JPS5921648A - 含フツ素メタクリル酸エステル - Google Patents
含フツ素メタクリル酸エステルInfo
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- JPS5921648A JPS5921648A JP13116282A JP13116282A JPS5921648A JP S5921648 A JPS5921648 A JP S5921648A JP 13116282 A JP13116282 A JP 13116282A JP 13116282 A JP13116282 A JP 13116282A JP S5921648 A JPS5921648 A JP S5921648A
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- formula
- acid ester
- containing fluorine
- methacrylic acid
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- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
□
(式中、几fは炭素数1〜20個を有するポリフル
、11オ。ア2ヤyv、51Gdl IJ
y:szオ。アー、−8カ、1. □は低級アル
キル基、水素原子又は凡f基であシ、nは0〜5の整数
である。′)で表わされる新規な含7ツ素メタクリル酸
エステルに関する。 1:、:1
*い□。Alff1e 8式(I)”e”i!ゎヶゎ
、at、yymz ’ ”タクリル酸エ
ステルFi重合させることによシ含フッ素ポリメタクリ
レートとすることができる。含フッ素ボリメ□・タフリ
レートはLSIM造用レジストとして有用である。
、11オ。ア2ヤyv、51Gdl IJ
y:szオ。アー、−8カ、1. □は低級アル
キル基、水素原子又は凡f基であシ、nは0〜5の整数
である。′)で表わされる新規な含7ツ素メタクリル酸
エステルに関する。 1:、:1
*い□。Alff1e 8式(I)”e”i!ゎヶゎ
、at、yymz ’ ”タクリル酸エ
ステルFi重合させることによシ含フッ素ポリメタクリ
レートとすることができる。含フッ素ボリメ□・タフリ
レートはLSIM造用レジストとして有用である。
本発明の前記一般式(I)で銑わされる含フツ素メタク
リル酸エステルはトリフルオロメタクリル酸1.1 ′“F゛と一般式
(、。
リル酸エステルはトリフルオロメタクリル酸1.1 ′“F゛と一般式
(、。
(式中、I(、fは炭素数1〜20個を有するポリフル
オロアルキル基又はポリフルオロアルキル基、几は低級
アルキル基、水素原子又はRf基であり、□nは0〜5
の整数である。)で表わされるペルフルオロ基を有する
アルコールとを第6級アミシア □存在下に反応さ發る
どとにより製造する・ことがで□きる0 トリフルオロメタクリル酸クロリドはトリフルオロメタ
クリル酸を塩化チオニルと反応させることによシ容易に
得られる(参考例6参照)。又、トリフルオロメタクリ
ル酸は2−プロモートリフルオロプロペン(参考例1参
照)の触媒的カルボポリフルオロ基を有するアルコール
としては、2゜2.2−)リフルオロエタノール、11
−1 、 I H−ペンタフルオロ−1−プロパノール
、1l−1,IH−ヘプタフルオロ−1−ブタノール、
3.3,4,4,5,5゜5−へブタフルオロ−2−ペ
ンタノール、ヘキサフルオロイソプロパノール、1H,
IH−ペンタデカフルオロ−1−オクタシール、3,3
,4,4.4−ペンタフルオロ−2−ブタノール、i、
1.i−トリ′7尤オロー2−グロバノール、1−クロ
ロ−1,1゜:・13jql:s=・・友ンタフルオロ
ー2−7’ロバ/ −/l/、1)1. 、 I H、
7f、1−ドデカフルオロ−1−ヘプタツール、I H
