JPS5986141A - 電子線照射系における絞りの軸ずれを検知する方法 - Google Patents
電子線照射系における絞りの軸ずれを検知する方法Info
- Publication number
- JPS5986141A JPS5986141A JP19695282A JP19695282A JPS5986141A JP S5986141 A JPS5986141 A JP S5986141A JP 19695282 A JP19695282 A JP 19695282A JP 19695282 A JP19695282 A JP 19695282A JP S5986141 A JPS5986141 A JP S5986141A
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- JP
- Japan
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- electron beam
- ray tube
- sample
- line
- terminal
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査電子顕微鏡、透過電子顕微鏡、オージェ電
子分光装置等における電子線照射系の絞りの軸ずれを検
知する方法に関する。
子分光装置等における電子線照射系の絞りの軸ずれを検
知する方法に関する。
例えば、走査電子顕微鏡の電子線照射系は電子銃、複数
段の集束レンズ、電子線を試料上で走査づるための電子
線偏向系等から構成されるが、試料上における電子線の
スポット径を小さくするために電子線の開き角制限用の
絞りを最終段集束レンズ（対物レンズ）の中、又はその
近傍に設ける必要がある。この絞りの大きさは大変に小
さく、通常数十ミクロン乃至数百ミクロンの直径のもの
が使用されるため、光軸への軸合ゼが非常に厄介になる
。
段の集束レンズ、電子線を試料上で走査づるための電子
線偏向系等から構成されるが、試料上における電子線の
スポット径を小さくするために電子線の開き角制限用の
絞りを最終段集束レンズ（対物レンズ）の中、又はその
近傍に設ける必要がある。この絞りの大きさは大変に小
さく、通常数十ミクロン乃至数百ミクロンの直径のもの
が使用されるため、光軸への軸合ゼが非常に厄介になる
。
従来の軸合せ方法は対物レンズの励磁強度、つまり焦点
距１ｌｌＩＩをアンダー側からオーバー側へ複数段に繰
返し変化させながら電子線を試料上で走査し、そのとき
試料から散乱リ−る電子、例えば２次電子を検出し、そ
の信号を陰極線管に輝度変調信号として導入して試料像
を形成せしめ、該陰極線管に映し出された像の動きを最
小にするように絞り位置を調整している。第１図及び第
２図はその絞りの軸合せを説明するもので、第１図は陰
極線管上の試１′＋１像の動きを示し、第２図（ｚｌ）
は絞りが合っている場合の電子線の光学図、第２図（ｂ
）は絞りが含っＣいない場合の光学図Ｃある。第１図に
おいて、八は対物レンズをシトストフォーカスに励磁し
た場合の試料の特定領域の画像であり、Ａ′及びＡ″は
前記対物レンズをアンダーフォーカス及びＡ−バーフォ
ーカスにした場合の同一試料領域の画像である。図から
解るように、絞りが光軸と合っていないど対物レンズの
励磁条件により画像はボケど共に位置の変化を生ずる。
距１ｌｌＩＩをアンダー側からオーバー側へ複数段に繰
返し変化させながら電子線を試料上で走査し、そのとき
試料から散乱リ−る電子、例えば２次電子を検出し、そ
の信号を陰極線管に輝度変調信号として導入して試料像
を形成せしめ、該陰極線管に映し出された像の動きを最
小にするように絞り位置を調整している。第１図及び第
２図はその絞りの軸合せを説明するもので、第１図は陰
極線管上の試１′＋１像の動きを示し、第２図（ｚｌ）
は絞りが合っている場合の電子線の光学図、第２図（ｂ
