JPS5859395A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS5859395A JPS5859395A JP15905681A JP15905681A JPS5859395A JP S5859395 A JPS5859395 A JP S5859395A JP 15905681 A JP15905681 A JP 15905681A JP 15905681 A JP15905681 A JP 15905681A JP S5859395 A JPS5859395 A JP S5859395A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blades
- pump
- shaft
- rotor
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/024—Multi-stage pumps with contrarotating parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本1発明はターボ分子ボン、プに調し、排気速匿・圧縮
比を大きくできる構造に関するものである。
比を大きくできる構造に関するものである。
第1′8iHC従来のターボ分子ポyyO構造を示す。
回転自在の回転軸IK任意の内置と取付は枚数、段数を
有する一転属3が取付けられ、固定軸2に敞付けられた
モータで一転軸゛1が回転する。軸受には磁気軸受、ま
たは機械式軸受が使用されている6回転誠30間ごとに
固定翼4が挿入されており6、外筒5で外部と区切ると
ともに固定翼4f止めている。この工うに従来のターボ
分子ポンプは回転翼のn1IIK挿入された翼a固定さ
れており、この構造に関する排気速I・圧縮比等は古く
から研【されている。これら排気速i・圧縮比を決足す
るものFi回転翼の回転数・翼の角置・翼の段数である
。これらのうち、ターボ分子ポンプの性能をより向上さ
せる友めKは回転する翼の回転数を増加させれば艮い。
有する一転属3が取付けられ、固定軸2に敞付けられた
モータで一転軸゛1が回転する。軸受には磁気軸受、ま
たは機械式軸受が使用されている6回転誠30間ごとに
固定翼4が挿入されており6、外筒5で外部と区切ると
ともに固定翼4f止めている。この工うに従来のターボ
分子ポンプは回転翼のn1IIK挿入された翼a固定さ
れており、この構造に関する排気速I・圧縮比等は古く
から研【されている。これら排気速i・圧縮比を決足す
るものFi回転翼の回転数・翼の角置・翼の段数である
。これらのうち、ターボ分子ポンプの性能をより向上さ
せる友めKは回転する翼の回転数を増加させれば艮い。
しη・しながら、回転iを高速回転させることは翼にχ
きな遠心力が働くことになり、使用する材料のIi!i
y、高真空中で使用可能な材料、軸受機構等のIIIJ
約を受けJ使用回転数が限られてし1つことになる。
きな遠心力が働くことになり、使用する材料のIi!i
y、高真空中で使用可能な材料、軸受機構等のIIIJ
約を受けJ使用回転数が限られてし1つことになる。
本殆iI#は、従来固定されていた翼を、本体側の(ロ
)転属と逆方向に回転させる真に置き換える構造を設け
ることに101本体餉の鼻か従来と同じ回転数のまま排
気速[−圧縮比を大きくする構造を提供するものである
。
)転属と逆方向に回転させる真に置き換える構造を設け
ることに101本体餉の鼻か従来と同じ回転数のまま排
気速[−圧縮比を大きくする構造を提供するものである
。
第2図に本櫨明の一実施例を示tel!転輪l。
固定軸21回転翼3は第1図と同じてあり、軸受機構も
同じものを使用で負る。逆回転属6は従来の固定翼4の
換りに取り付けられた−のであり、回転翼3の間ととに
挿入され、1転翼3と岡、じ形状で逆方向に回転する翼
であり、ボルトγで外部回転′軸8に止められてηる。
同じものを使用で負る。逆回転属6は従来の固定翼4の
換りに取り付けられた−のであり、回転翼3の間ととに
挿入され、1転翼3と岡、じ形状で逆方向に回転する翼
であり、ボルトγで外部回転′軸8に止められてηる。
外部回転軸8#i、半径方向(X、Y方向)をセンサー
10で位置を検出し、電磁石9で位置を制御され、軸方
向(2方向)はセンサー13と電磁石12で位置を制御
されている。また、モータ11で外側回転輪8tls転
させている。この工うに従来固定されて−た翼を回転す
る翼に蓄′#換えることによって回転翼30回転数rm
、vIlさせることな(排気速11圧縮比を大きくする
ことができる。これ社、従来の動翼と靜輿の組合せから
互いに逆に回転する動翼同志の組合せになり、気体分子
の輸送確率の値がχ倉(なるからである。また、磁気軸
受を使用するととで無接触で逆回転属6を(ロ)転させ
ることかで★るため清潔な高真空を得ることができる。
10で位置を検出し、電磁石9で位置を制御され、軸方
向(2方向)はセンサー13と電磁石12で位置を制御
されている。また、モータ11で外側回転輪8tls転
させている。この工うに従来固定されて−た翼を回転す
る翼に蓄′#換えることによって回転翼30回転数rm
、vIlさせることな(排気速11圧縮比を大きくする
ことができる。これ社、従来の動翼と靜輿の組合せから
互いに逆に回転する動翼同志の組合せになり、気体分子
の輸送確率の値がχ倉(なるからである。また、磁気軸
受を使用するととで無接触で逆回転属6を(ロ)転させ
ることかで★るため清潔な高真空を得ることができる。
尚、回転軸1と固定軸2の支持構造にも磁気軸受を使用
することにエリ、より清潔な真空が得られる。
することにエリ、より清潔な真空が得られる。
、上記実施例は、磁気軸受を使用した例であるが機械式
軸受を用いた構造によってでも従来固定されてい7tk
t肋転する翼にfIII負換えることが可能なことは1
つまでもな−。
軸受を用いた構造によってでも従来固定されてい7tk
t肋転する翼にfIII負換えることが可能なことは1
つまでもな−。
以上述べた如く、本発明の構造を採用することKJCす
、次の効巣を得ることができる。
、次の効巣を得ることができる。
シ11従来の回転数のままで、エリ人糞な排気速i圧縮
比f4ることがで真効率が増加する。
比f4ることがで真効率が増加する。
■磁気軸受を採用することに工り、軸受寿命が半永久的
に伸び、エリ清潔な真空を得ることかで負る。
に伸び、エリ清潔な真空を得ることかで負る。
纂1図は従来のターボ分子ポンプの回転翼と固定JIg
1″示す119′r−図、第2図番ゴ本殆明の一実施例
を示す断thi−である。 l・・回転軸 2・・固定軸 3e@回転翼4・・固定
翼 5・・外筒 6e・逆回転属 7・・ボルト 8・
