RU2307427C2 - Магниторезистивный датчик поля - Google Patents

Магниторезистивный датчик поля Download PDF

Info

Publication number
RU2307427C2
RU2307427C2 RU2005118744/28A RU2005118744A RU2307427C2 RU 2307427 C2 RU2307427 C2 RU 2307427C2 RU 2005118744/28 A RU2005118744/28 A RU 2005118744/28A RU 2005118744 A RU2005118744 A RU 2005118744A RU 2307427 C2 RU2307427 C2 RU 2307427C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
strips
magnetic field
micromagnets
magnetoresistive
midget
Prior art date
Application number
RU2005118744/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2005118744A (ru
Inventor
Евгений Михайлович Максимов (RU)
Евгений Михайлович Максимов
Александр Валерьевич Сватков (RU)
Александр Валерьевич Сватков
Original Assignee
Войсковая часть 35533
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Войсковая часть 35533 filed Critical Войсковая часть 35533
Priority to RU2005118744/28A priority Critical patent/RU2307427C2/ru
Publication of RU2005118744A publication Critical patent/RU2005118744A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2307427C2 publication Critical patent/RU2307427C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

Магниторезистивный датчик поля относится к средствам регистрации магнитных полей и может быть использован в контрольно-измерительной аппаратуре: тахометрах, датчиках перемещений, устройствах измерения постоянного и переменного магнитных полей. Техническим результатом изобретения является получение датчика магнитного поля, имеющего S-образную статическую вольт-эрстедную характеристику и пониженное энергопотребление. Сущность: датчик содержит тонкопленочные магниторезистивные полоски, соединенные в мостовую схему и имеющие оси легкого намагничивания. Вблизи полосок размещено четное число микромагнитов, оси намагниченности половины из которых направлены встречно осям намагниченности второй половины числа микромагнитов, и все они перпендикулярны осям легкого намагничивания полосок, которые направлены вдоль их длины. Микромагниты формируют магнитные поля в плоскости полосок. 3 ил.

Description

Магниторезистивный датчик поля относится к средствам регистрации магнитных полей и может быть использован в контрольно-измерительной аппаратуре: датчиках перемещений, устройствах измерения постоянного и переменного магнитных полей.
Известен магниторезистивный датчик магнитного поля (патент РФ №2139602, 1999 г.), состоящий из одинаково ориентированных магниторезистивных полосок, объединенных в мостовую схему и имеющих оси легкой намагниченности (ОЛН), ориентированные вдоль полосок в одном направлении. Датчик имеет S-образную (линейную) статическую вольт-эрстедную характеристику благодаря магнитному полю смещения, образуемому электрическим током, протекающим через проложенный над полосками управляющий проводник.
Недостатком такого датчика является потребность в дополнительном токе в управляющем проводнике, который служит для выведения датчика в рабочую точку, но приводит к повышенному энергопотреблению и дополнительному нагреву датчика.
Техническим результатом изобретения является получение датчика магнитного поля, имеющего нечетную, S-образную статическую вольт-эрстедную характеристику и пониженное энергопотребление.
Указанный технический результат достигается тем, что четыре идентичные многослойные тонкопленочные магниторезистивные полоски, изготовленные из ферромагнитных материалов с анизотропным магниторезистивным эффектом, ориентированные в одном направлении и имеющие продольно ориентированные, вдоль длины полосок, оси легкого намагничивания (ОЛН), соединены в мостовую схему. Четное число микромагнитов формируют в мостовой схеме две пары магниторезисторов с разной знаковой чувствительностью каждой из пар к направлению регистрируемого магнитного поля.
Сущность предлагаемого технического решения заключается в том, что вблизи полосок размещено четное число микромагнитов, оси намагниченности половины из которых направлены антипараллельно (встречно) осям намагниченности второй половины числа микромагнитов, и все они перпендикулярны ОЛН полосок. Микромагниты формируют магнитные поля в плоскости полосок. При этом одна пара противолежащих полосок мостовой схемы получает магнитное смещение (поворот векторов остаточной намагниченности относительно ОЛН соответствующих полосок) одного знака, а вторая пара - другого знака.
Изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 и 2 показаны два варианта взаимного расположения основных элементов заявляемого датчика, а на фиг.3 приведена электрическая схема, поясняющая работу датчика.
Магниторезистивный датчик поля (фиг.1) состоит из четырех многослойных тонкопленочных магниторезистивных резисторов (полосок) 1, 2, 3, 4, изготовленных из ферромагнитного материала с анизотропным магниторезистивным эффектом и соединенных в мостовую схему. Полоски ориентированы своими длинами в одном направлении, имеют ОЛН, ориентированные в том же направлении (пунктирные стрелки вдоль полосок). Одна пара противолежащих полосок 1 и 3 мостовой схемы расположена вблизи полюса, например северного, первого микромагнита 5. Ось намагниченности микромагнита 5 направлена в поперечном направлении к полоскам 1 и 3, т.е. перпендикулярно ОЛН этих полосок. (В отсутствие микромагнитов векторы остаточной намагниченности полосок 1, 2, 3, 4 совпадают с направлением ОЛН). Магнитное поле микромагнита 5 отклоняет векторы остаточной намагниченности в полосках 1 и 3, обозначенные на чертежах сплошными стрелками, от первоначального направления (направления ОЛН) на один и тот же угол - α.
Вторая пара противолежащих магниторезистивных полосок 2 и 4 расположена вдоль северного полюса микромагнита 6, ось намагниченности которого перпендикулярна ОЛН полосок 2 и 4. Векторы их остаточной намагниченности отклоняются от направления ОЛН под действием магнитного поля микромагнита 6 так же на один и тот же угол +α. Расстояние между парами полосок 1, 3 и 2, 4, а следовательно, и между северными полюсами микромагнитов 5 и 6, такое, что магнитное поле от микромагнита 5 практически не действует на полоски 2, 4, а от микромагнита 6 - на полоски 1, 3. Датчик, таким образом, находится в статическом состоянии и подготовлен к регистрации внешнего магнитного поля.
Из фиг.2 видно, что аналогичное состояние намагниченности магниторезистивных полосок мостовой схемы можно получить, используя по четыре микромагнита 11, 12, 13, 14 или 15, 16, 17, 18, или все восемь перечисленных микромагнитов. При этом половина микромагнитов во всех случаях имеет оси намагниченности, направленные антипараллельно (встречно) осям намагниченности другой половины микромагнитов.
Работа магниторезистивного датчика поля происходит следующим образом (фиг.3). При отсутствии внешнего магнитного поля 19, исходном равенстве номиналов резисторов 1, 2, 3, 4, равенстве величин напряженностей магнитных полей от микромагнитов 5 и 6 и подведении постоянного тока питания датчика 20 к контактам 7 и 9 разность потенциалов на контактах моста 8 и 10 будет равна нулю. Это обусловлено равным изменением номиналов всех четырех полосок, связанных с отклонением векторов остаточной намагниченности полосок 1, 2, 3, 4 (сплошные стрелки) на один и тот же угол |α|.
Вектор напряженности измеряемого магнитного поля 19 направлен перпендикулярно ОЛН, т.е. поперек всех магниторезистивных полосок 1, 2, 3, 4. Под действием этого поля все векторы остаточной намагниченности полосок развернутся в направлении его ориентации. При этом, в зависимости от направления измеряемого поля, у двух магниторезистивных полосок, например 1 и 3, модуль значения угла |α| уменьшится (значение сопротивления полосок увеличится), а у двух других 2 и 4 модуль значения угла |α| увеличится (значение сопротивления полосок уменьшится). Это приведет к разбалансу моста и появлению разности потенциалов (напряжения) на контактах 8 и 10 моста, полярность которого будет зависеть от направления измеряемого магнитного поля. Статическая вольт-эрстедная характеристика датчика в этом случае будет S-образной с линейным участком, проходящим через ноль.
Работа магниторезистивного датчика по схеме, изображенной на фиг.2, аналогична работе схемы (фиг.1), рассмотренной выше.

