JPS5939492A - レ−ザ加工方法 - Google Patents
レ−ザ加工方法Info
- Publication number
- JPS5939492A JPS5939492A JP57149811A JP14981182A JPS5939492A JP S5939492 A JPS5939492 A JP S5939492A JP 57149811 A JP57149811 A JP 57149811A JP 14981182 A JP14981182 A JP 14981182A JP S5939492 A JPS5939492 A JP S5939492A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- working
- power source
- laser beam
- stopped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、レーザによる溶融を施す加工において終了
時に発生するクレータを防止するレーザ加工方法に関す
るものである。
時に発生するクレータを防止するレーザ加工方法に関す
るものである。
第１図は、従来のレーザ加工装置である。図において（
１）はレーザ出力を制御するため゛のコントローラ、（
２）は電源、（３）はレーザ発振器、（４）はレーザビ
ーム、（５）はレーザビーム（４）の方向を変える全反
射［、（６）は集光レンズ、（７）は加工ヘッド、（８
）は被加工物、（９）は被加工物（８）を支持し移動さ
せる加工台である。
１）はレーザ出力を制御するため゛のコントローラ、（
２）は電源、（３）はレーザ発振器、（４）はレーザビ
ーム、（５）はレーザビーム（４）の方向を変える全反
射［、（６）は集光レンズ、（７）は加工ヘッド、（８
）は被加工物、（９）は被加工物（８）を支持し移動さ
せる加工台である。
次に動作について説明する。レーザ発振器（３）から放
出されたレーザビーム（４）は全反射炉（５）により曲
げられ、集光レンズ（６）に垂直に入射する。集光レン
ズ（６）で集光されたビームは加工ヘッド（７）を通過
して被加工物（８）の表面に照射される。同時に、加工
ヘッド（７）にはシールドガスが導入されておりビーム
と同軸状に放出され加工が行なオ）れる。レーザビーム
（４）の照射終了時、つまりレーザによる溶融を施す加
工の終了時には、コントローラ（１１による電源（２）
の制御によりレーザ出力を徐々に下げていく。これはク
レータが残るのをある程度おさえる働きをもつが、発振
闇値付近ではレーザ出力が安定しなくなり、クレータが
完全にはなくならない欠点をもっていた。
出されたレーザビーム（４）は全反射炉（５）により曲
げられ、集光レンズ（６）に垂直に入射する。集光レン
ズ（６）で集光されたビームは加工ヘッド（７）を通過
して被加工物（８）の表面に照射される。同時に、加工
ヘッド（７）にはシールドガスが導入されておりビーム
と同軸状に放出され加工が行なオ）れる。レーザビーム
（４）の照射終了時、つまりレーザによる溶融を施す加
工の終了時には、コントローラ（１１による電源（２）
の制御によりレーザ出力を徐々に下げていく。これはク
レータが残るのをある程度おさえる働きをもつが、発振
闇値付近ではレーザ出力が安定しなくなり、クレータが
完全にはなくならない欠点をもっていた。
この発明は上記のものの欠点を除去するため、加工終了
時に被加工物表面におけるビームをデフォーカスしてい
き、徐々に安定にビーム出力を下げることのできるレー
ザ加工装置を提供することを目的としている。
時に被加工物表面におけるビームをデフォーカスしてい
き、徐々に安定にビーム出力を下げることのできるレー
ザ加工装置を提供することを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図において０１は、集光レンズ（６）を内蔵した加工ヘ
ッド（７）を、被加工物（８）及び加工台（９）に垂直
な軸（Ｚ軸）で駆動させる駆動機構である。パルスモー
タにより、０υのコントローラからの制御信号で加工ヘ
ッド及び集光レンズは駆動される構造になっている。溶
融を施す加工が終了する際、コントローラＯｐからの指
示によりこの駆動機構が働き、レーザビームの焦点位置
と被加工物表面の間隔が徐々に変えられ、十分パワー密
度が下がった時点で最後にレーザビームが電源（２）の
操作により止められる。
図において０１は、集光レンズ（６）を内蔵した加工ヘ
ッド（７）を、被加工物（８）及び加工台（９）に垂直
な軸（Ｚ軸）で駆動させる駆動機構である。パルスモー
タにより、０υのコントローラからの制御信号で加工ヘ
ッド及び集光レンズは駆動される構造になっている。溶
融を施す加工が終了する際、コントローラＯｐからの指
示によりこの駆動機構が働き、レーザビームの焦点位置
と被加工物表面の間隔が徐々に変えられ、十分パワー密
度が下がった時点で最後にレーザビームが電源（２）の
操作により止められる。
上記実施例では、ビームをデフォーカスすることだけで
パワー強度を下げ、クレータを処理しているが、同時に
