JPS59119245A - 自動位置合わせ装置 - Google Patents
自動位置合わせ装置Info
- Publication number
- JPS59119245A JPS59119245A JP57226886A JP22688682A JPS59119245A JP S59119245 A JPS59119245 A JP S59119245A JP 57226886 A JP57226886 A JP 57226886A JP 22688682 A JP22688682 A JP 22688682A JP S59119245 A JPS59119245 A JP S59119245A
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- JP
- Japan
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- pattern
- detected
- flip
- flop
- image sensor
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はプリント配線パターンの欠陥を検査する装置に
於いて、被検査パターンの設置位置を正確な位置に自動
的に位置合わせする装置に関するものである。
於いて、被検査パターンの設置位置を正確な位置に自動
的に位置合わせする装置に関するものである。
同一の被検査パターン２つを並べて比較チェックするプ
リント配線パターン欠陥検査装置においては、第１図（
α）に示す様に同一配線パターンが複数個（Ａ、Ｂ、Ｃ
，Ｄ・・・）配列された基板に対して隣接する同一パタ
ーン同志（例えばＡとＢ）の対応点？比較チェックする
ことにより、パターン欠陥の検査が可能なものである。
リント配線パターン欠陥検査装置においては、第１図（
α）に示す様に同一配線パターンが複数個（Ａ、Ｂ、Ｃ
，Ｄ・・・）配列された基板に対して隣接する同一パタ
ーン同志（例えばＡとＢ）の対応点？比較チェックする
ことにより、パターン欠陥の検査が可能なものである。
この装置は、第１図（Ａｌに示す様に複数個の光学検出
部２および３の有する一次元イメージセンサ２αおよび
３αにより、左右のパターン上の微細エリアの対応する
点に着目して各々を検出し、双方のパターンの“有”、
゛無１が相等しい場合を正常、相異なる場合はそのＡｔ
欠陥としている。
部２および３の有する一次元イメージセンサ２αおよび
３αにより、左右のパターン上の微細エリアの対応する
点に着目して各々を検出し、双方のパターンの“有”、
゛無１が相等しい場合を正常、相異なる場合はそのＡｔ
欠陥としている。
以上において着目点の走査は、横方向ｃ以下Ｘ方向と称
す）は前記−次元イメージセンサ２α。
す）は前記−次元イメージセンサ２α。
３ｂの走査クロックで行ない、縦方向Ｃ以下ｙ方向と称
す）については、被検基板１のｙ方向送りにより行なう
。このような比較チェック方式においては、被検パター
ンＡ、Ｂ・・・は基板上で縦、横方向ともに正確な間隔
寸法で作製されていることを前提としており、イメージ
センサ２α。
す）については、被検基板１のｙ方向送りにより行なう
。このような比較チェック方式においては、被検パター
ンＡ、Ｂ・・・は基板上で縦、横方向ともに正確な間隔
寸法で作製されていることを前提としており、イメージ
センサ２α。
３αは被検パターンの横方向配列ピッチに等しい間隔て
簡°かれることが必要である。さらにイメ−ジセンサ２
α、５αの配列について言えば、両者は正確にＸ軸（ま
たはＸ軸と平行な軸）上におかれかつこれに対する被検
パターンの位置設定としてその傾き角θ（二つの被検パ
