JPS5847209A - 表面形状測定装置 - Google Patents
表面形状測定装置Info
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- JPS5847209A JPS5847209A JP14489181A JP14489181A JPS5847209A JP S5847209 A JPS5847209 A JP S5847209A JP 14489181 A JP14489181 A JP 14489181A JP 14489181 A JP14489181 A JP 14489181A JP S5847209 A JPS5847209 A JP S5847209A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- moving table
- optical sensor
- output
- movement amount
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光センサを用いて被測定物の表面形状を広い面
積にわたって、高速、高精度に測定できるＪ：うにした
表面形状測定装置に関する。
積にわたって、高速、高精度に測定できるＪ：うにした
表面形状測定装置に関する。
被測定物の表面形状（表面の凹凸）を測定する方法とし
て、従来では、被測定物表面に■１の先端を接触させて
、釦又は被測定物を移動させる触１１方が用いられてい
る。しかし、この方法では、（イ）接触式であるので表
面を走査する速度を大きくできず測定に時間がかかる。
て、従来では、被測定物表面に■１の先端を接触させて
、釦又は被測定物を移動させる触１１方が用いられてい
る。しかし、この方法では、（イ）接触式であるので表
面を走査する速度を大きくできず測定に時間がかかる。
（ロ）被測定物に傷をつ【ノるおそれがある。
（ハ）被測定物表面に段差があると走査が困難である。
などの欠点があった。
また、被測定物表面にシリコンウェハや平面ガラスをの
せて、被測定物表面に歪みがある場合に生ずる干渉縞に
よって測定１−る王渉法も用いられている。しかし、こ
の方ｉ人では、 （イ）被測定物の表面の粗面の場合には測定が困難で、
測定前に表面を鏡面となるように磨かなければならない
。
せて、被測定物表面に歪みがある場合に生ずる干渉縞に
よって測定１−る王渉法も用いられている。しかし、こ
の方ｉ人では、 （イ）被測定物の表面の粗面の場合には測定が困難で、
測定前に表面を鏡面となるように磨かなければならない
。
（ロ）波長程度からその数十倍までの変位は測定できる
が、それ以上番ま縞の間隔が狭くなり実用的ではない。
が、それ以上番ま縞の間隔が狭くなり実用的ではない。
（ハ）広い面積にわたって測定することがｔ１１シい。
などの欠点があった。
本発明は上記の欠点を改め、非接触式に、高速、高精度
に、広い面積にわたって、また粗面であっても段差があ
っても、測定できるＪ：うにした表面形状測定装置を提
供することを目的としている。
に、広い面積にわたって、また粗面であっても段差があ
っても、測定できるＪ：うにした表面形状測定装置を提
供することを目的としている。
以下、図面に基いて本発明の一実施例を説明Ｊ”る。
第１図は本発明の一実施例にＪ、る表面形状測定装置を
示している。
示している。
同図において、１は被ａｔｌｌ定物Ｗを据えイ・目プる
平板状の基台であって、この基台１は、Ｘ方向移動デー
プル２上を水平方向（Ｘ軸り向）にパルスモータ３によ
って移動可能になっており、このＸ方向移動テーブル２
はＸ方向と直交ＪるＹ方向移動テ＝３− 一ブル４上を鉛直方向くＹ軸方向）にパルスモータ５に
よって移動可能に（１つている。これらの基台１、Ｘ方
向移動テーブル２、Ｙ方向移動テーブル４は鉛直に設置
されているため、被測定物Ｗは基台１の表面に鉛直状態
で据えｔＩＵられる。
平板状の基台であって、この基台１は、Ｘ方向移動デー
プル２上を水平方向（Ｘ軸り向）にパルスモータ３によ
って移動可能になっており、このＸ方向移動テーブル２
はＸ方向と直交ＪるＹ方向移動テ＝３− 一ブル４上を鉛直方向くＹ軸方向）にパルスモータ５に
