JPS5949822A - 揮発性無機水素化物等を含有するガスの処理方法 - Google Patents

揮発性無機水素化物等を含有するガスの処理方法

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JPS5949822A
JPS5949822A JP57160396A JP16039682A JPS5949822A JP S5949822 A JPS5949822 A JP S5949822A JP 57160396 A JP57160396 A JP 57160396A JP 16039682 A JP16039682 A JP 16039682A JP S5949822 A JPS5949822 A JP S5949822A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はシラン、ジボラン、セレン化水素、ケルマン、
アルシン、ホスフィン等の揮発性無機水素化物及びジク
ロルシラン、トリクロルシラン等の揮発性無機ハロゲン
化物を効率的に除去処理する方法に関する。
例えば半導体工業ではＩＣ，ＬＳＩ等の製造工程で上記
揮発性無機水素化物及び揮ζ性無機ハロゲン化物が使用
されるが、これらは有害なので前記製造工程よシ排出さ
れる廃ガス中にこれら有害成分が含まれている時は安全
に処理することが必要である。しかしながら従来このよ
うな有害成分を除去処理する方法が種々提案されている
が未だ充分効果的に処理する方法が出現していないのが
実状である。即ち、上記した揮発性無機水素化物は主と
して苛性ソーダ溶液の如きアルカリ溶液と接触させてこ
れに吸収させたシ、空気中での燃焼性を利用して、たと
えば貯水した燃焼室にて空気と接触させて燃焼させる等
に工って除去処理を行なっているにすぎない。そしてこ
のＬうな方法ではシランの如き特定の揮発性無機水素化
物には適応し得るが、近年の半導体工業の如く製造工程
から排出させる廃ガス中に多種類の有害成分が含有され
ている場合には適用しイ（すないばかりか吸収液処理に
おいてはその処理液の取扱いに問題があったり、又燃焼
処理においては爆発の危険が生じる問題がある等の不都
合があり、その改善が要望されていた。
本発明は上記要望に対して提案されたもので、その特徴
は固型担体に酸化剤を含浸させた処理剤（以下、「几剤
」という））固型担体にアルカリ水溶液を含浸させた処
理剤（以下、「Ｋｌ剤」という）及び該Ｋｌ剤に更罠ゲ
ルマンを酸化し得る酸化剤水溶液を含浸させた処理剤（
以下、「Ｋ２剤」という）を適宜組み合せて処理すると
前記有害成分が処理でき、特に数種の揮発性無機水素化
物が混合している場合にも極めて良好な処理能力を示す
ことを確認し上記従来の欠点、不都合を解決したもので
ある。以下、本発明を詳述する。
まず、本発明で使用するＲ剤、Ｋｌ剤、に２剤のそれぞ
れの構成及び処理能力につき説明する。
Ｒ剤は固型担体としてはケイソウ上りケイ酸カルシウム
、ベントナイト、鹿沼土等の多孔性の無機ケイ酸塩金主
成分とする固型担体とし、酸化剤としては含浸量が大き
いものが望ましく、酸化力についてはゲルマンを酸化し
得る程は要せず、従って例えば塩化第二鉄等でも良い。
このように構成したＲ剤は揮発性無機ノ・ロゲン化物及
びシラン。
ゲルマンを除く揮発性無機水素化物特にジボラン。
アルシン、ホスフィンを良好に除去処理できる。
また、Ｋｌ剤は固型担体としては前記ｎ・剤の場合と同
様であるが、特にケイソウ上が好１しく、アルカリ水溶
液としては苛性ソーダ、苛性カリ。
水酸化カルシウム等が使用できるが特に苛性ソーダが好
ましい。そして実際に使用するに当ってはケイソウ上と
苛性ソーダ溶液との混合重量比をケイソウ±１に対し苛
性ソーダ０．２〜２とし、かつ該苛性ソーダの濃度は５
〜５０チ（重用・比）として使用すると効果的である。
仁の工つに構成したＫｌ剤は揮発性無機ハロゲン化物及
びアルシン。
ホスフィン、ゲルマンを除く揮発性無機水素化物特にシ
ランを良好に除去処理できる。