、I H、11H−エイコサフルオロ−1−ウンデカノ
ール、I H、1)(、5H−オクタフルオロ−1−ペ
ンタノール、1 H、1)1 、3 H−テトラフルオ
ロ−1−プロパノール、4,4.4−トリフルオロ−1
−ブタノール、2−メチル−6゜6.5−1リフルオロ
メチル−1−グロバノール、2−ペンタフ化オロフェニ
ルー1−グロパノール、3−ペンタフルオロフェニル−
1−グロバノール、IH,1n−2−トリフしレオロタ
チルテトラフルオロ−1−グロパノール、1 f−1、
I H、3H−2−トIJフルオロメチル−トリフルオ
ロ−1−7’ロバノール、i H、111,、り iI
−へキサフルオロ−1−ブタノール、1 f−1、11
4、20−2−メチル−トリデカフルオロ−1−オクタ
ツール、1H21H,211,2)j、3Fl、3H=
)リデヵフルオロー1−ノナノール等を用いることが出
来る。
オロアルキル基又はポリフルオロアルキル基、几は低級
アルキル基、水素原子又はRf基であり、□nは0〜5
の整数である。)で表わされるペルフルオロ基を有する
アルコールとを第6級アミシア □存在下に反応さ發る
どとにより製造する・ことがで□きる0 トリフルオロメタクリル酸クロリドはトリフルオロメタ
クリル酸を塩化チオニルと反応させることによシ容易に
得られる(参考例6参照)。又、トリフルオロメタクリ
ル酸は2−プロモートリフルオロプロペン(参考例1参
照)の触媒的カルボポリフルオロ基を有するアルコール
としては、2゜2.2−)リフルオロエタノール、11
−1 、 I H−ペンタフルオロ−1−プロパノール
、1l−1,IH−ヘプタフルオロ−1−ブタノール、
3.3,4,4,5,5゜5−へブタフルオロ−2−ペ
ンタノール、ヘキサフルオロイソプロパノール、1H,
IH−ペンタデカフルオロ−1−オクタシール、3,3
,4,4.4−ペンタフルオロ−2−ブタノール、i、
1.i−トリ′7尤オロー2−グロバノール、1−クロ
ロ−1,1゜:・13jql:s=・・友ンタフルオロ
ー2−7’ロバ/ −/l/、1)1. 、 I H、
7f、1−ドデカフルオロ−1−ヘプタツール、I H
、I H、11H−エイコサフルオロ−1−ウンデカノ
ール、I H、1)(、5H−オクタフルオロ−1−ペ
ンタノール、1 H、1)1 、3 H−テトラフルオ
ロ−1−プロパノール、4,4.4−トリフルオロ−1
−ブタノール、2−メチル−6゜6.5−1リフルオロ
メチル−1−グロバノール、2−ペンタフ化オロフェニ
ルー1−グロパノール、3−ペンタフルオロフェニル−
1−グロバノール、IH,1n−2−トリフしレオロタ
チルテトラフルオロ−1−グロパノール、1 f−1、
I H、3H−2−トIJフルオロメチル−トリフルオ
ロ−1−7’ロバノール、i H、111,、り iI
−へキサフルオロ−1−ブタノール、1 f−1、11
4、20−2−メチル−トリデカフルオロ−1−オクタ
ツール、1H21H,211,2)j、3Fl、3H=
)リデヵフルオロー1−ノナノール等を用いることが出
来る。
FJjiF+16二者を反応させるには第3級アミンの
存在下に行うものである。第6級アミンとしては例えば
、トリ干チルアミン、ピリジン、N−メチルモクホリン
、〉−メチルピペリジン、N、N−ジメチルアニリン等
を使用することができる。
存在下に行うものである。第6級アミンとしては例えば
、トリ干チルアミン、ピリジン、N−メチルモクホリン
、〉−メチルピペリジン、N、N−ジメチルアニリン等
を使用することができる。
・本発明の前記一般式(I)で表わされる含7ツ累メタ
クリル酸エステルを製造するKあたりては溶媒は必ずし
も必要ではないが反応に関与しないヘキサン、ベンゼン
等の炭化水氷、クロロホルム、塩化メチレン等のハロゲ
ン化物、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等のエ
