JPH1189255A - 振動アクチュエータの駆動装置 - Google Patents
振動アクチュエータの駆動装置Info
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- JPH1189255A JPH1189255A JP9235975A JP23597597A JPH1189255A JP H1189255 A JPH1189255 A JP H1189255A JP 9235975 A JP9235975 A JP 9235975A JP 23597597 A JP23597597 A JP 23597597A JP H1189255 A JPH1189255 A JP H1189255A
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動アクチュエータの微少駆動または間欠駆
動を容易かつ安価な構成で実現する振動アクチュエータ
の駆動装置を提供すること。 【解決手段】振動アクチュエータ１の弾性体１０１に接
合された圧電素子１０２と圧電素子１０３に位相の異な
る複数の駆動周波信号を印加して駆動し、位相が同一ま
たは逆相の関係にある複数の駆動周波信号を印加してそ
の駆動を停止する。
動を容易かつ安価な構成で実現する振動アクチュエータ
の駆動装置を提供すること。 【解決手段】振動アクチュエータ１の弾性体１０１に接
合された圧電素子１０２と圧電素子１０３に位相の異な
る複数の駆動周波信号を印加して駆動し、位相が同一ま
たは逆相の関係にある複数の駆動周波信号を印加してそ
の駆動を停止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動アクチュエー
タを駆動する駆動装置に関する。
タを駆動する駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】弾性体の表面に例えば圧電素子を接合
し、この圧電素子に一定の周波数を有する駆動電圧を印
加することにより弾性体に複数の振動モードを調和的に
発生させ、弾性体表面に物理的な楕円運動を発生させる
ことにより、弾性体に加圧接触される相対運動部材を駆
動する振動アクチュエータが知られている。この種の振
動アクチュエータにおいて、超音波の振動域を利用した
ものを超音波振動アクチュエータあるいは超音波モータ
とも呼ばれている。
し、この圧電素子に一定の周波数を有する駆動電圧を印
加することにより弾性体に複数の振動モードを調和的に
発生させ、弾性体表面に物理的な楕円運動を発生させる
ことにより、弾性体に加圧接触される相対運動部材を駆
動する振動アクチュエータが知られている。この種の振
動アクチュエータにおいて、超音波の振動域を利用した
ものを超音波振動アクチュエータあるいは超音波モータ
とも呼ばれている。
【０００３】上記振動アクチュエータを駆動する駆動装
置の一般的な構成を図５に示す。図５において、振動ア
クチュエータ２０１を駆動する駆動装置は、振動アクチ
ュエータ２０１の共振周波数近傍の駆動周波数を有する
ｓｉｎ（正弦）波信号を発振する発振器２０２と、発振
器２０２からのｓｉｎ波信号から９０゜位相が遅れたｃ
ｏｓ（余弦）波信号を生成する移相器２０３と、移相器
２０３のｃｏｓ波信号を反転させて−ｃｏｓ波信号を生
成する反転器２０４と、振動アクチュエータ２０１の駆
動方向を規定すべくｃｏｓ波信号と−ｃｏｓ波信号を切
り換えるための切換器２０５と、ｓｉｎ波信号および±
ｃｏｓ波信号を振動アクチュエータ２０１の駆動レベル
まで増幅する増幅器２０６、２０７とから構成される。
増幅器２０６で増幅されたｓｉｎ波信号はＡ相信号とし
て振動アクチュエータの一つの圧電素子に供給され、増
幅器２０７で増幅された±ｃｏｓ波信号のいずれかはＢ