次に前記Ｋｌ剤に更にゲルマンを酸化しつる酸化力を有
する酸化剤を含浸して宿成し７’ｃ　Ｋ　Ｚ剤は揮発性
無機ハロゲン化物及び揮発性無機水素化物特にシラン、
ジボラン、セレン化水素、アルシン。
ホスフィン、ゲルマン等を良好に除去処理できる。
なお、Ｋｌ剤に含浸しうる酸化剤の量は該Ｋｌ剤中にア
ルカリ水溶液があるため多量には含浸し得ないので、従
ってアルシン、ホスフインエ９酸化されにくいゲルマン
を酸化しうる根強力な酸化剤を含浸したに２剤で、アル
シン、ホスフィン、ゲルマンを処理しようとすると、Ｋ
２剤中の酸化剤は当然にアルシン、ホスフィンと反応し
てしまうことを考慮する必要があるＯ Ｒ剤ｓＫｌ剤、に２剤は上述の如くであるが、次にこれ
らの処理剤を更に効果的に組み合せて処理すると、それ
ぞれの処理剤の特徴を相互に生かし合って前記した多種
類の有害成分を含有するガスを極めて良好に除去処理で
きるので次にこれを説明する。
（１）Ｒ剤とＫｌ剤とによる処理 まず、ガス中にセレン化水素が含有されている場合には
、最初にＫｌ剤でセレン化水素の大部分を処理した後、
残部の少量のセレン化水素ヲＲ・剤で怒限度以下に処理
する。この１つにするとＩｔ剤が有効に使用でき良好な
処理となる。
次にガス中にゲルマンを除いた揮発性無機水素化物より
選ばれた任意の２成分以上を含む場合には、ホスフィン
及びアルシンに対する１（１剤の処理不能をＲ剤で補完
し、またシランに対するＲ・剤の処理不能ｉＫｌ剤で補
完するので、ｌｔ剤とＫｌ剤とに１って良好な処理が可
ｈヒとなる。なお、上記成分中にセレン化水素が含有さ
れる場合には、最初にＫｌ剤でセレン化水素の大部分を
処理した後Ｒ剤で処理するのが良い。
（２）Ｒ剤とに２剤とによる処理 本組み合せによると前記Ｒ剤とにＫｌ剤とによって処理
できる揮発性無機水素化物をすべて処理できる他、更に
ガス中にゲルマンを含む場合であっても処理することが
できる。そして特にガス中にアルシン又は／及びホスフ
ィンを含み、かつセレン化水素を除く任意の揮発性無機
水素化物を含む場合には、Ｒ剤によってホスフィン、ア
ルシンを処理した後に２剤で処理するとＲ剤がアルシン
。
ホスフィンを多量に処理できるのでに２剤中の酸化剤の
消耗を減らして良好な処理となる。
（３）Ｒ・剤とＫｌ剤とに２剤とによる処理本組み合せ
によると前記Ｒ剤とに２剤とによって処理できる揮発性
無機水素化物をすべて処理できる他特にガス中にアルシ
ン又は／及びホスフインーシゲルマン、セレン化水素を
同時に含む場合にはＫｌ剤でセレン化水素の大部分全処
理した後Ｒ剤でアルシン、ホスフィンを処理し、その後
に残成分をに２剤で処理することが良い。これに工り、
セレン化水素によるＲ剤の劣化１１（１剤で防止すると
共にアルシン、ホスフィンにょるＫ１１（７）劣化をＲ
剤で防止し得て良好な処理が可能となる。
上述の如く（１）〜（３）の組み合せによる処理方法を
説明したが、なお、揮発性無機ハロゲン化物については
Ｋｌ剤ｗＫ２剤、　　Ｈ・剤のいずれでも単独処理が可
能であるから、これが含まれていてもいなくても上記処
理方法は同じである。ｆた、被処理ガスが乾燥状態の時
は該被処理ガス全適宜カ１．湿して処理剤が乾燥してし
まうことのない、Ｌうにすべきことは言う迄もない。
次に実施例について図を用いて説明する。図は窒素ガス
をベースにするガス中にアルシン又ｉｊ／及びホスフィ
ンのほかセレン化水素を除く任意の揮発性無機水素化物
を１種類以上含む場合の処理を示すもので、筒１にはＲ
剤としてケイソウ土に塩化第２鉄水溶液を含浸させた処
理剤を、［２にはに２剤としてケイソウ土に苛性ソーダ
水溶液と共に過マンガン酸カリ水溶液を含浸させた処理
剤を、筒３にはケイソウ土に水又はアルカリ水溶液とし
て苛性ソーダを含浸させたものを充填してあシ、各部１
り　２，３に配？４．５，６ｔ　　７を接続する。
上述の構成において、例えば成分として、アルシン、ホ
スフィン、シラン、ジポラン、ケルマン。
ジクロルシランを含有する窒素ガスを配管４がらン、ホ