ーテル類、アセトニトリル等のニトリル類等を用いても
何ら差:し支えない。反応は室温で進行するが必要によ
シ冷却あるいは加熱しても差し支えない。
クリル酸エステルを製造するKあたりては溶媒は必ずし
も必要ではないが反応に関与しないヘキサン、ベンゼン
等の炭化水氷、クロロホルム、塩化メチレン等のハロゲ
ン化物、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等のエ
ーテル類、アセトニトリル等のニトリル類等を用いても
何ら差:し支えない。反応は室温で進行するが必要によ
シ冷却あるいは加熱しても差し支えない。
以下、参考例及び実施例により更に本発明の詳細な説明
する。
する。
わ前例1
2−7’ロモー3.3.3−)リフルオロプロペンの叩
CF3\エユ + B’ r 2 →
□臭素(500p、3.13mo+)及び
塩化メチレン(100me)の混合物に3.、.3.3
L )リフルオロプロペン(30;#、ろ。20mo
+)をゆっくり吹込みなから同圧水銀灯を点射した。反
応フ多了後、チオ硫酸−rトリウム水溶液上洗滌し、有
磯□層を無水塩化カルシウムで乾燥した。塩化ンチレレ
番留去した後蒸留することにより沸点114〜1□16
゛0を有jる2、3−ジブロモ−1,1,1,= i
+ノフル□オロプロパン790,9(収率99%)を得
だ。
□臭素(500p、3.13mo+)及び
塩化メチレン(100me)の混合物に3.、.3.3
L )リフルオロプロペン(30;#、ろ。20mo
+)をゆっくり吹込みなから同圧水銀灯を点射した。反
応フ多了後、チオ硫酸−rトリウム水溶液上洗滌し、有
磯□層を無水塩化カルシウムで乾燥した。塩化ンチレレ
番留去した後蒸留することにより沸点114〜1□16
゛0を有jる2、3−ジブロモ−1,1,1,= i
+ノフル□オロプロパン790,9(収率99%)を得
だ。
’HNMR(CDCI :TMS): δ 3゜5
6(aa。
6(aa。
Jザ1−.5.、.8.、OHz、1fリ 、’ 3
.84’ (dd、J=11.5,5.5Hz、1
[1)。
.84’ (dd、J=11.5,5.5Hz、1
[1)。
4 、51 (m 、 j H)。
”F NMR(CDC13: CFCl2):δ −
71,1(d、 J =71−1z)。
71,1(d、 J =71−1z)。
次によくすりつ、6ξした水酸化カリウム(70g、1
.25m01)に2,6−ジブロモ1,1.1−1.)
リフルオロプロパン(256g、l、Qmol)をゆっ
くり滴下した。滴下終了後、反応混合物を蒸留すること
によシ沸点33−34°Cを有する2−ブロモ−3,3
,3トリフルオロプロペン172g(収率98%)を得
た0 ・ l H、、、NM、R、(CDCI 3.: 、
TAi、8) : δ 6.00(m。
.25m01)に2,6−ジブロモ1,1.1−1.)
リフルオロプロパン(256g、l、Qmol)をゆっ
くり滴下した。滴下終了後、反応混合物を蒸留すること
によシ沸点33−34°Cを有する2−ブロモ−3,3
,3トリフルオロプロペン172g(収率98%)を得
た0 ・ l H、、、NM、R、(CDCI 3.: 、
TAi、8) : δ 6.00(m。
I H)、 6.45 (rn 、 I H)。
19F NMR(CDCI3: CFIC13) :δ
−69,5(bs)。
−69,5(bs)。
参考例2
17の牙−トクレー?tiジクロロビスcトリフェニル
ホスフ:仁ン)パラジウム(””5L6’1 g、’
8’mmo l)、2−プルモー3.3.5−トリフル
オ四プロペン(14゜C’0.80mo1)、水(2o
′y11.11mo1)、トリエチルアミン(101,
!7.1゜0[1moり及びテトラヒドロフラン(50
0mj)を入れ、′4o黴圧の一酸化炭素圧下80°0
で60分間加熱攪拌した。冷却後常圧に戻し、希塩酸で
加水分解し、エーテル抽出した。
ホスフ:仁ン)パラジウム(””5L6’1 g、’
