JPS5988649A - パタ−ン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は検査対象物をビデオカメラで撮像して得た撮
像信号を処理して、検査対象物のパターン、欠陥、ある
いは異物の付着などを識別し良品、不良品の判定を行う
パターン検査装置に関する生産工程や組立工程における
良品、不良品の識別や形状、寸法、角度などの認識は生
産ラインなどの自動化にとって重要である。そこで工業
製品の欠陥などを自動的に検出するために、被検査物体
をビデオカメラなどの撮像装置で撮像して得た光学的情
報をマイクロコンピュータによって適宜処理してその被
検査物体の良・不良を判定するパターン検査装置が実用
に供されている。そのようなパターン検配装置において
は、基準物体および被検査物体の画像パターン信号をそ
れぞれ量子化してビデオメモリに記憶し、置物体のそれ
ぞれの画像パターンに基づいて被検査物体の良・不良が
判定されている。しかしながら、従来のパターン検査装
置では、画像パターン信号を２値化して、そのデータを
マイクロコンピュータに導いて判定処理を行っているた
めに、画像パターンの基準となるバックグラウンドレベ
ルをあらかじめ所定のレベル設定する必要があった。こ
のために、被検査物体の形状や表面状態あるいは、被検
査領域における照明状態によって、設定したバックグラ
ウンドレベルが実際のレベルに一致しないことが生しる
。このような不一致により、従来のパターン検査装置で
は、微小な欠陥検査が行えず、また検査ミスを誘起する
ことになり、検査精度の向上を望めない欠点を有してい
た。

また、被検査物体の画像データをマイクロコンピュータ
に取り込む場合、ビデオカメラで撮像された画像情報を
総て取り込むと被検査物体以外のハックグラウンドの情
報をも取り込むことになって処理時間が長くなるので被
検査物体画像周囲の画像データだけを取り込むようにし
ている。しかしながら従来のパターン検査装置では、被
検査領域内の規定位置に規定ワクを予め設り、その規定
ワク内に納まるように被検査物体を搬送してその規定ワ
タ枠から被検査物体画像の取込みを行っているため、搬
送された被検査物体が規定ワタ内に総て入らなかった場
合、つまり一部が規定ワクより外れたりすると被検査物
体画像を正確に取り込むことが出庫ない欠点があった。

しかもこのような装置では被検査物体を規定ワタ内に収
めるための位置ぎめ装置を搬送系に配置する必要があり
、パターン構造装置の構成が複雑化する問題があった。

この発明のＬ１的は、上記従来の欠点に鑑み、被検査物
体の位置がビデオカメラの視野内にある限り、その位置
が何処であっても画像データを正確に取り込むことが出
来、しかも被検査物体の良・不良を高精度に判定するこ
とが出来るパターン検査装置を提供することである。

この発明間、要約すれば、画像パターンを、その量子化
レヘ、ルを画像の濃淡に応じた複数レベルに設定して、
ビデオメモリに記憶するＡ／Ｄ変換手段と、そのビデオ
メモリを走査して各画素の濃淡レベル差からバックグラ
ウンドレベルを求める手段と、求めたバックグラウンド
レベルと各画素のレベルとを基準点からＸ、Ｙ方向に順
に比較し、バンクグラウンドレベルより大きいレベルの
画素座標点から被検査物体画素周囲の走査ウィンドウを
求める手段と、を備え、前記走査ウィンドウ内を走査し
て１ｑられる画素パターンから被検査物体の良・不良判
定を行うことを特徴とする。

