JPS5975429A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPS5975429A JPS5975429A JP57186435A JP18643582A JPS5975429A JP S5975429 A JPS5975429 A JP S5975429A JP 57186435 A JP57186435 A JP 57186435A JP 18643582 A JP18643582 A JP 18643582A JP S5975429 A JPS5975429 A JP S5975429A
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- JP
- Japan
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- layer
- permalloy
- medium
- recording
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- Pending
Links
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 12
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度記録特性の優れた、垂直磁気記録用の媒
体に関する。
体に関する。
従来例の構成とその問題点
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直磁気
記録方式がある。この方式においては、媒体の膜面に略
垂直方向が磁化容易軸である垂直磁気記録媒体が必要と
なる。このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒
体の膜面に略垂直方向を向き、従って信号が短波長にな
る程媒体内反磁界は減少し、優れた再生出力が得られる
。単層膜媒体と呼ばれるCo−Cr垂直磁気記録媒体は
、非磁性材料より成る基板上に、CoとCrを主成分と
する垂直磁化膜を、スパッタリング法や真空蒸着法(イ
オンブレーティング法のように蒸発原子の一部をイオン
化して蒸着する方法も含む)で形成したものである。こ
のような構造の単層膜媒体に対し、第1図に示すような
、非磁性材料より成る基板1とCo −Cr垂直磁化膜
2との間に、パーマロイ膜3を設けた、いわゆる2層膜
媒体と呼ばれる構造にすることにより、記録効率及び再
生出力が向上することが知られている。特に公知の面助
磁他励磁型垂直ヘッドを用いて記録内生を行なう際には
、記録効率が約2odB改善され、再生出力が約20d
B向上する。
記録方式がある。この方式においては、媒体の膜面に略
垂直方向が磁化容易軸である垂直磁気記録媒体が必要と
なる。このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒
体の膜面に略垂直方向を向き、従って信号が短波長にな
る程媒体内反磁界は減少し、優れた再生出力が得られる
。単層膜媒体と呼ばれるCo−Cr垂直磁気記録媒体は
、非磁性材料より成る基板上に、CoとCrを主成分と
する垂直磁化膜を、スパッタリング法や真空蒸着法(イ
オンブレーティング法のように蒸発原子の一部をイオン
化して蒸着する方法も含む)で形成したものである。こ
のような構造の単層膜媒体に対し、第1図に示すような
、非磁性材料より成る基板1とCo −Cr垂直磁化膜
2との間に、パーマロイ膜3を設けた、いわゆる2層膜
媒体と呼ばれる構造にすることにより、記録効率及び再
生出力が向上することが知られている。特に公知の面助
磁他励磁型垂直ヘッドを用いて記録内生を行なう際には
、記録効率が約2odB改善され、再生出力が約20d
B向上する。
第1図に示すような2層膜媒体が、優れた記録再生特性
を有するためには、Co −Cr垂直磁化膜におけるh
ap構造のC軸が膜面に垂直方向を向くことが必要であ
る。そのためには、パーマロイ膜3のfcc構造の(1
11)面を膜面に平行に配向させることが要求されるが
、Atや高分子材料等の非磁性制別」、り成る基板上に
、このような・り−70イ膜を形成することは困難であ
る。このような困難を解決するために、第2図に示すよ
うな構造の2層膜媒体が考えられている。第2図に示し
た媒体においては、非磁性材料より成る基板上に単層構
造の“f’i膜4を介して、パーマロイ膜3が形成され
ている。このような構造にすることにより、パーマロイ
膜の(111)面が膜面に平行に配向しやすくなり、そ
の結果co−Cr垂直磁化膜2のC軸配向性も良くなり
、記録再生特性が向上する0以」−のように、2層膜媒
体、特に第2図に示したような2層膜媒体によれば、浸
れた記録再生特性が得られるが、オーディオテープレコ
ーダーやビデオテープレコーダー等の磁気記録再生装置
の小型化を考えると、まだ十分な特性とは言えず、更な