8’mmo l)、2−プルモー3.3.5−トリフル
オ四プロペン(14゜C’0.80mo1)、水(2o
′y11.11mo1)、トリエチルアミン(101,
!7.1゜0[1moり及びテトラヒドロフラン(50
0mj)を入れ、′4o黴圧の一酸化炭素圧下80°0
で60分間加熱攪拌した。冷却後常圧に戻し、希塩酸で
加水分解し、エーテル抽出した。
抽出液を無水硫酸マグネシウムで乾燥1.、エーテルを
留去した。IA貿物を外画することにより融点52.5
−53°0を有するトリフルオロメタクIJ A。
留去した。IA貿物を外画することにより融点52.5
−53°0を有するトリフルオロメタクIJ A。
酸6′21I(収率55%)を得た。
’ HNMR(CDCl 3: ’T’MS) :
6.52 (m 、 1 H) 。
6.52 (m 、 1 H) 。
6.80 (m、 IH)。
19Ii” NM1’t(CDC13: CFCl2)
: −66,5(bs)。
: −66,5(bs)。
IR(neat)、: 1715鑞(ν(=0) 、
1655crn ’(ν ):。
1655crn ’(ν ):。
−C
質量スペクトル二 M・+’14o。
参考□例6
塩化チオニル(乙Og、□59mmol)及σトリフル
オロメタクリル酸(7,3,!il、52mmo l)
め混合物を5時間加熱還流させた後蒸留することにょシ
沸点88〜92℃を有するトリフルオロメタクリル酸ク
ロリド4.5g(収率55%)を得た。′また副生成物
として沸点106℃/3 ’1 mmHgを有するトリ
フルオロメタクリル酸無水物2.1 g(収率81俤)
を得たが、このものもエステル合成に用いることができ
る。
オロメタクリル酸(7,3,!il、52mmo l)
め混合物を5時間加熱還流させた後蒸留することにょシ
沸点88〜92℃を有するトリフルオロメタクリル酸ク
ロリド4.5g(収率55%)を得た。′また副生成物
として沸点106℃/3 ’1 mmHgを有するトリ
フルオロメタクリル酸無水物2.1 g(収率81俤)
を得たが、このものもエステル合成に用いることができ
る。
トリフルオロメタクリル酸クロリド
IHNMR(CDCI 3:、、TMS):δ 6.8
9(m。
9(m。
1H)、入06(m、1H)。
9
PNMR(CDC,!、:CFeや):δ −65,9
トリフルオロメタクリ尤酸無水物 ’ HNMR(CDC13:TMS): δ 66−6
9(,2H) 。
トリフルオロメタクリ尤酸無水物 ’ HNMR(CDC13:TMS): δ 66−6
9(,2H) 。
6.8 F3 (m s’ 2f1)。
p Nhcrc (c’Dct 3 :C’FC
1a) : a −66、。
1a) : a −66、。
(bs)。
実施例1
4.4.4−)リフルオロブタノール(,1821%、
1.42mmoりとエーテル(5iJ)の混合物に参考
例6で合成したトリフルオロメタクリル酸クロリド(2
251n9.1−42mmoりをO”Oで滴下し、続い
てトリエチルアミン(217ダ、2.15mmoりとエ
ーテル(0,7ゴ)の混合物を滴下した。0°Cで60
分間攪拌した後、加水分解しエーテルで抽出した。
1.42mmoりとエーテル(5iJ)の混合物に参考
例6で合成したトリフルオロメタクリル酸クロリド(2
251n9.1−42mmoりをO”Oで滴下し、続い
てトリエチルアミン(217ダ、2.15mmoりとエ
ーテル(0,7ゴ)の混合物を滴下した。0°Cで60
分間攪拌した後、加水分解しエーテルで抽出した。
、抽出竺を無水硫酸ナトリウムで乾燥した後蒸留し、沸
点75°O/30mmHgを有するトリフルオロメタク
リル酸4,4.4−)リフルオロプ、チル602m9(
収率85%)を得た。
点75°O/30mmHgを有するトリフルオロメタク
リル酸4,4.4−)リフルオロプ、チル602m9(
収率85%)を得た。
’HNM)(、(CDCI 3:TM8):δ 1..
