JPS59198408A - 導波形光分波器 - Google Patents
導波形光分波器Info
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- JPS59198408A JPS59198408A JP7215383A JP7215383A JPS59198408A JP S59198408 A JPS59198408 A JP S59198408A JP 7215383 A JP7215383 A JP 7215383A JP 7215383 A JP7215383 A JP 7215383A JP S59198408 A JPS59198408 A JP S59198408A
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- waveguide
- optical
- filter
- fiber
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は波長多重光通信の分野に用いる光分波器に関す
るものである。
るものである。
波長が異なる光信号波を１本の光ファイバで伝送する波
長分割多重伝送方式においては、波長が異なる光波を分
離する光分波器が必要となる。光分波器は回折格子形と
多層干渉膜フィルタ形とに大別することができるが、波
長分離特性の点から多層干渉膜フィルタ形が主に使われ
る傾向にある。
長分割多重伝送方式においては、波長が異なる光波を分
離する光分波器が必要となる。光分波器は回折格子形と
多層干渉膜フィルタ形とに大別することができるが、波
長分離特性の点から多層干渉膜フィルタ形が主に使われ
る傾向にある。
従来、多層干渉膜フィルタ形光分波器は、第１図のよう
に構成されていた。第１図において、１は共通基板ガラ
ス、２ａ、２ｂ、２ｃ、ＺｃＬＺｅは結合プリズム、８
ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅはロッドレンズ、４ｂ、４
ｃ、４ｄ、４ｅは多層干渉膜フィルタ、５ａは入力ファ
イバ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅは出力ファイバである。
に構成されていた。第１図において、１は共通基板ガラ
ス、２ａ、２ｂ、２ｃ、ＺｃＬＺｅは結合プリズム、８
ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅはロッドレンズ、４ｂ、４
ｃ、４ｄ、４ｅは多層干渉膜フィルタ、５ａは入力ファ
イバ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅは出力ファイバである。
入力ファイバ５ａから入射した波長多重光（ここでは４
波λｌ ｌ ’Ｚ ｌλ８．λ、）はロッドレンズ８ａ
の作用で平行光束となり、結合プリズム２ａ、共通基板
ガラスｌを経て多層干渉膜フィルタ４ｂへと照射される
。フィルタ４ｂは波長λ□の信号光のみ選択的に透過さ
せ、他波長の信号光を反射する。フィルタ４ｂを通過し
た波長λ□の信号光はロッドレンズ８ｂで集束され、出
力ファイバ５ｂへと導入される。同様にフィルタ４ｅ
。
波λｌ ｌ ’Ｚ ｌλ８．λ、）はロッドレンズ８ａ
の作用で平行光束となり、結合プリズム２ａ、共通基板
ガラスｌを経て多層干渉膜フィルタ４ｂへと照射される
。フィルタ４ｂは波長λ□の信号光のみ選択的に透過さ
せ、他波長の信号光を反射する。フィルタ４ｂを通過し
た波長λ□の信号光はロッドレンズ８ｂで集束され、出
力ファイバ５ｂへと導入される。同様にフィルタ４ｅ
。
４ｄ、４ｅはそれぞれ波長λ２．λ８．λ、の信号光の
みを透過するよう設定されており、波長に応じてそれぞ
れ出力ファイバ５ｃ、５ｄ、５ｅへと分波される。
みを透過するよう設定されており、波長に応じてそれぞ
れ出力ファイバ５ｃ、５ｄ、５ｅへと分波される。
このように第１図の光分波器は所望の機能を果たすこと
ができるが、その構成は複雑であり、多数の光学ブロッ
クの研磨や接着が必要なこと、光ファイバやロンドレン
ズの位置合わせの工程に熟練と長時間を要するという大
きな欠点があった。
ができるが、その構成は複雑であり、多数の光学ブロッ
