JPS587322A - 樹脂封入成形方法とその金型装置 - Google Patents

樹脂封入成形方法とその金型装置

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JPS587322A
JPS587322A JP10524681A JP10524681A JPS587322A JP S587322 A JPS587322 A JP S587322A JP 10524681 A JP10524681 A JP 10524681A JP 10524681 A JP10524681 A JP 10524681A JP S587322 A JPS587322 A JP S587322A
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  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、樹脂封入成形方法とその金型装置の改良に
関するものである。
ところで、電力用集積回路等の半導体チップを取り付け
た放熱板付リードフレームの樹脂封入酸、形を行なう場
合は、回路に発生する熱を外部へ有効に放熱させる目的
で、放熱板の表面部を成形品の外面に露出させる必要が
ある、) 本願発明者+4!+は、先に、上記樹脂封入成形時にお
いて、キャピテイ内に加圧注入される溶融樹脂が放熱板
の露出面側となる表面部に附着するのを可及的に防止し
て長幼な放熱効巣を奏し得るように、キャピテイの底面
に、放熱板の上記表面部の周縁形状に沿って、これより
も若干狭小となるような凹所を形成2し、上型及び下型
にょる型締時において、放熱板表面部の周縁がキャビテ
ィの上記凹所における周縁に圧接されるように構成し、
放熱板と凹所との側周縁間に加えられる圧接力を1用し
て、キャビティ内に加圧注入される溶融樹脂が上記凹所
内に侵入するのを阻止することにより、上記表面部側に
対する樹脂の耐着防止を図るようにした方法を提供した
(特公昭56−22372号)。
然して、上記方法によると、放熱板と凹所との側周縁間
に加えられる圧接力のため、キャビティ底面における凹
所内への溶融樹脂の侵入阻止効果が認められるが、その
反面、上記側周縁間には局部的な圧接力が加えられるこ
とになるから、該両局縁部の損耗が激しいこと、並びに
、キャビティ内に加圧注入される溶融樹脂は、放熱板の
大小形状及び材質の強弱によって微差はあるが、通常、
ld、当たり35〜100Kfの注入圧力か加えられる
こと等から、成形品が凹所側へ全体的に彎曲変形されて
、製品(半導体)の品質を著しく低下させるといった弊
害があるのみならず、金型装置におけるキャピテイ部を
損傷し易い等の欠点を有していた。
この発明は、樹脂封入成形時において、キャビティ内に
加圧注入される溶融樹脂か放熱板の露出面側となる表面
部に附着するのを効率良く防止するのみならず、上述し
たような成形品の彎曲変形を防止して製品の品質向上を
図ると共に、キャピテイ部の耐久性向上を図るようにし
た樹脂封入成形方法とその金型装置の改良に関するもの
である。
以下、本発明金型装置を図に示す実施例に基づいて説明
する。
図において、1rli上型、2は下型で該上下両型の接
合面には通常複数対のキャピテイ3が対設されると共に
、下型2側にはポット側と連通ずるランナー4及び溶融
樹脂Aの加圧注入用ゲート5が形成されており、6は上
下両型1・2間にセットされた放熱板7を有するリード
フレームである。
8は下型2のキャピテイ底面3aVCfJけられた上記
放熱板7の支受体であり、該支受体の上面はキャビティ
底面3aと面一となるように形成されている。 9は上
記支受体8の外周囲に設けられた凹陥部であり、該凹陥
部の周縁9aは、放熱板の露出面側となる表面部7aの
周縁形状に沿って、これよりも若干狭小となるように形
成されている。lOは上記凹陥部9の適当個所に数本配
設された成形品突出用のニジ−フタ−ビンである。
、なお、上記支受体8Vi、第1図乃至第3図に示すよ
うに、適当な大きさ及び形状として一個配設されておれ
ばよいが、第4図に示すように、複数個配設しても差支
えなく、また、上記ニジ−フタ、−ビン10′は、第3
図に示すように、支受体8内に連通開孔した上下方向の
貫通孔内に嵌装させるようにしてもよい。 更に、上記
支受体8の上面はキャピテイ底面と面一に設げられてお
ればよいから、従来のキャビティ底面部を、第1図乃至
第4図に示すように、支受体8に相当する部分を残して
切削加工することによって、夫々の凹陥部9を設けるよ
うにしてもよく、また、支受体8を別素材等によって別
体に形成すると共に、これを凹所内にボルト等にて止着
する構成を採用してもよい。
また、第1図乃至第4図に示す各実施例は、支受体8を
その上面がキャビティ底面と面一となる状態で固定的に
設けたものであるが、このような専用の支受体8に換え
て、例えば、第5図乃至オ8図に示すように、キャピテ