よって移動可能に（１つている。これらの基台１、Ｘ方
向移動テーブル２、Ｙ方向移動テーブル４は鉛直に設置
されているため、被測定物Ｗは基台１の表面に鉛直状態
で据えｔＩＵられる。
基台１の前方には光センサ−６が固定台７上に固定設置
されている。
されている。
光センサ６は、第２図に示ｔＪ：うに、指向性の良い光
束ビームを発する光源６１と、この光束を絞って被測定
物Ｗの表面に照射する前側し〕／ズ６２と、光軸が照射
レンズ６２の光軸か、らある角度でずれ、被測定物Ｗの
表面の光点からの反射光束を絞って受光素子６４の受光
部６４ ａに反射光点の像を結像さける結像レンズ６３
ど、反射光点が被測定物Ｗの表面の７方向（Ｘ−Ｙ平面
に直交する方向）の変位によって変化りる場合の軌跡に
受光部６４．８が一致するにうに配置され、受光部６／
Ｉａにお（プる反射光点の像の位置に応じた二つの信号
１１、ｉユを出力する受光素子６４と、受光素子６４の
二つの出力 ｉ、 ｉ、ｎｔら被測定物Ｗの表面の４
− 高さの変化７１を として演輝する演算器６５とにＪ一つで構成されている
。
束ビームを発する光源６１と、この光束を絞って被測定
物Ｗの表面に照射する前側し〕／ズ６２と、光軸が照射
レンズ６２の光軸か、らある角度でずれ、被測定物Ｗの
表面の光点からの反射光束を絞って受光素子６４の受光
部６４ ａに反射光点の像を結像さける結像レンズ６３
ど、反射光点が被測定物Ｗの表面の７方向（Ｘ−Ｙ平面
に直交する方向）の変位によって変化りる場合の軌跡に
受光部６４．８が一致するにうに配置され、受光部６／
Ｉａにお（プる反射光点の像の位置に応じた二つの信号
１１、ｉユを出力する受光素子６４と、受光素子６４の
二つの出力 ｉ、 ｉ、ｎｔら被測定物Ｗの表面の４
− 高さの変化７１を として演輝する演算器６５とにＪ一つで構成されている
。
第３図に示すように、被測定物Ｗの表面に７方向（Ｘ−
Ｙ平面に直交する方向）の変位（即ち表面の凹凸）が存
在すると、黒用レンズ６２からの光束が表面で反射され
、結像レンズ６３によって結像される反射光点の像Ｑは
Ｚ方向の変位に対応してＺ方向に変位する。この７方向
の反射光点σ゛像Ｑの変位を検出するために、前記した
ように、受光素子６４の受光部６４ ａはＺ方向に叩
ｌう、反射光点の像Ｑの軸跡に一致ざＵである。
Ｙ平面に直交する方向）の変位（即ち表面の凹凸）が存
在すると、黒用レンズ６２からの光束が表面で反射され
、結像レンズ６３によって結像される反射光点の像Ｑは
Ｚ方向の変位に対応してＺ方向に変位する。この７方向
の反射光点σ゛像Ｑの変位を検出するために、前記した
ように、受光素子６４の受光部６４ ａはＺ方向に叩
ｌう、反射光点の像Ｑの軸跡に一致ざＵである。
受光素子６４としては、例えば第４図に示−！Ｊ−Ｊ：
うに、Ｚ方向の変位を電気信号に変換する一次元の拡散
型ＰＩＮダイオードが用いられる。この受光素子６４は
７方向の両端に設【プた端子６４ｂ１６４ Ｃにそれぞ
れ接続した口筒１氏抗器Ｒ，Ｒに流れる受光電流 １１
、１２の比が、反射光点の像Ｑの７方向の位置変化に応
じて変化するもので、中心線１゜から光点のＦｊ＋Ｑの
７方向の一距離Ｚ、はむ１−仁、 Ｚ、−に■（１，ｔ、（但Ｌ Ｋ Ｉ Ｌｊ定ｖｉ）と
して求められる。
うに、Ｚ方向の変位を電気信号に変換する一次元の拡散
型ＰＩＮダイオードが用いられる。この受光素子６４は
７方向の両端に設【プた端子６４ｂ１６４ Ｃにそれぞ
れ接続した口筒１氏抗器Ｒ，Ｒに流れる受光電流 １１
、１２の比が、反射光点の像Ｑの７方向の位置変化に応
じて変化するもので、中心線１゜から光点のＦｊ＋Ｑの
７方向の一距離Ｚ、はむ１−仁、 Ｚ、−に■（１，ｔ、（但Ｌ Ｋ Ｉ Ｌｊ定ｖｉ）と
して求められる。
Ｘ方向移動テーブル２、Ｙ方向移動テーブル４ににるＸ
方向、Ｙ方向の各移動ｆｆ１Ｘ、Ｙは、それぞれパルス
モータ３．５を駆動するＸドライバ８、Ｙドライバ９の
駆動出力を受領するＸ方向移動量検出器１０ＸＹ方向移
動狙検出器１１にＪ：つて検出される。
方向、Ｙ方向の各移動ｆｆ１Ｘ、Ｙは、それぞれパルス
モータ３．５を駆動するＸドライバ８、Ｙドライバ９の
駆動出力を受領するＸ方向移動量検出器１０ＸＹ方向移