クの研磨や接着が必要なこと、光ファイバやロンドレン
ズの位置合わせの工程に熟練と長時間を要するという大
きな欠点があった。
このため完成品の価格はきわめて高価となり、波長多重
方式の普及を妨げる要因の一つとなっていた。
方式の普及を妨げる要因の一つとなっていた。
本発明はこれらの欠点を除去するため、光分波器に導波
路構造を取り入れ、必要な光学部品数の低減と調整工程
の簡便化を図ったものである。以下図面により本発明の
詳細な説明する。
路構造を取り入れ、必要な光学部品数の低減と調整工程
の簡便化を図ったものである。以下図面により本発明の
詳細な説明する。
第２図は本発明の一実施例の構成図である。第２図（ａ
）は斜視図であり、基板２１上に導波路２２ａ、２２ｂ
、２２ｃが形成されており、導波路２２ｂ。
）は斜視図であり、基板２１上に導波路２２ａ、２２ｂ
、２２ｃが形成されており、導波路２２ｂ。
２２ｃの切断部２８ｂ、２８ｃには多層干渉膜フィルタ
２５ｂ、２５ｃが挿入されている。導波路２２ａには入
力光ファイバ２４ａが連結され、導波路２２ｂ２２ｃに
は出力光ファイバ２４ｂ、２４Ｃが直接連結されている
。
２５ｂ、２５ｃが挿入されている。導波路２２ａには入
力光ファイバ２４ａが連結され、導波路２２ｂ２２ｃに
は出力光ファイバ２４ｂ、２４Ｃが直接連結されている
。
入力光ファイバ２４ａから導波路２２ａへ導入された２
波長多重信号光（波長λ□、λ２）は、光路中に多層干
渉膜フィルタ２５ｃを設けた導波路２２ｃへと導かれる
。フィルタ２５ｃは波長λ２の信号光のみを選択的に透
過し、信号光λ２は出力ファイバ２４ｃへと導かれる。
波長多重信号光（波長λ□、λ２）は、光路中に多層干
渉膜フィルタ２５ｃを設けた導波路２２ｃへと導かれる
。フィルタ２５ｃは波長λ２の信号光のみを選択的に透
過し、信号光λ２は出力ファイバ２４ｃへと導かれる。
一方、フィルタ２５ｃで反射された光の大勢は、光路中
に多層干渉膜フィルタ２５ｂを設けた導波路２２ｋ）へ
と導かれる。フィルタ２５１）は波長λ、の信号光のみ
を選択的に透過し、信号光λ、は出力ファイバ２４ｂへ
と導出され、光分波の機能を果たすことができる。
に多層干渉膜フィルタ２５ｂを設けた導波路２２ｋ）へ
と導かれる。フィルタ２５１）は波長λ、の信号光のみ
を選択的に透過し、信号光λ、は出力ファイバ２４ｂへ
と導出され、光分波の機能を果たすことができる。
導波路２２ａ、２２ｂ、２２ｃとしては、高分子導光路
や、イオン拡散法で作製した多成分ガラス導光路または
ｓ ｉｃ ｅ ４を主成分とするガラス形成原料ガスか
ら熱酸化や火炎加水分解等の気相化学反応で作製した石
英ガラス系光導波路などを用いることができる。
や、イオン拡散法で作製した多成分ガラス導光路または
ｓ ｉｃ ｅ ４を主成分とするガラス形成原料ガスか
ら熱酸化や火炎加水分解等の気相化学反応で作製した石
英ガラス系光導波路などを用いることができる。
第２図（ｂ）は切断部２ ’８ ｂの拡大平面図であり
、第２図（Ｃ）は中心線２９での断面図である。次によ
り具体例について構成を詳細に述べる。
、第２図（Ｃ）は中心線２９での断面図である。次によ
り具体例について構成を詳細に述べる。
すなわち石英ガラス基板２１上に火炎加水分解反応を中
心とした方法（例えば河内他、特願昭５６−２０８８４
９ 「ガラス光導波膜の製造方法および製造装置」参照
）で堆積した石英ガラス系膜に、フォトエツチングおよ
び反応性スパッタエツチングの手法で８次元パターン化
した導波路２２ｋ）の途中に多層干渉膜フィルタ２５ｂ
が挿入されている。導波路２２ｂの幅は１００μｍ、高
さは５０μｍであり、導波路２２ｂはバッファ層２７ｂ
１保護層２８ｂにサンドウィッチされている。導波路２
２１）のガラス組成は５ｉｎ２− ＴｉＯ２−Ｐ２Ｏ５
−Ｂ２Ｏ３、バッファ層２７ｂ、保護層２８ｂのガラス
組成は５ｉｎ２− Ｐ２Ｏ５−Ｂ２Ｏ３であり、導波路
はバッファ層、保護層に比べて比屈折率差が１％高くな
っている。
心とした方法（例えば河内他、特願昭５６−２０８８４
９ 「ガラス光導波膜の製造方法および製造装置」参照
）で堆積した石英ガラス系膜に、フォトエツチングおよ
び反応性スパッタエツチングの手法で８次元パターン化
した導波路２２ｋ）の途中に多層干渉膜フィルタ２５ｂ