以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図はこの実施例のパターン検査装置を示すブロック
図である。同図において、ｌおよび２はそれぞれ、ＣＰ
ＵＩ、ＣＰＵ２を示す。ＣＰＵＩは主に画像パターンを
量子化してビデオメモリ５に記憶する処理およびその画
像をモニタＣＲＴ７に表示する処理を行う。ＣＰＵ２は
ビデオメモリ５に記憶された量子化データに基づき、被
検査物体の画像バクーンの判定処理、自動調光処理およ
び出力装置８へのデータ送出処理を行う。ビデオカメラ
３は被検査領域に固定配置され、基準物体および被検査
物体を撮像し、その撮像信号をＡｌ１）変換器４に出力
する。この被検査領域は生産う・インの被検査物体搬送
系、例えばコンベアベル１−」二の所定個所に相当する
。また、この被検査領域内のビデオカメラ３の視野は照
明装置１０によって照明されている。照明装置１０出先
七ｔガ士量俟芸表益峯占≦士の照明光量はＣＰＵ２の指
示に基づき調光装置９によって調光される。調光装置９
はたとえば、トライアックなどの無接点スイッチを用い
た周知の回路で構成されている。ＣＰＵ１により量子化
されたデータはＤ／Ａ変換器６により表示信号に変換さ
れ、モニタＣＲＴ７に送出される。ビデオメモリ５は、
たとえば第２図に示すように画素数２４０（垂直）Ｘ３
２０（水平）×６ビツト（１画素）の容量のメモリから
なる。

ビデオメモリ５の各ビット（ｂｏ〜ｂ５）のメモリ領域
は基準物体および被検査物体の画像パターン信号をそれ
ぞれ量子化したデータを記憶する記により、たとえばモ
ノクロ画像入力に対して６４階調の白黒濃淡画像情報を
記憶することができる。ここで、ＣＰＵ　１によってビ
デオメモリ５に記憶処理された、画像パターンをＤ／Ａ
変換したときの濃淡レベル波形の一例を第３図に示す。

画像パターンの量子化レベルパターン各画素ごとに６４
レベルの範囲り内で画像の濃淡に応じた濃淡レベルに変
換されている。この変換によって形成された濃淡レベル
波形■（はモニタＣＲ１７画面上で、たとえば白黒の濃
淡の違いで現れる。そして、この濃淡レベル波形Ｈはビ
デオカメラ３によって捉えられた被検査物体の画像情報
に刻応し、下方の水平領域は被検査領域により決まるバ
ックグラウンドに対応している。バンクグラウンドレベ
ルＢ、Ｇ、Ｌ（以下このレベルをＢ、Ｇ、Ｌという。）
は後述のハックグラウンドレベル設定処理によってノイ
ズ成分ｎを考慮して、上記水平領域のレベルＫによりレ
ベルｎだけ上方のレベルに設定される。Ｂ、Ｇ、Ｌより
上方の濃淡Ｌノヘル波形部分は、被検査物体の画像情＠
（以下、この情報をワ、−クレベルという。）に対応す
る。

ＣＰＵ２に含まれるメモリは、第４図に示すメモリエリ
アを有する。第４図において、メモリエリアＭ１にはバ
ンクグラウンドレベル設定処理に必要な濃淡比率ρが記
憶され、設定したＢ、Ｇ。

１、はメモリエリアＭ２に記憶される。メモリエリアＭ
３．Ｍ４にはそれぞれ、前記ワーク１ノベルの最大値Ｗ
Ｍおよび平均値ＷＡが記憶される。メモリエリアＭ５に
は後述の自動調光処理に必要な調光判定レベルの最大値
Ｗｍとその許容幅αが記憶され、また、メモリエリアＭ
６には調光判定レベルの平均値Ｗａとその許容幅βが記
憶されている。メモリエリアＭ７には第５図に示すよう
に、ビデオカメラ３の視野Ｃにより決まる座標系の座標
値ｘＭＩＮ、ｙＭＩＮ、ｘＭＡＸ、ｙＭａＸが記憶され
、この座標系の大きさはビデオカメラ３の視野Ｃ内で任
意に設定される。また、メモリエリアＭ８には後述の走
査ウィンドウＷの画素座標点ｘｉ、ｙＬ、ｘ２．ｙ２が
記憶されている。メモリ、エリアＭ９〜Ｍ１２ば、調光
判定レベルＷ　ｍ　。

Ｗａおよび許容幅α、βで決まる判定範囲内にワークレ
ベルの最大値ＷＭ、平均値ＷＡが入っていないときそれ
ぞれオンになるフラグＦＭ、ＦＡ。

ＦＭ′、ＦＡ′である。メモリエリアＭｉ３は画像パタ
ーンに基づいて被検査物体の良・不良を判定するために
必要な特徴ファクターデータを記憶する。

上記のように構成されたパターン検査装置において、ビ
デオカメラ３によって撮像された画像パターンはへ／Ｄ
変換器４によってデジタル画像化され、さらにＣＰＵＩ
による画面走査により全画素に対して画像パターンの量
子化が行われる。そして、第３図に例示した濃淡レベル
波形のように、その画像パターンの量子化レベルを画像
の濃淡に応じた複数レベルに設定してビデオメモリ５に
記憶して画像パターン記憶処理が行われる。

