JPS5888202A - 駆動装置 - Google Patents
駆動装置Info
- Publication number
- JPS5888202A JPS5888202A JP18738481A JP18738481A JPS5888202A JP S5888202 A JPS5888202 A JP S5888202A JP 18738481 A JP18738481 A JP 18738481A JP 18738481 A JP18738481 A JP 18738481A JP S5888202 A JPS5888202 A JP S5888202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deviation
- load
- servo motor
- input
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B9/00—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member
- F15B9/02—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type
- F15B9/03—Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type with electrical control means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
末完明け、負荷を駆動する装置に関する。
負荷を位置決めおよび追従制御するために、従来から、
サーボモータまたは油圧シリンダなどの流体圧アクチュ
エータが用いられている。サーボモータを用いれば、高
精度の制御を行なうことができるけれども、その出力容
量には限度があり、容量が大きくなるに従って応答性が
低下するという問題がある。このことは特にアームの上
下旋回などによってサーボモータが負の高荷重状態とな
ったときに著しい。しかるに、流体圧アクチュエ。−夕
を用いれば、大きい推力またはトルクを得ることはでき
るけれども、加工精度および流体圧の温度特性などに依
存して精度に限度がある。
サーボモータまたは油圧シリンダなどの流体圧アクチュ
エータが用いられている。サーボモータを用いれば、高
精度の制御を行なうことができるけれども、その出力容
量には限度があり、容量が大きくなるに従って応答性が
低下するという問題がある。このことは特にアームの上
下旋回などによってサーボモータが負の高荷重状態とな
ったときに著しい。しかるに、流体圧アクチュエ。−夕
を用いれば、大きい推力またはトルクを得ることはでき
るけれども、加工精度および流体圧の温度特性などに依
存して精度に限度がある。
本発明の目的は、負荷を高推力または高トルクでかつ高
精度の位置決めおよび優れた応答性を得るようにした駆
動装置を提供することである。
精度の位置決めおよび優れた応答性を得るようにした駆
動装置を提供することである。
第1図は本発明の一実施の正面図である。固定fsl上
には、支持台2が立設されており、この支持台2の上部
には水平軸線を有するピン3によってアーム4が回転自
在に枢支される。アーム4の一端部には、負荷5が連結
されている。アーム4の他端部には、ピン3と平行な水
平軸線を有するピン6によって、筒体7の端部が枢支さ
れている。
には、支持台2が立設されており、この支持台2の上部
には水平軸線を有するピン3によってアーム4が回転自
在に枢支される。アーム4の一端部には、負荷5が連結
されている。アーム4の他端部には、ピン3と平行な水
平軸線を有するピン6によって、筒体7の端部が枢支さ
れている。
この筒体7の他端部には、ナツト8が固定されておりこ
のナツト8にはポールねじのねじ捧9が暉合する。この
ねじ捧9ii′筒体7内に挿入されることができる。ね
じ捧9け、サーボモーター0によって回転駆動される。
のナツト8にはポールねじのねじ捧9が暉合する。この
ねじ捧9ii′筒体7内に挿入されることができる。ね
じ捧9け、サーボモーター0によって回転駆動される。
サーボモーター0け、ピン3と平行な水平軸線を有する
トラニオン軸11によって、支持台2に固定されたプラ
ツク)12に支持される。ピン3に関してピン6とは反
対側には、そのピン3に平行な水平軸線を有するもう1
つのピン13によって油圧シリング−4のピストン棒1
5が枢支される。シリング−4#−t、クレビスビン1
6によって、支持台2に固定されたブラケット17に枢
支される。
トラニオン軸11によって、支持台2に固定されたプラ
ツク)12に支持される。ピン3に関してピン6とは反
対側には、そのピン3に平行な水平軸線を有するもう1
つのピン13によって油圧シリング−4のピストン棒1
5が枢支される。シリング−4#−t、クレビスビン1
6によって、支持台2に固定されたブラケット17に枢
支される。
第2図は、サーボモーター0およびシリング−4に関連
する回路図である。偏差力2ンタ18の一方の入力19
には、サーボモーター0による位置決めを行なうための
変位量を表わす指令パルスが入力される。偏差カウンタ
18のもう1つの入力20には、ね◆俸9の正回転捷た