ターンＡ。
簡°かれることが必要である。さらにイメ−ジセンサ２
α、５αの配列について言えば、両者は正確にＸ軸（ま
たはＸ軸と平行な軸）上におかれかつこれに対する被検
パターンの位置設定としてその傾き角θ（二つの被検パ
ターンＡ。
Ｂの対応点を結ぶ直線とＸ軸とのなす角）を零に合わせ
ることが必要条件である。
ることが必要条件である。
従来は被検基板の左右に第１図（α）に示す如く、ｘ動
方向に基準線マーカーＭおよびＡを設け、この位置を別
に光学検出部側に設けた基準位置検出器６および７によ
り検出し、その結果制御装置４からの指令で各々のｙ軸
方向位置が左右で等しくなる様被検基板１を測定テーブ
ル５を構成するＸ−Ｙ送υ機構５ｈ上の回転テーブル５
αにより回転させ傾き合わせを行なっていた。しかしこ
のような方式では、祖検基板１の左右にマーカ１ｉおよ
びＮが必要なこと、前記したイメージセンサ２αＩ３α
と対物レンズ２ｈ、５ｂを備えた光学検出部２および３
側に基準位置検出器２個が必要なこと、またパターンの
独別変更等で前記マーカ位ｉ礎が変わった場合にはその
都にこれおよび７の位置も再設定する必要があること等
のため、機構が複雑となりかっ、取り扱いが不便であっ
た。ここで特に基準位置検出器６．７の位置設定Ｆｉ加
々行なわれなければならず、高精度を要するので、極め
て不便であった。そこで単純な機構でかっ、簡単に精度
よく被検パターンの位置合わせのできる方法の開発が望
まれていた。
方向に基準線マーカーＭおよびＡを設け、この位置を別
に光学検出部側に設けた基準位置検出器６および７によ
り検出し、その結果制御装置４からの指令で各々のｙ軸
方向位置が左右で等しくなる様被検基板１を測定テーブ
ル５を構成するＸ−Ｙ送υ機構５ｈ上の回転テーブル５
αにより回転させ傾き合わせを行なっていた。しかしこ
のような方式では、祖検基板１の左右にマーカ１ｉおよ
びＮが必要なこと、前記したイメージセンサ２αＩ３α
と対物レンズ２ｈ、５ｂを備えた光学検出部２および３
側に基準位置検出器２個が必要なこと、またパターンの
独別変更等で前記マーカ位ｉ礎が変わった場合にはその
都にこれおよび７の位置も再設定する必要があること等
のため、機構が複雑となりかっ、取り扱いが不便であっ
た。ここで特に基準位置検出器６．７の位置設定Ｆｉ加
々行なわれなければならず、高精度を要するので、極め
て不便であった。そこで単純な機構でかっ、簡単に精度
よく被検パターンの位置合わせのできる方法の開発が望
まれていた。
本発明の目的は被検パターンを検出光学系に対して精度
良くかつ簡易に位置合わせできるプリント基板自動位置
合わせ装置を提供するにある。
良くかつ簡易に位置合わせできるプリント基板自動位置
合わせ装置を提供するにある。
いま仮にイメージセンサ２αおよびＲｉｚ自体により被
検パターンの傾きが検出できれば、上記した基準線マー
カーの設定はもちろん、これを検出するだめの基準位置
検出器の設定も必要がなくなり、前述した欠点は排除で
きるはずである。
検パターンの傾きが検出できれば、上記した基準線マー
カーの設定はもちろん、これを検出するだめの基準位置
検出器の設定も必要がなくなり、前述した欠点は排除で
きるはずである。
本発明は本来のパターン欠陥を検出する検出光学部２お
よび３を用いて、被検パターンＡ、 Ｂの相互位置関係
を検出することによシ、被検基板の自動位置合わせを行
なうことを要点とする。
よび３を用いて、被検パターンＡ、 Ｂの相互位置関係
を検出することによシ、被検基板の自動位置合わせを行
なうことを要点とする。
被検パターンは各種のパターン要素で構成されており、
各要素の方間、長さは種々雑多あるので、予め傾き角検
出に有利なパターン要素として、第２図に示す様にＸ軸