以下、この実施例のパターン検査装置の動作を説明する
。

第６図はこのパターン検査装置の画像入力処理動作を示
すフローチャートである。この画像入力処理動作におい
て、ステップｎ１（以下、ステップｎｉを単にｎ　ｉと
いう。）から０３までのハックグラウンドレベル設定処
理がこの発明におけるバックグラウンドレベルを求める
手段に対応している。、ｎｌｌこて、Ａ／Ｄ変換してビ
デオメモリ５に記憶されカニ画像バクーンを、濃淡レベ
ル範囲りの下限から（第３図参照）順に全画素に対して
走査する。１１２で、今回走査した濃淡レベルでの濃淡
比率を測定し、且つその測定濃淡比率とあらかじめ設定
し、カニｍ淡比率ρとを比較する（ｎ２）。

たとえば、濃淡レベル波形Ｈの下方を黒領域、上方を白
領域とすると、濃淡比率ρは所定のレベルにおける黒領
域と白領域との割合として設定され、その値はビデオカ
メラ３の視野Ｃ１被検査物体の大きさなどを考慮して決
定される。そこで、たとえば、第３図において濃淡レベ
ル波形Ｈの水平領域のレベルＫにおいてその濃淡レベル
が濃淡比率ρより大きくなるとしたならば、レベルによ
りノイズ成分り上にあるレベルＢ、Ｇ、Ｌをバンクグラ
ウンドし・ベルして決定する（ｎ３）。なお、各レベル
での濃淡比率は、特に濃淡レベル波形の水平領域では、
濃淡レベルがバラついているために、統計的手法により
算出される。このようにしてバックグラウンドレベルが
設定されると、レベルＢ、Ｇ、Ｌより上のレベルからワ
ークレベルが求められる（ｎ４）。また、このとき、ワ
ークレベルの最大値ＷＭおよび平均値ＷＡも求められ、
それぞれ前記メモリエリアＭ３．Ｍ４に記憶される（ｎ
５）。この平均値ＷＡは最大値ＷＭとＢ。

Ｇ、１．との平均で求められる。これらの最大値ＷＭお
よび平均値ＷＡは後述の自動調光処理のためのデータに
用いられる。上記のように、Ｂ、Ｇ。

Ｌは画像パターンの濃淡に応じて自動的に設定されるの
で被検査物体の形状や表面状態あるいは照明状態が変化
しても、つねに、実際の画像パターンに対応した基準レ
ベルを得ることができる。したがって、画像パターンの
微小な相違を検出することができ、また、検査ミスなど
もなくなり検査精度が著しく向上する。

次に、ＣＰ　Ｕ　２により行われるｎ６以下の処理につ
いて説明する。ここでは、被検査物体画像周囲の走査ウ
ィンドウの設定処理（ｎ６〜ｎ９）ｔ：ｊよび表示処理
（ｎｌＯ−ｎ１３）を実行する。以下の設定処理（ｎ６
〜ｎ９）がこの発明の走査ウィンドウを求める手段に対
応する。

走査ウィンドウの設定は、パターン検査に要する時間を
短縮する利点がある。走査ウィンドウの設定により走査
範囲が狭くなり、その分処理の対象となるデータ個数（
画素数）が著しく少なくなるからである。

第５図に示すように、走査ウィンドウＷは、ビデオカメ
ラ３の視野Ｃにある被検査物体たとえばカプセルＳの画
像周囲に、Ｘ、Ｙ座標系により設定される。そして、こ
の走査ウィンドウは、前述のバックグラウンドレベル設
定処理で求めたＢ。

