を月1いる場合には、フルオロカーボン11クツに
より紫外線硬化樹脂膜夕中の未硬化物など低分子!1七
の残留物と記録層3とが1綺離するので、記録媒体の経
時安定性が向上する。さらに、記録感度にt flt!
 Q層3と基板/の界面状態に依存するが、このフルオ
ロカーボン膜λを設けることにより、紫外線硬化樹脂上
に直接に記録層を8′5?けた場合、あるいL1ポリメ
チルメタクリレート樹脂やポリカーボネート樹脂などの
プラスチック4,1、板−上に直接に記録層を設けた場
合よりも窩い記録感度を示す。1だ、上述したフルオロ
カーボン膜はプラズマ重合やスパッタ法といったドライ
な方法で作製されるため、均一な膜厚の膜4−・容易に
得ることができ、作製中のごみなどの付着を避けやすい
など作製上の利点もある。
以下に本発明の実施例を示す。
(実施例1) 四弗化エチレンモノマを7×/θ−2TOrr導入した
容器中で、容(;」式結合を月1いた高周波TI℃極に
7、L!;、g MH7の1?% JiW波?if圧を
tau加してIjF ”ruを行彦い、四弗化エチi−
ンプラズマiIL金膜を形成した。基板としては厚き/
、j+amのポリカーボネート基板を用い、モノマガス
流1杖〃♂/分および放電ηLカ100V/で約S分間
車合を行ない、100 nmのプラズマ中介111′セ
をJ、I−[Q iで(=t 7γi式亡た。次いで、
このプラズマ中合嘆の土(・(−記2を層としてTe 
i) 9ovo1%含有l、た′]゛e含ff二流化炭
素プラズマjJ4合膜を金膜?ll)nmf、1ヤ゛i
さ1)だ。
このように1.てj1ツ虎しまた記録媒体について、波
長130 nmのGaAs半導体1ノ−ザ灸耳Iいて記
録・再生実験を行なつ/こ。その結果1二組31=4に
示す。ここで、記録媒体上のレーザパワー6mWおよび
ビーム径t、6μmで記録を行ない、0.3; mWの
レーザパワーで再生を行なった。第3図の1117輔は
半導体レーザのパルス幅(nr;ec ) 、w軸に1
1f生信−弓出力、すなわち記録前後の反射光強rat
: (4rl対航)の差をそれぞれ表わしている。図中
の曲線aに11本実施例の記録媒体を示すが、比較のだ
めに、四弗化ニーf−1/ ン7’ 5 f: V 、
Tli合膜金膜いずにポリヵーボネ−トノ、!j版板上
直接記録層を1没けた慟合を曲線b1ポリメチルメタク
リレート姑板土に直接記録層を設けた場合を曲線Cで示
す。この結果から本実施例の記録媒体が高い記録感度を
有していることがわかる。
次に、本実施例の記録媒体にp;+ して、yo℃。
90%川え1湿度の環境で加速度劣化テストを行なった
ところ、2ケ月経過後も反射率(IL下を・ic\さな
がつだ。記録層がlI俊化劣化を起こすと反射率および
透過率の低下が生ずるので、この結束から本実施例の記
’jxr fIV体が極めて耐酸化性に優れていること
がわかった。。
実施例 厚さ7.3mmのガラス基板上にアクリル系紫外線硬化
樹脂を約tottmの厚さに塗布1〜、その上に実施例
1と同様に四弗化エチレンプラズマ11(金膜および記
録層としてのTe含有二硫化炭素プラズマ重合膜を形成
した。
この記録媒体の感度は第3図の曲線aと同じであシ、ま
た耐酸化性も実施例1と同様に優れていた。一方、四弗
化エヂレンプラズマ■1合1喚を形成せずにアクリル系
紫外線硬化樹脂上に直接に記録層を設けた場合には、記
録感度は第3図の曲線dのようにかなり低い!1に度を
示した。
さらに、lIO℃、ワO%I11対湿度の加速度劣化テ
ストでは、/′J周間程度で基板とアクリル系紫外線硬
化1ifl脂との間にはく離が生じ、寸だ同条件下に1
ケ月程IICIiQ:置したと仁ろ、記録層の反射率に
trらが生し、部分的に酸化劣化が促進されているのが
みられた。この結果から、本発明により、四弗化エチレ
