JPS5975429A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度記録特性の優れた、垂直磁気記録用の媒
体に関する。

従来例の構成とその問題点 短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直磁気
記録方式がある。この方式においては、媒体の膜面に略
垂直方向が磁化容易軸である垂直磁気記録媒体が必要と
なる。このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒
体の膜面に略垂直方向を向き、従って信号が短波長にな
る程媒体内反磁界は減少し、優れた再生出力が得られる
。単層膜媒体と呼ばれるＣｏ−Ｃｒ垂直磁気記録媒体は
、非磁性材料より成る基板上に、ＣｏとＣｒを主成分と
する垂直磁化膜を、スパッタリング法や真空蒸着法（イ
オンブレーティング法のように蒸発原子の一部をイオン
化して蒸着する方法も含む）で形成したものである。こ
のような構造の単層膜媒体に対し、第１図に示すような
、非磁性材料より成る基板１とＣｏ　−Ｃｒ垂直磁化膜
２との間に、パーマロイ膜３を設けた、いわゆる２層膜
媒体と呼ばれる構造にすることにより、記録効率及び再
生出力が向上することが知られている。特に公知の面助
磁他励磁型垂直ヘッドを用いて記録内生を行なう際には
、記録効率が約２ｏｄＢ改善され、再生出力が約２０ｄ
Ｂ向上する。

第１図に示すような２層膜媒体が、優れた記録再生特性
を有するためには、Ｃｏ　−Ｃｒ垂直磁化膜におけるｈ
ａｐ構造のＣ軸が膜面に垂直方向を向くことが必要であ
る。そのためには、パーマロイ膜３のｆｃｃ構造の（１
１１）面を膜面に平行に配向させることが要求されるが
、Ａｔや高分子材料等の非磁性制別」、り成る基板上に
、このような・り−７０イ膜を形成することは困難であ
る。このような困難を解決するために、第２図に示すよ
うな構造の２層膜媒体が考えられている。第２図に示し
た媒体においては、非磁性材料より成る基板上に単層構
造の“ｆ’ｉ膜４を介して、パーマロイ膜３が形成され
ている。このような構造にすることにより、パーマロイ
膜の（１１１）面が膜面に平行に配向しやすくなり、そ
の結果ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２のＣ軸配向性も良くなり
、記録再生特性が向上する０以」−のように、２層膜媒
体、特に第２図に示したような２層膜媒体によれば、浸
れた記録再生特性が得られるが、オーディオテープレコ
ーダーやビデオテープレコーダー等の磁気記録再生装置
の小型化を考えると、まだ十分な特性とは言えず、更な
る記録再生特性の向上が望まれている０発明の目的 本発明は従来の２層膜媒体に比べ、更に記録再生特性の
優れた２層膜媒体を提供することを目的とする。

発明の構成 本発明は基板上にＴｉ膜が形成され、その上にパーマロ
イ膜を介してＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜が形成された２層膜
媒体において、前記Ｔｉ１１ｇが多層構造を有すること
を特徴とするものである。

以上のような構成にすることにより、従来の２層膜媒体
に比べ、パーマロイ膜及びＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の配向
性が良くなり、その結果記録再生特性が向上するもので
ある。

実施例の説明 第３図〜第４図を用いて本発明の説明を行なうＯ第３図
は本発明の２層膜媒体の基本構成を示し、第２図に示し
た従来の２層膜媒体に対し、ｒ１膜の構造が異なる。す
なわち、従来の２層媒体における１゛ｉ膜は単層構造に
なっているのに対し、本発明では多層構造になっている
。なお、ここで言う単層構造とは、Ｔｌの全膜厚にわた
って連続的に析出された構造のことである。第３図は２
層構造の゛ｒｉＴｉ膜設けた場合を示しており、この構
造はＴｉの全膜厚にわたって、連続的に膜を析出するの
ではなく、析出途中で一旦析出を停止し、再び析出を開
始して作製された膜のことである。

３層以上の構造の膜も同様である。なお、２層以上の構
造を多層構造と称する。このように析出途中で一旦析出
を停止すると、析出が停止している間に、表面酸化２表
面温度の低下等が生じ、再び析出を開始して、全膜厚を
形成しても、析出を停止した部分に境界層が生じる。こ
の層はＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）等により観察される
。

Ｔｉ膜を多層構造にして、第３図に示したような構造を
有する２層膜媒体を作製し、パーマロイ膜及びＧｏ−Ｃ
ｒ膜の配向性及び記録再生特性を測定すると、両膜の配
向性が従来の２層膜媒体よりも良くなっており、また再
生出力がＪ首加することが確かめられた。以下にこのこ
とを説明する。