Ｇ、Ｌと各画素のレベルとを視野Ｃの座標系の基準点０
からＸ、Ｙ方向に順に比較し、Ｂ、Ｇ、Ｌより大きいレ
ベルの複数の画素座標点から求められる。

この走査ウィンドウＷの各画素座標点ｘｌ、ｙ１、ｘ２
．ｙ２のアドレスを決めるためのサブルーチンを第７図
ないし第１０図に示す。すなわち、ｎ６〜ｎ９の処理は
それぞれ第７図〜１０図のフローチャートで示される。

ｎ６においては走査ウィンドウＷの左ワタの画素座標点
ｘ１のアドレス決定処理が行われる。ｎ６０にて、まず
基準点０の座標（ｘＭＩＮ、ｙＭＩＮ）が初期設定され
、続いてビデオメモリ５より各画素座標点（ｘ、ｙ）に
対応した濃淡レベルデータ（以下、このデータをＰｉｘ
ｅｌという。

）が取り出される（ｎ６１）。そして、このＰｉｘｅｌ
とＢ、Ｃ，、Ｌとの比較が行われ、前者が後者より小さ
いときＹ方向に順に画素座標点が移行し、ｙＭＡＸに達
したときの次のＸ座標に移行する（ｎ６２〜ｎ６６）＊
　ＰｉｘｅｌがＢ、　Ｇ、　Ｌより大きいときまたは両
者が一致したとき、そのときのＸ座標がＸｌとして記憶
される（ｎ６８）。全画素に対してｘｌが決定されない
ときは（ｎ６６）、エラーコードがセットされ（ｎ６７
）、エラー処理に移る。

走査ウィンドウＷの右ワタの画素座標点ｘ２のアドレス
決定処理はｎ７にて行われる。この処理では、視野Ｃの
右ワクの座標（ｘＭＡＸ、ｙＭＩＮ）が初期設定される
（ｎ　７０）。また前記ｎ６２と同様に、Ｐｉｘｅｌと
Ｂ、Ｇ、Ｌとの比較が行われ（ｎ７２）、前者が後者よ
り大きいときまたはそれらが一致しているとき、そのと
きのＸ座標がｘ２となる。ｐｉｘｅｌがＢ、Ｇ、Ｌより
小さいときは、Ｙ方向に順に画素座標点が移行し、ｙＭ
ＡＸに達したとき次のＸ座標に移行する（ｎ７１、ｎ７
３〜ｎ７６）、この場合、ｘＭＡＸからｘｌまでｐｉｘ
ｅｌは取り出される。ｘｌまで比較しても一致しないと
きはエラー処理に移る（ｎ７７）。

走査ウィンドウＷの上ワクの画素座標点ｙ１のアドレス
決定処理はｎ８にて行われる。この処理では、座標（Ｘ
Ｉ、ｙＭＩＮ）が初期設定される（ｎ８０）、前記のｎ
６２．ｎ７２と同様に、ＰｉｘｅｌとＢ、Ｇ、Ｌとの比
較が行われ（ｎ８２）、前者が後者より小さいならばＸ
方向に順に画素座標点が移行し、Ｘ２に達したときつぎ
のＹ座標に移行する（ｎ８１．ｎ８３〜ｎ８６）　。Ｐ
ｉｘｅｌとＢ、Ｇ、Ｌとが一致したとき、または前者が
後者より大きくなったとき、そのときのＹ座標がｙｌと
して記憶される（ｎ８８）。ｙＭＩＮか９ｙＭＡＸまで
比較しても一致しないときはエラー処理に移る（ｎ８７
）。

走査ウィンドウＷの下ワタの画素座標点ｙ２のアドレス
決定処理はｎ９にて行われる。この処理では、座標（ｘ
Ｌ　　ｙＭＩＮ）が初期設定される（ｎ９０）、前記の
ｎ６２．ｎ７２．’ｎ８２と同様に、ｐｉｘｅｌとＢ、
Ｇ、Ｌとの比較が行われ（’ｎ９２）、前者が後者より
小さいならばＸ方向にｘｌからｘ２に順に画素座標点が
移行し、ｘ２に達したとき次のＹ座標に移行する（ｎ９
１．ｎ９３〜ｎ９６）、ＰｉｘｅｌとＢ、Ｇ、Ｌとが一
致したとき、または前者が後者より大きくなったとき、
そのときのＹ座標がｙ２として記憶される（ｎ９８）。

