JPS5988648A - パタ−ン検査装置 - Google Patents
パタ−ン検査装置Info
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- JPS5988648A JPS5988648A JP57199486A JP19948682A JPS5988648A JP S5988648 A JPS5988648 A JP S5988648A JP 57199486 A JP57199486 A JP 57199486A JP 19948682 A JP19948682 A JP 19948682A JP S5988648 A JPS5988648 A JP S5988648A
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- Japan
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- inspected
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- image pattern
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は検査対象物をビデオカメラで撮像して得た撮
像信号を処理して、検査対象物のパターン、欠陥、ある
いは異物の付着などを識別し良品、不良品の判定を行う
パターン検査装置に関する生産工程や組ガニ程における
良品、不良品の識別や形状、寸法、角度などの認識は生
産ラインなどの自動化にとって重要である。そこで工業
製品の欠陥などを自動的に検出するために、被検査物体
をビデオカメラなどの撮像装置で撮像して得た光学的情
報をマイクロコンピュータによって適宜処理し７てその
被検査物体の良・不良を判定するパターン検査装置が実
用に供されている。そのようなパターン検査装置におい
ては、基準物体および被検査物体の画像パターン信号を
それぞれ量子化してビデオメモリに記憶し、両物体のそ
れぞれの画像パターンに基づいて被検査物体の良・不良
が判定されている。しかしながら、従来のパターン検査
装置では、画像パターン信号を２値化して、そのデータ
をマイクロコンピュータに導いて判定処理を行っている
ために、画像パターンの基準となるバンクグラウンドレ
ベルをあらかじめ所定のレベル設定する４要があった。
像信号を処理して、検査対象物のパターン、欠陥、ある
いは異物の付着などを識別し良品、不良品の判定を行う
パターン検査装置に関する生産工程や組ガニ程における
良品、不良品の識別や形状、寸法、角度などの認識は生
産ラインなどの自動化にとって重要である。そこで工業
製品の欠陥などを自動的に検出するために、被検査物体
をビデオカメラなどの撮像装置で撮像して得た光学的情
報をマイクロコンピュータによって適宜処理し７てその
被検査物体の良・不良を判定するパターン検査装置が実
用に供されている。そのようなパターン検査装置におい
ては、基準物体および被検査物体の画像パターン信号を
それぞれ量子化してビデオメモリに記憶し、両物体のそ
れぞれの画像パターンに基づいて被検査物体の良・不良
が判定されている。しかしながら、従来のパターン検査
装置では、画像パターン信号を２値化して、そのデータ
をマイクロコンピュータに導いて判定処理を行っている
ために、画像パターンの基準となるバンクグラウンドレ
ベルをあらかじめ所定のレベル設定する４要があった。
このために、被検査物体の形状や表面状態あるいは、被
検査領域における照明状態によって、設定したバックグ
ラウンドレベルが実際のレベルに一致しないことが生じ
る。このような不一致により、従来のパターン検査装置
では、微小な欠陥検査が行えず、また検査ミスを誘起す
ることになり、検査精度の向上を望めない欠点を有して
いた。
検査領域における照明状態によって、設定したバックグ
ラウンドレベルが実際のレベルに一致しないことが生じ
る。このような不一致により、従来のパターン検査装置
では、微小な欠陥検査が行えず、また検査ミスを誘起す
ることになり、検査精度の向上を望めない欠点を有して
いた。
この発明の目的は、上記従来の欠点に鑑み、被検査物体
の良・不良を高精度に判定することができるパターン検
査装置を提供することにある。
の良・不良を高精度に判定することができるパターン検
査装置を提供することにある。
この発明は、要約すれば、画像パターンを、その量子化
レベルを画像の濃淡に応じた複数レベルに設定してビデ
オメモリに記憶するＡ／Ｄ変換手段と、そのビデオメモ
リを走査して各画素の濃淡レベル差からバックグラウン
ドレベルを求める手段と、を備えたことを特徴とする。
レベルを画像の濃淡に応じた複数レベルに設定してビデ
オメモリに記憶するＡ／Ｄ変換手段と、そのビデオメモ
リを走査して各画素の濃淡レベル差からバックグラウン
ドレベルを求める手段と、を備えたことを特徴とする。
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図はこの実施例のパターン検査装置を示すブロック
図である。同図において、１および２はそれぞれ、Ｃｌ
） Ｕ １、ＣＰＵ２を示ず。ＣＰＵＩは主に画像パタ
ーンを量子化してビデオメモリ５に記憶する処理および
その画像をモニタＣＲＴ７に表示する処理を行う。ＣＰ
Ｕ２はビデオメモリ５に記憶された量子化データに基づ
き、被検査物体の画像パターンの判定処理、自動調光処
理および出力装置８へのデータ送出処理を行う。ビデオ
カメラ３は被検査領域に固定配置され、基準物体および
被検査物体を撮像し、その撮像信号をＡ／Ｄ変換器４に
出力する。この被検査領域は生産ラインの被検査物体搬
送系、例えばコンベアベルト上の所定個所に相当する。
図である。同図において、１および２はそれぞれ、Ｃｌ
） Ｕ １、ＣＰＵ２を示ず。ＣＰＵＩは主に画像パタ