ビーム断面積も広くなることから被加工物（８）への熱
影響部も広くなることがある。
パワー強度を下げ、クレータを処理しているが、同時に
ビーム断面積も広くなることから被加工物（８）への熱
影響部も広くなることがある。
これを防ぐには、ビームのデフォーカス量を少なくし、
同時に電源制御により、ビーム出力を安定化領域で連続
的に減少させるとよい。
同時に電源制御により、ビーム出力を安定化領域で連続
的に減少させるとよい。
以上のように、この発明によれば、レーザ及びそれ以外
の溶融を施す加工の終了時にビーム強度を連続的に、か
つ安定に下げていくことができ、クレータの発生しない
良質な加工ができるという効果がある。
の溶融を施す加工の終了時にビーム強度を連続的に、か
つ安定に下げていくことができ、クレータの発生しない
良質な加工ができるという効果がある。
第１図は、従来のレーザ加工装置を示す構成図第２図は
、この発明の一実施例によるレーザ加工装置のブロック
系統図である。図において、（１）はレーザ出力をコン
トロールするコントローラ、（２）は電源、（３）はレ
ーザ発振器、（４）はレーザビーム、（５）は全反射鏡
、（６）は集光レンズ、（７）は加工ヘッド（８）は被
加工物、（９）は加工台、Ｏｆ）は加工ヘッド又はレン
ズの駆動機構（パルスモータ内蔵）、０υはレーザ出力
及び加工ヘッド等の駆動機構をコントロールするコント
ローラである。 なお、図中、同一符号は、同−又は相当部分を示す。 代理人 葛野信− 図面の浄書（内容に変更なし） 第１図 第２図 手続補正書（方式） 特許庁長官殿 ■、事ｒ’ｉ ノ表示 持１９ｉｉｌ１７４５７
−１４９８１１号２、発明の名称 レーザ加工方
法３．１山ｉ「をすると 事件との関係 特許出願人 注 所 東京都Ｔ−代１１１区丸の内〕１土１
２ＷＦ３５′ｊ名 （ろ、（６０１）：、菱電機株式会
社代表者片１１１仁八部 ４、代理人 １１ 所 東京都Ｔ−代１１１区丸の内−１’
ｌ＋２釣３シ〕５、 補正命令の日付 昭和５７年１
１月８０日６、補正の対象 願ν１、明細書、図面。 ７、 補正の内容 ′−願吉、明細書、図面を別紙のとおり浄書する。 （内容に変更なし） 以 上
、この発明の一実施例によるレーザ加工装置のブロック
系統図である。図において、（１）はレーザ出力をコン
トロールするコントローラ、（２）は電源、（３）はレ
ーザ発振器、（４）はレーザビーム、（５）は全反射鏡
、（６）は集光レンズ、（７）は加工ヘッド（８）は被
加工物、（９）は加工台、Ｏｆ）は加工ヘッド又はレン
ズの駆動機構（パルスモータ内蔵）、０υはレーザ出力
及び加工ヘッド等の駆動機構をコントロールするコント
ローラである。 なお、図中、同一符号は、同−又は相当部分を示す。 代理人 葛野信− 図面の浄書（内容に変更なし） 第１図 第２図 手続補正書（方式） 特許庁長官殿 ■、事ｒ’ｉ ノ表示 持１９ｉｉｌ１７４５７
−１４９８１１号２、発明の名称 レーザ加工方
法３．１山ｉ「をすると 事件との関係 特許出願人 注 所 東京都Ｔ−代１１１区丸の内〕１土１
２ＷＦ３５′ｊ名 （ろ、（６０１）：、菱電機株式会
社代表者片１１１仁八部 ４、代理人 １１ 所 東京都Ｔ−代１１１区丸の内−１’
ｌ＋２釣３シ〕５、 補正命令の日付 昭和５７年１
１月８０日６、補正の対象 願ν１、明細書、図面。 ７、 補正の内容 ′−願吉、明細書、図面を別紙のとおり浄書する。 （内容に変更なし） 以 上
Claims (2)
- （１）被加工物にレーザビームを照射して、溶融を施す
加工において、前記レーザビーム照射停止時に前記レー
ザビームの焦点位置と前記被加工物表面の相対的位置を
連続に移動させることを特徴とするレーザ加工方法。 - （２）レーザビーム照射停止時に前記レーザ出力を連続
的に減少させることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57149811A JPS5939492A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | レ−ザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57149811A JPS5939492A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | レ−ザ加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5939492A true JPS5939492A (ja) | 1984-03-03 |
| JPS6128437B2 JPS6128437B2 (ja) | 1986-06-30 |
Family
