JPS5932057B2 - マスク洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、フォトマスクの洗浄に用いるに好適なマスク
洗浄装置に関する。

従来、フォトマスクの洗浄は、マスク１枚１枚について
手作業で行なつていたが、このような方５法では作業能
率が低く、しかも作業者によつて洗浄の程度に不均一を
生じる欠点があつた。

しかも、通常フォトマスクはガラス等の材料から出来て
いるために、作業中に手指等を誤まつて傷つけてしまう
事態も多々生じており、安全上問題が多かつｏた。そこ
で、本発明は、フォトマスクを搬送ラインに沿つて搬送
し得る搬送手段を有し、前記搬送ラインに沿つて洗浄手
段及び乾燥手段を順次設置し、フォトマスクの洗浄及び
乾燥を自動的に行ない得５ るように構成し、もつて前
述の欠点を解消したマスク洗浄装置を提供することを目
的とするものである。

以下、図面に示す一実施例に基き、本発明を具体的に説
明する。

マスク洗浄装置１は、第１図に示すように、直線状の搬
送ライン２を有しており、搬送ライン２は、第２図に示
すように、回転自在に支持されたプーリ−３，３′に巻
き掛けられた無端状のワイヤー５を有している。

なお、プーリ−３は適宜な１駆動手段により回転駆動さ
れ、ワイヤー５を図中矢印Ａ方向に移動させることがで
きる。ワイヤー５には一定の間隔を置いて板状のキヤリ
ア６が複数個、第３図に示すように、その設置角αが垂
直方向ＶＶＣ対して約２０度になるように立て形に設置
されており、キヤリア６ｖｃは四角形の窓６ａが貫通穿
設され、更に窓６ａには集積回路製造用のフオトマスク
７を嵌入係合させることができる。一方、搬送ライン２
の左右両端には、第１図に示すように、内部に多数のフ
オトマスク７を収納することができるローター９及びア
ンローター１０が設置されており、ローター９はロータ
ー９内のフオトマスク７を一枚ずつキヤリア６の窓６ａ
に嵌入係合させることができ、アンローター１０はキヤ
リア６に係合しているフオトマスク７を一枚ずつ取り外
してアンローター１０内部に収納することができる。ま
た、搬送ライン２にはライン２を両側から挟み込む形で
洗浄手段を構成する円盤状のスポンジブラシ１１，１「
，１２，１２″が２対設置されており、各ブラシ１１，
１「，１２，１２５はモーター等の駆動手段を介して回
転，駆動される。ブラシ１１，１１５の両側には４個の
噴射ノズル１３，１３５，１５，１５′が対向した形で
設けられており、ノズル１３，１３゛ ，１５，１５５
はその先端から洗剤を噴射することができる。ブラシ１
２，１２″の右方には同様に２個のノズル１６，１６５
が設置されており、ノズル１６，１６゛はその先端から
温水を噴射することができる。ノズル１６，１６５の図
中右方には２対の渦巻きノズル１７，１７５，１９，１
９２が設けられており、ノズル１ｒ，１ｕからは高圧温
水を膜状に噴出することができ、ノズル１９，１９′か
らは空気又は窒素ガス等の高圧温風を同様に膜状に噴出
することができる。更に、ノズル１９，１９５の図中右
方には静電気除去用イオナイザ一２０，２『が設置され
ており、また搬送ライン２ＶＣは、第２図及び第３図に
示すように、ブラシ１１，１「 ，１２，１２′の設置
個所以外の個所に棒状のガイドバー２１，２１５が平行
に設けられている。本発明は、以上のような構成を有す
るので、マスク洗浄装置１を用いて集積回路製造用のフ
オトマスク７を洗浄する場合には、第１図に示すように
、ローター９に洗浄すべきフオトマスクｒを装填し、ロ
ーター９を１駆動すると共に、プーリ−３を回転させて
ワイヤー５を第２図における矢印Ａ方向に移動させる。