ーンを量子化してビデオメモリ５に記憶する処理および
その画像をモニタＣＲＴ７に表示する処理を行う。ＣＰ
Ｕ２はビデオメモリ５に記憶された量子化データに基づ
き、被検査物体の画像パターンの判定処理、自動調光処
理および出力装置８へのデータ送出処理を行う。ビデオ
カメラ３は被検査領域に固定配置され、基準物体および
被検査物体を撮像し、その撮像信号をＡ／Ｄ変換器４に
出力する。この被検査領域は生産ラインの被検査物体搬
送系、例えばコンベアベルト上の所定個所に相当する。
また、この被検査領域内のビデオカメラ３の視野は照明
装置１０によって照明されでいる。照明装置１０塩壬七
貴出±源左去→ｉ占ヨニｔの照明光量はＣＰＵ２の指示
に基づき調光装置９によって調光される。調光装置９は
たとえば、トライアックなどの無接点スイッチを用いた
周知の回路で構成されている。ＣＰＵ１により量子化さ
れ−たデータはＤ／Ａ変換器６により表示信司に変換さ
れ、モニタＣＲＴ７に送出される。ビデオメモリ５は、
たとえば第２図に示すように画素数２４０ （垂直）Ｘ
３２０（水平）×６ビツト（１画素）の容量のメモリか
らなる。
装置１０によって照明されでいる。照明装置１０塩壬七
貴出±源左去→ｉ占ヨニｔの照明光量はＣＰＵ２の指示
に基づき調光装置９によって調光される。調光装置９は
たとえば、トライアックなどの無接点スイッチを用いた
周知の回路で構成されている。ＣＰＵ１により量子化さ
れ−たデータはＤ／Ａ変換器６により表示信司に変換さ
れ、モニタＣＲＴ７に送出される。ビデオメモリ５は、
たとえば第２図に示すように画素数２４０ （垂直）Ｘ
３２０（水平）×６ビツト（１画素）の容量のメモリか
らなる。
ビデオメモリ５の各ビット （ｂＱ−ｂ５）のメモリ領
域は基準物体および被検査物体の画像パターン信号をそ
れぞれ量子化したデータを記憶する記憶領域ＶＭＩ、Ｖ
Ｍ２に分けられている。上記のメモリ容量を有するビデ
オメモリ５を用いることにより、たとえばモノクロ画像
入力に対し７で６４階鋼の白黒濃淡画像情報を記憶する
ことができる。ここで、ＣＰＵＩによってビデオメモリ
５に記憶処理された、画像パターンをＤ／Ａ変換したと
きの濃淡レベル波形の一例を第３図に示す。画像パター
ンの量子化レベルパターン各画素ごとに６４レベルの範
囲り内で画像の濃淡に応じた濃淡レベルに変換されてい
る。この変換によって形成された濃淡レベル波形Ｈはモ
ニタＣＲＴ７画面上で、たとえば白黒の濃淡の違いで現
れる。そして、この濃淡レベル波形Ｈはビデオカメラ３
によって捉えられた被検査物体の画像情報に対応し、下
方の水平領域は被検査領域により決まるパンクグラウン
ドに対応している。バンクグラウンドレベルＢ、Ｇ、Ｌ
（以下このレベルをＢ、Ｇ、Ｌという。）は後述のバッ
クグラウンドレベル設定処理によってノイズ成分ｎを考
慮して、上記水平領域のレベルＫによりレベルｎだけ上
方のレベルに設定される。Ｂ、Ｇ、Ｌより上方の濃淡レ
ベル波形部分は、被検査物体の画像情報（以下、この情
報をワークレベルという。）に対応する。
域は基準物体および被検査物体の画像パターン信号をそ
れぞれ量子化したデータを記憶する記憶領域ＶＭＩ、Ｖ
Ｍ２に分けられている。上記のメモリ容量を有するビデ
オメモリ５を用いることにより、たとえばモノクロ画像
入力に対し７で６４階鋼の白黒濃淡画像情報を記憶する
ことができる。ここで、ＣＰＵＩによってビデオメモリ
５に記憶処理された、画像パターンをＤ／Ａ変換したと
きの濃淡レベル波形の一例を第３図に示す。画像パター
ンの量子化レベルパターン各画素ごとに６４レベルの範
囲り内で画像の濃淡に応じた濃淡レベルに変換されてい
る。この変換によって形成された濃淡レベル波形Ｈはモ
ニタＣＲＴ７画面上で、たとえば白黒の濃淡の違いで現
れる。そして、この濃淡レベル波形Ｈはビデオカメラ３
によって捉えられた被検査物体の画像情報に対応し、下
方の水平領域は被検査領域により決まるパンクグラウン
ドに対応している。バンクグラウンドレベルＢ、Ｇ、Ｌ
（以下このレベルをＢ、Ｇ、Ｌという。）は後述のバッ
クグラウンドレベル設定処理によってノイズ成分ｎを考
慮して、上記水平領域のレベルＫによりレベルｎだけ上
方のレベルに設定される。Ｂ、Ｇ、Ｌより上方の濃淡レ
ベル波形部分は、被検査物体の画像情報（以下、この情
報をワークレベルという。）に対応する。
ＣＰＵ２に含まれるメモリは、第４図に示すメモリエリ
アを有する。第４図において、メモリエリアＭｌにはバ
ックグラウンドレベル設定処理に必要な濃淡比率ρが記
憶され、設定したＢ、Ｇ。
アを有する。第４図において、メモリエリアＭｌにはバ
ックグラウンドレベル設定処理に必要な濃淡比率ρが記
憶され、設定したＢ、Ｇ。
Ｉ７はメモリエリアＭ２に記憶される。メモリエリアＭ
３．Ｍ４にはそれぞれ、前記ワークレベルの最大値ＷＭ
および平均値ＷＡが記憶される。メモリエリアＭ５には
後述の自動調光処理に必要な調光判定レベルの最大値Ｗ
ｍとその許容幅αが記憶され、また、メモリエリアＭ６
には調光判定レベルの平均値Ｗａとその許容幅βが記憶
されている。メモリエリアＭ７には第５図に示すように
、ビデオカメラ３の視野Ｃにより決まる座標系の座標値
ｘＭＩＮ、ｙＭＩＮ、ｘＭＡＸ、ｙＭａＸが記憶され、
この座標系の大きさはビデオカメラ３の視野Ｃ内で任意
に設定される。また、メモリエリアＭ８には後述の走査
ウィンドウＷの画素座標点ｘｉ、ｙｌ、ｘ２．ｙ２が記
憶されている。メモ’） 工’７７ Ｍ ９〜Ｍ１２は
、調光判定レベルＷ ｍ 。
３．Ｍ４にはそれぞれ、前記ワークレベルの最大値ＷＭ
および平均値ＷＡが記憶される。メモリエリアＭ５には
後述の自動調光処理に必要な調光判定レベルの最大値Ｗ
ｍとその許容幅αが記憶され、また、メモリエリアＭ６
には調光判定レベルの平均値Ｗａとその許容幅βが記憶
されている。メモリエリアＭ７には第５図に示すように
、ビデオカメラ３の視野Ｃにより決まる座標系の座標値