が挿入されている。導波路２２ｂの幅は１００μｍ、高
さは５０μｍであり、導波路２２ｂはバッファ層２７ｂ
１保護層２８ｂにサンドウィッチされている。導波路２
２１）のガラス組成は５ｉｎ２− ＴｉＯ２−Ｐ２Ｏ５
−Ｂ２Ｏ３、バッファ層２７ｂ、保護層２８ｂのガラス
組成は５ｉｎ２− Ｐ２Ｏ５−Ｂ２Ｏ３であり、導波路
はバッファ層、保護層に比べて比屈折率差が１％高くな
っている。
導波路２２ｂの切断部２８ｂの間隔は４０μｍである。
多層干渉膜フィルタ２５１）は、両面研磨された８ｉウ
エハーの片面に５１０２とＴｌＯ２とを交互に多層にス
パッタ法で形成したものを切り出し、Ｓｉ基板の一部を
選択エッチして除いたものを用いた。
エハーの片面に５１０２とＴｌＯ２とを交互に多層にス
パッタ法で形成したものを切り出し、Ｓｉ基板の一部を
選択エッチして除いたものを用いた。
第２図（ｂ）のフィルタ保持部２６ｂを多層干渉膜２５
ｂの支持のために残しておいた。これはＳｉ基板の一部
であり、石英ガラス基板２１に接着固定されている。
ｂの支持のために残しておいた。これはＳｉ基板の一部
であり、石英ガラス基板２１に接着固定されている。
第２図において、導波路２Ｚａの幅は導波路２２ｂ、２
２ｃの半分の５０μｍとした。入力光ファイバ２４ａの
コア径は５０μｍ、外径は１２５μｍであり、出力光フ
ァイバ２４ｂ、Ｚ４ｃのコア径は１５０μｍ、外径は２
００μｍとした。光ファイノく２４ａ、２４ｂ、２４ｃ
はそれぞれ対応する光導波路に融着接続した。融着接続
は火炎加水分解反応により合成したＳｉＯ□−Ｐ２Ｏ５
−Ｂ２０Ｂ系ガラス微粒子を塗布し、ＣＯ２レーザ光で
加熱することにより実施した。この際ガラス微粒子はバ
インダの役割を果たす。
２ｃの半分の５０μｍとした。入力光ファイバ２４ａの
コア径は５０μｍ、外径は１２５μｍであり、出力光フ
ァイバ２４ｂ、Ｚ４ｃのコア径は１５０μｍ、外径は２
００μｍとした。光ファイノく２４ａ、２４ｂ、２４ｃ
はそれぞれ対応する光導波路に融着接続した。融着接続
は火炎加水分解反応により合成したＳｉＯ□−Ｐ２Ｏ５
−Ｂ２０Ｂ系ガラス微粒子を塗布し、ＣＯ２レーザ光で
加熱することにより実施した。この際ガラス微粒子はバ
インダの役割を果たす。
多層干渉膜フィルタ２５ｂの中心波長は８００ｎｍ。
帯域幅は２０ ｎｍであり、また多層干渉膜フィルタ２
５ｃの中心波長は９００ｎｍ、帯域幅は２２ ｎｍであ
る。
５ｃの中心波長は９００ｎｍ、帯域幅は２２ ｎｍであ
る。
入出力光ファイバおよびフィルタを装着した石英ガラス
基板２１の上面は、導波路を覆うようにシリコーン樹脂
で被覆した。シリコーン樹脂の屈折率値は石英ガラスと
同じに選んだ。したがって・この実施例では、光導波路
Ｚ２ａ、２２ｂ、２２ｃの側面は、直接シリコーン樹脂
傾接しているが、フィルタ装荷前にスパッタリング等の
手法により、クラッド層となるべき５１０２系ガラス層
を、数μｍ以上形成しておく方がより望ましい。
基板２１の上面は、導波路を覆うようにシリコーン樹脂
で被覆した。シリコーン樹脂の屈折率値は石英ガラスと
同じに選んだ。したがって・この実施例では、光導波路
Ｚ２ａ、２２ｂ、２２ｃの側面は、直接シリコーン樹脂
傾接しているが、フィルタ装荷前にスパッタリング等の
手法により、クラッド層となるべき５１０２系ガラス層
を、数μｍ以上形成しておく方がより望ましい。
第８図は第２図に示す実施例の導波形分波器の波長特性
測定結果であり、２４ａからの入力光波長に対する２４
ｂの挿入損失（Ｉ）と２４ｃの挿入損失（ＩＴＪを示す
。中心波長８００ ｎｍ、９００ ｎｍでの挿入損失は
それぞれ２ ｄＢ、１．５ ｄＢである。また帯域幅が
２５〜８０ ｎｍ程度とフィルタ自体の帯域幅より若干
大きいのは、フィルタへの入射光角度が導波モードに対
応して±１０’程度の範囲に分布していることに起因し
ている。中心波長８００ ｎｍにおける挿入損失が中心
波長９００ ｎｍにおける挿入損失より大きいのは、８
００ ｎｍ光はフィルタ２５ｃで反射された後フィルタ
２５ｂへと向かうが、その幾分かが導波路２２ａへと逆
行してしまうからである。逆行した光は光ファイバ２４
ａを逆進することになるが、このような反射の影響が望
まし、くない場合には、第４図の構成を用いることがで