動狙検出器１１にＪ：つて検出される。
４８号処理器１２は、前記光セン１す６の演算器６５の
出カフ１と、ｌｌｉに、前記Ｘ方向移動量検出器１０、
Ｙ方向移動検出器１１の出力Ｘ、Ｙを受領して被測定物
Ｗの表面形状を演ｎ出力づる機能、Ｘドライバ８、Ｙド
ライバ９を制御する制御信号を出力する機能、被測定物
Ｗの表面の三点の７方向の高さを光セン９″６の出力に
よって記憶し、この三点の７方向の高さが等しい値とな
るように被測定物Ｗを仮想的に置ぎ挽えた場合の他の任
意の点の７方向高さを出力するように補正する機能、Ｚ
方向の高さから７方向の等高線の位置を出力する機能を
備えている。
出カフ１と、ｌｌｉに、前記Ｘ方向移動量検出器１０、
Ｙ方向移動検出器１１の出力Ｘ、Ｙを受領して被測定物
Ｗの表面形状を演ｎ出力づる機能、Ｘドライバ８、Ｙド
ライバ９を制御する制御信号を出力する機能、被測定物
Ｗの表面の三点の７方向の高さを光セン９″６の出力に
よって記憶し、この三点の７方向の高さが等しい値とな
るように被測定物Ｗを仮想的に置ぎ挽えた場合の他の任
意の点の７方向高さを出力するように補正する機能、Ｚ
方向の高さから７方向の等高線の位置を出力する機能を
備えている。
上記の如く表面形状測定装置は構成されているので、被
測定物Ｗを基台１上に据え付け、Ｘ方向移動テーブル２
及びＹ方向移動テーブル４によって基台１をＸ−Ｙ平面
で移動しつつ光セン（Ｊ−６の光源６１の光ビームを被
測定物Ｗの表面に照射する。受光素子６４からは信ｑｉ
１、 ｉユが出力され、演算器６５は信号 ｉｉ、ｉｌ
受領して被測定物Ｗの光セン号６の出力Ｚ１及びＸ、Ｙ
方向移動量検出器１０．１１からのＸ、、Ｙニア’ｊ向
の移動量Ｘ、Ｙは信号処理器１２へ出力される。
測定物Ｗを基台１上に据え付け、Ｘ方向移動テーブル２
及びＹ方向移動テーブル４によって基台１をＸ−Ｙ平面
で移動しつつ光セン（Ｊ−６の光源６１の光ビームを被
測定物Ｗの表面に照射する。受光素子６４からは信ｑｉ
１、 ｉユが出力され、演算器６５は信号 ｉｉ、ｉｌ
受領して被測定物Ｗの光セン号６の出力Ｚ１及びＸ、Ｙ
方向移動量検出器１０．１１からのＸ、、Ｙニア’ｊ向
の移動量Ｘ、Ｙは信号処理器１２へ出力される。
信号処理器１２は光センサ６ににる変位量７１とＸ、Ｙ
方向移動量Ｘ、Ｙを取込んで、被測定物Ｗの表面形状を
演算して出力する。
方向移動量Ｘ、Ｙを取込んで、被測定物Ｗの表面形状を
演算して出力する。
第５図は前記光センサ６が７方向移動テーブル１３上を
モータ１４によってＸ−Ｙ平面と直交するＺ軸方向に移
動可能に設置された場合を示している。このＺ方向移動
テーブル１３にｊ；る光センサ６の７方向移動１２は周
波数安定化されていな７− いＨｅ−Ｎ ｆ！レーザを使用した光セン１す６の移
動を検出する干渉測長器から成るＺ方向移動系検出器１
５によって行われる。
モータ１４によってＸ−Ｙ平面と直交するＺ軸方向に移
動可能に設置された場合を示している。このＺ方向移動
テーブル１３にｊ；る光センサ６の７方向移動１２は周
波数安定化されていな７− いＨｅ−Ｎ ｆ！レーザを使用した光セン１す６の移
動を検出する干渉測長器から成るＺ方向移動系検出器１
５によって行われる。
第６図は、第５図に示した如く光センサ６を７方向にも
移動できるようにした場合の表面形状油筒ための構成を
示している。
移動できるようにした場合の表面形状油筒ための構成を
示している。
即ら、信号処理器１２は、前記光センサ６の演算器６５
の出力Ｚ１と７方向移動間検出器１５の出力Ｚとを加算
して被測定物Ｗの表面の７方向の高さを演算するとＪｔ
に、前記Ｘ方向移動量検出器１０、Ｙ方向移ｉ！ＩＩｍ
検出器１１の出力Ｘ１Ｙを受領して被測定物Ｗの表面形
状を演算出力する機能、Ｘドライバ８、Ｙドライバ９の
他に１：−９１４を駆！ＩＪするＺドライバ１６を制御
する制御信号を出力する機能、Ｘ方向移動テーブル２、
Ｙ方向移動テーブル４の移動に伴って生ずるＺ方向のず
れ量（蛇行）７２を知るために、予めＡプテイカルフラ
ットのような平面疫の良い被測定物を光センサ６によっ
て測定記憶し、前記加締器からの被測定物Ｗの表面の７
方向の高さを補正する機Ｏし、被測定８− 物Ｗの表面の３点の７方向の高さを光センサ６の出力に