ｘＭＩＮ、ｙＭＩＮ、ｘＭＡＸ、ｙＭａＸが記憶され、
この座標系の大きさはビデオカメラ３の視野Ｃ内で任意
に設定される。また、メモリエリアＭ８には後述の走査
ウィンドウＷの画素座標点ｘｉ、ｙｌ、ｘ２．ｙ２が記
憶されている。メモ’） 工’７７ Ｍ ９〜Ｍ１２は
、調光判定レベルＷ ｍ 。
Ｗａおよび許容幅α、βで決まる判定範囲内にワークレ
ベルの最大値ＷＭ、平均値ＷＡが入っていないときそれ
ぞれオンになるフラグＦＭ、ＦＡ。
ベルの最大値ＷＭ、平均値ＷＡが入っていないときそれ
ぞれオンになるフラグＦＭ、ＦＡ。
ＦＭ’、ＦＡ’である。メモリエリアＭ１３は画像パタ
ーンに基づいて被検査物体の良・不良を判定するために
必要な特徴ファクターデータを記憶する。
ーンに基づいて被検査物体の良・不良を判定するために
必要な特徴ファクターデータを記憶する。
上記のように構成されたパターン検査装置におイテ、ビ
デオカメラ３によって撮像された画像パターンはＡ／Ｄ
変換器４によってデジタル画像化され、さらにＣＰＵＩ
による両面走査により全画素に対して画像パターンの量
子化が行われる。そして、第３図に例示した濃淡レベル
波形のように、その画像パターンの量子化レベルを画像
の濃淡に応じた複数レベルに設定してビデオメモリ５に
記憶して画像パターン記憶処理が行われる。
デオカメラ３によって撮像された画像パターンはＡ／Ｄ
変換器４によってデジタル画像化され、さらにＣＰＵＩ
による両面走査により全画素に対して画像パターンの量
子化が行われる。そして、第３図に例示した濃淡レベル
波形のように、その画像パターンの量子化レベルを画像
の濃淡に応じた複数レベルに設定してビデオメモリ５に
記憶して画像パターン記憶処理が行われる。
以下、この実施例のパターン検査装置の動作を説明する
。
。
第６図はこのパターン検査装置の画像入力処理動作を示
すフローチャートである。この画像入力処理動作におい
て、ステップｎｌ（以下、ステップｎｉを単にｎ＋とい
う。）がらｎ３までのバックグラウンドレベル設定処理
がこの発明におけるバックグラウンドレベルを求める手
段に対応している。ｎｌにて、Ａ／Ｄ変換してビデオメ
モリ５に記憶された画像パターンを、濃淡レベル範囲り
の下限から（第３図参照）順に全画素に対して走査する
。ｎ２で、今回走査した濃淡レベルでの濃淡比率を測定
し、且つその測定濃淡比率とあらかじめ設定した濃淡比
率ρとを比較する（ｎ２）。
すフローチャートである。この画像入力処理動作におい
て、ステップｎｌ（以下、ステップｎｉを単にｎ＋とい
う。）がらｎ３までのバックグラウンドレベル設定処理
がこの発明におけるバックグラウンドレベルを求める手
段に対応している。ｎｌにて、Ａ／Ｄ変換してビデオメ
モリ５に記憶された画像パターンを、濃淡レベル範囲り
の下限から（第３図参照）順に全画素に対して走査する
。ｎ２で、今回走査した濃淡レベルでの濃淡比率を測定
し、且つその測定濃淡比率とあらかじめ設定した濃淡比
率ρとを比較する（ｎ２）。
たとえば、濃淡レベル波形Ｈの下方を黒領域、上方を白
領域とすると、濃淡比率ρは所定のレベルにお番ノる黒
領域と白領域との割合として設定され、その値はビデオ
カメラ３の視ＩＦｃ、被検査物体の大きさなどを考慮し
て決定される。そこで、たとえば、第３図において濃淡
レベル波形Ｈの水平領域のレベルＫにおいてその濃淡レ
ベルが濃淡比率ρより大きくなるとしたならば、レベル
によりノイズ成分ｎ上にあるレベルＢ、Ｇ、Ｌをバック
グラウンドレベルして決定する’（ｎ３）。なお、各レ
ベルでの濃淡比率は、特に濃淡レベル波形の水平領域で
は、濃淡レベルがバラついているために、統計的手法に
より算出される。このようにしてバックグラウンドレベ
ルが設定されると、レベルＢ、Ｇ、Ｌより上のしベルか
らワークレベルが求められる（ｎ４）。また、このとき
、リークレベルの最大値ＷＭおよび平均値ＷＡも求めら
れ、それぞれ前記メモリエリアＭ３．Ｍ４に記憶される
（ｎ５）。この平均値ＷＡは最大値ＷＭとＢ。
領域とすると、濃淡比率ρは所定のレベルにお番ノる黒
領域と白領域との割合として設定され、その値はビデオ
カメラ３の視ＩＦｃ、被検査物体の大きさなどを考慮し
て決定される。そこで、たとえば、第３図において濃淡
レベル波形Ｈの水平領域のレベルＫにおいてその濃淡レ
ベルが濃淡比率ρより大きくなるとしたならば、レベル
によりノイズ成分ｎ上にあるレベルＢ、Ｇ、Ｌをバック
グラウンドレベルして決定する’（ｎ３）。なお、各レ
ベルでの濃淡比率は、特に濃淡レベル波形の水平領域で
は、濃淡レベルがバラついているために、統計的手法に
より算出される。このようにしてバックグラウンドレベ
ルが設定されると、レベルＢ、Ｇ、Ｌより上のしベルか
らワークレベルが求められる（ｎ４）。また、このとき
、リークレベルの最大値ＷＭおよび平均値ＷＡも求めら
れ、それぞれ前記メモリエリアＭ３．Ｍ４に記憶される
（ｎ５）。この平均値ＷＡは最大値ＷＭとＢ。
Ｇ、Ｌとの平均で求められる。これらの最大値ＷＭおよ
び平均値ＷＡは後述の自動調光処理のためのデータに用
いられる。上記のように、Ｂ、Ｇ。
び平均値ＷＡは後述の自動調光処理のためのデータに用
いられる。上記のように、Ｂ、Ｇ。
Ｌは画像パターンの濃淡に応じて自動的に設定されるの
で被検直物体の形状や表面状態あるいは照明状態が変化
しても、つねに、実際の画像パターンにり・１応した基
準レベルを得ることができる。したがって、画像パター
ンの微小な相違を検出することができ、また、検査ミス
などもなくなり検査精度が著しく向上する。
で被検直物体の形状や表面状態あるいは照明状態が変化
しても、つねに、実際の画像パターンにり・１応した基
準レベルを得ることができる。したがって、画像パター
ンの微小な相違を検出することができ、また、検査ミス
などもなくなり検査精度が著しく向上する。
次に、ＣＰＵ２により行われるｎ６以下の処理について