きる。なお、第８図において点線は透過半値幅を示す。
測定結果であり、２４ａからの入力光波長に対する２４
ｂの挿入損失（Ｉ）と２４ｃの挿入損失（ＩＴＪを示す
。中心波長８００ ｎｍ、９００ ｎｍでの挿入損失は
それぞれ２ ｄＢ、１．５ ｄＢである。また帯域幅が
２５〜８０ ｎｍ程度とフィルタ自体の帯域幅より若干
大きいのは、フィルタへの入射光角度が導波モードに対
応して±１０’程度の範囲に分布していることに起因し
ている。中心波長８００ ｎｍにおける挿入損失が中心
波長９００ ｎｍにおける挿入損失より大きいのは、８
００ ｎｍ光はフィルタ２５ｃで反射された後フィルタ
２５ｂへと向かうが、その幾分かが導波路２２ａへと逆
行してしまうからである。逆行した光は光ファイバ２４
ａを逆進することになるが、このような反射の影響が望
まし、くない場合には、第４図の構成を用いることがで
きる。なお、第８図において点線は透過半値幅を示す。
第４図は本発明の他の実施例の構成を示しくａ）は斜視
図、（ｂ）は平面図であって、４１は基板、４２ａ 。
図、（ｂ）は平面図であって、４１は基板、４２ａ 。
４２ｂ、４２ｃは光導波路、４４ａは入力光ファイバ４
４ｂ、４４ｃは出力ファイバである。４５ｂは多層干渉
膜フィルタ（透過中心波長：λ□）、４５ｃも多層干渉
膜フィルタ（透過中心波長：λ２）である。導波路４２
ａ、、４２ｂはフィルタ４５ｃ面とθ−７５°の角度を
なしている。入力ファイバ４４ａがら入射した波長λ□
の信号光は、光導波路４２ａを伝播し、フィルタ４５ｃ
の部分で全反射され、光導波路４２ｂの途中に設けられ
たフィルタ４５ｂを通過し、出力ファイバ４４ｂへと導
出される。これに対し波長λ２の信号光はフィルタ４５
ｃを通過し、光導波路４２ｃを経由して出力ファイバ４
４ｃへと導出される。この実施例では、入力ファイバ４
４ａへの反射光はほとんど皆無である。
４ｂ、４４ｃは出力ファイバである。４５ｂは多層干渉
膜フィルタ（透過中心波長：λ□）、４５ｃも多層干渉
膜フィルタ（透過中心波長：λ２）である。導波路４２
ａ、、４２ｂはフィルタ４５ｃ面とθ−７５°の角度を
なしている。入力ファイバ４４ａがら入射した波長λ□
の信号光は、光導波路４２ａを伝播し、フィルタ４５ｃ
の部分で全反射され、光導波路４２ｂの途中に設けられ
たフィルタ４５ｂを通過し、出力ファイバ４４ｂへと導
出される。これに対し波長λ２の信号光はフィルタ４５
ｃを通過し、光導波路４２ｃを経由して出力ファイバ４
４ｃへと導出される。この実施例では、入力ファイバ４
４ａへの反射光はほとんど皆無である。
第５図は本発明の別の実施例の構成図であり、・平面図
のみを示している。第５図において、５１は基板、５２
ａ、５２ｂ、５２ｃは光導波路であり、それぞれ光ファ
イバ５４ａ、５４ｂ、５４ｃに接続されている。５５は
多層干渉膜フィルタ（透過中心波長λ２）、５６はフィ
ルタ５５の保持部である。
のみを示している。第５図において、５１は基板、５２
ａ、５２ｂ、５２ｃは光導波路であり、それぞれ光ファ
イバ５４ａ、５４ｂ、５４ｃに接続されている。５５は
多層干渉膜フィルタ（透過中心波長λ２）、５６はフィ
ルタ５５の保持部である。
光ファイバ５４ａから入射した波長λ２の信号光は光導
波路５２ａ、フィルタ５５、光導波路５Ｚｃを通過し、
光ファイバ５４ｃへと導出される。また光ファイバ５４
ｂから入射した波長λ、の信号光は光導波路５２ｂを経
てフィルタ５５で全反射され、光導波路５２ａを経て、
光ファイバ５４ａへと導出される。第５図の分波器は双
方向光通信方式の分野に有効である。
波路５２ａ、フィルタ５５、光導波路５Ｚｃを通過し、
光ファイバ５４ｃへと導出される。また光ファイバ５４
ｂから入射した波長λ、の信号光は光導波路５２ｂを経
てフィルタ５５で全反射され、光導波路５２ａを経て、
光ファイバ５４ａへと導出される。第５図の分波器は双
方向光通信方式の分野に有効である。
以上、数例について本発明の導波形光分波器の構成と作
用について説明した。本発明の光分波器では、信号光の
通路は基板上にフォトリソグラフィー等の手段で精密に
形成された光導波路に規制されており、ロンドレンズ等
の位置合わせの必要はなく、入出力光ファイバを位置の
定まっている光導波路端に接続するのみでよ（、組立調
