JPS5851579A - 磁気抵抗素子 - Google Patents
磁気抵抗素子Info
- Publication number
- JPS5851579A JPS5851579A JP56149447A JP14944781A JPS5851579A JP S5851579 A JPS5851579 A JP S5851579A JP 56149447 A JP56149447 A JP 56149447A JP 14944781 A JP14944781 A JP 14944781A JP S5851579 A JPS5851579 A JP S5851579A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- loops
- lambda
- inlet
- group
- providing
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 3
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はモータなと周辺磁界が所定長λととに岡じ変化
を繰返す対象物の静止位置や移動状態を測定する磁気セ
ンナ用の小形化した磁気抵抗素子に関する。
を繰返す対象物の静止位置や移動状態を測定する磁気セ
ンナ用の小形化した磁気抵抗素子に関する。
第１図は従来の強磁性体の磁気抵抗効果を利用した磁気
抵抗素子の一例の断面図、第２図は同側の平面図である
。非磁性基板１上ＫＩＡ着又はスパッタリングなどで被
着させた強磁性体（例えばＦ・−Ｎ１合金）薄膜をエッ
チして、近接して往復する一対の強磁性体膜状（例えば
線幅２ Ｇ ｐｍ ）パターン３よりなるヘアピンルー
プＭ１−Ｍ、を設け、これらループの抵抗が磁界の存在
により減少することを利用する。縞１図中の２は、測定
対象物（例えば歯車）で、所定長λととに周辺磁界が同
じ変化を繰返すように磁化されている。ヘアピンループ
はλ／２ずつ隔てて設けられたＭ、、Ｍ４よりなるＡ群
と、Ａ群最後のＭ、から３／４λ離れて最初のＭ、が設
けられ、その後の群内ループ間隔はλ／２のＭ、〜Ｍ、
よりなる８％に分れている。これらのループを第３１１
に示すように接続すれば、測定対象物２の回転（例えば
第１図中の矢印す方陶に移動）に伴い、端子Ａ、、Ａ、
間、及びＢ、、Ｂ、間ｋ、それぞれ交番電圧があられれ
、Ａ群端子間電圧とＢ群端子間電圧には９０度の位相差
が生じ、Ａ群とＢ群のいずれの位相が進むかは対象物２
０回転方向により定まるから回転方向もわかる。なおｇ
１図中の４は、ヘアピンループ部の平面方向ａに磁気バ
イアスするバイアス用永久磁石である。また第２図中の
５は外部接続用パッドである。
抵抗素子の一例の断面図、第２図は同側の平面図である
。非磁性基板１上ＫＩＡ着又はスパッタリングなどで被
着させた強磁性体（例えばＦ・−Ｎ１合金）薄膜をエッ
チして、近接して往復する一対の強磁性体膜状（例えば
線幅２ Ｇ ｐｍ ）パターン３よりなるヘアピンルー
プＭ１−Ｍ、を設け、これらループの抵抗が磁界の存在
により減少することを利用する。縞１図中の２は、測定
対象物（例えば歯車）で、所定長λととに周辺磁界が同
じ変化を繰返すように磁化されている。ヘアピンループ
はλ／２ずつ隔てて設けられたＭ、、Ｍ４よりなるＡ群
と、Ａ群最後のＭ、から３／４λ離れて最初のＭ、が設
けられ、その後の群内ループ間隔はλ／２のＭ、〜Ｍ、
よりなる８％に分れている。これらのループを第３１１
に示すように接続すれば、測定対象物２の回転（例えば
第１図中の矢印す方陶に移動）に伴い、端子Ａ、、Ａ、
間、及びＢ、、Ｂ、間ｋ、それぞれ交番電圧があられれ
、Ａ群端子間電圧とＢ群端子間電圧には９０度の位相差
が生じ、Ａ群とＢ群のいずれの位相が進むかは対象物２
０回転方向により定まるから回転方向もわかる。なおｇ
１図中の４は、ヘアピンループ部の平面方向ａに磁気バ
イアスするバイアス用永久磁石である。また第２図中の
５は外部接続用パッドである。
しかし上記従来の磁気抵抗素子は、そのサイズが、対象
物２０周辺磁界変化のピッチλ（歯車の場合は歯のピッ
チ）Ｋ対し比較的大きなものになってしまい、バイアス
用永久磁石４も大きなものが必要となり、そのセツティ
ングも困難となり、ケースに入れる場合が多いが大形ケ
ースが必要となり、外部接続配線が困難となり、対象物
が歯車など回転体の場合、素子面と対象物の最近接部か
ら離れるにつれ【生ずる方向、距離の変化が大きくなる
等の問題がある。
物２０周辺磁界変化のピッチλ（歯車の場合は歯のピッ
チ）Ｋ対し比較的大きなものになってしまい、バイアス
用永久磁石４も大きなものが必要となり、そのセツティ
ングも困難となり、ケースに入れる場合が多いが大形ケ
ースが必要となり、外部接続配線が困難となり、対象物
が歯車など回転体の場合、素子面と対象物の最近接部か
ら離れるにつれ【生ずる方向、距離の変化が大きくなる
等の問題がある。
本発明の目的は、小形、高精度で、製造も容易な強磁性
体の磁気抵抗素子を提供するととにある。
体の磁気抵抗素子を提供するととにある。
上記目的を達成するために本発ＩＭにおいては、強磁性
体膜の線状パターンよりなるヘアピンループな、λ／４
おきに、ループの短絡端と開放端の向きが順次交互に逆
向きとなるように並設し、これら互いに逆向きの２ル一
プ群それぞれの、最初の入口端部、中間のλ／２隔たる
ループの出口と入口の間の結合端部、及び最後の出口端
部に１それぞれ外部接続用パッドを設けることとした。
体膜の線状パターンよりなるヘアピンループな、λ／４
おきに、ループの短絡端と開放端の向きが順次交互に逆
向きとなるように並設し、これら互いに逆向きの２ル一
プ群それぞれの、最初の入口端部、中間のλ／２隔たる