相信号として振動アクチュエータの他の一つの圧電素子
に供給されて振動アクチュエータ２０１が駆動される。
置の一般的な構成を図５に示す。図５において、振動ア
クチュエータ２０１を駆動する駆動装置は、振動アクチ
ュエータ２０１の共振周波数近傍の駆動周波数を有する
ｓｉｎ（正弦）波信号を発振する発振器２０２と、発振
器２０２からのｓｉｎ波信号から９０゜位相が遅れたｃ
ｏｓ（余弦）波信号を生成する移相器２０３と、移相器
２０３のｃｏｓ波信号を反転させて−ｃｏｓ波信号を生
成する反転器２０４と、振動アクチュエータ２０１の駆
動方向を規定すべくｃｏｓ波信号と−ｃｏｓ波信号を切
り換えるための切換器２０５と、ｓｉｎ波信号および±
ｃｏｓ波信号を振動アクチュエータ２０１の駆動レベル
まで増幅する増幅器２０６、２０７とから構成される。
増幅器２０６で増幅されたｓｉｎ波信号はＡ相信号とし
て振動アクチュエータの一つの圧電素子に供給され、増
幅器２０７で増幅された±ｃｏｓ波信号のいずれかはＢ
相信号として振動アクチュエータの他の一つの圧電素子
に供給されて振動アクチュエータ２０１が駆動される。
【０００４】上記のような駆動装置において、振動アク
チュエータ２０１を微少駆動または間欠（Ｓｔｅｐｐｉ
ｎｇ）駆動させる場合は、図６（ａ）に示すように駆動
信号の供給を時間で制限するバースト信号による駆動が
提案されている。しかし、このようなバースト信号によ
る駆動の場合は、バーストの周期が音波帯域になり摺動
部等における発音（騒音）の問題が発生する。その消音
対策としては、図６（ｂ）に示すようなガウシャン波
や、図６（ｃ）に示すような振幅変調波による提案も同
時になされている。
チュエータ２０１を微少駆動または間欠（Ｓｔｅｐｐｉ
ｎｇ）駆動させる場合は、図６（ａ）に示すように駆動
信号の供給を時間で制限するバースト信号による駆動が
提案されている。しかし、このようなバースト信号によ
る駆動の場合は、バーストの周期が音波帯域になり摺動
部等における発音（騒音）の問題が発生する。その消音
対策としては、図６（ｂ）に示すようなガウシャン波
や、図６（ｃ）に示すような振幅変調波による提案も同
時になされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらのガウ
シャン波や振幅変調波を得るには複雑な構成が必要とな
り、駆動装置が大がかりとなりコストが上昇するという
問題が発生していた。
シャン波や振幅変調波を得るには複雑な構成が必要とな
り、駆動装置が大がかりとなりコストが上昇するという
問題が発生していた。
【０００６】本発明の目的は、振動アクチュエータの微
少駆動または間欠駆動を容易かつ安価な構成で実現する
振動アクチュエータの駆動装置を提供することにある。
少駆動または間欠駆動を容易かつ安価な構成で実現する
振動アクチュエータの駆動装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】実施の形態を示す図１お
よび図２に対応づけて本発明を説明する。上記目的を達
成するために、請求項１の発明は、弾性体１０１と該弾
性体１０１に接合されて該弾性体１０１に複数の振動を
発生させる複数の駆動用電気機械変換素子１０２、１０
３とを有して複数の振動により駆動力を得る振動子と、
振動子に加圧接触されて駆動力により振動子との間で相
対運動を行なう相対運動部材１０６とを備えた振動アク
チュエータを駆動する振動アクチュエータの駆動装置に
適用され、複数の駆動用電気機械変換素子１０２、１０
３に、位相の異なる複数の周波信号を印加する場合と位
相が同一の複数の周波信号を印加する場合とを択一的に
行うことにより、該相対運動の速度を制御する制御回路
７、８、９を備えるようにしたものである。請求項２の