8−2.5 (rn。
8−2.5 (rn。
4H) 、4.3.0 (t 、J =6Hz 、2H
) 。
) 。
6゜44 (m、 IH) 、6.72 (rn、 I
H)。
H)。
19F’ NMIL 、(CDCj 3: C,FCl
3.) 、; δ −66,2(bs 、3F)、
、、−6’7.1 (t 、J、、−10,、%。
3.) 、; δ −66,2(bs 、3F)、
、、−6’7.1 (t 、J、、−10,、%。
Hz、3FJ 。
IR(neat): 1745(m (VCx:、
0) 、1650cIIL(ν。ユC)、 買掛スペクトル、 M 250 元素分析 C(%) H(%) 。
0) 、1650cIIL(ν。ユC)、 買掛スペクトル、 M 250 元素分析 C(%) H(%) 。
計算値 38.41 3.22
実測値 5’8.6’7 ” ’3.16実施例2
2−メチル−3,3,3−) りフルオロプロ・〜ヘル
(2,56,!9.20mmol)、参考例6で合成し
たトリフルオロメタクリル酸クロリド(2,777,1
7,5mmoり及びエーテ/’(15III#)の混合
物に0″Cでトリエチルアミン(4゜04,9,40m
moりを滴下した。1時間攪拌した後加水分解し、エー
テル抽出した。抽出液を無水硫酸ナトリウムで乾燥した
後蒸留することによシ沸点64°O/ 21 +nmH
g f有するトリでルオロメタ、クリルrR2−メチル
−3,6゜6−トリフルオロプロビル6.69<I又4
8296)を得た。
(2,56,!9.20mmol)、参考例6で合成し
たトリフルオロメタクリル酸クロリド(2,777,1
7,5mmoり及びエーテ/’(15III#)の混合
物に0″Cでトリエチルアミン(4゜04,9,40m
moりを滴下した。1時間攪拌した後加水分解し、エー
テル抽出した。抽出液を無水硫酸ナトリウムで乾燥した
後蒸留することによシ沸点64°O/ 21 +nmH
g f有するトリでルオロメタ、クリルrR2−メチル
−3,6゜6−トリフルオロプロビル6.69<I又4
8296)を得た。
・HNMR(CDC13ゾMS) :δ1.22 (d
、J=7.0Hz、3H) 、2.64 (m、IH
) 。
、J=7.0Hz、3H) 、2.64 (m、IH
) 。
4、.33. (ABX 、JAp−12Hz 、JA
X=JeX:6Hz、 、2H) 、6.44 (m、
IH) 。
X=JeX:6Hz、 、2H) 、6.44 (m、
IH) 。
6.72 (m、1)1) 。
”F NMIL (CDC13:CFCl2):δ、−
66,4(bs。
66,4(bs。
3F)、−72,5((1,J=8.5Hz、3F)。
IR(nea t) : 1745clIL(ν。=
。)、16501 cm、
(ν )。
。)、16501 cm、
(ν )。
C二C
獄″btスペクトル、 M 250゜元素分析
C(%) H・(チ)計算1直 68!4
1 3゜22実測値 6B、56 3.35 実施例6 2−<ンタフルでロフェニルプロパノール(3,39、
□g1150>rno、 I) 、、参考例6で合成し
たトリフルオロメタクリル酸クロリド(1゜、59g、
10mmo 1.)及びエーティレ、、、(10,me
)の混合物にトリエチルアミン(6゜0ろ9.、3.、
OrnmOl)を0℃で滴下した。室温71時間撹拌し
た後加水分解し、エーテル抽出した。
C(%) H・(チ)計算1直 68!4
1 3゜22実測値 6B、56 3.35 実施例6 2−<ンタフルでロフェニルプロパノール(3,39、
□g1150>rno、 I) 、、参考例6で合成し
たトリフルオロメタクリル酸クロリド(1゜、59g、
10mmo 1.)及びエーティレ、、、(10,me
)の混合物にトリエチルアミン(6゜0ろ9.、3.、
OrnmOl)を0℃で滴下した。室温71時間撹拌し
た後加水分解し、エーテル抽出した。
抽出物を燕水硫I波ナトリウムで乾燥し、蒸留すること
により沸点85℃/ 3 rnml−1gを有rるトリ
フルオロメ!クリル酸2−ペンタフルオロフェニをプロ
ピル2゜901.(収率86係)をイ:すた。
により沸点85℃/ 3 rnml−1gを有rるトリ
フルオロメ!クリル酸2−ペンタフルオロフェニをプロ
ピル2゜901.(収率86係)をイ:すた。
’HNMR(CDC13: 麩(S):δ1゜41(
bd、Jニア11、z 、 5ki) 、 6”、 6
4’ (a ext、J=7Hz 。
bd、Jニア11、z 、 5ki) 、 6”、 6
4’ (a ext、J=7Hz 。
1ム1) 、4,43 Qn、、2H) 、6.56
(rn。
(rn。
1H) 、6.62 (m、IH) 。
19I” NMR,(CDCI 3: (J’CI 3
) ;δ−66,2(bs。
) ;δ−66,2(bs。
