JPS5859395A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS5859395A JPS5859395A JP15905681A JP15905681A JPS5859395A JP S5859395 A JPS5859395 A JP S5859395A JP 15905681 A JP15905681 A JP 15905681A JP 15905681 A JP15905681 A JP 15905681A JP S5859395 A JPS5859395 A JP S5859395A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blades
- pump
- shaft
- rotor
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/024—Multi-stage pumps with contrarotating parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本１発明はターボ分子ボン、プに調し、排気速匿・圧縮
比を大きくできる構造に関するものである。
比を大きくできる構造に関するものである。
第１′８ｉＨＣ従来のターボ分子ポｙｙＯ構造を示す。
回転自在の回転軸ＩＫ任意の内置と取付は枚数、段数を
有する一転属３が取付けられ、固定軸２に敞付けられた
モータで一転軸゛１が回転する。軸受には磁気軸受、ま
たは機械式軸受が使用されている６回転誠３０間ごとに
固定翼４が挿入されており６、外筒５で外部と区切ると
ともに固定翼４ｆ止めている。この工うに従来のターボ
分子ポンプは回転翼のｎ１ＩＩＫ挿入された翼ａ固定さ
れており、この構造に関する排気速Ｉ・圧縮比等は古く
から研【されている。これら排気速ｉ・圧縮比を決足す
るものＦｉ回転翼の回転数・翼の角置・翼の段数である
。これらのうち、ターボ分子ポンプの性能をより向上さ
せる友めＫは回転する翼の回転数を増加させれば艮い。
有する一転属３が取付けられ、固定軸２に敞付けられた
モータで一転軸゛１が回転する。軸受には磁気軸受、ま
たは機械式軸受が使用されている６回転誠３０間ごとに
固定翼４が挿入されており６、外筒５で外部と区切ると
ともに固定翼４ｆ止めている。この工うに従来のターボ
分子ポンプは回転翼のｎ１ＩＩＫ挿入された翼ａ固定さ
れており、この構造に関する排気速Ｉ・圧縮比等は古く
から研【されている。これら排気速ｉ・圧縮比を決足す
るものＦｉ回転翼の回転数・翼の角置・翼の段数である
。これらのうち、ターボ分子ポンプの性能をより向上さ
せる友めＫは回転する翼の回転数を増加させれば艮い。
しη・しながら、回転ｉを高速回転させることは翼にχ
きな遠心力が働くことになり、使用する材料のＩｉ！ｉ
ｙ、高真空中で使用可能な材料、軸受機構等のＩＩＩＪ
約を受けＪ使用回転数が限られてし１つことになる。
きな遠心力が働くことになり、使用する材料のＩｉ！ｉ
ｙ、高真空中で使用可能な材料、軸受機構等のＩＩＩＪ
約を受けＪ使用回転数が限られてし１つことになる。
本殆ｉＩ＃は、従来固定されていた翼を、本体側の（ロ
）転属と逆方向に回転させる真に置き換える構造を設け
ることに１０１本体餉の鼻か従来と同じ回転数のまま排
気速［−圧縮比を大きくする構造を提供するものである
。
）転属と逆方向に回転させる真に置き換える構造を設け
ることに１０１本体餉の鼻か従来と同じ回転数のまま排
気速［−圧縮比を大きくする構造を提供するものである
。
第２図に本櫨明の一実施例を示ｔｅｌ！転輪ｌ。
固定軸２１回転翼３は第１図と同じてあり、軸受機構も
同じものを使用で負る。逆回転属６は従来の固定翼４の
換りに取り付けられた−のであり、回転翼３の間ととに
挿入され、１転翼３と岡、じ形状で逆方向に回転する翼
であり、ボルトγで外部回転′軸８に止められてηる。
同じものを使用で負る。逆回転属６は従来の固定翼４の
換りに取り付けられた−のであり、回転翼３の間ととに
挿入され、１転翼３と岡、じ形状で逆方向に回転する翼
であり、ボルトγで外部回転′軸８に止められてηる。
外部回転軸８＃ｉ、半径方向（Ｘ、Ｙ方向）をセンサー
１０で位置を検出し、電磁石９で位置を制御され、軸方
向（２方向）はセンサー１３と電磁石１２で位置を制御
されている。また、モータ１１で外側回転輪８ｔｌｓ転
させている。この工うに従来固定されて−た翼を回転す
る翼に蓄′＃換えることによって回転翼３０回転数ｒｍ
、ｖＩｌさせることな（排気速１１圧縮比を大きくする
ことができる。これ社、従来の動翼と靜輿の組合せから
互いに逆に回転する動翼同志の組合せになり、気体分子
の輸送確率の値がχ倉（なるからである。また、磁気軸
受を使用するととで無接触で逆回転属６を（ロ）転させ
ることかで★るため清潔な高真空を得ることができる。
１０で位置を検出し、電磁石９で位置を制御され、軸方
向（２方向）はセンサー１３と電磁石１２で位置を制御
されている。また、モータ１１で外側回転輪８ｔｌｓ転
させている。この工うに従来固定されて−た翼を回転す
る翼に蓄′＃換えることによって回転翼３０回転数ｒｍ
、ｖＩｌさせることな（排気速１１圧縮比を大きくする
ことができる。これ社、従来の動翼と靜輿の組合せから