ワイヤー５がＡ方向に移動するとキヤリア６もワイヤー
５と共ＦｌＣＡ方向に移動し、キヤリア６の窓６ａには
ローター９がローター９内のマスク７を一枚ずつ嵌入係
合させてゆく。キヤリア６ｆ１Ｃ係合したマスクｒはキ
ヤリア６と共に第１図及び第２図における矢印Ａ方向に
搬送される。この際キヤリア６は、第３図に示すように
、垂直方向Ｖより設置角αだけ傾いた形で移動するが、
マスク７ぱガイドバー２１，２１′により上下両端部を
支持されることから、マスクｒがキヤリア６の窓６ａか
ら下方に脱落することはない。キヤリア６が搬送ライン
２に沿つてＡ方向へ移動して回転するブラシ１１，１１
′間に入ると噴射ノズル１３，１３゛ ，１５，１５′
から洗剤が−斉に噴射され、第３図に示すように、マス
ク７は両面から同時にブラシ１１，１１１ＩＩＣより洗
浄される。この際、マスク７はブラシ１１，１「により
両側から押圧される形で挟持されるので、ガイドレール
２１，２「が無くてもキヤリア６から脱落することはな
い。キヤリア６がブラシ１１，１１５間を通過して洗剤
による洗浄が終了すると、次はブラシ１２，１２′間に
入る。キヤリア６がブラシ１２，１２５間に入ると、第
１図に示すように、ノズル１６，１６゛から温水が噴射
され、マスク７の両表面に付着した洗剤がブラシ１２，
１２５により洗い落される。キヤリア６がブラシ１２，
１２′から更にＡ方向に搬送されると、渦巻きノズル１
７，１７２から高圧温水がマスク７の両表面に沿つて膜
状に噴射され、マスク１の表面は十分に清浄化される。
更にマスク７はノズル１９，１９ｆから噴射される高圧
膜状温風により乾燥され、次いでイオナイザ一２０，２
０′間を通過することにより静電気を除去され、最後に
アンローター１０によりキヤリア６から取り外し収納さ
れて洗浄作業は終了する。なお、フオトマスク１の搬送
ライン２中における搬送は、立てた形でも水平方向に寝
せた形でもどちらでもよいが、ブラシ１１，１１５等に
よる洗浄効果を十分発揮させるためには、第３図矢印Ｂ
，Ｂ′で示すように、洗浄後の排水がマスク７の両表面
について独立した形で下方に落下する立て形の搬送形式
の方が望ましい。

また、上述の実施例では、洗浄手段として円盤状のスポ
ンジブラシ１１，１１５，１２，１２′を用いた場合に
ついて述べたが、洗浄手段は円盤状のブラシに限らず例
えば円筒状のブラシや間歇高圧水流等適宜なものを用い
てもよいことは勿論である。

更に第３図でぱキヤリア６が複数個設けられた例を示し
たが、アンローター１０にマスクを格納する際にキヤリ
ア６の逃げを必要とするが、キヤリア６を１個のみの構
造として、この逃げ機構を簡単化することもできる。

以上説明したように、本発明によれば、フオトマスクＴ
を搬送ライン２ＶＣ沿つて移動させるだけで、マスク７
の洗浄から乾燥までを自動的に行なうことができるので
、従来の手作業による洗浄作業のように作業中に手指を
傷つけることもなく安全であり、作業能率を大幅に向上
させることが可能になるばかりか、洗浄程度にムラのな
い均一なフオトマスクｒを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるマスク洗浄装置の一実施例を示す
平面図、第２図は搬送ラインを示す側面図、第３図は搬
送ラインのキヤリア部分の断面図である。 １・・・・・・マスク洗浄装置、２・・・・・・搬送ラ
イン、６・・・・・・搬送手段（キヤリア）、７・・・
・・・フオトマスク、１１，１１５，１２，１２″・・
・・・・洗浄手段（ブラシ）、１７，１７５・・・・・
・洗浄手段（渦巻きノズルＸｌ９，ｌ９５・・・・・・
乾乾手段（渦巻きノズル）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 垂直方向より設置角α傾けて取付けられたフォトマ
   スク嵌入係合用窓を設けたフォトマスクの厚さとほぼ等
   しい厚さの板状キャリアを有する搬送ラインと、キャリ
   アの窓に嵌入係合されたフォトマスクを押圧挾持する形
   で設置された回転駆動される一対の円板状ブラシからな
   る洗浄手段と、該搬送ラインに沿い、少なくとも該ブラ
   シ設置部を除き、設置された該キャリアの窓に嵌入係合
   されたフォトマスクを支持するガイドバー部を有するこ
   とを特徴とするマスク洗浄装置。 ２ フォトマスクを１枚づつキャリアに係合させるロー
   ダーと、無端状ワイヤに垂直方向より設置角α傾けて取
   付けられたフォトマスク嵌入係合用窓を設けた板状キャ
   リアを有する搬送ラインと、該搬送ラインを両側から挾
   み込む形で設置された、回転駆動される１対のブラシか
   ら成る第１の洗浄手段と、該ラインに対向配電され第１
   の洗浄手段を構成する該１対のブラシに洗剤を噴射する
   少なくとも１対の噴射ノズルと、該搬送ラインを両側か
   ら挾み込む形で設置された、回転駆動される１対のブラ
   シから成る第２の洗浄手段と、該ラインに対向配置され
   第２の洗浄手段を構成する該１対のブラシに水を噴射す
   る１対の噴射ノズルと、該ラインに対向配置される高圧
   水を膜状に噴出する１対のノズルと、該ラインに対向配
   置される高圧ガスを膜状に噴出する１対のノズルと、該
   ラインに対向配置され静電気を除去するイオナイザーと
   、該キャリアに嵌入係合したフォトマスクを１枚づつ取
   り外し収納するアンローダとを、順次設置しフォトマス
   クの洗浄及び乾燥を自動的に行ない得るように構成した
   ことを特徴とするマスク洗浄装置。