3F)、−143,1(m、2F)、−156゜7(t
、J=21Hz、IF)、−162,9(m。
、J=21Hz、IF)、−162,9(m。
2F)。
IIも (neat) + 17454m
(’ 。=(1) 、1655C1n
’(ν。−0)・ 質量スペクトル:M+ 348゜ 元素分析 C(%)1■(%) 計算値 44,84 2.52 実り41 イロシf 44 。96 2.1
8実施例4 参考例6で合成したトリフルオロメタクリル酸クロリド
(1,59,9,10mmoす、トリフ /l/ オo
zp )−ル(1,00g、10mmol)及びエー
テル(10ml)の混合物にトリエチルアミン(1,0
1,iil、i。
(’ 。=(1) 、1655C1n
’(ν。−0)・ 質量スペクトル:M+ 348゜ 元素分析 C(%)1■(%) 計算値 44,84 2.52 実り41 イロシf 44 。96 2.1
8実施例4 参考例6で合成したトリフルオロメタクリル酸クロリド
(1,59,9,10mmoす、トリフ /l/ オo
zp )−ル(1,00g、10mmol)及びエー
テル(10ml)の混合物にトリエチルアミン(1,0
1,iil、i。
mmol)を0°0でt1M下した。室温で1時間攪拌
し、加水分解後エーテル抽出した。抽出液を無水硫酸ナ
トリウムで乾燥し蒸留することにより沸点80°0〜1
[]O’Oの留分を集めることによりトリフルオロメタ
クリル酸2,2.2−トリフルオロエチルの粗生成物2
゜1g(収率95%)を得た。ガスクロマトグラフィー
で分取することにより純粋に単離した。
し、加水分解後エーテル抽出した。抽出液を無水硫酸ナ
トリウムで乾燥し蒸留することにより沸点80°0〜1
[]O’Oの留分を集めることによりトリフルオロメタ
クリル酸2,2.2−トリフルオロエチルの粗生成物2
゜1g(収率95%)を得た。ガスクロマトグラフィー
で分取することにより純粋に単離した。
’HNM 几(CI)CI 3 : TMS) :
δ4゜59 (quart 。
δ4゜59 (quart 。
J=8Hz、2H)、6.52 (m、1)4)。
6.78 (m、 11()。
19F NMR(CI)C1:CFCl3):δ−66
,6(bs。
,6(bs。
3F’) 、−74,6(t 、J=81−1z、
3F) 。
3F) 。
IR(neat):1745cm(νc =o) 、
1650cqa ’(ν。−6)・ IRζ21−1し :Pi″″ ルユ l扮碑 C(φ) H(%) 計算値 32.45 .1.81実測値 3
2.14 1.61実施例5 トリフルオロメタクリル酸クロリド(225+11ス1
゜42mmo l )及び3,3.3−)リフルオロ−
2−プロパノール(260+11p、 2.28mmo
I) fc用いて実施例1と同様の操作を行い、沸点
80〜100°Cの留分を染めることによpトリフルオ
ロメタクリル酸2゜2.2−)!jフルオロインプロピ
ルの粗生成物285In9 (収率85チ)を得た。ガ
スクロマトグラフィーで分取することにより純粋な生成
物を得た。
1650cqa ’(ν。−6)・ IRζ21−1し :Pi″″ ルユ l扮碑 C(φ) H(%) 計算値 32.45 .1.81実測値 3
2.14 1.61実施例5 トリフルオロメタクリル酸クロリド(225+11ス1
゜42mmo l )及び3,3.3−)リフルオロ−
2−プロパノール(260+11p、 2.28mmo
I) fc用いて実施例1と同様の操作を行い、沸点
80〜100°Cの留分を染めることによpトリフルオ
ロメタクリル酸2゜2.2−)!jフルオロインプロピ
ルの粗生成物285In9 (収率85チ)を得た。ガ
スクロマトグラフィーで分取することにより純粋な生成
物を得た。
IHNMlも(CD(13:’1”MS) : δ
1.48(d 、J=7Hz、61−わ *5.40(
sept、Jニア1−1z 、 IH) 、6.51
(m、 1B) 、6.76(m 、I H) 。
1.48(d 、J=7Hz、61−わ *5.40(
sept、Jニア1−1z 、 IH) 、6.51
(m、 1B) 、6.76(m 、I H) 。
”F NM4も(CDCI 3 :CFCl
3) : δ −66,5(ba、3F)、−
79゜4 (d 、 J =7klz 。
3) : δ −66,5(ba、3F)、−
79゜4 (d 、 J =7klz 。
5F)。
” (neat) ’ 1750’m (v c
:o )1655cnt (ν。=。)。
:o )1655cnt (ν。=。)。
質量スペクトル;M 236
元素分析:C7H6F602として
C(%)11(%)
劃−昇値 35,61 2.56実測値 35
.56 2.40 実 施 ll/l16 トリフルオロアクリル酸(225弘1゜42mmol)
及び1.1.1.3.3.3−ヘキサフルオロ−2−プ