に平行な長手方向を持つ長方形状の対応する裡検物のパ
ターン要素Ａ、Ｂｆ選定する。この方法は予め目視等に
より選定した要素の基板上の座標データを記憶しておき
、この座標データにより光学検出部の視野中心付近へこ
のパターン要素α、ｂを移動しておく。いま第２図に示
す様にパターン要素ＡＢの各々の下方エッヂＥα とＥ
ｂがｙ方向にｉだけずれてしるものとする。ここで第１
図に示す測定テーブル５をｙ軸方向下方へ、微小ステッ
プ（イメージセンサ視野２町、３α１の各絵素長に等し
い単位長さ）づつ送って行く時イメージセンサ２α、３
αの映像は第２図（α）〜ｒＣ＋に示す様に変化して行
く。すなわちイメージセンサ視野２α、。
各要素の方間、長さは種々雑多あるので、予め傾き角検
出に有利なパターン要素として、第２図に示す様にＸ軸
に平行な長手方向を持つ長方形状の対応する裡検物のパ
ターン要素Ａ、Ｂｆ選定する。この方法は予め目視等に
より選定した要素の基板上の座標データを記憶しておき
、この座標データにより光学検出部の視野中心付近へこ
のパターン要素α、ｂを移動しておく。いま第２図に示
す様にパターン要素ＡＢの各々の下方エッヂＥα とＥ
ｂがｙ方向にｉだけずれてしるものとする。ここで第１
図に示す測定テーブル５をｙ軸方向下方へ、微小ステッ
プ（イメージセンサ視野２町、３α１の各絵素長に等し
い単位長さ）づつ送って行く時イメージセンサ２α、３
αの映像は第２図（α）〜ｒＣ＋に示す様に変化して行
く。すなわちイメージセンサ視野２α、。
３町内の各絵素の“明″又は“暗″（パターン”有１又
はパターン“無”に対応）が図中に“１＃又は“０＃で
示される様に変化して行く。第２図中（α）はエッヂＥ
αおよびＥｈ検出前の状態、（ｈｌは左側イメージセン
サ２αがエッヂＥαを検出した時の状態、（Ｃ１は右側
イメージセンサ３ａがエッヂＥｈを検出した時の状態を
示す。エッヂ検出の判定条件としては、ｆｆ１１１定テ
ーブルｙ軸方向送りの１ステップ手前でパターン無（“
０つであった点が今回パターン“有”Ｃ”１＃）となる
ことが必要であるが、これがイメージセンサ視野内の複
数絵素“ｎ個以上１に対して同時に成立した時エッヂ検
出とする。片方のイメージセンサでエッチを検出してか
ら他方のイメージセンサでエッチを検出する迄のｙ軸方
向送りｔが、左右の被検パターンのｙ軸方向オフセット
値ΔＹに等しくなる。ｄの値が求まれば、傾き角θは下
式により容易に求まり、このθの値を零とする様基板位
醤を回転させれば良い。
はパターン“無”に対応）が図中に“１＃又は“０＃で
示される様に変化して行く。第２図中（α）はエッヂＥ
αおよびＥｈ検出前の状態、（ｈｌは左側イメージセン
サ２αがエッヂＥαを検出した時の状態、（Ｃ１は右側
イメージセンサ３ａがエッヂＥｈを検出した時の状態を
示す。エッヂ検出の判定条件としては、ｆｆ１１１定テ
ーブルｙ軸方向送りの１ステップ手前でパターン無（“
０つであった点が今回パターン“有”Ｃ”１＃）となる
ことが必要であるが、これがイメージセンサ視野内の複
数絵素“ｎ個以上１に対して同時に成立した時エッヂ検
出とする。片方のイメージセンサでエッチを検出してか
ら他方のイメージセンサでエッチを検出する迄のｙ軸方
向送りｔが、左右の被検パターンのｙ軸方向オフセット
値ΔＹに等しくなる。ｄの値が求まれば、傾き角θは下
式により容易に求まり、このθの値を零とする様基板位
醤を回転させれば良い。
θ＝５．ｎ一旦
を
但しｔは被検パターンＡ、Ｂの横配列間隔寸法
前述の“九個以上″については原理上ではこれを“１個
以上″としてもかまわないが、１個の場合、パターンの
凹凸状の欠陥がエッチ上にある場合誤検出のおそれがあ