説明する。ここでは、被検査物体画像周囲の走査ウィン
ドウの設定処理（ｎ６〜ｎ９）および表示処理（ｎｌＯ
−ｎ１３）を実行する。走査ウィンドウの設定は、パタ
ーン検査に要する時間を短縮する利点がある。走査ウィ
ンドウの設定により走査範囲が狭くなり、その分処理の
対象となるデータ個数（画素数）が著しく少なくなるか
らである。第５図に示すように、走査ウィンドウＷは、
ビデオカメラ３の視野Ｃにある被検査物体たとえばカプ
セルＳの画像周囲に、Ｘ、Ｙ座標系により設定される。
説明する。ここでは、被検査物体画像周囲の走査ウィン
ドウの設定処理（ｎ６〜ｎ９）および表示処理（ｎｌＯ
−ｎ１３）を実行する。走査ウィンドウの設定は、パタ
ーン検査に要する時間を短縮する利点がある。走査ウィ
ンドウの設定により走査範囲が狭くなり、その分処理の
対象となるデータ個数（画素数）が著しく少なくなるか
らである。第５図に示すように、走査ウィンドウＷは、
ビデオカメラ３の視野Ｃにある被検査物体たとえばカプ
セルＳの画像周囲に、Ｘ、Ｙ座標系により設定される。
そして、この走査ウィンドウは、前述のバックグラウン
ドレベル設定処理で求めたＢ、Ｇ、Ｌと各画素のレベル
とを視野Ｃの座種糸の基準点ＯからＸ、Ｙ方向に順に比
較し１．Ｂ、Ｇ、Ｌより大きいレベルの複数の画素座標
点から求められる。
ドレベル設定処理で求めたＢ、Ｇ、Ｌと各画素のレベル
とを視野Ｃの座種糸の基準点ＯからＸ、Ｙ方向に順に比
較し１．Ｂ、Ｇ、Ｌより大きいレベルの複数の画素座標
点から求められる。
この走査ウィンドウＷの各画素座標点ｘｌ、ｙ１、Ｘ２
．ｙ２のアドレスを決めるためのサブルーチンを第７図
ないし第１０図に示す。すなわち、ｎ６〜ｎ９の処理は
それぞれ第７図〜１０図のフローチャートで示される。
．ｙ２のアドレスを決めるためのサブルーチンを第７図
ないし第１０図に示す。すなわち、ｎ６〜ｎ９の処理は
それぞれ第７図〜１０図のフローチャートで示される。
ｎ６においては走査ウィンドウＷの左ワクの画素座標点
ｘ１のアドレス決定処理が行われる。ｎ６０にて、まず
基準点Ｏの座標（ｘＭＩＮ、ｙＭＩＮ）が初期設定され
、続いてビデオメモリ５より各画素座標点（ｘ、ｙ）に
対応した濃淡レベルデータ（以下、このデータをＰｉｘ
ｅｌという。
ｘ１のアドレス決定処理が行われる。ｎ６０にて、まず
基準点Ｏの座標（ｘＭＩＮ、ｙＭＩＮ）が初期設定され
、続いてビデオメモリ５より各画素座標点（ｘ、ｙ）に
対応した濃淡レベルデータ（以下、このデータをＰｉｘ
ｅｌという。
）が取り出される（ｎ６１’）。そして、このＰｉｘｅ
ｌとＢ、Ｇ、’Ｌとの比較が行われ、前者が後者より小
さいときＹ方向に順に画素座標点が移行し、ＶＭＡＸに
達したときの次のＸ座標に移行する（ｎ６２〜ｎ６６）
、ＰｉｘｅｌがＢ、 Ｇ、 Ｌより大きいときまたは両
者が一致したとき、そのときのＸ座標がｘｌとして記憶
される（ｎ６８）。全画素に刻してｘｌが決定されない
ときはく０６６）、エラーコードがセットされ（ｎ６７
）、エラー処理に移る。
ｌとＢ、Ｇ、’Ｌとの比較が行われ、前者が後者より小
さいときＹ方向に順に画素座標点が移行し、ＶＭＡＸに
達したときの次のＸ座標に移行する（ｎ６２〜ｎ６６）
、ＰｉｘｅｌがＢ、 Ｇ、 Ｌより大きいときまたは両
者が一致したとき、そのときのＸ座標がｘｌとして記憶
される（ｎ６８）。全画素に刻してｘｌが決定されない
ときはく０６６）、エラーコードがセットされ（ｎ６７
）、エラー処理に移る。
走査ウィンドウＷの右ワタの画素座標点ｘ２のアドレス
決定処理はｎｌにて行われる。この処理では、視野Ｃの
右ワタの座標（ｘＭＡＸ、ｙＭＩＮ）が初期設定される
（ｎ７０）。また前記ｎ６２と同様に、Ｐ ｉ ｘ ｅ
］とＢ、Ｇ、Ｌとの比較が行われ（ｎ７２）、前者が
後者より大きいときまカニはそれらが一致しているとき
、そのときのＸ座標がｘ２となる。ＰｉｘｅｌがＢ、Ｇ
、Ｌより小さいときは、Ｙ方向に順に画素座標点が移行
し、ｙＭＡＸに達したとき次のＸ座標に移行する（ｎ７
１ ｎ７３〜ｎ７６）、この場合、ｘＭＡＸからｘｌ
までＰｉｘｅｌば取り出される。ｘｌまで比較しても一
致しないときはエラー処理に移る（ｎ７７）。
決定処理はｎｌにて行われる。この処理では、視野Ｃの
右ワタの座標（ｘＭＡＸ、ｙＭＩＮ）が初期設定される
（ｎ７０）。また前記ｎ６２と同様に、Ｐ ｉ ｘ ｅ
］とＢ、Ｇ、Ｌとの比較が行われ（ｎ７２）、前者が
後者より大きいときまカニはそれらが一致しているとき
、そのときのＸ座標がｘ２となる。ＰｉｘｅｌがＢ、Ｇ
、Ｌより小さいときは、Ｙ方向に順に画素座標点が移行
し、ｙＭＡＸに達したとき次のＸ座標に移行する（ｎ７
１ ｎ７３〜ｎ７６）、この場合、ｘＭＡＸからｘｌ
までＰｉｘｅｌば取り出される。ｘｌまで比較しても一
致しないときはエラー処理に移る（ｎ７７）。
走査ウィンドウＷの上ワタの画素座標点ｙ１のアドレス
決定処理はｎ８にて行われる。この処理では、座標（ｘ
１ 、 ｙＭ Ｉ Ｎ）が初期設定される（ｎ８０
）。前記のｎ６２．ｎ７２と同様に、ＰｉｘｅｌとＢ、
Ｇ、Ｌとの比較が行われ（ｎ８２）、前者が後者より小
さいならばＸ方向に順に画素座標点が移行し、ｘ２に達
したときつぎのＹ座標に移行する（ｎ８１．ｎ８３〜＋
１８６）、ＰｉｘｅｌとＢ、Ｇ、Ｌとが一致したとき、
または前者が後者より大きくなったとき、そのときのＹ
座標がｙｌとして記憶される（ｎ８８）。ｙＭＩＮから
ｙＭＡＸまで比較しても一致しないときはエラー処理に
移る（ｎ８７）。
決定処理はｎ８にて行われる。この処理では、座標（ｘ
１ 、 ｙＭ Ｉ Ｎ）が初期設定される（ｎ８０
）。前記のｎ６２．ｎ７２と同様に、ＰｉｘｅｌとＢ、
Ｇ、Ｌとの比較が行われ（ｎ８２）、前者が後者より小
さいならばＸ方向に順に画素座標点が移行し、ｘ２に達
したときつぎのＹ座標に移行する（ｎ８１．ｎ８３〜＋
１８６）、ＰｉｘｅｌとＢ、Ｇ、Ｌとが一致したとき、
または前者が後者より大きくなったとき、そのときのＹ