Claims (1)

  1. Магниторезистивный датчик поля, содержащий тонкопленочные магниторезистивные полоски, соединенные в мостовую схему и имеющие оси легкого намагничивания, отличающийся тем, что содержит магнитную систему, состоящую из четного числа микромагнитов, расположенных вблизи и в плоскости полосок и создающих магнитные поля, перпендикулярные осям легкого намагничивания, при этом одна половина числа микромагнитов создает магнитные поля одного знака в полосках одной пары противолежащих плечей мостовой схемы, а вторая половина числа микромагнитов - противоположного знака в полосках второй пары, причем магнитные поля обеих половин числа микромагнитов направлены антипараллельно.
RU2005118744/28A 2005-06-16 2005-06-16 Магниторезистивный датчик поля RU2307427C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005118744/28A RU2307427C2 (ru) 2005-06-16 2005-06-16 Магниторезистивный датчик поля

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005118744/28A RU2307427C2 (ru) 2005-06-16 2005-06-16 Магниторезистивный датчик поля

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005118744A RU2005118744A (ru) 2006-12-27
RU2307427C2 true RU2307427C2 (ru) 2007-09-27

Family

ID=37759334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005118744/28A RU2307427C2 (ru) 2005-06-16 2005-06-16 Магниторезистивный датчик поля

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2307427C2 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019005844A1 (en) * 2017-06-26 2019-01-03 Texas Instruments Incorporated MAGNEORESISTIVE ANGULAR SENSOR ANISOTROPIC SEGMENTED INCLINED

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019005844A1 (en) * 2017-06-26 2019-01-03 Texas Instruments Incorporated MAGNEORESISTIVE ANGULAR SENSOR ANISOTROPIC SEGMENTED INCLINED
US10782154B2 (en) 2017-06-26 2020-09-22 Texas Instruments Incorporated Tilted segmented anisotropic magneto-resistive angular sensor

Also Published As

Publication number Publication date
RU2005118744A (ru) 2006-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107229024B (zh) 磁场检测器
US4361805A (en) Magnetoresistive displacement sensor arrangement
JP3465059B2 (ja) 磁化反転導体と一又は複数の磁気抵抗レジスタとからなる磁界センサ
US6300758B1 (en) Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter
CN103376426B (zh) 磁场传感器
KR100846078B1 (ko) 방위계
US10338105B2 (en) Current detector that prevents fluctuatons in detection sensitivity
US6452382B1 (en) Encoder provided with giant magnetoresistive effect elements
KR20060050168A (ko) 스핀 밸브형 거대 자기 저항 효과 소자를 가진 방위계
CN109541280A (zh) 集成电流传感器
KR20160005733A (ko) 자계 센서 장치
US9372242B2 (en) Magnetometer with angled set/reset coil
JP2000055997A (ja) 磁気センサ装置および電流センサ装置
TW200402526A (en) Magnetic position sensor
US11243275B2 (en) Magnetic field sensing device
RU2307427C2 (ru) Магниторезистивный датчик поля
RU2279737C1 (ru) Магниторезистивный датчик
JPS599528A (ja) トルクセンサ
RU2300827C2 (ru) Датчик магнитного поля
JPS63212803A (ja) 変位計測装置
TWI703338B (zh) 電流感測器
JP2001174286A (ja) 磁気エンコーダ
RU2601281C1 (ru) Магниторезистивный датчик тока
TWI714107B (zh) 電流感測器
RU2216822C1 (ru) Магниторезистивный датчик

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190617