）は絞りが含っＣいない場合の光学図Ｃある。第１図に
おいて、八は対物レンズをシトストフォーカスに励磁し
た場合の試料の特定領域の画像であり、Ａ′及びＡ″は
前記対物レンズをアンダーフォーカス及びＡ−バーフォ
ーカスにした場合の同一試料領域の画像である。図から
解るように、絞りが光軸と合っていないど対物レンズの
励磁条件により画像はボケど共に位置の変化を生ずる。
第２図はぞのｊ１］！山を図力了するもので、（ａ ）
のように絞りＡＰの軸が光軸と合っているときには対物
レンズＯＬの励磁を切換え電子線をジ１シストフｌ−力
ス［ＥＢ＋からＡ−バーフォーカスＥＢ２に変えてら試
ｉ３Ｉ Ｓ上におりる該両型子線の中心ビームは光軸と
一致している。しかし、（ｂ ）図の如く、絞りが光軸
ど一致していないとジＶス１〜フォーカスＥ［３＋から
Ａ−バーフォーカスＥＢ２に切換えた場合、試料Ｓ上で
はスポット径の変化のみならず中心ビームの位置が変化
している。この試料上での電子線スポットの位置変化が
第１図の画像の位置変化を招来するわけである。
のように絞りＡＰの軸が光軸と合っているときには対物
レンズＯＬの励磁を切換え電子線をジ１シストフｌ−力
ス［ＥＢ＋からＡ−バーフォーカスＥＢ２に変えてら試
ｉ３Ｉ Ｓ上におりる該両型子線の中心ビームは光軸と
一致している。しかし、（ｂ ）図の如く、絞りが光軸
ど一致していないとジＶス１〜フォーカスＥ［３＋から
Ａ−バーフォーカスＥＢ２に切換えた場合、試料Ｓ上で
はスポット径の変化のみならず中心ビームの位置が変化
している。この試料上での電子線スポットの位置変化が
第１図の画像の位置変化を招来するわけである。
而して、第１図の画像の変化（変動）を観察し／、１が
らその変動がなくなるように絞りの位置を調１１λすれ
ば良いわけであるが、実際には前述したように画像Ａ′
及びＡ ＩＩは位置変化ど共にボケ°を生り゛るため、
Ｂｉ「Ｌ’ｔを容易にすべく位置変化を大きくするとボ
ケが大きくなり、そのボケを小さくすると位置変化が小
さくなるという矛盾があり、軸ずれの確認は大変に困難
となり、その操作上並びに正確さの上で問題がある。
らその変動がなくなるように絞りの位置を調１１λすれ
ば良いわけであるが、実際には前述したように画像Ａ′
及びＡ ＩＩは位置変化ど共にボケ°を生り゛るため、
Ｂｉ「Ｌ’ｔを容易にすべく位置変化を大きくするとボ
ケが大きくなり、そのボケを小さくすると位置変化が小
さくなるという矛盾があり、軸ずれの確認は大変に困難
となり、その操作上並びに正確さの上で問題がある。
本発明は上記欠点を解消することを目的とするもので、
その構成は電子線照射系の電子線通路上に絞りを挿入し
た状態で電子レンズににり電子線を集束して試料上に照
射し、該電子線が試料上の特定領域をＸ方向又はＹ方向
に横切るようにライン走査し、その走査により試料から
散乱する電子やＸ線を検出してドλ極Ｉ！Ｉｌ管に供給
し、該陰極線管上にラインプロファイルを描かせるよう
になし、前記電子レンズの集束条件を少なくとも二段階
に切換えて、その各々の場合にお【ノるラインプロファ
イルを陰極線管上で重ね合せて表示・相互比較りる電子
線照射系における絞りの軸ずれを検知Ｍる方法に特徴を
有づる。
その構成は電子線照射系の電子線通路上に絞りを挿入し
た状態で電子レンズににり電子線を集束して試料上に照
射し、該電子線が試料上の特定領域をＸ方向又はＹ方向
に横切るようにライン走査し、その走査により試料から
散乱する電子やＸ線を検出してドλ極Ｉ！Ｉｌ管に供給
し、該陰極線管上にラインプロファイルを描かせるよう
になし、前記電子レンズの集束条件を少なくとも二段階
に切換えて、その各々の場合にお【ノるラインプロファ
イルを陰極線管上で重ね合せて表示・相互比較りる電子
線照射系における絞りの軸ずれを検知Ｍる方法に特徴を
有づる。
以下本発明の一実施例を図面に基づき詳説する。
第３図は本発明の一実施例を示リブロック図であり、１