ロパツール(3i9+119.1.90mmol)を用
いて実施例1と同様の操作を行い、沸点60〜80°0
の留分を集めることによりトリフルオロメタクリル酸2
.評ン2’、 2’、 2’−へキサフルオロインプロ
ビルの粗生成物”+50hr9(収率85%)を得た。
.56 2.40 実 施 ll/l16 トリフルオロアクリル酸(225弘1゜42mmol)
及び1.1.1.3.3.3−ヘキサフルオロ−2−プ
ロパツール(3i9+119.1.90mmol)を用
いて実施例1と同様の操作を行い、沸点60〜80°0
の留分を集めることによりトリフルオロメタクリル酸2
.評ン2’、 2’、 2’−へキサフルオロインプロ
ビルの粗生成物”+50hr9(収率85%)を得た。
ガスクロマトグラフィーで分取することにより純粋な生
成物を得た。
成物を得た。
+1−I NMIL (C1)C13:TMS) :δ
5.83 (sept。
5.83 (sept。
J = 6 Hz 、IH) 、6.69(
m、IH)。
m、IH)。
6.91 (m、111)。
19F’NMR(CI)C1:CFCl2):δ−66
,6(bs、3F)、−73,9(d 、 J=6Hz
。
,6(bs、3F)、−73,9(d 、 J=6Hz
。
6F)。
■几(Hg セル1nccl 4):
1780Cfn (ν。−8)
1650儒 (ν。−6)
質量スペクトル:M 290
手 続 補 正 書(自発)
昭和58年8月19日
特許庁長官 若杉和失敗
1o事件の表示
昭和57缶特許願第131162号
2゜発明の名称
含7ノ素メククリル酸エステル
3゜補正をする者
事件との関係 特許出願入
門+1111 、’iの「発明の詳細な説明」の欄5、
補正の内容 (1)本願明細書第19頁2行の「トリフルオロアクリ
ル酸」を[トリフルオロメタクリル酸クロリド」に訂正
する。
補正の内容 (1)本願明細書第19頁2行の「トリフルオロアクリ
ル酸」を[トリフルオロメタクリル酸クロリド」に訂正
する。
以上
Claims (1)
- (1)一般式 で表わされる含フツ素メタクリル酸エステル(式中、1
(、fは炭素数1〜20個を有するヂリフルオロアルキ
ル基又はポリフルオロアリ−化基、ILは低級アルキル
基1.水素原子又はRf基であシ、nは0〜5の整数で
帝る。)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13116282A JPS5921648A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | 含フツ素メタクリル酸エステル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13116282A JPS5921648A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | 含フツ素メタクリル酸エステル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5921648A true JPS5921648A (ja) | 1984-02-03 |
JPH038329B2 JPH038329B2 (ja) | 1991-02-05 |
Family
ID=15051448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13116282A Granted JPS5921648A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | 含フツ素メタクリル酸エステル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5921648A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0163827A2 (en) * | 1984-03-22 | 1985-12-11 | Daikin Industries, Limited | Optical materials comprising a fluorine containing polymer |
US5116544A (en) * | 1987-12-04 | 1992-05-26 | Daikin Industries, Ltd. | Hexafluoroneopentyl alcohol, derivative thereof fluorine-containing polymer and its use |
JPH05171193A (ja) * | 1986-07-03 | 1993-07-09 | Sandoz Ag | ポリ−α−ヒドロキシアクリル酸の水溶性塩を含むストック溶液およびその製法 |