ID=15483222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57149811A Granted JPS5939492A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | レ−ザ加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5939492A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63140788A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-13 | Japan Nuclear Fuel Co Ltd<Jnf> | Ｃｏ↓２レ−ザ溶接のクレ−タ処理方法 |
| US7699178B2 (en) | 2004-04-23 | 2010-04-20 | Tsukasa Industry Co., Ltd. | Particulate sifter |
| JP2013235915A (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-21 | Japan Steel Works Ltd:The | シート抵抗率計測機構付きレーザアニール装置 |
-
1982
- 1982-08-27 JP JP57149811A patent/JPS5939492A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63140788A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-13 | Japan Nuclear Fuel Co Ltd<Jnf> | Ｃｏ↓２レ−ザ溶接のクレ−タ処理方法 |
| US7699178B2 (en) | 2004-04-23 | 2010-04-20 | Tsukasa Industry Co., Ltd. | Particulate sifter |
| JP4771943B2 (ja) * | 2004-04-23 | 2011-09-14 | ツカサ工業株式会社 | 粉体選別装置 |
| JP2013235915A (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-21 | Japan Steel Works Ltd:The | シート抵抗率計測機構付きレーザアニール装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6128437B2 (ja) | 1986-06-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5361999B2 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
| JPH02290685A (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH04111800A (ja) | 石英ガラス材料の切断加工方法 | |
| JP3292058B2 (ja) | レーザ光による配線基板の加工方法及びその装置 | |
| JPH05115993A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPS5939492A (ja) | レ−ザ加工方法 | |
| JP2007125576A (ja) | レーザ微細溶接方法及び装置 | |
| JP2001166090A (ja) | 原子炉解体方法およびレーザ切断装置 | |
| JPH0947888A (ja) | レーザピアシング方法およびその装置 | |
| JP7060335B2 (ja) | 溶接装置および溶接方法 | |
| JPS6163387A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPH08187587A (ja) | Ｔ継手用レーザ隅肉溶接方法及び装置 | |
| JPH06182570A (ja) | レーザ溶接方法 | |
| JPS60216987A (ja) | レ−ザ溶接方法 | |
| JP3436862B2 (ja) | 厚鋼板のレーザ切断方法及び装置 | |
| JP3204937B2 (ja) | レーザ加工装置における加工点指示用レーザ光の照射制御方法 | |
| JPH0339796B2 (ja) | ||
| JPS5647288A (en) | Laser working apparatus | |
| JPH09122958A (ja) | アルミニウム合金のパルスレーザ溶接方法 | |
| JP2501594B2 (ja) | レ―ザ加工機の焦点位置調整方法 | |
| JPH0825074A (ja) | レーザ加工方法 | |
| JP2639055B2 (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH04284993A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP3526964B2 (ja) | 高反射率材料のレーザー溶接方法 | |
| JP2501595B2 (ja) | レ―ザ加工機における焦点位置設定方法 |