は電子銃を示す。該電子銃１より放射されＩζ電子線２
は集束レンズ３及び対物レンズ４にＪ：り細く集束され
て試料５上に投射される。５ｘ。
は電子銃を示す。該電子銃１より放射されＩζ電子線２
は集束レンズ３及び対物レンズ４にＪ：り細く集束され
て試料５上に投射される。５ｘ。
６■は電子線の偏向コイルで、人々水平１杏信号発生器
７ｘ及び垂直走査信８発！１器７ｙに接続され、前記電
子線を試料５上で２次几的ＬＪｊ、： ＋％ Ｕ−る働
きをする。該偏向コイル６Ｘ、６Ｖは目串の如く対物レ
ンズの後方に置いても良いし、対物レンズ４ど集束レン
ズ３との間に買い（ｔ）Ｎい１．前記対物レンズ４の近
傍には絞り８か仲人され、駆動Ｉ幾横９に１、りその位
置が可変される。該駆！ｅ１１何ｔ：ｋ ｘ及びＹ方向
の機構を有し、その移動方向は前記偏向−コイル（３ｘ
、 ６ｙによる電子線の偏向方向と一致させると良い
。前記試１′３１の近傍には例えば２次電子検出器１０
が設置されており、電子線の照射により試料から散乱す
る２次電子を検出する。
７ｘ及び垂直走査信８発！１器７ｙに接続され、前記電
子線を試料５上で２次几的ＬＪｊ、： ＋％ Ｕ−る働
きをする。該偏向コイル６Ｘ、６Ｖは目串の如く対物レ
ンズの後方に置いても良いし、対物レンズ４ど集束レン
ズ３との間に買い（ｔ）Ｎい１．前記対物レンズ４の近
傍には絞り８か仲人され、駆動Ｉ幾横９に１、りその位
置が可変される。該駆！ｅ１１何ｔ：ｋ ｘ及びＹ方向
の機構を有し、その移動方向は前記偏向−コイル（３ｘ
、 ６ｙによる電子線の偏向方向と一致させると良い
。前記試１′３１の近傍には例えば２次電子検出器１０
が設置されており、電子線の照射により試料から散乱す
る２次電子を検出する。
その出力は増幅器１１及びスイッチＳ１のａ端子を介し
て陰極線管１２の輝度変調グリッドに供給される。陰極
線管１２の電子線偏向器１３ｘ、１３ｙには前記走査信
号発生器７ｘ、７Ｖより夫々スイッチＳ２及びＳ３のａ
端子を介して照射電子線の走査に同期した信号が供給さ
れている。その結果、該陰極線管上には試料５の２次電
子走査像か表示されることになる。前記スイッチＳ１の
ｂ端子は陰極線管のｙ偏向器１３ｙに、又Ｃ端子はＸ偏
向器に接続されＣいる。スイッチＳ２のａ端子どＣ端子
は共通接続されて前記陰極線管の偏向器１３ｙに接続さ
れ、ｂ端子は解放端である。又、スイッチＳ３のａ端子
とｂ端子は共通接続されて陰極線管の偏向器１３ｘに接
続され、Ｃ°端子は解放端である。これらスイッチは連
動的に操作され、ａ端子が選択されているときは試料の
２次電子画像が陰極線管上に表示され、ｂ端子が選択さ
れているときはｙ偏向器１３ｙに映像信号が供給されＣ
陰Ｊｉｉ線管ｌにはＸ方向のラインプロノアイルが表示
される。更に、Ｃ端子が選択されているどきは前記検出
器からの映像信号がＸ偏向器１３×に供給されＣ陰１４
へ線管上にはＸ方向のラインプロフンフィルが表示され
る。尚、１４は対物レンズの電源ぐあり、所望の直流電
流を供給Ｃさ、父型子線の走査と同期して励磁強度を複
数段、例えば２段階に切換え可能に構成しである。
て陰極線管１２の輝度変調グリッドに供給される。陰極
線管１２の電子線偏向器１３ｘ、１３ｙには前記走査信
号発生器７ｘ、７Ｖより夫々スイッチＳ２及びＳ３のａ
端子を介して照射電子線の走査に同期した信号が供給さ
れている。その結果、該陰極線管上には試料５の２次電
子走査像か表示されることになる。前記スイッチＳ１の
ｂ端子は陰極線管のｙ偏向器１３ｙに、又Ｃ端子はＸ偏
向器に接続されＣいる。スイッチＳ２のａ端子どＣ端子
は共通接続されて前記陰極線管の偏向器１３ｙに接続さ
れ、ｂ端子は解放端である。又、スイッチＳ３のａ端子
とｂ端子は共通接続されて陰極線管の偏向器１３ｘに接
続され、Ｃ°端子は解放端である。これらスイッチは連
動的に操作され、ａ端子が選択されているときは試料の
２次電子画像が陰極線管上に表示され、ｂ端子が選択さ