け逆回転に対応した極性を有する信号が与えられる。こ
の偏差カウンタ18のさらにもう1つの入力21には、
サーボモータ10の変位量を検出する噴出器22からの
パルスが与えられる。λカ19.21からのパルスの差
を表わす偏差パルスは、ライン23からデジタル/アナ
ログ変換器24に与えられて電圧値に変換され、減算器
25の一方の久方に与えられる。減算器25の使方の入
力にけ、検出器22によって検出された速實を表わすデ
ジp /L74g号が、周波数/電圧変換器26から与
えられる。
する回路図である。偏差力2ンタ18の一方の入力19
には、サーボモーター0による位置決めを行なうための
変位量を表わす指令パルスが入力される。偏差カウンタ
18のもう1つの入力20には、ね◆俸9の正回転捷た
け逆回転に対応した極性を有する信号が与えられる。こ
の偏差カウンタ18のさらにもう1つの入力21には、
サーボモータ10の変位量を検出する噴出器22からの
パルスが与えられる。λカ19.21からのパルスの差
を表わす偏差パルスは、ライン23からデジタル/アナ
ログ変換器24に与えられて電圧値に変換され、減算器
25の一方の久方に与えられる。減算器25の使方の入
力にけ、検出器22によって検出された速實を表わすデ
ジp /L74g号が、周波数/電圧変換器26から与
えられる。
減算器25からの偏差電圧は、ライン28から増幅器2
9を介してサーボモータ1oに与えられる。
9を介してサーボモータ1oに与えられる。
検出JJ22,1.ら入力21に与えられる信号および
周波数/電圧変換426からの出力は、負帰還され、ラ
イン28における偏差電圧が入力19から与えられる指
令パルスのパルス数に対応する速変を維持する様にサー
ボ卓−夕1oけねじ捧9を駆動する。
周波数/電圧変換426からの出力は、負帰還され、ラ
イン28における偏差電圧が入力19から与えられる指
令パルスのパルス数に対応する速変を維持する様にサー
ボ卓−夕1oけねじ捧9を駆動する。
ライン28からの偏差電圧はまた、増幅器30によって
増幅され、ライン31から零電圧リレー32に与えられ
る。この零電圧リレー32け、ライン31からの出力が
予め定めた個未満であるときに導通し、その予め定めた
値以上であるときに遮断する機能を有する。零電圧リレ
ー32からの出力は、絶対値回路33に与えられる。
増幅され、ライン31から零電圧リレー32に与えられ
る。この零電圧リレー32け、ライン31からの出力が
予め定めた個未満であるときに導通し、その予め定めた
値以上であるときに遮断する機能を有する。零電圧リレ
ー32からの出力は、絶対値回路33に与えられる。
絶対値回路33け、第3図に示されるように正負にわた
る入力電圧の絶対値に対応した出力を導出する。絶対値
回路33からの出力は、電圧/同波数変換器34によっ
て周波数に変換されて偏差カウンタ35の一方の入力3
6に与えられる。偏差カウンタ3゛5の他方の入力37
には、零電圧リレー32からの出力が与えられる。偏差
カウンタ35は、入力37に与えられる極性を有する入
力36からのパルスをライン38にJ0出しかつ保持す
る。デジタル/アナログ変換器39は、偏差カウンタ3
5からの出力を電圧値に変換する。この電圧値は、増幅
器40によって増幅され、加算器41の一方の入力に与
えられる。加算器41のもう1つの入力には、ライン3
1からの信号が零電圧リレー42を介して与えられる。
る入力電圧の絶対値に対応した出力を導出する。絶対値
回路33からの出力は、電圧/同波数変換器34によっ
て周波数に変換されて偏差カウンタ35の一方の入力3
6に与えられる。偏差カウンタ3゛5の他方の入力37
には、零電圧リレー32からの出力が与えられる。偏差
カウンタ35は、入力37に与えられる極性を有する入
力36からのパルスをライン38にJ0出しかつ保持す
る。デジタル/アナログ変換器39は、偏差カウンタ3
5からの出力を電圧値に変換する。この電圧値は、増幅
器40によって増幅され、加算器41の一方の入力に与
えられる。加算器41のもう1つの入力には、ライン3
1からの信号が零電圧リレー42を介して与えられる。
零電圧リレー42は、ライン31の電圧が予め定めた個
未満であるとき遮断し、その予めボめた値以上であると
き導通する機能を有する。加算@41からの出力は、増
幅器43からライン44を介して圧力弁45.46に与
えられる。圧力弁45け、ライン44の電圧が負である
とき、ライン47を介する圧油をシリング14のヘッド
側のシリンダ室48に供給する。もう1つの圧力弁46
は、ライン44の電圧が正であるとき、ライン47から
の圧油をピストン棒15側のシリンダ室49に供給する
。
未満であるとき遮断し、その予めボめた値以上であると
き導通する機能を有する。加算@41からの出力は、増
幅器43からライン44を介して圧力弁45.46に与
えられる。圧力弁45け、ライン44の電圧が負である
とき、ライン47を介する圧油をシリング14のヘッド
側のシリンダ室48に供給する。もう1つの圧力弁46
は、ライン44の電圧が正であるとき、ライン47から
の圧油をピストン棒15側のシリンダ室49に供給する
。
シリンダ室48.49からの闇り泪1はライン50を介
して排出される。圧力弁45.46は、ライン44から
の電圧に比例し是圧力を有する圧油をシリンダ室48.