るので、′ｎ個”は適当な複数個に設定した方が良い。
以上″としてもかまわないが、１個の場合、パターンの
凹凸状の欠陥がエッチ上にある場合誤検出のおそれがあ
るので、′ｎ個”は適当な複数個に設定した方が良い。
またもともと轢き角θは小さく ｔａミルで約１７１０
以下程度であるので、エッヂ検出絵素も多数個同時に発
生する。
以下程度であるので、エッヂ検出絵素も多数個同時に発
生する。
ここで検出したオフセットｉの値は、±１ピット（±１
ステップ）以下の誤差を含んでいる。
ステップ）以下の誤差を含んでいる。
この誤差を許容レベル以下におさえるため、光学検出部
２および３の絵素検出分解能を最終的なパターン欠陥検
査性能上の分解能よりも充分高くしておく必要があるが
、実際のパターン欠陥検査製筒に於ても、絵素検出分解
能が充分高くなっており間覇はない。
２および３の絵素検出分解能を最終的なパターン欠陥検
査性能上の分解能よりも充分高くしておく必要があるが
、実際のパターン欠陥検査製筒に於ても、絵素検出分解
能が充分高くなっており間覇はない。
本発明の実施例プリント基板自動位置合わせ装置のブロ
ック図を第３図に示す。被検パターンの映像を対物レン
ズ２ｂ（５ｂ） により一次元イメージセンサ２ａ（
３α）上に結像させる。−次元イメージセンサ２ａ（３
α）に入ったＸ軸方向−ラインの映像情報は各絵素毎の
明かるさデータとして、左から右に順次読出されて、出
力に映像信号（イ）が得られる。一方Ｘ−Ｙ送り機構５
ｂは処理装置１２の指令により、−次元イメージセンサ
２α（３α）の１ライン走査毎に同期して、微小ステッ
プづつｙ軸方向に直線送りされる。これにより、映像信
号（イ）は被検パターン上を通常のＴＶ画面走査等と同
様なＸ−Ｙ走査がなされる。これを２値化回路８α（９
α）によりグレーレベル（明暗の中間レベル）（ロ）と
比較することにより出力に“１＃（明：パターン１有”
）、″０”（暗：パターン“無”）の２値化映像信号（
ハ）を得る。シフトレジスタ８ｈ、 Ｂｃ（９ｈ、 ９
ｃ）はこの２値化映像信号（ハ）を−次元イメージセン
サ２α（３α）の１ライン走査の時間たけ遅延させるも
ので、結果的にシフトレジスタ８ｂ、 Ｂｃ（９ｈ、
９ｃ）の出力信号に）および（ホけ２値化映像信号（ハ
）に対して各々ｙ軸方向テーブル送りの１ステツプおよ
び２ステツプ手前のデータとなる。実際にはイメージセ
ンサ２α（３α）は１ライン１０２４ビツトの絵素より
構成させたのでシフトレジスタ８ｈ、 Ｂｃ（９ｈ、
９ｃ）のビット数もこれに合わせ各々１０２４ビツトと
しである。信号（ハ）、（＝ｌ。
ック図を第３図に示す。被検パターンの映像を対物レン
ズ２ｂ（５ｂ） により一次元イメージセンサ２ａ（
３α）上に結像させる。−次元イメージセンサ２ａ（３
α）に入ったＸ軸方向−ラインの映像情報は各絵素毎の
明かるさデータとして、左から右に順次読出されて、出
力に映像信号（イ）が得られる。一方Ｘ−Ｙ送り機構５
ｂは処理装置１２の指令により、−次元イメージセンサ
２α（３α）の１ライン走査毎に同期して、微小ステッ
プづつｙ軸方向に直線送りされる。これにより、映像信
号（イ）は被検パターン上を通常のＴＶ画面走査等と同
様なＸ−Ｙ走査がなされる。これを２値化回路８α（９
α）によりグレーレベル（明暗の中間レベル）（ロ）と
比較することにより出力に“１＃（明：パターン１有”
）、″０”（暗：パターン“無”）の２値化映像信号（
ハ）を得る。シフトレジスタ８ｈ、 Ｂｃ（９ｈ、 ９
ｃ）はこの２値化映像信号（ハ）を−次元イメージセン
サ２α（３α）の１ライン走査の時間たけ遅延させるも
ので、結果的にシフトレジスタ８ｂ、 Ｂｃ（９ｈ、
９ｃ）の出力信号に）および（ホけ２値化映像信号（ハ