座標がｙｌとして記憶される（ｎ８８）。ｙＭＩＮから
ｙＭＡＸまで比較しても一致しないときはエラー処理に
移る（ｎ８７）。
走査ウィンドウＷの下ワクの画素座標点ｙ２のアドレス
決定処理はｎ９にて行われる。この処理では、座標（ｘ
ｉ、ｙＭＩＮ）が初期設定される（ｎ ９０）。前記の
ｎ ６２． ｎ ７２． ｎ ８２と同様に、Ｐ
’＋ ｘ ｅ １とＢ、Ｇ、Ｌとの比較が行われ（ｎ９
２）、前者が後者より小さいならばＸ方向にｘｌからｘ
２に順に画素座標点が移行し、ｘ２に達したとき次のＹ
座標に移行する（−ｎ９］、、ｎ９３〜ｎ９６）ｏ Ｐ
ｉｘｅｌとＢ、Ｇ、Ｌとが一致したとき、または前者が
後者より大きくなったとき、そのときのＹ座標がｙ２と
して記憶される（ｎ９８）。ｙＭＡＸからｙｌまで比較
しても一致しないときはエラー処理に移る（ｎ９７）。
決定処理はｎ９にて行われる。この処理では、座標（ｘ
ｉ、ｙＭＩＮ）が初期設定される（ｎ ９０）。前記の
ｎ ６２． ｎ ７２． ｎ ８２と同様に、Ｐ
’＋ ｘ ｅ １とＢ、Ｇ、Ｌとの比較が行われ（ｎ９
２）、前者が後者より小さいならばＸ方向にｘｌからｘ
２に順に画素座標点が移行し、ｘ２に達したとき次のＹ
座標に移行する（−ｎ９］、、ｎ９３〜ｎ９６）ｏ Ｐ
ｉｘｅｌとＢ、Ｇ、Ｌとが一致したとき、または前者が
後者より大きくなったとき、そのときのＹ座標がｙ２と
して記憶される（ｎ９８）。ｙＭＡＸからｙｌまで比較
しても一致しないときはエラー処理に移る（ｎ９７）。
上記の処理（ｎ６〜ｒ１９）によって、第５図に示した
カプセルＳの外形を囲む四角のワタの四隅の画素座標点
が求められ、走査ウィンドウＷが設定される。このよう
に走査ウィンドウがビデオカメラ３の視野内にある被検
査物体の周囲に自動的に設定されるので、その視野内に
被検査物体がどのような方向に向いていてもよく、被検
査物体を視野内の一定位置に配置するための位置決め装
置などを搬送系に設けなくて済む。そして、ｎｌ。
カプセルＳの外形を囲む四角のワタの四隅の画素座標点
が求められ、走査ウィンドウＷが設定される。このよう
に走査ウィンドウがビデオカメラ３の視野内にある被検
査物体の周囲に自動的に設定されるので、その視野内に
被検査物体がどのような方向に向いていてもよく、被検
査物体を視野内の一定位置に配置するための位置決め装
置などを搬送系に設けなくて済む。そして、ｎｌ。
〜ｎ １．３の処理において、走査ウィンドウＷの四辺
のワタ線がモニタＣＲＴ７の画面に描画される。すなわ
ち、画素座標（ｘ １ ｙ １）から（ｘ １）’２）
まで線描きされて左ワタが表示され（ｎ１０）、同様に
（ｘ２ｙｌ）から（ｘ２ｙ２）まで右ワクが表示され（
ｎ１１）、また、（ｘｌｙｌ）から（ｘ ２ ｙ １）
まで」下ワク、（ｘ １ ｙ ２）から（ｘ ２ ｙ
２）まで下ワタがそれぞれ表示される（ｎ１２．ｎ１３
）。こうして走査ウィンドウＷが設定されると、次にパ
ターン検査処理動作に移る次に、このパターン検査装置
におけるパターン検査処理動作を説明する。
のワタ線がモニタＣＲＴ７の画面に描画される。すなわ
ち、画素座標（ｘ １ ｙ １）から（ｘ １）’２）
まで線描きされて左ワタが表示され（ｎ１０）、同様に
（ｘ２ｙｌ）から（ｘ２ｙ２）まで右ワクが表示され（
ｎ１１）、また、（ｘｌｙｌ）から（ｘ ２ ｙ １）
まで」下ワク、（ｘ １ ｙ ２）から（ｘ ２ ｙ
２）まで下ワタがそれぞれ表示される（ｎ１２．ｎ１３
）。こうして走査ウィンドウＷが設定されると、次にパ
ターン検査処理動作に移る次に、このパターン検査装置
におけるパターン検査処理動作を説明する。
第１１図はこのパターン検査処理動作を示すフローチャ
ートである。以下の処理中、ｎ２０〜ｎ２４、ｎ３０〜
ｎ３３はＣＰＵ１によって行われる。まず、ｎ２０にて
基準物体の画像（以下、この画像をマスク−画像という
。）データがビデオメモリ５の記憶領域ＶＭＩに記憶さ
れているか、否か判断される。マスター画像が記憶され
ていないときはｎ３０以下のマスター設定処理が実行さ
れる。なお、この指示は図示しない操作パネルに配置し
たマスター設定スイッチ（図示せず）により行われる。
ートである。以下の処理中、ｎ２０〜ｎ２４、ｎ３０〜
ｎ３３はＣＰＵ１によって行われる。まず、ｎ２０にて
基準物体の画像（以下、この画像をマスク−画像という
。）データがビデオメモリ５の記憶領域ＶＭＩに記憶さ
れているか、否か判断される。マスター画像が記憶され
ていないときはｎ３０以下のマスター設定処理が実行さ
れる。なお、この指示は図示しない操作パネルに配置し
たマスター設定スイッチ（図示せず）により行われる。
このマスター設定スイッチがオンにされると、ＣＰＵＩ
内のメモリのマスター設定フラグ（図示せず）がオンに
なり、マスター設定処理実行に移る（ｎ ３０）。マス
ター設定時には、そのときビデオカメラ３で撮像され得
られた映像信号がＡ、 ／ Ｄ変換器４でＡ／Ｄ変換さ
れた後（０３［）、その映像データが記憶領域ＶＭＩに
記憶される。基準物体全体の画像データの記憶が終了し
たならば（ｎ３３）、再びｎ２０に戻る。
内のメモリのマスター設定フラグ（図示せず）がオンに
なり、マスター設定処理実行に移る（ｎ ３０）。マス
ター設定時には、そのときビデオカメラ３で撮像され得
られた映像信号がＡ、 ／ Ｄ変換器４でＡ／Ｄ変換さ
れた後（０３［）、その映像データが記憶領域ＶＭＩに
記憶される。基準物体全体の画像データの記憶が終了し
たならば（ｎ３３）、再びｎ２０に戻る。
上記のマスター設定処理でマスター画像データが記憶領
域ＶＭＩに記憶されているならばｎ２１以下の被検査物
体の判定処理に移る。ｎ２１では、前記のｎ４とｎ５の
処理と同じく、ワークレベルの測定や最大値ＷＭ、平均
値ＷＡの決定を行・うワークサーチが実行される。そし
て、このワーク−１ｌ・−ヂで得られたデータによって
、前記のｎ６〜ｎ９における走査ウィンドウの設定処理