ｙＭＡＸからｙｌまで比較しても一致しないときはエラ
ー処理に移る（ｎ９７）、。

上記の処理（ｎ６〜ｎ９）によって、第５図に示したカ
プセルＳの外形を囲む四角のワクの四隅の画素座標点が
求められ、走査ウィンドウＷが設定される。このように
走査ウィンドウがビデオカメラ３の視野内にある被検査
物体の周囲に自動的に設定されるので、その視野内に被
検査物体がどのような方向に向いていてもよく、被検査
物体を視野内の一定位置に配置するための位置決め装置
などを搬送系に設けなくて済む。そして、ｎｌ。

〜ｒｉ　ｌ　３の処理において、走査ウィンドウＷの四
辺のワタ線がモニタＣＲＴ７の画面に描画される。すな
わち、画素座標（ｘｌ’ｙｌ）から（Ｘ　Ｉ　Ｙ２）ま
で線描きされて左ワタが表示され（ｎ　１０）、同様に
（ｘ２ｙｌ）から（ｘ２ｙ２）まで右ワタが表示され（
ｎｉｌ）、また、（ｘｌｙｌ）から（ｘ２ｙｌ）まで上
ワク、（ｘ　１　ｙ　２）から（ｘ　２　ｙ　２）まで
下りりがそれぞれ表示される（ｎ１２．ｎ１３）。こう
して走査ウィンドウＷが設定されると、次にパターン検
査処理動作に移る次に、このパターン検査装置における
パターン検査処理動作を説明する。

第１１図はこのパターン検査処理動作を示すフローチャ
ートである。以下の処理中、ｎ２０〜ｎ２４、ｎ３０〜
ｎ３３はＣＰＵＩによって行われる。まず、ｎ２０にて
基準物体の画像（以下、この画像をマスター画像という
。）データがビデオメモリ５の記憶領域ＶＭＩに記憶さ
れているが、否か判断される。マスター画像が記憶され
ていないときはｎ３０以下のマスター設定処理が実行さ
れる。なお、この指示は図示しない操作パネルに配置し
たマスター設定スイッチ（図示せず）により行われる。

このマスター設定スイッチがオンもこされると、ＣＰＵ
Ｉ内のメモリのマスター設定フラグ（図示せず）がオン
になり、マスター設定処理実行に移る（ｎ　３０）。マ
スター設定時には、そのときビデオカメラ３で撮像され
得られた映像信号がＡ／Ｄ変換器４でＡ／Ｄ変換された
後（ｎ３１）、その映像データが記憶領域ＶＭＩに記憶
される。基準物体全体の画像データの記憶が終了したな
らば（ｎ３３）、再びｎ２０に戻る。　　　　゛に記の
マスター設定処理でマスター画像データが記憶領域ＶＭ
Ｉに記憶されているならばｎ２１以下の被検査物体の判
定処理に移る。ｎ２１では、前記の０４とｎ５の処理と
同じく、ワークレベルの測定？）最大値ＷＭ、平均値Ｗ
Ａの決定を行うワークサーチが実行される。そして、こ
のワークサーチで得られたデータによって、前記のｎ６
〜ｎ９における走査ウィンドウの設定処理が実行される
（ｎ２２１１゜走査ウィンドウが設定されると、前記の
ｎｌＯ〜ｎ１３によって、モニタＣＲＴ７の画面に表示
される。そして、設定された走査ウィンドウ内で走査を
して、映像信号のＡ／Ｄ変換が行われ（ｎ２３）、その
画像データはビデオメモリ５の記憶領域ＶＭ２に記憶さ
れる（ｎ２４）。このように被検査物体の画像パターン
の撮像データの取込みは、ビデオカメラ３の視野より狭
い走査ウィンドウ内だけを走査して行われるので、短時
間でデ・−夕取込みを行なえるとともに、取り込んだデ
ータ個数が少なくなるためにその処理に必要な時間を大
幅に短縮することが出来る。