）に対して各々ｙ軸方向テーブル送りの１ステツプおよ
び２ステツプ手前のデータとなる。実際にはイメージセ
ンサ２α（３α）は１ライン１０２４ビツトの絵素より
構成させたのでシフトレジスタ８ｈ、 Ｂｃ（９ｈ、
９ｃ）のビット数もこれに合わせ各々１０２４ビツトと
しである。信号（ハ）、（＝ｌ。
＆１９を各々フリップフロップ群Ｍ（９ｄ）に入れて図
に示す接続でゲー） ８ｅ（９ｇ）を通して信号へを得
る。ここで被検パターン要素として、前述のＸ軸に平行
な直線エッヂ部分Ｅα（Ｅｂ）を選べば信号へか境界点
を示すデータとなる。（”１”の時境界点、“０″の時
境界点でない。） 境界点は本来ｙ軸方向の１ピツト手前で“０′″今回”
１”の点のはずである。しかし前述した様に一次元イメ
ージセンサの絵素分解能を高くとっているので、エッヂ
Ｅα（Ｅｈ）は本来直線のものがミクロの目で見られる
ため実際は、第４図に示す様に凹凸状の線となる。この
ため境界点の検出方法として、ｙ ｌ１ｉｌｌ＋方向１
ピット手前ではなく、これを数ビツト手前のデータと比
較させ、かつ、Ｘ軸方向については、着目点１ピツトの
みではなく、これの左右を含めた複数ピットについて各
々全て“０”又は″１′が成立することを条件として追
加する。
に示す接続でゲー） ８ｅ（９ｇ）を通して信号へを得
る。ここで被検パターン要素として、前述のＸ軸に平行
な直線エッヂ部分Ｅα（Ｅｂ）を選べば信号へか境界点
を示すデータとなる。（”１”の時境界点、“０″の時
境界点でない。） 境界点は本来ｙ軸方向の１ピツト手前で“０′″今回”
１”の点のはずである。しかし前述した様に一次元イメ
ージセンサの絵素分解能を高くとっているので、エッヂ
Ｅα（Ｅｈ）は本来直線のものがミクロの目で見られる
ため実際は、第４図に示す様に凹凸状の線となる。この
ため境界点の検出方法として、ｙ ｌ１ｉｌｌ＋方向１
ピット手前ではなく、これを数ビツト手前のデータと比
較させ、かつ、Ｘ軸方向については、着目点１ピツトの
みではなく、これの左右を含めた複数ピットについて各
々全て“０”又は″１′が成立することを条件として追
加する。
例えば第３図のフリップフロップ群Ｂｅｔ（ｑｄ＞にｉ
−ｍで着目点を中心のフリップフロップ（図中の口）と
した時、ｙ方向送υの１ステツプ手前の状態０図の下側
の７リツプフロソプに対応）について左右を含めた３ビ
ツトに対して全て“０″が成立し、ｙ方向送りの１ビツ
ト後の状態（図の上側のフリップフロップに対応）につ
いて左右を含めた３ビツトに対して全て“１”が成立し
た時、着目点を境界点と定義すれば信号（へ）が“１＃
の時境界点を検出したこととなる。この例ではＸ軸方向
に３ビツトに全て“０”又は１＃が成立した点について
ｙ軸方向２ビット離れた点との“１″、”０″比較をす
ることとなる。実際はこのＸ軸方向一ビツト、ｙ軸方向
ノ゛ビットについては適当々値を任意に選定できる様な
回路設計としである。この境界点信号の“１１の数をＸ
軸方向の１ライン走査の範囲内でプリセットカウンタＢ
ｆ（９ｆ）で計数し、これが規定値（“ｎ１個）以上と
なった時、プリセットカウンター８ｆ（９ｆ）ｆｃオー
バフローを発生させ、これでフリップフロップＢｙ（９
ｙ ）を１１”にセットする。これは境界線を検知した
信号となる。
−ｍで着目点を中心のフリップフロップ（図中の口）と
した時、ｙ方向送υの１ステツプ手前の状態０図の下側
の７リツプフロソプに対応）について左右を含めた３ビ
ツトに対して全て“０″が成立し、ｙ方向送りの１ビツ
ト後の状態（図の上側のフリップフロップに対応）につ
いて左右を含めた３ビツトに対して全て“１”が成立し
た時、着目点を境界点と定義すれば信号（へ）が“１＃
の時境界点を検出したこととなる。この例ではＸ軸方向