が実行される（ｎ２２）。走査ウィンドウが設定される
と、前記のｎｌＯ〜ｎ１３によって、モニタＣＲＴ７の
画面に表示される。そして、設定された走査ウィンドウ
内で走査をして、映像信号のＡ／Ｄ変換が行われ（ｎ２
３）、その画像データばビデオメモリ５の記憶領域ＶＭ
２に記憶される（ｎ２４）。このように被検査物体の画
像パターンの撮像データの取込みは、ビデオカメラ３の
視野より狭い走査ウィンドウ内だけを走査して行われる
ので、短時間でデータ取込みを行なえるとともに、取り
込んだデータ個数が少な（なるためにその処理に必要な
時間を大幅に短縮することが出来る。
域ＶＭＩに記憶されているならばｎ２１以下の被検査物
体の判定処理に移る。ｎ２１では、前記のｎ４とｎ５の
処理と同じく、ワークレベルの測定や最大値ＷＭ、平均
値ＷＡの決定を行・うワークサーチが実行される。そし
て、このワーク−１ｌ・−ヂで得られたデータによって
、前記のｎ６〜ｎ９における走査ウィンドウの設定処理
が実行される（ｎ２２）。走査ウィンドウが設定される
と、前記のｎｌＯ〜ｎ１３によって、モニタＣＲＴ７の
画面に表示される。そして、設定された走査ウィンドウ
内で走査をして、映像信号のＡ／Ｄ変換が行われ（ｎ２
３）、その画像データばビデオメモリ５の記憶領域ＶＭ
２に記憶される（ｎ２４）。このように被検査物体の画
像パターンの撮像データの取込みは、ビデオカメラ３の
視野より狭い走査ウィンドウ内だけを走査して行われる
ので、短時間でデータ取込みを行なえるとともに、取り
込んだデータ個数が少な（なるためにその処理に必要な
時間を大幅に短縮することが出来る。
被検査物体に関しての画像データが記憶領域■Ｍ２に記
憶されると、ｎ２５’ｎ２９の判定処理がＣＰＵ２によ
り実行される。ｎ２５では、被検査物体の形状や表面状
態に固有の特徴として現れる面積、重心、角度などの特
徴ファクターが記憶領域ＶＭ２のデータから描出される
。なお、単に、マスター画像との照合を行う場合には、
このような特徴ファクターの描出は行われない。続いて
、０２６にて画像パターンの判定が行われる。この判定
は、ファクター別に記憶領域ＶＭＩとＶＭ２との画像デ
ータを比較して、全ての特徴ファクターを考慮して総合
的に行われる。判定を行うまでの処理中においては、よ
り正確な結果を得るために、Ｂ、Ｇ、Ｌやファクター補
正等、諸元データの修正が繰り返され、両画像データの
比較は相対的且つ総合的に行われる。判定を終えると、
その判定結果に基づき、出力装置８に良品処理または、
不良品処理命令が送出される（ｎ２７〜ｎ２９）。
憶されると、ｎ２５’ｎ２９の判定処理がＣＰＵ２によ
り実行される。ｎ２５では、被検査物体の形状や表面状
態に固有の特徴として現れる面積、重心、角度などの特
徴ファクターが記憶領域ＶＭ２のデータから描出される
。なお、単に、マスター画像との照合を行う場合には、
このような特徴ファクターの描出は行われない。続いて
、０２６にて画像パターンの判定が行われる。この判定
は、ファクター別に記憶領域ＶＭＩとＶＭ２との画像デ
ータを比較して、全ての特徴ファクターを考慮して総合
的に行われる。判定を行うまでの処理中においては、よ
り正確な結果を得るために、Ｂ、Ｇ、Ｌやファクター補
正等、諸元データの修正が繰り返され、両画像データの
比較は相対的且つ総合的に行われる。判定を終えると、
その判定結果に基づき、出力装置８に良品処理または、
不良品処理命令が送出される（ｎ２７〜ｎ２９）。
辺土のようにして、Ｂ、Ｇ、Ｌを自動的に且つ最適な値
に求めることが出来、またそのＢ、Ｇ。
に求めることが出来、またそのＢ、Ｇ。
Ｌを基準にして被検査物体の周囲に自動的にウィンドウ
を設定することが出来る。
を設定することが出来る。
この装置をたとえば、電子部品のチップ状部品の端子形
成横置に使用したときのモニタ画像例を第１２図に示す
。第１２図（Ａ）は、チップ状部品１１の一部七面を示
す。モニタＣＲＴ７画面では、部品本体は黒色で表示さ
れ、また、そのチップ状部品ＩＩの端子面１２ａ、１２
ｂ’、１２ｃ。
成横置に使用したときのモニタ画像例を第１２図に示す
。第１２図（Ａ）は、チップ状部品１１の一部七面を示
す。モニタＣＲＴ７画面では、部品本体は黒色で表示さ
れ、また、そのチップ状部品ＩＩの端子面１２ａ、１２
ｂ’、１２ｃ。
１２ｄおよび表面の印刷文字１５は白色で表示される。
第１２図（Ａ）において２点鎖線１３で示した境界での
濃淡レベルは同図（Ｂ）のようになる。同図（Ｂ＞で１
点鎖線１４はＢ、Ｇ、Ｌを、上段と下段の濃淡レベル１
６は端子面１２ｃ、１２ｄを、また、中段の二つの濃淡
レベル１７は印刷文字１５をそれぞれ表している。
濃淡レベルは同図（Ｂ）のようになる。同図（Ｂ＞で１
点鎖線１４はＢ、Ｇ、Ｌを、上段と下段の濃淡レベル１
６は端子面１２ｃ、１２ｄを、また、中段の二つの濃淡
レベル１７は印刷文字１５をそれぞれ表している。
上述のように第６図の処理（ｎｌ−ｎ３）で各画素の濃
淡レベル差から正確なり、Ｇ、Ｌが求められ、そのＢ、
Ｇ、Ｌを基準として被検査物体の画像データがビデオメ
モリ５に格納されるので、ビデオカメラ３で捉えた原画
像パターンが保有される。したがって、前記ｎ２６の処
理において、必要に応じて原画像パターンの画像データ
を２値化、あるいは多値化することによって特徴ファク
ターの描出処理などを自由に行うことができる。
淡レベル差から正確なり、Ｇ、Ｌが求められ、そのＢ、
Ｇ、Ｌを基準として被検査物体の画像データがビデオメ
モリ５に格納されるので、ビデオカメラ３で捉えた原画
像パターンが保有される。したがって、前記ｎ２６の処
理において、必要に応じて原画像パターンの画像データ
を２値化、あるいは多値化することによって特徴ファク
ターの描出処理などを自由に行うことができる。
すなわち、所望のデータが得られないときは再度原画像
パターンの画像データを処理して所望のデータをＣＰＵ