被検査物体に関しての画像データが記憶領域■Ｍ２に記
憶されると、ｎ２５〜ｎ２９の判定処理がＣＰＵ２によ
り実行される。ｎ、　２５では、被検査物体の形状や表
面状態に固有の特徴として現れる面積、重心、角度など
の特徴ファクターが記憶領域ＶＭ２のデータから描出さ
れる。なお、単に、“７スタ一画像との照合を行う場合
には、このような特徴ファクターの描出は行われない。

続いて、ｎ２６にて画像パターンの判定が行われる。こ
の判定は、ファクター別に記憶領域ＶＭＩとＶＭ２との
画像データを比較して、全ての特徴ファクターを考慮し
て総合的に行われる。判定を行うまでの処理中において
は、より正確な結果を得るために、Ｂ、Ｇ、Ｌやファク
ター補正等、諸元データの修正が繰り返され、両画像デ
ータの比較は相対的且つ総合的に行われる。判定を終え
ると、その判定結果に基づき、出力装置８に良品処理ま
たは、不良品処理命令が送出される（ｎ２７〜ｎ２９）
。

以」−のようにして、Ｂ、Ｇ、Ｌを自動的に且つ１Ｍ通
な値に求めることが出来、またそのＢ、Ｇ。

１、を基準にして被検査物体の周囲に自動的にウィンド
ウを設定することが出来る。

この装置をたとえば、電子部品のチップ状部品の端子形
成検査に使用したときのモニタ画像例を第１２図に示す
。第１２図（Ａ）は、チップ状部品１１の−・部」二面
を示す。モニタＣＲＴ７画面では、部品本体は黒色で表
示され、また、そのチップ状部品１１の端子面１２ａ、
１２ｂ、１２ｃ。

１２ｄおよび表面の印刷文字１５は白色で表示される。

第１２図（Ａ）において２点鎖線１３で示しノこ境界で
の濃淡レベルは同図（Ｂ）のようになる。同図（Ｂ）で
１点鎖線１４はＢ、Ｇ、Ｌを、上段と下段の濃淡レベル
１６は端子面１２Ｃ，１２ｄを、また、中段の二つの濃
淡レベル１７は印刷文字１５をそれぞれ表している。

上述のように第６図の処理（ｎｌ−ｎ３）で各画素の濃
淡レベル差から正確なり、Ｇ、Ｌが求められ、そのＢ、
Ｇ、Ｌを基準として被検査物体の画像データがビデオメ
モリ５に格納されるので、・　　ビデオカメラ３で捉え
た原画像パターンが保有される。したがって、前記ｎ２
６の処理において、必要に応じて原画像パターンの画像
データを２値化、あるいは多値化することによって特徴
ファクターの描出処理などを自由に行うことができる。

すなわち、所望のデータが得られないときは再度原画像
パターンの画像データを処理して所望のデータをＣＰ　
Ｕ　２により加工することが可能となり、検査精度を向
上させることが出来る。

次に、このパターン検査装置における自動調光処理動作
を第１３図のフローチャー１・にしたが、つい説明する
。

この自動調光処理は前記のｎｌからｎ５までのバックグ
ラウンドレベル設定処理時およびワークレベル測定処理
時に割り込みルーチンとして実行される６ｎ４０にて、
前記第３図に示したように、ワークレベルの最大値Ｗｍ
と平均値Ｗａおよびそれらの許容幅α、βがあらかじめ
初期設定される。これらの値は基準物体に対し最適な照
明状態を設定したときに得られる濃淡レベル波形力〜ら
決められる。ｎ４１とｎ４２において、最大値Ｗｍと許
容幅αとで決まる最大値範囲内にｎ５で求めたワークレ
ベルの最大値ＷＭが入ってし）るか否め・判断される。