よって記憶し、この３点の７方向の高さが等しい値とな
るように被測定物Ｗを仮想的に置き替えた場合の他の任
意の点の７方向の高さを出力するように補正する機能、
Ｚ方向の高さから７方向の等高線の位置を出力する機能
を備えている。
の出力Ｚ１と７方向移動間検出器１５の出力Ｚとを加算
して被測定物Ｗの表面の７方向の高さを演算するとＪｔ
に、前記Ｘ方向移動量検出器１０、Ｙ方向移ｉ！ＩＩｍ
検出器１１の出力Ｘ１Ｙを受領して被測定物Ｗの表面形
状を演算出力する機能、Ｘドライバ８、Ｙドライバ９の
他に１：−９１４を駆！ＩＪするＺドライバ１６を制御
する制御信号を出力する機能、Ｘ方向移動テーブル２、
Ｙ方向移動テーブル４の移動に伴って生ずるＺ方向のず
れ量（蛇行）７２を知るために、予めＡプテイカルフラ
ットのような平面疫の良い被測定物を光センサ６によっ
て測定記憶し、前記加締器からの被測定物Ｗの表面の７
方向の高さを補正する機Ｏし、被測定８− 物Ｗの表面の３点の７方向の高さを光センサ６の出力に
よって記憶し、この３点の７方向の高さが等しい値とな
るように被測定物Ｗを仮想的に置き替えた場合の他の任
意の点の７方向の高さを出力するように補正する機能、
Ｚ方向の高さから７方向の等高線の位置を出力する機能
を備えている。
また、光センサ６のある時点での出ツノを配憶し、この
記憶した値と光センサ６の出力値とを比較して両者がほ
ぼ一致するにうに７方向移動テーブル１３のモータ１４
を７ドライバ１６にＪ、って駆動して光センサ６の７方
向（Ｃ／置を制御する機能を備えていて、光センサ６の
出力を常にほぼ一定値になるように制御して被測定物Ｗ
の７方向の高さを光センサ６の出力と干渉測長器からな
る７方向移動量検出器１５の出力との和によって求め、
広い範囲にわたって精密に測定さ「得るようになってい
る。
記憶した値と光センサ６の出力値とを比較して両者がほ
ぼ一致するにうに７方向移動テーブル１３のモータ１４
を７ドライバ１６にＪ、って駆動して光センサ６の７方
向（Ｃ／置を制御する機能を備えていて、光センサ６の
出力を常にほぼ一定値になるように制御して被測定物Ｗ
の７方向の高さを光センサ６の出力と干渉測長器からな
る７方向移動量検出器１５の出力との和によって求め、
広い範囲にわたって精密に測定さ「得るようになってい
る。
従って、第５．６図に示した表面形状測定装置では、信
号処理器１２によって光セン９６の出力７ｔが受領され
、この値が常にほぼ一定値となるように〈即ら受光素子
６／ｌの受光面６４ａの中心線Ｉ近傍に反射光点のＷｉ
ｔ Ｑが結像ターるように）、７ドライバ１６によって
モータ１４が駆動されてＺ方面移動テーブル１３上を光
［ン４Ｊ−６ｔＪ、 １方向に移動される。光レンリ゛
６の７方向の移動用は干渉測長器から成る７方向移動Ｉ
δ検出器１５で検出される。
号処理器１２によって光セン９６の出力７ｔが受領され
、この値が常にほぼ一定値となるように〈即ら受光素子
６／ｌの受光面６４ａの中心線Ｉ近傍に反射光点のＷｉ
ｔ Ｑが結像ターるように）、７ドライバ１６によって
モータ１４が駆動されてＺ方面移動テーブル１３上を光
［ン４Ｊ−６ｔＪ、 １方向に移動される。光レンリ゛
６の７方向の移動用は干渉測長器から成る７方向移動Ｉ
δ検出器１５で検出される。
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向移動量検出器１０．１１．１５によって
、′ぞれぞれｘ、ｙ、Ｚ方向の移動ＩＸ。
、′ぞれぞれｘ、ｙ、Ｚ方向の移動ＩＸ。
Ｙ、Ｚが信号処理器１２へ出力される。
信号処理器１２は、光センサ６による変位量７１と７方
向移動量検出器１３による７方向移動吊７とを加算し、
Ｘ、Ｙ方向移動ａｘ、ｙを取込んで被測定物Ｗの表面形
状を演算して出力する。
向移動量検出器１３による７方向移動吊７とを加算し、
Ｘ、Ｙ方向移動ａｘ、ｙを取込んで被測定物Ｗの表面形
状を演算して出力する。
なお、基台１に被測定物Ｗを据え伺（プるｈｆｔに、光
セン１〕６の光ビームをＡプティカルフラッ１〜のよう
な平面度の良い物体の表面に照射することによって、予
めＸ方向移動テーブル２、Ｙ方向移動テーブル４の７方