49にそれぞれ供給する。
して排出される。圧力弁45.46は、ライン44から
の電圧に比例し是圧力を有する圧油をシリンダ室48.
49にそれぞれ供給する。
第1図および第2図に示された実施例の動作をA9、川
する。負荷5が静止している状態では、アーム4には、
負荷5の自重によってピン3の軸線まわりにv;1図の
反時計方向の七′−メントが作用する。そのため筒体7
およびナツト8は、第1図の上方に引っ張られる。これ
によってボールねじのねじ棒9に回転力が作用する。そ
の゛ためサーボモータ10の出力軸がわずかに回転する
。したがって検出器22からパルスが発生し、このパル
スによってライン23には負の偏差パルスが発生する。
する。負荷5が静止している状態では、アーム4には、
負荷5の自重によってピン3の軸線まわりにv;1図の
反時計方向の七′−メントが作用する。そのため筒体7
およびナツト8は、第1図の上方に引っ張られる。これ
によってボールねじのねじ棒9に回転力が作用する。そ
の゛ためサーボモータ10の出力軸がわずかに回転する
。したがって検出器22からパルスが発生し、このパル
スによってライン23には負の偏差パルスが発生する。
この偏差パルスによって、サーボモータ10け、負荷5
の自重に起因したねじ棒9のトルクに対抗する方向のト
ルクを発生する。ライン28における偏差電圧はまた増
幅器30によって増幅される。
の自重に起因したねじ棒9のトルクに対抗する方向のト
ルクを発生する。ライン28における偏差電圧はまた増
幅器30によって増幅される。
この増幅されたライン31における電圧は、前記予め定
めた値未満であるので、零電圧リレー32倉介して枦、
対値回路33に与えられて正の電圧となり、この電圧は
周波数に変換されて偏差カクンタ35において保持され
る。ライン28における偏差電圧は負であり、したがっ
て偏差カクンタ35の入力37には負極性の信号が与え
られる。
めた値未満であるので、零電圧リレー32倉介して枦、
対値回路33に与えられて正の電圧となり、この電圧は
周波数に変換されて偏差カクンタ35において保持され
る。ライン28における偏差電圧は負であり、したがっ
て偏差カクンタ35の入力37には負極性の信号が与え
られる。
そのためライン38における負のパルスは、デジタル/
アナログ変換器39によって負のアナログ信号に変換さ
れる。こうして増幅器40、加算器41および増幅器4
3を介してライン44に導出される電圧は負の導性とな
る。したがって圧力弁45が作幼し、ヘッド側のシリン
ダ室48に圧油が供給される。そのためピストン棒15
が伸長する方向に力が+p生じ、アーム4をピン3のl
ll1hlv!!まわりに時計方向にわずかに角変位す
る。これによって検出器22の出力が変化し、ライン2
8における偏差電圧が零に近づき、静的な釣り合いが保
たれる。
アナログ変換器39によって負のアナログ信号に変換さ
れる。こうして増幅器40、加算器41および増幅器4
3を介してライン44に導出される電圧は負の導性とな
る。したがって圧力弁45が作幼し、ヘッド側のシリン
ダ室48に圧油が供給される。そのためピストン棒15
が伸長する方向に力が+p生じ、アーム4をピン3のl
ll1hlv!!まわりに時計方向にわずかに角変位す
る。これによって検出器22の出力が変化し、ライン2
8における偏差電圧が零に近づき、静的な釣り合いが保
たれる。
このようにして負荷5が静1トしている状態においては
、シリンダ14の働きによって負荷5の自重に、起因し
た力を苧けてアーム4を静市したままに保つことが可能
となる。そのためサーボモータ10ノ’4炉を小さくす
ることができる。また負荷5の上下の位置け、サーボモ
ータ10による変位量を検出する検出器22からの出力
が負帰還されるので、位置決めおよび追従用a1が高精
度で行なわれることになる。
、シリンダ14の働きによって負荷5の自重に、起因し
た力を苧けてアーム4を静市したままに保つことが可能
となる。そのためサーボモータ10ノ’4炉を小さくす
ることができる。また負荷5の上下の位置け、サーボモ
ータ10による変位量を検出する検出器22からの出力
が負帰還されるので、位置決めおよび追従用a1が高精
度で行なわれることになる。
アーム4をピン3の軸線まわりに時計方向に持ち上げて
上下に旋[川する動作を説明する。この場合、変位量を
表わす指令パルスが偏差カクンタ18の入力19に与え
られ、入力20には負の信号が与えられる。これによっ