ループの出口と入口の間の結合端部、及び最後の出口端
部に１それぞれ外部接続用パッドを設けることとした。
くループの短絡端と開放端の向きが逆になっており、両
群のループがλ／４おきに交互に並設されている。両ル
ープ群の外部接続用ノくラドは基板１の向い合った２辺
に治って配設されている。この様に横幅は従来の場合の
ほば半分になり、ノ（イアス用永久磁石４も小形化され
、そのセツティングも容易となる。対象物２が歯車など
回転体の場合、対象物と素子の最近接部から離れるにつ
れて生ずる方向、距離の変化が小、さくなり高精度にな
る。
群のループがλ／４おきに交互に並設されている。両ル
ープ群の外部接続用ノくラドは基板１の向い合った２辺
に治って配設されている。この様に横幅は従来の場合の
ほば半分になり、ノ（イアス用永久磁石４も小形化され
、そのセツティングも容易となる。対象物２が歯車など
回転体の場合、対象物と素子の最近接部から離れるにつ
れて生ずる方向、距離の変化が小、さくなり高精度にな
る。
以上説明したよ５に本発明によれば、素子の横幅がほぼ
半分になり、センナ全体が小形化され、バイアス用永久
磁石も小形でセツティングが容易となり、対象物と素子
の対向部の幅が半減したため対象物が回転体の場合に対
向部中心から離れるにつれて生ずる両者間の方向、距離
の変動が少なくなって高精度になり、外部配線も対向２
辺に分離して行うので容易となるなどの効果が得られる
。
半分になり、センナ全体が小形化され、バイアス用永久
磁石も小形でセツティングが容易となり、対象物と素子
の対向部の幅が半減したため対象物が回転体の場合に対
向部中心から離れるにつれて生ずる両者間の方向、距離
の変動が少なくなって高精度になり、外部配線も対向２
辺に分離して行うので容易となるなどの効果が得られる
。
第１図は従来の磁気抵抗素子例の断面図、第２図は同側
の平面図、第３図は磁気抵抗素子の接続例図、第４図は
本発明実施例の断面図、第５図は同実施例の平面図であ
る。 １・・・非磁性基板、・２・・・測定対象物、３・・・
強磁性代理人 弁理士 薄 １）利 幸
の平面図、第３図は磁気抵抗素子の接続例図、第４図は
本発明実施例の断面図、第５図は同実施例の平面図であ
る。 １・・・非磁性基板、・２・・・測定対象物、３・・・
強磁性代理人 弁理士 薄 １）利 幸
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 その周辺の磁界が所定長λごとに同じ変化を繰返す対象
物の静止位置や移動状態を測定する磁気竜ンす用磁気抵
抗素子において、近接して往復する強磁性体膜の一対の
線状パターンよりなるヘアピンループをλ／４お會に、
ループの短絡端と開放端の向きが順次交互に逆向きとな
るように並設し、これら互いに逆向きの２ループ評それ
ぞれの、最初の入口端部、中間のλ／２隔たるループの
出口と入口の間の結合端部、及び最後の出口端部Ｋ。 それぞれ外部接続用パッドを設けたことを特徴とする磁
気抵抗素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56149447A JPS5851579A (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 磁気抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56149447A JPS5851579A (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 磁気抵抗素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5851579A true JPS5851579A (ja) | 1983-03-26 |
Family
ID=15475314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56149447A Pending JPS5851579A (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 磁気抵抗素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5851579A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209375A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-09-17 | アルカテル エヌ．ブイ． | 磁界検出器 |
| JPS6333881A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-13 | Hitachi Metals Ltd | 磁気抵抗効果センサ |
-
1981
- 1981-09-24 JP JP56149447A patent/JPS5851579A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209375A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-09-17 | アルカテル エヌ．ブイ． | 磁界検出器 |
| JPS6333881A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-13 | Hitachi Metals Ltd | 磁気抵抗効果センサ |
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