れているときはｙ偏向器１３ｙに映像信号が供給されＣ
陰Ｊｉｉ線管ｌにはＸ方向のラインプロノアイルが表示
される。更に、Ｃ端子が選択されているどきは前記検出
器からの映像信号がＸ偏向器１３×に供給されＣ陰１４
へ線管上にはＸ方向のラインプロフンフィルが表示され
る。尚、１４は対物レンズの電源ぐあり、所望の直流電
流を供給Ｃさ、父型子線の走査と同期して励磁強度を複
数段、例えば２段階に切換え可能に構成しである。
１！１１かる装買の動作を第４図を参照し゛（以トに説
明りる。
明りる。
先ず、スイッチをａ端子に接続しておさ、電子線を試料
−Ｌに照射するど試わｌ−５Ｌ；Ｌ （の一定領域か電
子線により２次元的に走査され、その走査により試わ１
の各部から放射された２次電子が検出器１０により検出
される。該２次電子の信号は陰極線管の輝度変調グリッ
ドに供給され該陰極線管には試料画像が表示される。そ
こで、該画１（ｚを観察しながら極端な」ン１〜ラスト
のある試料領域Ｂ（第４図（ａ））を探す１、該試料領
域Ｂを陰極ＦＡ管動画面中央部に移して焦点合せを行な
い、適切なイ８率にセットする。次に、スイッチをａか
らｂ端子に切換え同時に対物レンズの電源１４から１水
平走査毎に励磁強度が例えば２段階に切換えられる電流
を供給Ｊる。この状態において、前記試料の特定領域Ｂ
は（ａ ）図にラインＬで示す如くＸ方向にライン走査
され、そのとき得られる試料情報信号は陰極線管のｙｇ
Ｉ向器１３Ｖに送られるため陰極線管上には第４図（ｂ
）に示づようにラインＬに治ったプロファイルＰ１が
表示される。（ｂ）図は丁度正焦点（ジャストフォーカ
ス）の場合のラインプロフンフィルでＢ領域による信号
変化が極端であり、又この部分が画面の中央部に現われ
ている。而して、次のライン走査においては対物レンズ
の励磁電流が変えられ、回じラインし上を走査する電子
線のフォーカスが例えばアンダー側にり゛らされる。そ
のときのラインプロファイルＰ２が０ＩＪ記ジャストフ
Ａ−カスのときのラインプロフッ・イルＰ１に重ねて陰
極線管上に表示される（第４図（ｃ）、（ｄ））。該ラ
インプロファイルは前記電子線の走査がある程度早いと
陰極線管の残光により同１１４表示としＵ９Ａ察できる
。ｌｌ’ｌ ｉ：ｄラインプロノアイルＰ２はＰｌに比
し、照射電子線がデフォーカス状態であるためブロード
な変化を示すラインとなっている。そして、絞りの軸が
合っていない場合には（Ｃ）図の如＜Ｐ２はＰｌの中心
からずれた位置に現われ、ＰｌとＰ２との交叉が対称的
に４【らない。これに対し、（Ｃ）図に示づＪζうに絞
りの軸が合っている場合にはＰｌとＰ２共画面中央に現
われ、左右の裾が対称的に交叉する。この状態を観察す
るのみで絞りの軸が合っているかどうか確認ｅき、もし
第４図（Ｃ）のにうな状態であれば第３図の絞り駆動機
構９を操作してラインプロノアイルＰ１とＰ２とが第４
図（ｄ ）の状態になるように調整する。このにうにし
て、Ｘ方向の調整が終了ずれば、今度はスイッチをＣ端
子に切換えて前述と同様な観察を行なうと、陰極線管上
にはＹ方向のラインプロノアイルが表示され、同様な操
作・調整によりＹ ｌｊ向の絞りの軸合Ｖが行なえる。
−Ｌに照射するど試わｌ−５Ｌ；Ｌ （の一定領域か電
子線により２次元的に走査され、その走査により試わ１
の各部から放射された２次電子が検出器１０により検出
される。該２次電子の信号は陰極線管の輝度変調グリッ
ドに供給され該陰極線管には試料画像が表示される。そ
こで、該画１（ｚを観察しながら極端な」ン１〜ラスト
のある試料領域Ｂ（第４図（ａ））を探す１、該試料領
域Ｂを陰極ＦＡ管動画面中央部に移して焦点合せを行な
い、適切なイ８率にセットする。次に、スイッチをａか
らｂ端子に切換え同時に対物レンズの電源１４から１水
平走査毎に励磁強度が例えば２段階に切換えられる電流
を供給Ｊる。この状態において、前記試料の特定領域Ｂ
は（ａ ）図にラインＬで示す如くＸ方向にライン走査