発明は、弾性体１０１と該弾性体１０１に接合されて該
弾性体１０１に複数の振動を発生させる複数の駆動用電
気機械変換素子１０２、１０３とを有して複数の振動に
より駆動力を得る振動子と、振動子に加圧接触されて駆
動力により振動子との間で相対運動を行なう相対運動部
材１０６とを備えた振動アクチュエータを駆動する振動
アクチュエータの駆動装置に適用され、複数の駆動用電
気機械変換素子１０２、１０３に、位相の異なる複数の
周波信号を印加する場合と位相が逆相の関係にある複数
の周波信号を印加する場合とを択一的に行うことによ
り、該相対運動の速度を制御する制御回路７、８、９を
備えるようにしたものである。
よび図２に対応づけて本発明を説明する。上記目的を達
成するために、請求項１の発明は、弾性体１０１と該弾
性体１０１に接合されて該弾性体１０１に複数の振動を
発生させる複数の駆動用電気機械変換素子１０２、１０
３とを有して複数の振動により駆動力を得る振動子と、
振動子に加圧接触されて駆動力により振動子との間で相
対運動を行なう相対運動部材１０６とを備えた振動アク
チュエータを駆動する振動アクチュエータの駆動装置に
適用され、複数の駆動用電気機械変換素子１０２、１０
３に、位相の異なる複数の周波信号を印加する場合と位
相が同一の複数の周波信号を印加する場合とを択一的に
行うことにより、該相対運動の速度を制御する制御回路
７、８、９を備えるようにしたものである。請求項２の
発明は、弾性体１０１と該弾性体１０１に接合されて該
弾性体１０１に複数の振動を発生させる複数の駆動用電
気機械変換素子１０２、１０３とを有して複数の振動に
より駆動力を得る振動子と、振動子に加圧接触されて駆
動力により振動子との間で相対運動を行なう相対運動部
材１０６とを備えた振動アクチュエータを駆動する振動
アクチュエータの駆動装置に適用され、複数の駆動用電
気機械変換素子１０２、１０３に、位相の異なる複数の
周波信号を印加する場合と位相が逆相の関係にある複数
の周波信号を印加する場合とを択一的に行うことによ
り、該相対運動の速度を制御する制御回路７、８、９を
備えるようにしたものである。
【０００８】なお、上記課題を解決するための手段およ
び作用の項では、分かりやすく説明するため実施の形態
の図と対応づけたが、これにより本発明が実施の形態に
限定されるものではない。
び作用の項では、分かりやすく説明するため実施の形態
の図と対応づけたが、これにより本発明が実施の形態に
限定されるものではない。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１〜図４を使用して本発明の実
施の形態を説明する。図１は、本発明の振動アクチュエ
ータの駆動装置により駆動される振動アクチュエータの
概略構成を説明する斜視図である。図１において、振動
アクチュエータ１は、弾性体１０１の表面に２個の圧電
素子１０２、１０３が接着接合されている。そして、こ
の圧電素子１０２、１０３に位相の異なる駆動電圧を印
加することにより弾性体１０１に複数の振動モードを調
和的に発生させ、駆動力取り出し部１０４、１０５に物
理的な楕円運動を発生させ、この駆動力取り出し部１０
４、１０５に不図示の付勢部材により加圧接触される相
対運動部材１０６を相対運動させて駆動するものであ
る。弾性体１０１には振動状態をモニタする振動モニタ
用圧電素子１０７、１０８も接着接合されている。弾性
体１０１と、圧電素子１０２、１０３と、駆動力取り出
し部１０４、１０５と、振動モニタ用圧電素子１０７、
１０８とを総合して振動子ともいう。以上の動作原理は
公知であるので詳細な説明は省略する（例えば特開平８
−１８４７６９号公報を参照）。
施の形態を説明する。図１は、本発明の振動アクチュエ
ータの駆動装置により駆動される振動アクチュエータの