スフィン、ジボラン、ジクロルシランが除去され、残り
のシランｔゲルマンを含有する窒素ガスが配管５に導出
され、次に筒３を介して筒２に導入され筒２内のに２剤
に裏ってシラン、ゲルマンが除去され、配管７には窒素
ガスだけが流れる。なお、上述の説明における筒３ば、
前記筒１での処理時に発生する塩酸ペーパーを処理する
もので、もし筒３を設けないと前記塩酸ベーパーがガス
中に同伴されて筒２に導入されＫ　２剤中の苛性ソーダ
を劣化させてしまう。筒３は筒ｉＶＣｇ剤中の酸化剤と
して塩化第２鉄を使用した時に生ずる特有の場合である
と共に処理ガス量が増大して筒１円の流速が上昇する時
は塩ｒＩ安ペーパーも増加するので筒３は必要となる。
上述の如く本発明はＲ剤、Ｋｌ剤、に２剤を適宜組み合
せて処理することにノリ、各処理剤個々が有する長所を
相互に生かし合って極めて効率的な除去処理を可能とじ
九ものである。また、本発明の方法によると、すべてを
乾式で処理できるので取扱が便利であシ実用性が高い。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例を示すフローシート図である。 １．２．３は筒、４．５，６．７は配管である。 昭和５８年、−１，・辛月−￥キｌ」 扉゛−夏ｊ１ 特許庁長官若杉　和夫　殿 １、事件の表示 昭和５７年特　許　願第１６０３９６号事件との関係　
　　特許出願人 ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 （１）明細書第３頁第１０行の「苛性ソーダ溶液の如き
アルカリ溶液」を［苛性ソーダ水溶液の如きアルカリ水
溶液ｊに訂正する。 （２）　　同省第４頁第２行の［排出させる１を「排出
される」に訂正する。 （３）同省第６頁第３行の［水酸化カルシウム等」の次
に「の水溶液」を挿入し、同第３行から第４行、第６行
及び第７行「苛性ソーダ」を「苛性ソーダ水溶液」に訂
正し、同第５行の「苛性ソーダ溶液」を「苛性ソーダ水
溶液」に訂正し、同第１３行の［化力を有する酸化剤］
の次に「、例えば過マンガン酸カリ」を挿入する。 （４）同省第７頁第２行乃至第４行の「Ｋｌ剤に含侵し
た・・・・・・・・・・・・ないので、従って」を削除
する。 （５）同省第９頁第２行の［前記几剤とにＫｌ剤とに」
を「前記Ｒ剤とに１剤とに」に訂正する。 （６）同書第１１頁第１０行の「苛性ソーダ」を「苛性
ソーダ水溶液」に訂正す′る。 （力　同書第１２頁第６行の「配管７には１０次に１お
おむね」を挿入する。 以上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、揮発性無機水素化物及び揮発性無機ノ・ロゲン化物
    を含有するガスを、固型担体に酸化剤の水溶液を含浸さ
    せてなる処理剤と固型担体にアルカリ水溶液を含浸させ
    てなる処理剤とによって処理することを特徴とする揮発
    性無機水素化物等を含有するガスの処理方法。 ２、揮発性無機水素化物及び揮発性無機ノ・ロゲン化物
    を含有するガスを、固型担体に酸化剤の水溶液を含浸さ
    せてなる処理剤と固型担体にアルカリ水溶液と共に酸化
    剤を含浸させてなる処理剤とによって処理することを１
    １ケ徴と１−る揮発性無機水素化物等を含有するガスの
    処理方法。 ３、揮発性無機水素化物及び揮発性無機ハロゲン化物を
    含有するガスを、固体担体に酸化剤の水溶液を含浸させ
    てなる処理剤と固型担体にアルカリ水溶液を含浸させて
    なる処理剤と固型担体にアルカリ水溶液と共に酸化剤を
    含浸させてなる処理剤とによって処理することを特徴と
    する揮発性無機水素化物等を含有するガスの処Ｊ！方法
    ０
JP57160396A 1982-09-14 1982-09-14 揮発性無機水素化物等を含有するガスの処理方法 Granted JPS5949822A (ja)

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