２により加工することが可能となり、検査精度を向上さ
せることが出来る。
パターンの画像データを処理して所望のデータをＣＰＵ
２により加工することが可能となり、検査精度を向上さ
せることが出来る。
次に、このパターン検査装置における自動調光処理動作
を第１３図のフローチャートにしたがつい説明する。
を第１３図のフローチャートにしたがつい説明する。
この自動調光処理は前記のｎｌから０５までのバックグ
ラウンドレベル設定処理時およびワークレベル測定処理
時に割り込みルーチンとして実行される。ｎ４０にて、
前記第３図に示したように、ワークレベルの最大値Ｗｍ
と平均値Ｗａおよびそれらの許容幅α、βがあらかじめ
初期設定される。これらの値は基準物体に対し最通な照
明状態を設定したときに得られる濃淡レベル波形から決
められる。ｎ４１とｎ４２において、、最大値Ｗｍと許
容幅αとで決まる最大値範囲内にｎ５で求めたワークレ
ベルの最大値ＷＭが入っているか否か判断される。最大
値ＷＭがその最大値範囲の上限より越えているとき、ま
た、下限より下にあるときはそれぞれフラグＦＭ、ＦＭ
′がオンになる（ｎ ４３． ｎ ４５）。続いて、
ｎ４４とｎ４６において平均値Ｗａと許容幅βとで決ま
る平均値範囲内ｎ５で求めたワークレベルの平均値ＷＡ
が入っているか否か判断される。平均値ＷＡがその平均
値範囲の上限より越えているとき、また、下限より下に
あるときはそれぞれフラグＦＡ、ＦＡがオンになる（ｎ
４７．ｎ４９）。そして、ｎ４８にて、フラグＦＡ’、
ＦＭ′がともにオンになっているか否か判断され、それ
らが双方オンになっているときはＣ’Ｐ Ｕ ２の指示
によって照明装置１０による照明の光量を増加させるよ
うに調光装置９が作動する（ｎ５１）。また、フラグＦ
Ａ′、ＦＭ′がともにオンできないときは、ｎ５０に移
り、フラグＦＡ、ＦＭがともにオンになっているか否か
判断される。フラグＦＡ、ＦＭが双方オンになっている
ときはＣＰＵ２の指示によって照明装置１０による照明
の光量を減少させるように調光装置９が作動する（ｎ
５２）。このように、ワークレベルの最大値ＷＭおよび
平均値ＷＡが設定した最大値範囲および平均値範囲の上
限をそれぞれ越えている場合と、最大値範囲および平均
値範囲の下限よりそれぞれ下にある場合においてだけ照
明光量の調整が行われる。したがって、単に最大値の比
較だけで光ｉＨ［整を行う場合に比べ、ワークレベルの
ピークに被検査物体の欠陥などが現れたときに過照明状
態を検出することができる。また、最大値が低い場合で
もワークレベルの平均が低いときにのみ照明光量の増加
が行われるので、過照明状態を防止できる。
ラウンドレベル設定処理時およびワークレベル測定処理
時に割り込みルーチンとして実行される。ｎ４０にて、
前記第３図に示したように、ワークレベルの最大値Ｗｍ
と平均値Ｗａおよびそれらの許容幅α、βがあらかじめ
初期設定される。これらの値は基準物体に対し最通な照
明状態を設定したときに得られる濃淡レベル波形から決
められる。ｎ４１とｎ４２において、、最大値Ｗｍと許
容幅αとで決まる最大値範囲内にｎ５で求めたワークレ
ベルの最大値ＷＭが入っているか否か判断される。最大
値ＷＭがその最大値範囲の上限より越えているとき、ま
た、下限より下にあるときはそれぞれフラグＦＭ、ＦＭ
′がオンになる（ｎ ４３． ｎ ４５）。続いて、
ｎ４４とｎ４６において平均値Ｗａと許容幅βとで決ま
る平均値範囲内ｎ５で求めたワークレベルの平均値ＷＡ
が入っているか否か判断される。平均値ＷＡがその平均
値範囲の上限より越えているとき、また、下限より下に
あるときはそれぞれフラグＦＡ、ＦＡがオンになる（ｎ
４７．ｎ４９）。そして、ｎ４８にて、フラグＦＡ’、
ＦＭ′がともにオンになっているか否か判断され、それ
らが双方オンになっているときはＣ’Ｐ Ｕ ２の指示
によって照明装置１０による照明の光量を増加させるよ
うに調光装置９が作動する（ｎ５１）。また、フラグＦ
Ａ′、ＦＭ′がともにオンできないときは、ｎ５０に移
り、フラグＦＡ、ＦＭがともにオンになっているか否か
判断される。フラグＦＡ、ＦＭが双方オンになっている
ときはＣＰＵ２の指示によって照明装置１０による照明
の光量を減少させるように調光装置９が作動する（ｎ
５２）。このように、ワークレベルの最大値ＷＭおよび
平均値ＷＡが設定した最大値範囲および平均値範囲の上
限をそれぞれ越えている場合と、最大値範囲および平均
値範囲の下限よりそれぞれ下にある場合においてだけ照
明光量の調整が行われる。したがって、単に最大値の比
較だけで光ｉＨ［整を行う場合に比べ、ワークレベルの
ピークに被検査物体の欠陥などが現れたときに過照明状
態を検出することができる。また、最大値が低い場合で
もワークレベルの平均が低いときにのみ照明光量の増加
が行われるので、過照明状態を防止できる。
以上のように、この発明によれば、画像パターンをその
量子化レベルを画像の濃淡に応じた複数レベルに設定し
てビデオメモリに記憶し、そのビデオメモリを走査して
各画素の濃淡レベル差からバックグラウンドレベルが求
められるので、被検査物体の形状や表面状態あるいは照
明状態に無関係に、つねに実際の画像パターンに応じた
基準レベルを自動的に得ることができる。したがって、
この発明に係るパターン検査装置は、バックグラウンド
レベルをあらかじめ設定する場合に比べ、画像パターン
の微小な相違を検出でき、また、検査ミスなどもなくな
り、高精度にパターン検査を行なえる利点を有する。
量子化レベルを画像の濃淡に応じた複数レベルに設定し
てビデオメモリに記憶し、そのビデオメモリを走査して
各画素の濃淡レベル差からバックグラウンドレベルが求
められるので、被検査物体の形状や表面状態あるいは照
明状態に無関係に、つねに実際の画像パターンに応じた
基準レベルを自動的に得ることができる。したがって、
この発明に係るパターン検査装置は、バックグラウンド
レベルをあらかじめ設定する場合に比べ、画像パターン