向のずれ量を光センサ６の出力として信号処理器１２に
記憶し、前記７、と７とを加算した値からこのずれ吊を
補正するにうにすれば、Ｘ方向移動テーブル２、Ｙ方向
移動テーブル４に蛇行があっても無関係に正しい測定値
が得られる。
セン１〕６の光ビームをＡプティカルフラッ１〜のよう
な平面度の良い物体の表面に照射することによって、予
めＸ方向移動テーブル２、Ｙ方向移動テーブル４の７方
向のずれ量を光センサ６の出力として信号処理器１２に
記憶し、前記７、と７とを加算した値からこのずれ吊を
補正するにうにすれば、Ｘ方向移動テーブル２、Ｙ方向
移動テーブル４に蛇行があっても無関係に正しい測定値
が得られる。
また、被測定物Ｗの表面がＸ −Ｙ平面に対して傾斜し
た平面の場合には、信号処理器１２で被測定物Ｗの表面
の三点の７方向の＾ざを光レンリ６の出力によって記憶
し、この三点の７方向の高さが等しい値となるように被
測定物Ｗを仮想的に首き換えた場合の、他の任意の点の
７方向高さを出力するように補正することもできる。
た平面の場合には、信号処理器１２で被測定物Ｗの表面
の三点の７方向の＾ざを光レンリ６の出力によって記憶
し、この三点の７方向の高さが等しい値となるように被
測定物Ｗを仮想的に首き換えた場合の、他の任意の点の
７方向高さを出力するように補正することもできる。
なお、Ｚ方向の高さから７方向の等高線の位置を出力づ
ることもできる。
ることもできる。
、本発明の表面形状測定装置にＪ、れぽ、（イ）被接触
式であるので高速走査が行え、高速測定ができる。また
粗面でも測定できる。
式であるので高速走査が行え、高速測定ができる。また
粗面でも測定できる。
（ロ）Ｘ方向移動テーブル、Ｙ方向移動テーブルによっ
てＸ−Ｙ平面を任意に被測定物を移動できるので、広い
面積にわたって測定できる。
てＸ−Ｙ平面を任意に被測定物を移動できるので、広い
面積にわたって測定できる。
＝１１−
（ハ）Ｚ方向移動テーブルによって光センサを移動でき
るので７方向の変位が大きい場合でも高精疫の測定がで
きる。
るので７方向の変位が大きい場合でも高精疫の測定がで
きる。
第１図は本発明の一実施例の表面形状測定装置の機構部
を示す斜視図、第２図はその回路部のブロック図、第３
図は光セン９−にｊ；る測定原即を示す図、第４図は受
光素子の一例を示ず説明図であ動テーブル、３・・・・
・・パルスモータ、４・・・・・・Ｙ方向移動テーブル
、５・・・・・・パルスモータ、６・・・・・・光セン
９”、１０・・・・・・Ｘ方向移動量検出器、１１・・
・・・・Ｙ方向移動１７１検出器、１２・・・・・・信
号処理器、１３・・・・・・Ｚ方向移動テーブル、１５
・・・・・・Ｚ方向移動邑検出器、１６・・・・・・７
ドライバ、６１・・・・・・光源、６４・・・・・・受
光素子、６５・・・・・・演算器。 特許出願人 安立電気株式会社 １２−
を示す斜視図、第２図はその回路部のブロック図、第３
図は光セン９−にｊ；る測定原即を示す図、第４図は受
光素子の一例を示ず説明図であ動テーブル、３・・・・
・・パルスモータ、４・・・・・・Ｙ方向移動テーブル
、５・・・・・・パルスモータ、６・・・・・・光セン
９”、１０・・・・・・Ｘ方向移動量検出器、１１・・
・・・・Ｙ方向移動１７１検出器、１２・・・・・・信
号処理器、１３・・・・・・Ｚ方向移動テーブル、１５
・・・・・・Ｚ方向移動邑検出器、１６・・・・・・７
ドライバ、６１・・・・・・光源、６４・・・・・・受
光素子、６５・・・・・・演算器。 特許出願人 安立電気株式会社 １２−
Claims (3)
- （１）被測定物をＸ方向に移動さＶるＸ方向移動テーブ
ルど：前記Ｘ方向移動テーブルの移動量Ｘを検出するＸ
方向移動量検出器と；被測定物を前記Ｘ方向ど直交する
Ｙ方向に移動させるＹ方向移動デープルど：前記Ｙ方向
移動テーブルの移動量Ｙを検出するＹ方向移り３Ｍ検出
器と；被測定物表面に光ビームを照射し、での反射光点
の位置変化を検出することによってＸ−Ｙ平面と直交す
るＺ方向の被測定物表面までの距離変化量Ｚ１を出力す
る光センリ−と；前記光センサの出力ｚ１及び前記Ｘ方
向移動量検出器、Ｙ方向移動量検出器の出力Ｘ１Ｙを受
領して被測定物の表面形状を演算出力する信号処理器と