てライン28には負の偏差電子が発生する。こうしてサ
ーボモータ10けねじ棒9を回転駆動して筒体7および
ナンド8を下方、に変位するようにねじ棒9を回転駆動
する。
上下に旋[川する動作を説明する。この場合、変位量を
表わす指令パルスが偏差カクンタ18の入力19に与え
られ、入力20には負の信号が与えられる。これによっ
てライン28には負の偏差電子が発生する。こうしてサ
ーボモータ10けねじ棒9を回転駆動して筒体7および
ナンド8を下方、に変位するようにねじ棒9を回転駆動
する。
これと同時に、ライン28の偏差電圧は増幅器30によ
って増幅され、そのためライン31における電圧は零電
圧リレー42の前記予め定める値を超える。したがって
零電圧リレー42が導通する。
って増幅され、そのためライン31における電圧は零電
圧リレー42の前記予め定める値を超える。したがって
零電圧リレー42が導通する。
そのため増幅器43の出力はライン44から午力弁45
に与えられ、これによってヘッド側のシリンダ室48に
圧油が供給される。そのためピストン棒15はアーム4
に上向きの加速力を発揮する。
に与えられ、これによってヘッド側のシリンダ室48に
圧油が供給される。そのためピストン棒15はアーム4
に上向きの加速力を発揮する。
負荷5を第1図の下方に変位するためにアーム4をピン
3の軸線まわりに反時計方向に角変位するにあたっては
、偏差カクンタ18の入力19にその変位量に対応した
指令パルスを与えるとともに、入力20を正極性とする
。これによってライン28には正の偏差電圧が発生し、
サーボモータ10け、筒体7およびナツト8を上方に変
位するようにねじ棒9を回転駆動するとともに、増幅器
30からライン31を介する電圧け、零電圧リレー42
から加算@41、増幅器43およびライン44を介して
圧力弁46に与えられる。そのためピストン捧15側の
シリンダ室49に圧油が供給され、ピストン棒15が縮
小される。サーボモータ10の駆動によって検出器22
の出力が発生され、ライン28における偏差電子が零と
なるまでサーボモータ10およびシリンダ14が1動さ
れる。
3の軸線まわりに反時計方向に角変位するにあたっては
、偏差カクンタ18の入力19にその変位量に対応した
指令パルスを与えるとともに、入力20を正極性とする
。これによってライン28には正の偏差電圧が発生し、
サーボモータ10け、筒体7およびナツト8を上方に変
位するようにねじ棒9を回転駆動するとともに、増幅器
30からライン31を介する電圧け、零電圧リレー42
から加算@41、増幅器43およびライン44を介して
圧力弁46に与えられる。そのためピストン捧15側の
シリンダ室49に圧油が供給され、ピストン棒15が縮
小される。サーボモータ10の駆動によって検出器22
の出力が発生され、ライン28における偏差電子が零と
なるまでサーボモータ10およびシリンダ14が1動さ
れる。
第4図は、本発明の伸の実施例の一部の断面図である。
ねじ* 9u ’−歯車51.52によってサーボモー
タ10に連結されており、このねじ棒9けスラスト軸受
け53.54によって支持体2に固定されたブラケット
55に支持される。このブラケット55には、ラジアル
軸受け56が設けられている。スラスト軸受け53.5
4とブラケット55との間には、ねじ棒9に作用するス
ラスト荷重を検出するた・めの圧力検出器57.58が
それぞれ介在されている。本発明の考え方によれば、圧
力検出器57.58からの出力をライン59に与えるよ
うにしてもよい。このとき、ライン31゜59間に介在
された零電圧リレー32は省略される。
タ10に連結されており、このねじ棒9けスラスト軸受
け53.54によって支持体2に固定されたブラケット
55に支持される。このブラケット55には、ラジアル
軸受け56が設けられている。スラスト軸受け53.5
4とブラケット55との間には、ねじ棒9に作用するス
ラスト荷重を検出するた・めの圧力検出器57.58が
それぞれ介在されている。本発明の考え方によれば、圧
力検出器57.58からの出力をライン59に与えるよ
うにしてもよい。このとき、ライン31゜59間に介在
された零電圧リレー32は省略される。
本発明の他の実権例として、シリンダ14に代えて流体
圧で動作するロータリアクチュエータなどであってもよ
い。サーボモータ10#−j、前述の実施例でけねじ捧
9を駆動したけれども、本発明の他の実施例としてサー