ンプラズマ重合膜を設けることにより、記録感度および
経時安定性ともに向上することがわかった。
(実施例3) モノマとして四弗化エチレンの代わりに六弗化プロピレ
ンを用い、その他は実施例1の場合と全く同様にして記
録媒体を形成したところ、記録感度および経時安定性と
もに実施5例1と同様な結果が得られた。
(実施例4) 実施例1の容打[式電極の代わりに、コイル状の誘導式
電極を用い、モノマガス圧5X/θ−3Torr %ガ
ス流f11Jcm’/分および放’+tl電力、zoo
 wで約3分間■(合を行ない、膜厚が約ioo nm
の四弗化エチシンプラズマ15合膜を形成した。その1
111は実DIG例1と同様にして記録媒体を形成した
ところ、実施例1と同様な結果が得られた。
(実施例5) 記録層としてAs、oSe、。Te8oの蒸着膜を用い
、その他は実施例1と同様にして記録媒体を形成した。
この1乃合グ)記J、41:名度は第31’21の曲線
Cに近い値を21、しだが、フル副ロカーボンプラズマ
φ金膜がない場合には曲線dに近い記録感度に−示すこ
とから、感度が大幅に同士していることがわかった。ま
た、グθ℃、90%相対湿度下で約3ケ月間経メトh後
にも反射率変化が生ぜず、耐酸化性にも優れていること
がわかった。
実施例 ポリ四弗化エチレンをターゲットとしてArガス圧/X
10Torrでスパッタを行なった。基板としてはポリ
メチルメタクリレート樹脂基板を用い、敗′1いl’t
 7J100 Wで約ざ分間にわたってスパッタを行な
い、膜厚約700 nmのスパック膜を形成した。
次いで、記f々層を実施例1と同様にして形成したとこ
ろ、実施例1と同様な記録感度および経時安定性が得ら
11だ。
(実施例7) ターゲットとしてポリ三弗化エチレンを用い、その他は
実施例6と同様にして記録媒体を形成したとこ7)・実
施例6と同様の結果が得られた。
以上説明したように、本発明によるレーザ記録媒体は、
フルオロカーボンのプラズマi(+金膜あるいはポリフ
ルメロカーボンのスパッタ膜を配置aシたことにより、
経時安定性に優れ、しかも高感度な優れた記録特性を有
する。さらに加えて、このフルオロカーボン膜はドライ
プロセスで製作できるため、膜作製中にきすやほこりな
どの付着を防ぐことが容易であり、丑だ記録層も同一装
置内で形成することができるという利点を有している。
【図面の簡単な説明】
第1図および第1図は本発明記録媒体の!実施例の構音
を示す俟式的断面図、第3図は本5?!明記録媒体の記
@舶性を示す!持性曲線図である。 /・・基板、 λ・・・フルオロカーボン膜、 3・・・記録層、 弘・・・トラックサーボ川の尚、 !・・・紫外線硬化樹脂膜。 第1図 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)ノ、(,4反を有し、r’r笑)、I−板上にフル
    オロカーボンのプラズマ【11合膜を配置斤し、該プラ
    ズマ重合膜の土に記録層を配置したことを唱・徴とする
    レーザ記ζを媒体。 2)邦z板を(Tし、該基4反上にポリフルオロカーボ
    ンのスパッタ膜を配置し、該スパッタ膜の上に記録層を
    配置したことを特徴とするレージ’  jjlE  録
     αμ 体 。
JP57198977A 1982-11-15 1982-11-15 レ−ザ記録媒体 Pending JPS5990246A (ja)

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JP57198977A JPS5990246A (ja) 1982-11-15 1982-11-15 レ−ザ記録媒体

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