下の表は従来及び本発明の２層膜媒体のパーマロイ膜及
びｃｏ−Ｃｒ膜の配向性をまとめて示す。

なお、パーマロイ膜の配向性は（１１１）而に関するロ
ッキング曲線の半値幅△θ５゜（１１１）　、（、、’
ｏ　−Ｃｒ膜の配向性は（００２，）面に関するロッキ
ング曲線の半値幅△θ５゜（００２）　で表わし、これ
らの値が小さい程、配向性が良いことを意味する。

上の表から、従来の２層膜媒体においては、△θｓｏ　
（１ｉ　１）　　は２３°及び１２°であるのに対し、
本発明のものでは８°になっておシ、またΔθｅｓｏ　
（００２）　は従来の２ｏ０及び１０°に対し、本発明
では６°になっていることがわかる。このように、本発
明の２層膜媒体においては、従来の膜に対し、△θｓｏ
（１１１）　　及びΔ（／６ｏ（００２）ともに小さく
なっており、配向性が良くなっている。

第４図は２層膜媒体において、ｆｌ膜の全膜厚と構造を
変えた場合の再生出力を示している。なお、パーマロイ
膜及びｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の膜厚は、いずれも１５０
０人一定にしである。丑だ、信号の記録再生は補助磁極
励磁型垂直ヘッドで行ない、記録密度は５０ＫＦＲＰＩ
と１７た。なお、６０ＫＦＲＰＩとは１インチ当たり５
００００回磁化反転のあるディジタル信号の記録状態で
ある。第４図の曲線６は第２図に示したよりなＴｉ膜が
単層構造の場合である。曲線７及び８は本発明の媒体で
あり、Ｔ１膜がそれぞれ２層及び３層構造の場合である
。第４図から、“Ｔｉ膜の全膜厚が一定である場合には
、ｆ１膜を多層構造にすることにより、従来の２層膜媒
体よりも再生出力が高くなることがわかる。

次により具体的な実施例の説明を行う。

第１の実施例 第５図を用いて本発明の第１の実施例について説明する
。同図において、９は膜厚１２μｍの酬熱性高分子相料
より成るフィルム、２，３はそれぞれ膜厚１５００への
Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜及び膜厚１５００人のパーマロイ
膜である。１ｏは１層当たり３００Ａの１’ｉ膜を３層
重ねた３層構造の’ｌ’　ｉ膜である。この様な構造の
２層膜媒体に補助磁極励磁型垂直ヘッドで１００ＫＦＲ
ＰＩの信号を記録し再生すると、従来のＣｏ含有酸化鉄
塗布型媒体に対し２２ｄ、Ｂ高い再生出力が得られた。

丑だ、Ｔｉ膜が単層構造で膜厚９００八である以外は、
第５図と同じ構造の２層膜媒体に対しても、５ｄＢ高い
出力が得られた。

第２の実施例 第６図を用いて本発明の第２の実施例について説明する
。パーマロイ膜とＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜との間に膜厚４
０〇へのｒｉ膜が存在する以外は、第５図の場合と同じ
構造である。このｆ’ｉ膜はＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の配
向性を良ぐするために設けである。このような構造の２
層膜媒体に補助磁極励磁型垂直ヘッドで１００ＫＦ’Ｒ
ＰＩの信号を記録し再生すると、従来のＣｏ含有酸化鉄
塗布型媒体に対し２４　ｄＢ高い再生出力が得られた。

発明の効果 本発明によれば、記録再生特性の優れた垂直磁気記録媒
体を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は従来の２層膜媒体の構造を示す図、
第３図は本発明の磁気記録媒体の基本構成を示す図、第
４図は本発明の詳細な説明するためのもので、Ｔｉ膜の
全膜厚と再生出力との関係を示す図である。第６図及び
第６図はそれぞれ本発明の第１．第２の実施例である磁
気記録媒体を示す図である。 ２・・・Ｃｏ−０ｒ垂直磁化膜、３・・・・ノく−マロ
イ膜、４・・・・単層構造のＴｉ膜、６・・・・・２層
構造の”Ｔｉ膜、１０・・・・・・３層構造のＴｉ　膜
０代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第
　１１ＸＩ 第２図 第３図 第４図 ０５０ｏ　　１ｏｏｏ　　１５００ Ｔ膜の４」見η（Ａ） 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性材料より成る基板上にＴｉ膜が形成され、その′
   ｒｉ膜上にパーマロイ膜が形成され、さらにそのパーマ
   ロイ膜上に直接にあるいは非磁性層を介してＣＯとＯｒ
   を主成分とする垂直磁化膜が形成され、前記Ｔｉ膜が多
   層構造を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。