ボモータ10からノ仙力は減速機に伝えられ、この減速
機によって負荷5を躯勅するようにしてもよい。
圧で動作するロータリアクチュエータなどであってもよ
い。サーボモータ10#−j、前述の実施例でけねじ捧
9を駆動したけれども、本発明の他の実施例としてサー
ボモータ10からノ仙力は減速機に伝えられ、この減速
機によって負荷5を躯勅するようにしてもよい。
以上のように本発明によれば、負荷の位置決めおよび追
従制御はサーボモータによって負帰還ループで行なわれ
、高精度の位置決めおよび追従制御が可能になる。また
負荷の静止時および移動のためには流体圧アクチュエー
タが併せて用いられ、これによって負荷を大きい推力ま
たはトルりで移動することができるとともに、サーボモ
ータを小形化することが可能になる。サーボモータの小
形化によって、応答性の低下を防ぐことができる。
従制御はサーボモータによって負帰還ループで行なわれ
、高精度の位置決めおよび追従制御が可能になる。また
負荷の静止時および移動のためには流体圧アクチュエー
タが併せて用いられ、これによって負荷を大きい推力ま
たはトルりで移動することができるとともに、サーボモ
ータを小形化することが可能になる。サーボモータの小
形化によって、応答性の低下を防ぐことができる。
第1図は本発明の一実施例の正面図、第2図は第1図に
示された実施例の回路図、第3図は絶対値回路33の特
性を示すグラフ、第4図は本発明の他Ω実施例の一部の
断面図であ妬。 2・・・支持台、3,6,11,13.16・・・ピン
、4・・・アーム、5・・・負荷、7・・・筒体、8・
・・ナツト、9・・・ねじ捧、10・・・サーボモータ
、14・・・シリング、18.35・・・偏差カクンタ
、22・・・検出器、24.39・・・デジタル/アナ
ログ変換器、25・・・減算器、29,30,40.4
3・・・増幅型、32゜42・・・零電圧リレー、33
・・・絶対値回路、34・・・電圧/周波数変換器、4
5.46・・・圧力弁代理人 弁理士 西教圭一部 lペク泊〃すZ◇ZククSt’/AX乞汐乞lぺt心第
3図 第4図
示された実施例の回路図、第3図は絶対値回路33の特
性を示すグラフ、第4図は本発明の他Ω実施例の一部の
断面図であ妬。 2・・・支持台、3,6,11,13.16・・・ピン
、4・・・アーム、5・・・負荷、7・・・筒体、8・
・・ナツト、9・・・ねじ捧、10・・・サーボモータ
、14・・・シリング、18.35・・・偏差カクンタ
、22・・・検出器、24.39・・・デジタル/アナ
ログ変換器、25・・・減算器、29,30,40.4
3・・・増幅型、32゜42・・・零電圧リレー、33
・・・絶対値回路、34・・・電圧/周波数変換器、4
5.46・・・圧力弁代理人 弁理士 西教圭一部 lペク泊〃すZ◇ZククSt’/AX乞汐乞lぺt心第
3図 第4図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 負荷を駆動するサーボモータと、 負荷の移動を検出する検出器と、 指令信号と噴出器からの検出出力との偏差を求めて、〜
その偏差が零となるようにサーボモータを制御する負帰
還ループを構成する回路と、負荷を駆動する流体圧アク
チュエータと、流体圧アクチュエータへの圧力流体供給
手段と、前記偏差が予め定めた値以上であるとき、流体
圧アクチュエータが前記偏差に対応した力を発生するよ
うに圧力流体供給手段を制御する回路と、前記偏差が予
め定めた値未満であるとき、流体圧アクチュエータがサ
ーボモータに作用する力に抗する偏差に対応した力を発
生するように圧力流体°供給手段を制御する回路とを含
むことを特徴とする駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18738481A JPS5888202A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18738481A JPS5888202A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5888202A true JPS5888202A (ja) | 1983-05-26 |
Family