互いに逆に回転する動翼同志の組合せになり、気体分子
の輸送確率の値がχ倉（なるからである。また、磁気軸
受を使用するととで無接触で逆回転属６を（ロ）転させ
ることかで★るため清潔な高真空を得ることができる。
尚、回転軸１と固定軸２の支持構造にも磁気軸受を使用
することにエリ、より清潔な真空が得られる。
することにエリ、より清潔な真空が得られる。
、上記実施例は、磁気軸受を使用した例であるが機械式
軸受を用いた構造によってでも従来固定されてい７ｔｋ
ｔ肋転する翼にｆＩＩＩ負換えることが可能なことは１
つまでもな−。
軸受を用いた構造によってでも従来固定されてい７ｔｋ
ｔ肋転する翼にｆＩＩＩ負換えることが可能なことは１
つまでもな−。
以上述べた如く、本発明の構造を採用することＫＪＣす
、次の効巣を得ることができる。
、次の効巣を得ることができる。
シ１１従来の回転数のままで、エリ人糞な排気速ｉ圧縮
比ｆ４ることがで真効率が増加する。
比ｆ４ることがで真効率が増加する。
■磁気軸受を採用することに工り、軸受寿命が半永久的
に伸び、エリ清潔な真空を得ることかで負る。
に伸び、エリ清潔な真空を得ることかで負る。
纂１図は従来のターボ分子ポンプの回転翼と固定ＪＩｇ
１″示す１１９′ｒ−図、第２図番ゴ本殆明の一実施例
を示す断ｔｈｉ−である。 ｌ・・回転軸 ２・・固定軸 ３ｅ＠回転翼４・・固定
翼 ５・・外筒 ６ｅ・逆回転属 ７・・ボルト ８・
・外部回転軸 ９°−・電磁石ＩＯ−・センサー １１
＠・モータ １２−・電磁石 １３・・センサー 以 上 出願人 株式会社グニ糟工舎 代理人 弁珊士最 上 務 第１図
１″示す１１９′ｒ−図、第２図番ゴ本殆明の一実施例
を示す断ｔｈｉ−である。 ｌ・・回転軸 ２・・固定軸 ３ｅ＠回転翼４・・固定
翼 ５・・外筒 ６ｅ・逆回転属 ７・・ボルト ８・
・外部回転軸 ９°−・電磁石ＩＯ−・センサー １１
＠・モータ １２−・電磁石 １３・・センサー 以 上 出願人 株式会社グニ糟工舎 代理人 弁珊士最 上 務 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１タービン翼を利用したター１分子ポンプにおいて
、内側回転軸に多数段の翼列な有するロータを設け、そ
のロータ翼とロータ翼の閣ととに１内側ロータ翼゛と同
じ形状の翼を持つ多数段の翼列を有する外側ロータ翼を
１櫨し内側回転軸を互ｖｈＫ逆方向に回転させることｔ
特徴とする／−＆分子ポンプ・ （２１外側回転軸を無接触で支持される磁気軸受で支持
した請求範囲（１１のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15905681A JPS5859395A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15905681A JPS5859395A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5859395A true JPS5859395A (ja) | 1983-04-08 |
| JPH0240879B2 JPH0240879B2 (ja) | 1990-09-13 |
Family
ID=15685253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15905681A Granted JPS5859395A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5859395A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003031823A1 (de) * | 2001-10-06 | 2003-04-17 | Leybold Vakuum Gmbh | Axial fördernde reibungsvakuumpumpe |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3044685A (en) * | 1959-02-13 | 1962-07-17 | Nicholas P Lapiken | Air compressor |
-
1981
- 1981-10-06 JP JP15905681A patent/JPS5859395A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3044685A (en) * | 1959-02-13 | 1962-07-17 | Nicholas P Lapiken | Air compressor |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003031823A1 (de) * | 2001-10-06 | 2003-04-17 | Leybold Vakuum Gmbh | Axial fördernde reibungsvakuumpumpe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0240879B2 (ja) | 1990-09-13 |
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