整の手間は激減する。特に光導波路が石英ガラス系導波
路である場合には、光ファイバとの融着接続も可能であ
り、とかく問題の多い接続部の長期信頼性を高めること
ができる。
用について説明した。本発明の光分波器では、信号光の
通路は基板上にフォトリソグラフィー等の手段で精密に
形成された光導波路に規制されており、ロンドレンズ等
の位置合わせの必要はなく、入出力光ファイバを位置の
定まっている光導波路端に接続するのみでよ（、組立調
整の手間は激減する。特に光導波路が石英ガラス系導波
路である場合には、光ファイバとの融着接続も可能であ
り、とかく問題の多い接続部の長期信頼性を高めること
ができる。
以上の実施例は２波長用について述べてきたがＳ本発明
はさらに多波長用の光分波器についても有効である。
はさらに多波長用の光分波器についても有効である。
第６図は本発明における５波長多重用導波形光分波器の
一構成例を示す斜視図であって、６１は基板、６ｚは光
導波路群、６５は多層干渉膜フィルタ群（透過中心波長
は入力ファイバ６４ａ側から数えてλ□、λ２．λ８．
λ６．λ５）である。６４ｂは出力ファイバ（本図では
他の出力ファイバを省略）である。第６図の分波器の動
作は第３図の説明の項から明らかであり説明を省略する
。
一構成例を示す斜視図であって、６１は基板、６ｚは光
導波路群、６５は多層干渉膜フィルタ群（透過中心波長
は入力ファイバ６４ａ側から数えてλ□、λ２．λ８．
λ６．λ５）である。６４ｂは出力ファイバ（本図では
他の出力ファイバを省略）である。第６図の分波器の動
作は第３図の説明の項から明らかであり説明を省略する
。
以上の実施例では出力光は出力光ファイバへと導出され
たが、出力光ファイバの替わりに、光検出器を直接、光
導波路に装着することもできる。
たが、出力光ファイバの替わりに、光検出器を直接、光
導波路に装着することもできる。
また例えば第２図において光ファイバ２４ｂをフィルタ
２５ｂに直接的に接近させるなど、光導波・路の一部を
省略または光ファイバで置きかえることも可能である。
２５ｂに直接的に接近させるなど、光導波・路の一部を
省略または光ファイバで置きかえることも可能である。
以上説明したように、本発明の導波形光分波器は導波構
造を用いることにより構成部品数を従来形に比べて大幅
に減らすことができ、研磨や貼り合わせの工程数も少な
く、組立調整時間の短い光分波器を提供することができ
る。構造が簡単であり、小形化にも適することから光分
波器の価格の大幅な低下に貢献するところが犬であり、
光通信方式の加入者系を含めた諸分野への普及の促進要
因の一つとなると期待される。
造を用いることにより構成部品数を従来形に比べて大幅
に減らすことができ、研磨や貼り合わせの工程数も少な
く、組立調整時間の短い光分波器を提供することができ
る。構造が簡単であり、小形化にも適することから光分
波器の価格の大幅な低下に貢献するところが犬であり、
光通信方式の加入者系を含めた諸分野への普及の促進要
因の一つとなると期待される。
第１図は従来の光分波器の構成図、第２図（ａ） ｋま
本発明の一実施例の構成を示す斜視図、第２図（ｂ）は
第２図（ａ）に示す切断部２８ｂの拡大平面図、第２図
（Ｃ）は第２図（ｂ）に示す中心線２９での断面図、第
８図は第２図の導波形光分波器の波長特性図、第４図（
ａ）は本発明の他の実施例の構成を示す斜視図、第４図
（ｂ）は第４図（ａ）の実施例の平面図、第５図は本発
明の別の実施例の構成を示す平面図、第゛６図は本発明
の５波長多重用導波形光分波器の構成を示す斜視図であ
る。 １・・・基板ガラス体、Ｚａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ
−プリズム、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ・・ｏラド
レンズ、４ｂ、’４ｃ、４ｄ、４ｅ・・・多層干渉膜フ
ィルタ、 ・５ ａ ＝入力光ファイバ、５ｂ、５ｃ
、５ｄ、５．ｅ＝−出力光ファイバ、２１・・・基板、
２２ａＨ２２ｂ、２２ｃｍ光導波路、２８ｂ、２８ｃ・
・・切断部、２４ａ・・・入力光ファイバ、２４ｂ、２
４ｃ・・・出力光ファイバ、２５ｂ、２５ｃ・・・多層
干渉膜フィルタ、２６ｂ・・・フィルタ保持部、２７ｂ