イ底面3aに、放熱板の前記表面部7aの周縁形状に沿
って、これよりも若干狭小となるような単なる凹陥部9
Iを形成すると共に、該凹陥部の略中央位置に稍大径と
されたニジ−フタ−ビン10’を嵌装配設し、且つ、該
ピンの上端面を、型締時若しくは溶融樹脂Aの加圧注入
時に先立ってキャピテイ底面3aと面一となる位置へ突
設可能に配設することにより、前記支受体8を兼用し得
る構成を採用してもよい。
なお、上記ニジ−フタ−ビン10’は、第5図乃至26
図に示すように、稍大径に形成されたものが一本設けら
れておればよいが、オフ図に示すように、これを複数本
として配設するようにしてもよい。 また、支受体8を
兼ねるニジ−フタ−ビン10「の上端部に、第8図に示
すように、上端部側が小、径とされた段部11を形成し
てお叶ば、仮りに、上記凹陥部9°内に溶融樹脂Aが侵
入した場合においても、該段部によって侵入樹脂の積極
的な以下、本発明金型装置による樹脂封入成形作用を説
明する。
キャピテイ3内への溶融樹脂Aの加圧注入は、リードフ
レーム6を上下両型1・2間にセットすると共に、該両
型による型締後に行なわれるのであるか、との型締時に
おいて、リードフレーム6の放熱板における前記表面部
7aの周縁と凹陥部9・9°の周縁9aとは圧接される
から、該周縁間より凹陥部9・9曾内への溶融樹脂Aの
侵入が阻止されることになる。
然して、このとき放熱板の前記表面部7aは支受体8の
上面(又は、エジェクタービン10’の上端面)によっ
て、恰も、従来のキャピテイ底面部が存在するかのよう
に支受されることとなるため、両局縁間の上記圧接力が
若干弱められるが、溶融樹脂Aの上記表面部7a側への
侵入阻止作用を損なうようなことはない。
また、仮りに、リードフレーム6側が彎曲変形し、上記
側周縁に生じた間隙から樹脂Aが凹陥部19・9I内に
侵入したとしても、その侵入樹脂は該凹陥部の下方に順
次流れ込むことになり、また、上記侵入樹脂量は実際に
は極めて僅少であること等から、結局、該侵入樹脂が上
記表面部7a側の全面にわたって附着するのを効率良く
防止し得るのである。
また、キャピテイ底面3aK設けた支受体8(10’)
によって、放熱板7が、前述した先の出願のもの □の
ように、該支受体側へ彎曲変形されるのを確実に防止し
得るから、製品(半導体)の品質低下を防止し得ると共
に、前記両局縁間に間隙が生ずることがなく、従って、
このことが凹陥部9・9曾内への樹脂侵入を確実に阻止
するよう一作用することとなるのである。
以上、要するに、本発明は、放熱板付リードフレームを
上型と下型との間に設けられるキャビティに対してセッ
トするに際して、リードフレームの放熱板における露出
面側となる表面部の周縁を、上記キャビティ底面におい
て、上記表面部の周縁よりも若干狭小となる状態として
形成した凹陥部の周縁に一層させると共に、上記表面部
をキャビティ底面と面一となるような支受体の上面部に
て支受させるようにして樹脂封入成形する方法と、この
方法を実施するため、上型と下型との間に設けられるキ
ャビティの底面に、リードフレームの放熱板における露
出面側となる表面部の周縁形状に沿って、これよりも若
干狭小となるような周縁を有する凹陥部を形成すると共
に、該凹陥部内には放熱板の上記表面部をキャビティ底
面と面一となる位置にて支受可能な支受体を配設した樹
脂封入成形用金型装置に係るものであり、このような本
発明によれば、リードフレームの放熱板における露出面
側となる表面部の全面に溶融樹脂が附着するのをより一
層確実に防止することができるのであり、特に、上記し
た溶融樹脂の耐着防止を目的として形成したキャピテイ
底面の凹陥部内に支受体(又は、廃用エジークタービン
)を配設したことによって、リードフレーム側がその材
質の強弱にかかわらず上記凹陥部側へ彎曲変形すること
がないため、前述した先の出塵に有した弊害を完全に除
去し得るのみならず、製品の品質向上と金型装置におけ
るキャビティ部の耐久性を向上することができるといっ
た優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
図はいずれも本発明金型装置の実施例を示すもので、第
1図は上下両型による型締時におけるキャピテイ部の断
面図、第2図はその下型キャピテイ底面の要部平面図、
第3図及び第4図は第1図の下型キャピテイの他の実施
例を示す要部平面図、第5図は第1図の支受体の他の実
施例を示すキャピテイ部の断面図、第6図はその下型キ
ャピテイ底面の要部平面図、オフ図は第5図の下型キャ
ピテイの他の実施例を示す要部平面図、第8図は第5図
の支受体兼用ニジ−フタ−ビンの他の実施例を示すキャ
ピテイ韻断面図である。 1・・・上型、  2・・・下型、 3・曽・キャビテ
ィ、   3a・・・キャビティ底面、6・譬・リード
フレーム、  7・、・放熱板、7a・・・表面部、 
8・・・支受体、9・9L  ・拳・凹陥部、9a・・
・凹埴部の周縁、10′・・争支受体兼用エジークター
ビン。 特許出願人  坂 東 −雄