に３ビツトに全て“０”又は１＃が成立した点について
ｙ軸方向２ビット離れた点との“１″、”０″比較をす
ることとなる。実際はこのＸ軸方向一ビツト、ｙ軸方向
ノ゛ビットについては適当々値を任意に選定できる様な
回路設計としである。この境界点信号の“１１の数をＸ
軸方向の１ライン走査の範囲内でプリセットカウンタＢ
ｆ（９ｆ）で計数し、これが規定値（“ｎ１個）以上と
なった時、プリセットカウンター８ｆ（９ｆ）ｆｃオー
バフローを発生させ、これでフリップフロップＢｙ（９
ｙ ）を１１”にセットする。これは境界線を検知した
信号となる。
以上によシ、境界線を高分解能でかっ、安定に検知する
ことができる。以上迄説明したブロックは左側および右
側の光学検出部２および３に各々対応して、各１式づつ
設けてあり、部品番号については後者の方を文中で０内
に記した。
ことができる。以上迄説明したブロックは左側および右
側の光学検出部２および３に各々対応して、各１式づつ
設けてあり、部品番号については後者の方を文中で０内
に記した。
ところでフリップフロップ８ｇおよび９ｇにおいて、一
方が”１＃となってから他方が“１″となる迄の測定テ
ーブル５のｙ軸方同送υ量が被検パターン相互間のｙ軸
方向オフセット値Ｋ等しくなるはずである。このオフセ
ット値ｄを求めるため、フリップフロップ８！Ｉｆ？よ
び９ｇの出方を排他的オアゲー） １０αに久方し、こ
の出方が′１”の間のみｙ軸方向測定テーブル送りパル
スとのパルス数ヲケート１ｏｃを通してカウンタ１０ｄ
テ計数させれば、この計数値がオフセット値ｄに等しく
なる。またオフセット方向についてはフリップフロップ
８！Ｉの出方をＤタイプフリップフロップ１０Ａのデー
タ久方端子（ハ）へ、排他的オアゲート１０αの出力を
トリガ端子（Ｔ＋へ接続すれば、Ｄタイプフリップフロ
ップＩＯＡの出方はオフセット方向を示す。すなわち、
フリップフロップ８ｆが先に１ビとなった時これが１１
＃、そうでない時これが″０”となシ、この１“、′ｏ
１がそのまま被検パターンの左上がり、右上がりの対応
することとなる。このオフセット値およヒオフセット方
向のデータを処理装置１１に久方し、これからパターン
の傾き自修正量、修正方向を求めて、パルスモータ制御
／駆動回路１２αを通しテ、パルスモータ５ｃを駆動し
、回転テーブル５ｃＬを動作させ、被検パターンの傾き
を零に調整する。プリセットカウンターＢｆ（９ｆ）と
７リツプフロツフ８！Ｉ（９！１）は−次元イメージセ
ンサ２α１３αの１ライン走査毎にリセットし、カウン
タ１ｏｄおよびＤタイプフリップフロップ１０Ａは測定
チーフルのｙ軸走査前Ｋ リセットしておく。被検パタ
ーン内の着目パターン要素はあらかじめ基板の種類毎に
選定しておき、この基板上の座標値を処理装置内に記憶
しておき、傾き検出前に処理装置の指令により自動で、
必要な着目要素付近へ測定テーブルをＸＹ送りさせてお
くものとする。
方が”１＃となってから他方が“１″となる迄の測定テ
ーブル５のｙ軸方同送υ量が被検パターン相互間のｙ軸
方向オフセット値Ｋ等しくなるはずである。このオフセ
ット値ｄを求めるため、フリップフロップ８！Ｉｆ？よ
び９ｇの出方を排他的オアゲー） １０αに久方し、こ
の出方が′１”の間のみｙ軸方向測定テーブル送りパル
スとのパルス数ヲケート１ｏｃを通してカウンタ１０ｄ
テ計数させれば、この計数値がオフセット値ｄに等しく
なる。またオフセット方向についてはフリップフロップ
８！Ｉの出方をＤタイプフリップフロップ１０Ａのデー
タ久方端子（ハ）へ、排他的オアゲート１０αの出力を
トリガ端子（Ｔ＋へ接続すれば、Ｄタイプフリップフロ
ップＩＯＡの出方はオフセット方向を示す。すなわち、
フリップフロップ８ｆが先に１ビとなった時これが１１