概略構成を説明する斜視図である。図１において、振動
アクチュエータ１は、弾性体１０１の表面に２個の圧電
素子１０２、１０３が接着接合されている。そして、こ
の圧電素子１０２、１０３に位相の異なる駆動電圧を印
加することにより弾性体１０１に複数の振動モードを調
和的に発生させ、駆動力取り出し部１０４、１０５に物
理的な楕円運動を発生させ、この駆動力取り出し部１０
４、１０５に不図示の付勢部材により加圧接触される相
対運動部材１０６を相対運動させて駆動するものであ
る。弾性体１０１には振動状態をモニタする振動モニタ
用圧電素子１０７、１０８も接着接合されている。弾性
体１０１と、圧電素子１０２、１０３と、駆動力取り出
し部１０４、１０５と、振動モニタ用圧電素子１０７、
１０８とを総合して振動子ともいう。以上の動作原理は
公知であるので詳細な説明は省略する（例えば特開平８
−１８４７６９号公報を参照）。
【００１０】図２は、図１の振動アクチュエータ１を駆
動する本発明による駆動装置の実施の形態の構成図であ
る。図２の駆動装置は、電圧制御発振器（以下ＶＣＯと
言う）２と、移相器３と、イクスクルーシブＯＲ（ＥＸ
ＯＲ）ゲート４と、増幅器５、６と、分周器７と、切換
回路８、９とから構成される。
動する本発明による駆動装置の実施の形態の構成図であ
る。図２の駆動装置は、電圧制御発振器（以下ＶＣＯと
言う）２と、移相器３と、イクスクルーシブＯＲ（ＥＸ
ＯＲ）ゲート４と、増幅器５、６と、分周器７と、切換
回路８、９とから構成される。
【００１１】ＶＣＯ２は、入力電圧により発振周波数が
制御された周波数の矩形波を出力する。移相器３は、Ｖ
ＣＯ２からの信号Ｓ１をそれぞれお互いにπ／２位相が
ずれた２個の信号Ｓ２、Ｓ３を出力する。図３は移相器
３における信号Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の関係を示す図であ
る。移相器３の具体的な構成は、例えば２個のＤタイプ
フリップフロップをたすきがけに接続することにより実
現することができるが、公知な内容であるので詳細な説
明は省略する。イクスクルーシブＯＲゲート４は、不図
示の制御回路から送られてくる信号Ｒ／Ｌにより移相器
３からの信号Ｓ３を反転させるかしないかを制御する。
すなわち、信号Ｓ２に対して信号Ｓ３の位相をπ／２ず
らせるか−π／２ずらせるかを決定し、振動アクチュエ
ータ１の駆動方向を決めるものである。増幅器５、６
は、移相器３および切換回路９からの出力信号を振動ア
クチュエータ１の駆動レベルまで増幅する。増幅された
信号は増幅器５からはＡ相信号として増幅器６からはＢ
相信号として振動アクチュエータ１の圧電素子１０２、
１０３に印加される。分周器７は、ＶＣＯ２からの信号
を分周し所定の周期の信号を出力する。切換回路８、９
は、Ｂ相信号としての信号を信号Ｓ２とするか、あるい
は信号Ｓ３とするかを切り換えるための切換回路であ
る。
制御された周波数の矩形波を出力する。移相器３は、Ｖ
ＣＯ２からの信号Ｓ１をそれぞれお互いにπ／２位相が
ずれた２個の信号Ｓ２、Ｓ３を出力する。図３は移相器
３における信号Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の関係を示す図であ
る。移相器３の具体的な構成は、例えば２個のＤタイプ
フリップフロップをたすきがけに接続することにより実
現することができるが、公知な内容であるので詳細な説
明は省略する。イクスクルーシブＯＲゲート４は、不図
示の制御回路から送られてくる信号Ｒ／Ｌにより移相器
３からの信号Ｓ３を反転させるかしないかを制御する。
すなわち、信号Ｓ２に対して信号Ｓ３の位相をπ／２ず
らせるか−π／２ずらせるかを決定し、振動アクチュエ
ータ１の駆動方向を決めるものである。増幅器５、６