る記録再生特性の向上が望まれている0発明の目的 本発明は従来の2層膜媒体に比べ、更に記録再生特性の
優れた2層膜媒体を提供することを目的とする。
を有するためには、Co −Cr垂直磁化膜におけるh
ap構造のC軸が膜面に垂直方向を向くことが必要であ
る。そのためには、パーマロイ膜3のfcc構造の(1
11)面を膜面に平行に配向させることが要求されるが
、Atや高分子材料等の非磁性制別」、り成る基板上に
、このような・り−70イ膜を形成することは困難であ
る。このような困難を解決するために、第2図に示すよ
うな構造の2層膜媒体が考えられている。第2図に示し
た媒体においては、非磁性材料より成る基板上に単層構
造の“f’i膜4を介して、パーマロイ膜3が形成され
ている。このような構造にすることにより、パーマロイ
膜の(111)面が膜面に平行に配向しやすくなり、そ
の結果co−Cr垂直磁化膜2のC軸配向性も良くなり
、記録再生特性が向上する0以」−のように、2層膜媒
体、特に第2図に示したような2層膜媒体によれば、浸
れた記録再生特性が得られるが、オーディオテープレコ
ーダーやビデオテープレコーダー等の磁気記録再生装置
の小型化を考えると、まだ十分な特性とは言えず、更な
る記録再生特性の向上が望まれている0発明の目的 本発明は従来の2層膜媒体に比べ、更に記録再生特性の
優れた2層膜媒体を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は基板上にTi膜が形成され、その上にパーマロ
イ膜を介してCo−Cr垂直磁化膜が形成された2層膜
媒体において、前記Ti11gが多層構造を有すること
を特徴とするものである。
イ膜を介してCo−Cr垂直磁化膜が形成された2層膜
媒体において、前記Ti11gが多層構造を有すること
を特徴とするものである。
以上のような構成にすることにより、従来の2層膜媒体
に比べ、パーマロイ膜及びCo−Cr垂直磁化膜の配向
性が良くなり、その結果記録再生特性が向上するもので
ある。
に比べ、パーマロイ膜及びCo−Cr垂直磁化膜の配向
性が良くなり、その結果記録再生特性が向上するもので
ある。
実施例の説明
第3図〜第4図を用いて本発明の説明を行なうO第3図
は本発明の2層膜媒体の基本構成を示し、第2図に示し
た従来の2層膜媒体に対し、r1膜の構造が異なる。す
なわち、従来の2層媒体における1゛i膜は単層構造に
なっているのに対し、本発明では多層構造になっている
。なお、ここで言う単層構造とは、Tlの全膜厚にわた
って連続的に析出された構造のことである。第3図は2
層構造の゛riTi膜設けた場合を示しており、この構
造はTiの全膜厚にわたって、連続的に膜を析出するの
ではなく、析出途中で一旦析出を停止し、再び析出を開
始して作製された膜のことである。
は本発明の2層膜媒体の基本構成を示し、第2図に示し
た従来の2層膜媒体に対し、r1膜の構造が異なる。す
なわち、従来の2層媒体における1゛i膜は単層構造に
なっているのに対し、本発明では多層構造になっている
。なお、ここで言う単層構造とは、Tlの全膜厚にわた
って連続的に析出された構造のことである。第3図は2
層構造の゛riTi膜設けた場合を示しており、この構
造はTiの全膜厚にわたって、連続的に膜を析出するの
ではなく、析出途中で一旦析出を停止し、再び析出を開
始して作製された膜のことである。
3層以上の構造の膜も同様である。なお、2層以上の構
造を多層構造と称する。このように析出途中で一旦析出
を停止すると、析出が停止している間に、表面酸化2表
面温度の低下等が生じ、再び析出を開始して、全膜厚を
形成しても、析出を停止した部分に境界層が生じる。こ
の層はSEM(走査型電子顕微鏡)等により観察される
。
造を多層構造と称する。このように析出途中で一旦析出
を停止すると、析出が停止している間に、表面酸化2表
面温度の低下等が生じ、再び析出を開始して、全膜厚を
形成しても、析出を停止した部分に境界層が生じる。こ
の層はSEM(走査型電子顕微鏡)等により観察される
。
Ti膜を多層構造にして、第3図に示したような構造を
有する2層膜媒体を作製し、パーマロイ膜及びGo−C
r膜の配向性及び記録再生特性を測定すると、両膜の配
向性が従来の2層膜媒体よりも良くなっており、また再
生出力がJ首加することが確かめられた。以下にこのこ
とを説明する。
有する2層膜媒体を作製し、パーマロイ膜及びGo−C
r膜の配向性及び記録再生特性を測定すると、両膜の配
向性が従来の2層膜媒体よりも良くなっており、また再
生出力がJ首加することが確かめられた。以下にこのこ
とを説明する。
下の表は従来及び本発明の2層膜媒体のパーマロイ膜及
びco−Cr膜の配向性をまとめて示す。
びco−Cr膜の配向性をまとめて示す。
なお、パーマロイ膜の配向性は(111)而に関するロ
ッキング曲線の半値幅△θ5゜(111) 、(、、’
o −Cr膜の配向性は(002,)面に関するロッキ
ング曲線の半値幅△θ5゜(002) で表わし、これ