＃、そうでない時これが″０”となシ、この１“、′ｏ
１がそのまま被検パターンの左上がり、右上がりの対応
することとなる。このオフセット値およヒオフセット方
向のデータを処理装置１１に久方し、これからパターン
の傾き自修正量、修正方向を求めて、パルスモータ制御
／駆動回路１２αを通しテ、パルスモータ５ｃを駆動し
、回転テーブル５ｃＬを動作させ、被検パターンの傾き
を零に調整する。プリセットカウンターＢｆ（９ｆ）と
７リツプフロツフ８！Ｉ（９！１）は−次元イメージセ
ンサ２α１３αの１ライン走査毎にリセットし、カウン
タ１ｏｄおよびＤタイプフリップフロップ１０Ａは測定
チーフルのｙ軸走査前Ｋ リセットしておく。被検パタ
ーン内の着目パターン要素はあらかじめ基板の種類毎に
選定しておき、この基板上の座標値を処理装置内に記憶
しておき、傾き検出前に処理装置の指令により自動で、
必要な着目要素付近へ測定テーブルをＸＹ送りさせてお
くものとする。
以上が本発明の実施例であるが、イメージセンサの映像
信号の品質がノイズ欠陥等を含みあまり良くないので、
実際の回路ではアナログ信号の２値化に於ける。５７Ｎ
向上策、ディジタル処理部に於ける空間フィルタリング
等によるＳ／Ｎ向上策等を行なっているがこれについて
の詳細記述は省略する。
信号の品質がノイズ欠陥等を含みあまり良くないので、
実際の回路ではアナログ信号の２値化に於ける。５７Ｎ
向上策、ディジタル処理部に於ける空間フィルタリング
等によるＳ／Ｎ向上策等を行なっているがこれについて
の詳細記述は省略する。
また、本発明の必要部品の大部分については、本来のパ
ターン欠陥検査として使用する機能。
ターン欠陥検査として使用する機能。
部品を兼用しており、本発明のためにのみ使用さｈる部
品’ｕ参照番号（Ｄ ８ｆ、 Ｂｇ、 ９ｆ、 ９１．
１０ｃｚ、 １０Ａ。
品’ｕ参照番号（Ｄ ８ｆ、 Ｂｇ、 ９ｆ、 ９１．
１０ｃｚ、 １０Ａ。
１０ｃ、 １０ｇ、 １２ａ、 ５ａ および５ｃのみ
であり、経済的である。
であり、経済的である。
以上述べたように本発明によれば被検パターンの自動位
置合わせが精度よく安定に行なうことが可能となり、ま
た被検基板上に基準位置マーカを設ける必要がなくなり
、かっこの基準位置マーカに対する検出器位曾合わせの
必要がなくなるため操作性が非常に向上した等の効果を
有する。
置合わせが精度よく安定に行なうことが可能となり、ま
た被検基板上に基準位置マーカを設ける必要がなくなり
、かっこの基準位置マーカに対する検出器位曾合わせの
必要がなくなるため操作性が非常に向上した等の効果を
有する。
第１図（α）は被検基板上の被検パターンの配置図、第
１図（ｂｌは従来方式に於ける位雪合わせ装置ブロック
図、第２図は左右被検パターンの相互間のオフセット検
出方式説明図、第３図は本発明の一実施例であるプリン
ト基板自動位置合わせ装置実施例のブロック図、第４図
は第２図に於けるエッヂＥαの拡大図を示す。 １・・・被検パターン ２，３・・・光学検出部４
・・・制御装置 ５・・・測定テーブル８α、
９α・・・２値化回路 ８ｈ、 ８ｃ、 ９ｈ、 ９ｃ・・・シフトレジスタ第
１ 口 篤 ２ 図 箪４図 手続補正書（自発） 事件の表示 昭和５７ 年特許願第 ２２６８８６号発明の名称
自動位置合せ装置 補正をする者 ｊｍとの即イ 特許出願人 名 称 ′５１Ｑｌｌ：１式会ン１ １１
立 製 作 所（ほか １名） 代 理 人 ｔ ＃！Ａａ書ｉ１２頁ｆｇ９行目ニ「８ｆ」トアル
な「８９」と訂正する。 ２、 図面中第３図を添付の第６図のように訂正する。 以上 添付書類の目録
１図（ｂｌは従来方式に於ける位雪合わせ装置ブロック
図、第２図は左右被検パターンの相互間のオフセット検