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)放熱板付リードフレームを上型と下型との間lc
    9けられるキャビティに対してセットするに際して、リ
    ードフレームの放熱板における露出面側となる表面部の
    周縁を、上記キャピテイ底面において、上記表面部の周
    縁よりも若干狭小となる状態として形成した凹陥部の周
    縁に接当させると共に、上記表面部をキャピテイ底面と
    面一となるような支受体の上面部にて支受させるように
    セラ“)して成形することを特徴とする樹脂封入成形方
    法。
  2. (2)上型と下型との間に設けられるキャビティの底面
    に、リードフレームの放熱板における露出面側となる表
    面部の周縁形状に沿って、これよりも若干狭小となるよ
    うな周縁を有する凹陥部を形成すると共に、該凹陥部内
    には放熱板の上記表面部をキャピテイ底面と面一となる
    位置にて支受可能な支受体を配設したことを特徴とする
    樹脂封入成形用金型装置。
  3. (3)凹陥部内に放熱板表面部の支受体を固定的に配設
    したことを特徴とする特許請求の範囲オ(2)項記載の
    樹脂封入成形用金型装置。
  4. (4)凹陥部内に配設される樹脂成形品突出用のエジェ
    クタービンを放熱板表面部の支受体として兼用したこと
    を特徴とする特許請求の範囲オ(2)項記載の樹脂封入
    成形用金型装置。
JP10524681A 1981-07-06 1981-07-06 樹脂封入成形方法とその金型装置 Granted JPS587322A (ja)

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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6038001A (ja) * 1983-08-09 1985-02-27 Nippon Zeon Co Ltd 蒸溜塔の制御方法
US4641418A (en) * 1982-08-30 1987-02-10 International Rectifier Corporation Molding process for semiconductor devices and lead frame structure therefor
US4872825A (en) * 1984-05-23 1989-10-10 Ross Milton I Method and apparatus for making encapsulated electronic circuit devices
US5035594A (en) * 1989-08-11 1991-07-30 Toyo Seikan Kaisha, Ltd. Compression molding apparatus
US5091341A (en) * 1989-05-22 1992-02-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of sealing semiconductor device with resin by pressing a lead frame to a heat sink using an upper mold pressure member
US5441684A (en) * 1993-09-24 1995-08-15 Vlsi Technology, Inc. Method of forming molded plastic packages with integrated heat sinks
JP2009140951A (ja) * 2007-12-03 2009-06-25 Denso Corp 電子装置の製造方法
JP2014143240A (ja) * 2013-01-22 2014-08-07 Shindengen Electric Mfg Co Ltd モールド金型、該モールド金型を用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法、および樹脂封止型半導体装置
JP2015173170A (ja) * 2014-03-11 2015-10-01 セイコーインスツル株式会社 樹脂封止金型およびそれを用いた半導体装置の製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5791246U (ja) * 1980-11-26 1982-06-04

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5791246U (ja) * 1980-11-26 1982-06-04

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4641418A (en) * 1982-08-30 1987-02-10 International Rectifier Corporation Molding process for semiconductor devices and lead frame structure therefor
JPS6038001A (ja) * 1983-08-09 1985-02-27 Nippon Zeon Co Ltd 蒸溜塔の制御方法
JPH0567321B2 (ja) * 1983-08-09 1993-09-24 Nippon Zeon Co
US4872825A (en) * 1984-05-23 1989-10-10 Ross Milton I Method and apparatus for making encapsulated electronic circuit devices
US5091341A (en) * 1989-05-22 1992-02-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of sealing semiconductor device with resin by pressing a lead frame to a heat sink using an upper mold pressure member
US5035594A (en) * 1989-08-11 1991-07-30 Toyo Seikan Kaisha, Ltd. Compression molding apparatus
US5441684A (en) * 1993-09-24 1995-08-15 Vlsi Technology, Inc. Method of forming molded plastic packages with integrated heat sinks
JP2009140951A (ja) * 2007-12-03 2009-06-25 Denso Corp 電子装置の製造方法
JP2014143240A (ja) * 2013-01-22 2014-08-07 Shindengen Electric Mfg Co Ltd モールド金型、該モールド金型を用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法、および樹脂封止型半導体装置
JP2015173170A (ja) * 2014-03-11 2015-10-01 セイコーインスツル株式会社 樹脂封止金型およびそれを用いた半導体装置の製造方法

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