・・・バッファ層、２８ｂ・・・保護層、２９・・・中
心線、４１・・・基板、 ４２ａ、４２ｂ、４２ｃｍ光導波路、４４ ａ−人力光
ファイバ、４４ｂ、４４ｃ・・・出力光ファイバ、４５
ｂ、４５ｃ・・・多層干渉膜フィルタ、５１・・・基板
、５２ａ、５２ｂ、５２ｃｍ光導波路、 ５４ａ、５４’ｂ、５４ｃ・・・光ファイバ、５５・・
・多層干渉膜フィルタ、５６・・・フィルタ保持部、６
１・・・基板、６２・・・光導波路群、６４ａ・・・入
力光ファイバ、６４ｂ・・・出力光ファイバ、６５・・
・多層干渉膜フイ、シタ群。 特許出願人 日本電信電話公社 第３図 液長（ｎｍ） 第４図 （ｂ）
本発明の一実施例の構成を示す斜視図、第２図（ｂ）は
第２図（ａ）に示す切断部２８ｂの拡大平面図、第２図
（Ｃ）は第２図（ｂ）に示す中心線２９での断面図、第
８図は第２図の導波形光分波器の波長特性図、第４図（
ａ）は本発明の他の実施例の構成を示す斜視図、第４図
（ｂ）は第４図（ａ）の実施例の平面図、第５図は本発
明の別の実施例の構成を示す平面図、第゛６図は本発明
の５波長多重用導波形光分波器の構成を示す斜視図であ
る。 １・・・基板ガラス体、Ｚａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ
−プリズム、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ・・ｏラド
レンズ、４ｂ、’４ｃ、４ｄ、４ｅ・・・多層干渉膜フ
ィルタ、 ・５ ａ ＝入力光ファイバ、５ｂ、５ｃ
、５ｄ、５．ｅ＝−出力光ファイバ、２１・・・基板、
２２ａＨ２２ｂ、２２ｃｍ光導波路、２８ｂ、２８ｃ・
・・切断部、２４ａ・・・入力光ファイバ、２４ｂ、２
４ｃ・・・出力光ファイバ、２５ｂ、２５ｃ・・・多層
干渉膜フィルタ、２６ｂ・・・フィルタ保持部、２７ｂ
・・・バッファ層、２８ｂ・・・保護層、２９・・・中
心線、４１・・・基板、 ４２ａ、４２ｂ、４２ｃｍ光導波路、４４ ａ−人力光
ファイバ、４４ｂ、４４ｃ・・・出力光ファイバ、４５
ｂ、４５ｃ・・・多層干渉膜フィルタ、５１・・・基板
、５２ａ、５２ｂ、５２ｃｍ光導波路、 ５４ａ、５４’ｂ、５４ｃ・・・光ファイバ、５５・・
・多層干渉膜フィルタ、５６・・・フィルタ保持部、６
１・・・基板、６２・・・光導波路群、６４ａ・・・入
力光ファイバ、６４ｂ・・・出力光ファイバ、６５・・
・多層干渉膜フイ、シタ群。 特許出願人 日本電信電話公社 第３図 液長（ｎｍ） 第４図 （ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基板上に形成された光導波路の一部が切断され、切
断部に多層干渉膜フィルタが挿入されていることを特徴
とする導波形光分波器。 ａ 光導波路が石英系ガラスからなることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の導波形光分波器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7215383A JPS59198408A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 導波形光分波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7215383A JPS59198408A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 導波形光分波器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59198408A true JPS59198408A (ja) | 1984-11-10 |
Family
ID=13481023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7215383A Pending JPS59198408A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 導波形光分波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59198408A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62141506A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-25 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光分波合波器 |