を備えた表面形状測定装置。 - （２）被測定物をＸ方向に移動させるＸ方向移動テーブ
ルと：前記Ｘ方向移動テーブルの移動量Ｘ−ｏＡ を検出するＸ方向移動量検出器と；被測定・物を前記Ｘ
方向と直交するＹ方向に移動さＵるＹ方向移動テーブル
と；前記Ｙ方向移動テーブルの移動■Ｙを検出するＹ方
向移動量検出器ど；被測定物表面に光ビームを照射し、
その反射光点の（（／ ｈｆｌ変化を検出することによ
ってＸ−Ｙ平面と直交するＺ方向の被測定物表面までの
距１１１１１変化ｆｉｉＺ１を出力する光センサと；前
記光セン−すを７方向に移動させる７方向移動デープル
と；前記Ｚ方向移動テーブルの移動量Ｚを検出するＺ方
向移動量検出器と：前記光センサの出力Ｚ１と７方向移
動聞検出器の出力Ｚとを加締してＺ方向の被測定物表面
の高さの変化を算出すると共に、前記Ｘ方向移動量検出
器及びＹ方向移動量検出器の出力Ｘ１Ｙを受領して被測
定物の表面形状を演算出力する信号処理器どを備えた表
面形状測定装置。 - （３）前記光センかすの出カフ１が常に一定値になるよ
うに、前記Ｚ方向移動テーブルによって光センサを移動
させるようにした特許請求の範囲第２項記載の表面形状
測定装置。 ２−
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14489181A JPS5847209A (ja) | 1981-09-15 | 1981-09-15 | 表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14489181A JPS5847209A (ja) | 1981-09-15 | 1981-09-15 | 表面形状測定装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63246450A Division JPH0726824B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 表面形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5847209A true JPS5847209A (ja) | 1983-03-18 |
| JPH0123041B2 JPH0123041B2 (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=15372750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14489181A Granted JPS5847209A (ja) | 1981-09-15 | 1981-09-15 | 表面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5847209A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60200109A (ja) * | 1984-03-24 | 1985-10-09 | Kanto Jidosha Kogyo Kk | 三次元形状の自動測定方法 |
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| JPH03269308A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-11-29 | Anritsu Corp | 形状測定装置 |
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1981
- 1981-09-15 JP JP14489181A patent/JPS5847209A/ja active Granted
Patent Citations (1)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0123041B2 (ja) | 1989-04-28 |
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