らの値が小さい程、配向性が良いことを意味する。
ッキング曲線の半値幅△θ5゜(111) 、(、、’
o −Cr膜の配向性は(002,)面に関するロッキ
ング曲線の半値幅△θ5゜(002) で表わし、これ
らの値が小さい程、配向性が良いことを意味する。
上の表から、従来の2層膜媒体においては、△θso
(1i 1) は23°及び12°であるのに対し、
本発明のものでは8°になっておシ、またΔθeso
(002) は従来の2o0及び10°に対し、本発明
では6°になっていることがわかる。このように、本発
明の2層膜媒体においては、従来の膜に対し、△θso
(111) 及びΔ(/6o(002)ともに小さく
なっており、配向性が良くなっている。
(1i 1) は23°及び12°であるのに対し、
本発明のものでは8°になっておシ、またΔθeso
(002) は従来の2o0及び10°に対し、本発明
では6°になっていることがわかる。このように、本発
明の2層膜媒体においては、従来の膜に対し、△θso
(111) 及びΔ(/6o(002)ともに小さく
なっており、配向性が良くなっている。
第4図は2層膜媒体において、fl膜の全膜厚と構造を
変えた場合の再生出力を示している。なお、パーマロイ
膜及びco−Cr垂直磁化膜の膜厚は、いずれも150
0人一定にしである。丑だ、信号の記録再生は補助磁極
励磁型垂直ヘッドで行ない、記録密度は50KFRPI
と17た。なお、60KFRPIとは1インチ当たり5
0000回磁化反転のあるディジタル信号の記録状態で
ある。第4図の曲線6は第2図に示したよりなTi膜が
単層構造の場合である。曲線7及び8は本発明の媒体で
あり、T1膜がそれぞれ2層及び3層構造の場合である
。第4図から、“Ti膜の全膜厚が一定である場合には
、f1膜を多層構造にすることにより、従来の2層膜媒
体よりも再生出力が高くなることがわかる。
変えた場合の再生出力を示している。なお、パーマロイ
膜及びco−Cr垂直磁化膜の膜厚は、いずれも150
0人一定にしである。丑だ、信号の記録再生は補助磁極
励磁型垂直ヘッドで行ない、記録密度は50KFRPI
と17た。なお、60KFRPIとは1インチ当たり5
0000回磁化反転のあるディジタル信号の記録状態で
ある。第4図の曲線6は第2図に示したよりなTi膜が
単層構造の場合である。曲線7及び8は本発明の媒体で
あり、T1膜がそれぞれ2層及び3層構造の場合である
。第4図から、“Ti膜の全膜厚が一定である場合には
、f1膜を多層構造にすることにより、従来の2層膜媒
体よりも再生出力が高くなることがわかる。
次により具体的な実施例の説明を行う。
第1の実施例
第5図を用いて本発明の第1の実施例について説明する
。同図において、9は膜厚12μmの酬熱性高分子相料
より成るフィルム、2,3はそれぞれ膜厚1500への
Co−Cr垂直磁化膜及び膜厚1500人のパーマロイ
膜である。1oは1層当たり300Aの1’i膜を3層
重ねた3層構造の’l’ i膜である。この様な構造の
2層膜媒体に補助磁極励磁型垂直ヘッドで100KFR
PIの信号を記録し再生すると、従来のCo含有酸化鉄
塗布型媒体に対し22d、B高い再生出力が得られた。
。同図において、9は膜厚12μmの酬熱性高分子相料
より成るフィルム、2,3はそれぞれ膜厚1500への
Co−Cr垂直磁化膜及び膜厚1500人のパーマロイ
膜である。1oは1層当たり300Aの1’i膜を3層
重ねた3層構造の’l’ i膜である。この様な構造の
2層膜媒体に補助磁極励磁型垂直ヘッドで100KFR
PIの信号を記録し再生すると、従来のCo含有酸化鉄
塗布型媒体に対し22d、B高い再生出力が得られた。
丑だ、Ti膜が単層構造で膜厚900八である以外は、
第5図と同じ構造の2層膜媒体に対しても、5dB高い
出力が得られた。
第5図と同じ構造の2層膜媒体に対しても、5dB高い
出力が得られた。
第2の実施例
第6図を用いて本発明の第2の実施例について説明する
。パーマロイ膜とCo−Cr垂直磁化膜との間に膜厚4
0〇へのri膜が存在する以外は、第5図の場合と同じ
構造である。このf’i膜はCo−Cr垂直磁化膜の配
向性を良ぐするために設けである。このような構造の2
層膜媒体に補助磁極励磁型垂直ヘッドで100KF’R
PIの信号を記録し再生すると、従来のCo含有酸化鉄
塗布型媒体に対し24 dB高い再生出力が得られた。
。パーマロイ膜とCo−Cr垂直磁化膜との間に膜厚4
0〇へのri膜が存在する以外は、第5図の場合と同じ
構造である。このf’i膜はCo−Cr垂直磁化膜の配
向性を良ぐするために設けである。このような構造の2
層膜媒体に補助磁極励磁型垂直ヘッドで100KF’R
PIの信号を記録し再生すると、従来のCo含有酸化鉄
塗布型媒体に対し24 dB高い再生出力が得られた。
発明の効果
本発明によれば、記録再生特性の優れた垂直磁気記録媒
体を提供できる。
体を提供できる。
第1図及び第2図は従来の2層膜媒体の構造を示す図、