JP2001322955A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-20 | Kanto Denka Kogyo Co Ltd | 2−ブロモ−3,3,3−トリフルオロプロペンの製造方法 |
US6710148B2 (en) | 2001-02-09 | 2004-03-23 | Shin Etsu Chemical Co., Ltd. | Polymers, resist compositions and patterning process |
US6730451B2 (en) * | 1999-12-15 | 2004-05-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Polymers, chemical amplification resist compositions and patterning process |
US8466310B2 (en) | 2008-09-01 | 2013-06-18 | Central Glass Company, Limited | Process for producing α-substituted norbornanyl acrylates |
US8524941B2 (en) | 2009-04-27 | 2013-09-03 | Central Glass Company, Limited | Process for producing monomer for fluorinated resist |
-
1982
- 1982-07-29 JP JP13116282A patent/JPS5921648A/ja active Granted
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0163827A2 (en) * | 1984-03-22 | 1985-12-11 | Daikin Industries, Limited | Optical materials comprising a fluorine containing polymer |
JPH05171193A (ja) * | 1986-07-03 | 1993-07-09 | Sandoz Ag | ポリ−α−ヒドロキシアクリル酸の水溶性塩を含むストック溶液およびその製法 |
US5116544A (en) * | 1987-12-04 | 1992-05-26 | Daikin Industries, Ltd. | Hexafluoroneopentyl alcohol, derivative thereof fluorine-containing polymer and its use |
US6730451B2 (en) * | 1999-12-15 | 2004-05-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Polymers, chemical amplification resist compositions and patterning process |
JP2001322955A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-20 | Kanto Denka Kogyo Co Ltd | 2−ブロモ−3,3,3−トリフルオロプロペンの製造方法 |
US6710148B2 (en) | 2001-02-09 | 2004-03-23 | Shin Etsu Chemical Co., Ltd. | Polymers, resist compositions and patterning process |
US8466310B2 (en) | 2008-09-01 | 2013-06-18 | Central Glass Company, Limited | Process for producing α-substituted norbornanyl acrylates |
US8524941B2 (en) | 2009-04-27 | 2013-09-03 | Central Glass Company, Limited | Process for producing monomer for fluorinated resist |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH038329B2 (ja) | 1991-02-05 |
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