最大値ＷＭがその最大値範囲の」二限より越えていると
き、また、下限より下にあるときはそれぞれフラグＦＭ
、ＦＭ′がオンになる（ｎ、４３．ｎ４５）。続いて、
ｎ４４とｎ４６において平均値Ｗａと許容幅βとで決ま
る平均値範囲内ｎ５で求めたワークレベルの平均値ＷＡ
が入っているか否か判断される。平均値ＷＡがその平均
値範囲の上限より越えているとき、また、下限より下に
あるときはそれぞれフラグＦＡ、ＦＡがオンになる（ｎ
４７．ｎ４９）　６そして、ｎ４８にて、フラグＦＡ’
、ＦＭ′がともにオンになっているか否か判断され、そ
れらが双方オンになっているときはＣＰＵ２の指示によ
って照明装ｆｌｌＯによる詔明の光量を増加させるよう
に開光装置９が作動する（ｎ５１）。また、フラグＦＡ
′、ＦＭ′がともにオンできないときは、ｎ５０に移り
、フラグＦＡ、ＦＭがともにオンになっているか否か判
断される。フラグＦＡ、ＦＭが双方オンになっていると
きはＣＰＵ２の指示によって照明装置１０による照明の
光量を減少させるように調光装置９が作動する（ｎ５２
）。このように、ワークレベルの最大値ＷＭおよび平均
値ＷＡが設定した最大値範囲および平均値範囲の上限を
それぞれ越えている場合と、最大値範囲および平均値範
囲の下限よりそれぞれ下にある場合においてだけ照明光
量の調整が行われる。したがって、単に最大値の比較だ
けで光量調整を行う場合に比べ、ワークレベルのピーク
に被検査物体の欠陥などが現れたときに過照明状態を検
出することができる。また、最大値が低い場合でもワー
クレベルの平均が低いときにのみ照明光量の増加が行わ
れるので、過照明状恕を防止できる。

以上のように、この発明によれば、画像パターンをその
量子化レベルを画像の濃淡に応じた複数レベルに設定し
てビデオメモリに記憶し、そのビデオメモリを走査して
各画素の濃淡レベル差からハックグラウンドレベルを求
めるようにしたので、実際の画像パターンに応じた基準
レベルによってつねに高精度にパターン検査を行なえる
とともに、基準レベルが実際の画像パターンに応じて最
適な値に設定されるため、走査ウィンドウを正確にもと
めることが出来る。しかも被検査物体がビデオメモリの
視野内のどの位置にあっても、走査ウィンドウがその被
検査物体の周囲に正確に設定されるので、画像データ取
込みのための位置決め装置を必要とせず、パターン検査
装置の構成が簡単になる利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例であるパターン検査装置を示
すブロック図、第２図は同パターン検査装置のビデオメ
モリ５の記憶領域を示す図、第３図は同パターン検査装
置の画像データ処理動作を説明するための濃淡レベル波
形図、第４図は同パターン検査装置のＣＰＵ２に含まれ
るメモリの記憶領域を示す図、第５図は同パターン検査
装置の走査ウィンドウ設定処理を説明するための図、第
６図は同パターン検査装置の画像入力処理動作を示すフ
ローチャート、第７図ないし第１０図は同パターン検査
装置の走査ウィンドウ設定処理動作を示すフローチャー
ト、第１１図は同パターン検査装置のパターン検査処理
動作を示すフローチャート、第１２図は同パターン検査
装置による被検査物体のモニタ画像例を示す図、第１３
図は同パターン検査装置の自動調光処理動作を示すフロ
ーチャー１・である。 ３−−ビデオカメラ、４−Ａ　／　Ｄ変換器、５−ビデ
オメモリ、Ｃ−−（ビデス”カメラ）の視野、Ｗ−走査
ウィントウ。 出願人　　　和泉電気株式会社 代理人　　　弁理士　小森久夫 第２図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１１基準物体および被検査物体の画像パターン信号を
   それぞれ量子化してビデオメモリに記憶し、置物体のそ
   れぞれの画像パターンに基づいて被検査物体の良・不良
   を判定するようにしたパターン検査装置において、 前記画像パターンをその量子化レベルを画像の濃淡に応
   じた複数レベルに設定して前記ビデオメモリに記憶する
   Ａ／Ｄ変換手段と、前記ビデオメモリを走査して各画素
   の濃淡レベル差からバックグラウンドレベルを求める手
   段と〜求めたバックグラウンドレベルと各画素のレベル
   とを基準点からｘ、Ｙ方向に順に比較し、バックグラウ
   ンドレベルより大きいレベルの画素座標点から被検査物
   体画像周囲の走査ウィンドウを求める手段と、を備え、
   前記走査ウィンドウ内を走査して得られる画像パターン
   から被検査物体の良・不良判定を行うことを特徴とする
   パターン検査装置。