出方式説明図、第３図は本発明の一実施例であるプリン
ト基板自動位置合わせ装置実施例のブロック図、第４図
は第２図に於けるエッヂＥαの拡大図を示す。 １・・・被検パターン ２，３・・・光学検出部４
・・・制御装置 ５・・・測定テーブル８α、
９α・・・２値化回路 ８ｈ、 ８ｃ、 ９ｈ、 ９ｃ・・・シフトレジスタ第
１ 口 篤 ２ 図 箪４図 手続補正書（自発） 事件の表示 昭和５７ 年特許願第 ２２６８８６号発明の名称
自動位置合せ装置 補正をする者 ｊｍとの即イ 特許出願人 名 称 ′５１Ｑｌｌ：１式会ン１ １１
立 製 作 所（ほか １名） 代 理 人 ｔ ＃！Ａａ書ｉ１２頁ｆｇ９行目ニ「８ｆ」トアル
な「８９」と訂正する。 ２、 図面中第３図を添付の第６図のように訂正する。 以上 添付書類の目録
Claims (1)
- パターンの映像を検出する複数の光学検出部、該検出部
を介してこれから左右のパターンの傾きを検出する回路
部、映像を走査するための被検基板ＸＹ送りテーブルお
よび検出した傾き角を零に修正動作する回転テーブルを
有することを特徴とする自動位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57226886A JPS59119245A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 自動位置合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57226886A JPS59119245A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 自動位置合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59119245A true JPS59119245A (ja) | 1984-07-10 |
Family
ID=16852118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57226886A Pending JPS59119245A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 自動位置合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59119245A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112881411A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-06-01 | 江苏方桥智能科技股份有限公司 | 一种aoi自动光学无损检测设备 |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP57226886A patent/JPS59119245A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112881411A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-06-01 | 江苏方桥智能科技股份有限公司 | 一种aoi自动光学无损检测设备 |
| CN112881411B (zh) * | 2021-01-20 | 2022-01-11 | 江苏方桥智能科技股份有限公司 | 一种aoi自动光学无损检测设备 |
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