され、そのとき得られる試料情報信号は陰極線管のｙｇ
Ｉ向器１３Ｖに送られるため陰極線管上には第４図（ｂ
）に示づようにラインＬに治ったプロファイルＰ１が
表示される。（ｂ）図は丁度正焦点（ジャストフォーカ
ス）の場合のラインプロフンフィルでＢ領域による信号
変化が極端であり、又この部分が画面の中央部に現われ
ている。而して、次のライン走査においては対物レンズ
の励磁電流が変えられ、回じラインし上を走査する電子
線のフォーカスが例えばアンダー側にり゛らされる。そ
のときのラインプロファイルＰ２が０ＩＪ記ジャストフ
Ａ−カスのときのラインプロフッ・イルＰ１に重ねて陰
極線管上に表示される（第４図（ｃ）、（ｄ））。該ラ
インプロファイルは前記電子線の走査がある程度早いと
陰極線管の残光により同１１４表示としＵ９Ａ察できる
。ｌｌ’ｌ ｉ：ｄラインプロノアイルＰ２はＰｌに比
し、照射電子線がデフォーカス状態であるためブロード
な変化を示すラインとなっている。そして、絞りの軸が
合っていない場合には（Ｃ）図の如＜Ｐ２はＰｌの中心
からずれた位置に現われ、ＰｌとＰ２との交叉が対称的
に４【らない。これに対し、（Ｃ）図に示づＪζうに絞
りの軸が合っている場合にはＰｌとＰ２共画面中央に現
われ、左右の裾が対称的に交叉する。この状態を観察す
るのみで絞りの軸が合っているかどうか確認ｅき、もし
第４図（Ｃ）のにうな状態であれば第３図の絞り駆動機
構９を操作してラインプロノアイルＰ１とＰ２とが第４
図（ｄ ）の状態になるように調整する。このにうにし
て、Ｘ方向の調整が終了ずれば、今度はスイッチをＣ端
子に切換えて前述と同様な観察を行なうと、陰極線管上
にはＹ方向のラインプロノアイルが表示され、同様な操
作・調整によりＹ ｌｊ向の絞りの軸合Ｖが行なえる。
以上説明したような構成となＵば、１（：ζ４４７ね管
上のラインプロノアイルの交叉の状態によって絞りの軸
の整合具合が簡単に、しかも正確に検知でき、絞りの輔
合せを正確に行なえるようになる。
上のラインプロノアイルの交叉の状態によって絞りの軸
の整合具合が簡単に、しかも正確に検知でき、絞りの輔
合せを正確に行なえるようになる。
尚、上記は本発明の一例であり、実施に当っては種々の
変更が可能である。例えば、上記説明では対物レンズの
励磁条件をジャストフォーカスとＡ−バーフォーカスの
２段階に切換える場合を示したが、更にアンダーフォカ
スまでの３段階或いはそれ以上の段数に切換えてライン
プロファイルを表示するようにしても良い。又、第３図
の実施例ではＸ方向のプロファイルとＹ方向のプロファ
イルとを陰極線管上で直交する方向に表示する構成とし
たが、Ｙ方向のプロフＩイルも第４図のＸ方向のプロフ
ァイルと同一方向に表示するように構成することもでき
る。更に、画像表示用の陰極線管とラインプロファイル
表示用の陰極線管とを別に；、Ｈ）でｂ良い。更に又、
試料からの情報は２次電子線に限られず、反射電子線、
透過電子線或いはＸ線等も同様に利用できる。
変更が可能である。例えば、上記説明では対物レンズの
励磁条件をジャストフォーカスとＡ−バーフォーカスの
２段階に切換える場合を示したが、更にアンダーフォカ
スまでの３段階或いはそれ以上の段数に切換えてライン
プロファイルを表示するようにしても良い。又、第３図
の実施例ではＸ方向のプロファイルとＹ方向のプロファ
イルとを陰極線管上で直交する方向に表示する構成とし
たが、Ｙ方向のプロフＩイルも第４図のＸ方向のプロフ
ァイルと同一方向に表示するように構成することもでき
る。更に、画像表示用の陰極線管とラインプロファイル
表示用の陰極線管とを別に；、Ｈ）でｂ良い。更に又、
試料からの情報は２次電子線に限られず、反射電子線、
透過電子線或いはＸ線等も同様に利用できる。
第１図及び第２図は従来の絞り軸合せの概略を説明する
ための図、第３図は本発明の方法を実施した装置のブＤ