・外部回転軸 9°−・電磁石IO−・センサー 11
@・モータ 12−・電磁石 13・・センサー 以 上 出願人 株式会社グニ糟工舎 代理人 弁珊士最 上 務 第1図
1″示す119′r−図、第2図番ゴ本殆明の一実施例
を示す断thi−である。 l・・回転軸 2・・固定軸 3e@回転翼4・・固定
翼 5・・外筒 6e・逆回転属 7・・ボルト 8・
・外部回転軸 9°−・電磁石IO−・センサー 11
@・モータ 12−・電磁石 13・・センサー 以 上 出願人 株式会社グニ糟工舎 代理人 弁珊士最 上 務 第1図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (11タービン翼を利用したター1分子ポンプにおいて
、内側回転軸に多数段の翼列な有するロータを設け、そ
のロータ翼とロータ翼の閣ととに1内側ロータ翼゛と同
じ形状の翼を持つ多数段の翼列を有する外側ロータ翼を
1櫨し内側回転軸を互vhK逆方向に回転させることt
特徴とする/−&分子ポンプ・ (21外側回転軸を無接触で支持される磁気軸受で支持
した請求範囲(11のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15905681A JPS5859395A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15905681A JPS5859395A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5859395A true JPS5859395A (ja) | 1983-04-08 |
JPH0240879B2 JPH0240879B2 (ja) | 1990-09-13 |
Family
ID=15685253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15905681A Granted JPS5859395A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5859395A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003031823A1 (de) * | 2001-10-06 | 2003-04-17 | Leybold Vakuum Gmbh | Axial fördernde reibungsvakuumpumpe |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3044685A (en) * | 1959-02-13 | 1962-07-17 | Nicholas P Lapiken | Air compressor |
-
1981
- 1981-10-06 JP JP15905681A patent/JPS5859395A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3044685A (en) * | 1959-02-13 | 1962-07-17 | Nicholas P Lapiken | Air compressor |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003031823A1 (de) * | 2001-10-06 | 2003-04-17 | Leybold Vakuum Gmbh | Axial fördernde reibungsvakuumpumpe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0240879B2 (ja) | 1990-09-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3047292B1 (ja) | ターボ分子ポンプ及び真空装置 | |
JPH0261387A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2002242876A5 (ja) | ||
JP2002138987A (ja) | 真空ポンプ | |
JPS61145394A (ja) | 分子ポンプ | |
JPS5859395A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
JPH0538389U (ja) | 真空ポンプ | |
JPH1089284A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JPS60204997A (ja) | 複合真空ポンプ | |
JPS60182394A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
JPH0419393B2 (ja) | ||
JPS6361799A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
US3659958A (en) | Built up rotor assemblies for vacuum pumps | |
JP2865888B2 (ja) | マルチターボ型真空ポンプ | |
US1282065A (en) | Centrifugal fan for blowers. | |
JPH0687691U (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP3518343B2 (ja) | ターボ形真空排気装置 | |
JP2000110771A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JPH05141389A (ja) | 真空ポンプ | |
JPH03237297A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JPS58197497A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
JP4382689B2 (ja) | ターボ分子ポンプ用タッチダウン軸受およびターボ分子ポンプ | |
JPH0617035Y2 (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
JP2008240571A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2000274392A (ja) | ポンプ |