の微小な相違を検出でき、また、検査ミスなどもなくな
り、高精度にパターン検査を行なえる利点を有する。
第１図はこの発明の実施例であるパターン検査装置を示
すブロック図、第２図は同パターン検査装置のビデオメ
モリ５の記憶領域を示す図、第３図は同パターン検査装
置の・画像データ処理動作を説明するための濃淡レベル
波形図、第４図は同パターン検査装置のＣＰＵ２に含ま
れるメモリの記憶領域を示す図、第５図は同パターン検
査装置の走査ウィンドウ設定処理を説明するための図、
第６図は同パターン検査装置の画像入力処理動作を示す
フローチャート、第７図ないし第１０図は同パターン検
査装置の走査ウィンドウ設定処理動作を示すフローチャ
ート、第１１図は同パターン検査装置のパターン検査処
理動作を示すフローチャート、第１２図は同パターン検
査装置による被検査物体のモニタ画像例を示す図、第１
３図は同パターン検査装置の自動調光処理動作を示すフ
ローチャートである。 ３−ビデオカメラ、４−−Ａ ／ Ｄ変換器、５−ビデ
オメモリ、Ｃ−＝（ビデオカメラ）の視野、Ｗ−走査ウ
ィントウ。 出願人 和泉電気株式会社 代理人 弁理士 小森久夫 第２図 ＠１２図 ｏｏ 力 刃 ３Ｆ（Ａ）
すブロック図、第２図は同パターン検査装置のビデオメ
モリ５の記憶領域を示す図、第３図は同パターン検査装
置の・画像データ処理動作を説明するための濃淡レベル
波形図、第４図は同パターン検査装置のＣＰＵ２に含ま
れるメモリの記憶領域を示す図、第５図は同パターン検
査装置の走査ウィンドウ設定処理を説明するための図、
第６図は同パターン検査装置の画像入力処理動作を示す
フローチャート、第７図ないし第１０図は同パターン検
査装置の走査ウィンドウ設定処理動作を示すフローチャ
ート、第１１図は同パターン検査装置のパターン検査処
理動作を示すフローチャート、第１２図は同パターン検
査装置による被検査物体のモニタ画像例を示す図、第１
３図は同パターン検査装置の自動調光処理動作を示すフ
ローチャートである。 ３−ビデオカメラ、４−−Ａ ／ Ｄ変換器、５−ビデ
オメモリ、Ｃ−＝（ビデオカメラ）の視野、Ｗ−走査ウ
ィントウ。 出願人 和泉電気株式会社 代理人 弁理士 小森久夫 第２図 ＠１２図 ｏｏ 力 刃 ３Ｆ（Ａ）
Claims (1)
- （１）基準物体および被検査物体の画像パターン信号を
それぞれ量子化してビデオメモリに記憶し、両物体のそ
れぞれの画像パタ゛−ンに基づいて被検査物体の良・不
良を判定するようにしたパターン検査装置において、 前記画像パターンをその量子化レベルを画像の濃淡に応
した複数レベルに設定して前記ビデオメモリに記憶する
Ａ ／ Ｉ）変換手段と、前記ビデオメモリを走査して
各画素の濃淡レベル差からパックグラウンドレベルを求
める手段と、を備えたことを特徴とするパターン検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57199486A JPS5988648A (ja) | 1982-11-13 | 1982-11-13 | パタ−ン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57199486A JPS5988648A (ja) | 1982-11-13 | 1982-11-13 | パタ−ン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5988648A true JPS5988648A (ja) | 1984-05-22 |
Family
ID=16408602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57199486A Pending JPS5988648A (ja) | 1982-11-13 | 1982-11-13 | パタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5988648A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146283A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-22 | Dainippon Printing Co Ltd | パタ−ン検査方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52105746A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-05 | Hitachi Ltd | Picture image processing device |
-
1982
- 1982-11-13 JP JP57199486A patent/JPS5988648A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52105746A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-05 | Hitachi Ltd | Picture image processing device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146283A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-22 | Dainippon Printing Co Ltd | パタ−ン検査方法 |
| JPH0614748B2 (ja) * | 1983-02-10 | 1994-02-23 | 大日本印刷株式会社 | パタ−ン検査方法 |
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