ツク線図、第４図は第３図装置の動作説明図である。 １：電子銃 ２：電子線 ３：集束レンズ ４二対物レンズ ５：試料 ５ｘ 、 ６ｙ ：偏向コイル８
：絞り ９二絞り駆動機構１０：２次電子検
出器 １２：陰極Ｉ！Ｊｌ管 １３ｘ、１３ｙ：電子線偏向器 １４：対物レンズ電源 特許出願人 「１本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
ための図、第３図は本発明の方法を実施した装置のブＤ
ツク線図、第４図は第３図装置の動作説明図である。 １：電子銃 ２：電子線 ３：集束レンズ ４二対物レンズ ５：試料 ５ｘ 、 ６ｙ ：偏向コイル８
：絞り ９二絞り駆動機構１０：２次電子検
出器 １２：陰極Ｉ！Ｊｌ管 １３ｘ、１３ｙ：電子線偏向器 １４：対物レンズ電源 特許出願人 「１本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
Claims (1)
- 電子線照射系の電子線通路上に絞りを挿入した状態で電
子レンズにより電子線を集束して試料上に照則し、該電
子線が試料上の特定領域をＸ方向又はＹ方向に横切るよ
うにライン走査し、その走査により試料から散乱する電
子やＸ線を検出して陰極線管に供給し、該陰極線管、に
にラインプロフ）ｌイルを描かけるようになし、前記電
子１ノンズの集束条件を少なくとも二段階に切換え”（
、その各々の場合におけるラインプロファイルを陰極線
管上で重ね合せて表示・相互比較することを特徴とり゛
る電子線照射系における絞りの幀ｆれを検知する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19695282A JPS5986141A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | 電子線照射系における絞りの軸ずれを検知する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19695282A JPS5986141A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | 電子線照射系における絞りの軸ずれを検知する方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5986141A true JPS5986141A (ja) | 1984-05-18 |
Family
ID=16366381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19695282A Pending JPS5986141A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | 電子線照射系における絞りの軸ずれを検知する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5986141A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005276639A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Jeol Ltd | 走査型電子ビーム装置における対物レンズ絞りの位置調整方法 |
-
1982
- 1982-11-10 JP JP19695282A patent/JPS5986141A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005276639A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Jeol Ltd | 走査型電子ビーム装置における対物レンズ絞りの位置調整方法 |
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