ID=16205065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18738481A Pending JPS5888202A (ja) | 1981-11-20 | 1981-11-20 | 駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5888202A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590580A (en) * | 1994-02-03 | 1997-01-07 | Smc Corporation | Loading positioning apparatus |
US7784952B2 (en) | 2004-03-10 | 2010-08-31 | Kiwa Chemical Industry Co., Ltd. | Enclosed lens type retroreflective sheet with wide-angle reflective performance and external illumination system |
-
1981
- 1981-11-20 JP JP18738481A patent/JPS5888202A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590580A (en) * | 1994-02-03 | 1997-01-07 | Smc Corporation | Loading positioning apparatus |
US7784952B2 (en) | 2004-03-10 | 2010-08-31 | Kiwa Chemical Industry Co., Ltd. | Enclosed lens type retroreflective sheet with wide-angle reflective performance and external illumination system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5656903A (en) | Master-slave position and motion control system | |
CA2227728C (en) | Slide driving device for presses | |
CN108620948B (zh) | 一种针对空气静压主轴的检测补偿控制*** | |
CA2594644A1 (en) | Movable plate drive device and press slide drive device | |
KR20100035697A (ko) | 인덱싱 장치 | |
JPS5888202A (ja) | 駆動装置 | |
CN108748157B (zh) | 一种用于空间机械臂关节驱动的控制装置及方法 | |
CN105382624A (zh) | 一种双液压缸配重的两轴电转台机构及其补偿倾覆力矩的方法 | |
JPH09105706A (ja) | 6軸負荷装置 | |
JPS61243514A (ja) | ロボツトの制御装置 | |
JPS63261405A (ja) | 昇降位置決め装置 | |
JPH07295649A (ja) | ステージ制御装置 | |
CN105928705B (zh) | 一种可以万向锁紧的气膜性能检测装置 | |
CN107139174B (zh) | 双五杆机构驱动的平面并联机构控制装置及方法 | |
JPH0727419Y2 (ja) | 水車ガイドベーンの操作装置 | |
JP2563528Y2 (ja) | アクチュエータ制御装置 | |
JP3824668B2 (ja) | 電動サーボモータ式調速機の制御装置 | |
JPH06155217A (ja) | 数値制御機械 | |
NO168215B (no) | System for styring av en dreiende mekanisme i en z-type fremdriftsanordning | |
JPH0530560Y2 (ja) | ||
CN109205253B (zh) | 多角度翻转机构 | |
JPS61125789A (ja) | 上下駆動装置 | |
JP2934519B2 (ja) | 重量物対応型平衡荷役装置 | |
JPH01305405A (ja) | エアシリンダの位置決め装置 | |
JPH0560051A (ja) | 可動羽根水車の電動ランナ羽根操作装置 |