第3図は本発明の磁気記録媒体の基本構成を示す図、第
4図は本発明の詳細な説明するためのもので、Ti膜の
全膜厚と再生出力との関係を示す図である。第6図及び
第6図はそれぞれ本発明の第1.第2の実施例である磁
気記録媒体を示す図である。 2・・・Co−0r垂直磁化膜、3・・・・ノく−マロ
イ膜、4・・・・単層構造のTi膜、6・・・・・2層
構造の”Ti膜、10・・・・・・3層構造のTi 膜
0代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第
11XI 第2図 第3図 第4図 050o 1ooo 1500 T膜の4」見η(A) 第5図
第3図は本発明の磁気記録媒体の基本構成を示す図、第
4図は本発明の詳細な説明するためのもので、Ti膜の
全膜厚と再生出力との関係を示す図である。第6図及び
第6図はそれぞれ本発明の第1.第2の実施例である磁
気記録媒体を示す図である。 2・・・Co−0r垂直磁化膜、3・・・・ノく−マロ
イ膜、4・・・・単層構造のTi膜、6・・・・・2層
構造の”Ti膜、10・・・・・・3層構造のTi 膜
0代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第
11XI 第2図 第3図 第4図 050o 1ooo 1500 T膜の4」見η(A) 第5図
Claims (1)
- 非磁性材料より成る基板上にTi膜が形成され、その′
ri膜上にパーマロイ膜が形成され、さらにそのパーマ
ロイ膜上に直接にあるいは非磁性層を介してCOとOr
を主成分とする垂直磁化膜が形成され、前記Ti膜が多
層構造を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57186435A JPS5975429A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57186435A JPS5975429A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5975429A true JPS5975429A (ja) | 1984-04-28 |
Family
ID=16188387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57186435A Pending JPS5975429A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5975429A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63217525A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-09 | コマッグ・インコーポレイテッド | 磁気ディスク構造及びその製造方法 |
US5242761A (en) * | 1990-07-03 | 1993-09-07 | Digital Equipment Corporation Japan | Magnetic recording medium comprising NiFe and CoZr alloy crystalline magnetic alloy layers and a Co-Cr vertically magnetizable layer |
US6387483B1 (en) | 1997-12-18 | 2002-05-14 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor |
-
1982
- 1982-10-22 JP JP57186435A patent/JPS5975429A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63217525A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-09 | コマッグ・インコーポレイテッド | 磁気ディスク構造及びその製造方法 |
US5242761A (en) * | 1990-07-03 | 1993-09-07 | Digital Equipment Corporation Japan | Magnetic recording medium comprising NiFe and CoZr alloy crystalline magnetic alloy layers and a Co-Cr vertically magnetizable layer |
US6387483B1 (en) | 1997-12-18 | 2002-05-14 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor |
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