| JPS62206502A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 導波型分波合波回路 |
| JPS62218909A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Fujitsu Ltd | 光導波路応用部品 |
| JPS6333707A (ja) * | 1986-07-28 | 1988-02-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波形光合分波器 |
| JPS6333708A (ja) * | 1986-07-28 | 1988-02-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光分波合波器 |
| JPS6360410A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-16 | Fujitsu Ltd | 光デバイスの製造方法 |
| US4790615A (en) * | 1986-03-06 | 1988-12-13 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Demultiplexing and/or multiplexing optical circuit |
| GB2391952A (en) * | 2002-08-13 | 2004-02-18 | Bookham Technology Plc | Optical device with optical filter film |
| EP1496377A2 (en) * | 2003-07-11 | 2005-01-12 | Omron Co., Ltd. | Optical multiplexer/demultiplexer, optical integrated circuit and light transceiver using the same |
-
1983
- 1983-04-26 JP JP7215383A patent/JPS59198408A/ja active Pending
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|---|---|---|---|---|
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| EP1496377A2 (en) * | 2003-07-11 | 2005-01-12 | Omron Co., Ltd. | Optical multiplexer/demultiplexer, optical integrated circuit and light transceiver using the same |
| EP1496377A3 (en) * | 2003-07-11 | 2005-03-23 | Omron Co., Ltd. | Optical multiplexer/demultiplexer, optical integrated circuit and light transceiver using the same |
| US7065269B2 (en) | 2003-07-11 | 2006-06-20 | Omron Corporation | Optical multiplexer/demultiplexer, optical integrated circuit and light transceiver using the same |
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