は、移相器３および切換回路９からの出力信号を振動ア
クチュエータ１の駆動レベルまで増幅する。増幅された
信号は増幅器５からはＡ相信号として増幅器６からはＢ
相信号として振動アクチュエータ１の圧電素子１０２、
１０３に印加される。分周器７は、ＶＣＯ２からの信号
を分周し所定の周期の信号を出力する。切換回路８、９
は、Ｂ相信号としての信号を信号Ｓ２とするか、あるい
は信号Ｓ３とするかを切り換えるための切換回路であ
る。
【００１２】図４は、Ｂ相信号が選択される様子を説明
するタイミングチャートである。以下図２および図４を
参照してＢ相信号が選択される様子を説明する。図２に
おいて、信号Ｒ／Ｌはロー信号となっているものとし、
イクスクルーシブＯＲゲート４からは信号Ｓ３が反転さ
れないで出力されるものとする。分周器７は、ＶＣＯ２
からの信号を分周して例えば図４の信号Ｓ４の周期の信
号を出力する。この信号Ｓ４の周期は、以下に説明する
間欠駆動の周期となる。信号Ｓ４がハイの時（ｔ０〜ｔ
１）は、切換回路８ではゲートＧ２側が選択され、信号
Ｓ５は信号Ｓ３と同一の信号となる。信号Ｓ４がローの
時（ｔ１〜ｔ２）は、ゲートＧ１側が選択され信号Ｓ５
は信号Ｓ２と同一の信号となる。
するタイミングチャートである。以下図２および図４を
参照してＢ相信号が選択される様子を説明する。図２に
おいて、信号Ｒ／Ｌはロー信号となっているものとし、
イクスクルーシブＯＲゲート４からは信号Ｓ３が反転さ
れないで出力されるものとする。分周器７は、ＶＣＯ２
からの信号を分周して例えば図４の信号Ｓ４の周期の信
号を出力する。この信号Ｓ４の周期は、以下に説明する
間欠駆動の周期となる。信号Ｓ４がハイの時（ｔ０〜ｔ
１）は、切換回路８ではゲートＧ２側が選択され、信号
Ｓ５は信号Ｓ３と同一の信号となる。信号Ｓ４がローの
時（ｔ１〜ｔ２）は、ゲートＧ１側が選択され信号Ｓ５
は信号Ｓ２と同一の信号となる。
【００１３】切換回路９に入力される信号Ｃ／Ｓは、連
続（Ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ）モードと間欠（Ｓｔｅｐｐ
ｉｎｇ）モードとを選択する信号である。信号Ｃ／Ｓが
ローの時は間欠モードであり、切換回路９ではゲートＧ
３側が選択される。ゲートＧ３側が選択されると、信号
Ｓ６は信号Ｓ５と同一の信号（Ｓ６−１）となる。信号
Ｃ／Ｓがハイの時は連続モードであり、切換回路９では
ゲートＧ４側が選択される。ゲートＧ４側が選択される
と、信号Ｓ６はイクスクルーシブＯＲゲート４の出力と
同一の信号すなわち信号Ｓ３と同一の信号となる。
続（Ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ）モードと間欠（Ｓｔｅｐｐ
ｉｎｇ）モードとを選択する信号である。信号Ｃ／Ｓが
ローの時は間欠モードであり、切換回路９ではゲートＧ
３側が選択される。ゲートＧ３側が選択されると、信号
Ｓ６は信号Ｓ５と同一の信号（Ｓ６−１）となる。信号
Ｃ／Ｓがハイの時は連続モードであり、切換回路９では
ゲートＧ４側が選択される。ゲートＧ４側が選択される
と、信号Ｓ６はイクスクルーシブＯＲゲート４の出力と
同一の信号すなわち信号Ｓ３と同一の信号となる。
【００１４】今、信号Ｃ／Ｓがローであると考えると、
振動アクチュエータ１にはＢ相信号として信号Ｓ６−１
（図４）が増幅器６を経由して印加される。また、Ａ相
信号としては信号Ｓ２が増幅器５を経由して印加され
る。この時、ｔ０〜ｔ１間においては、信号Ｓ２と信号
Ｓ６−１は位相が９０度異なるので、図１の駆動力取り
出し部１０４、１０５には物理的な楕円運動が生成さ
れ、この駆動力取り出し部１０４、１０５に加圧接触さ
れる相対運動部材１０６が所定の駆動力および駆動速度
で駆動される。
振動アクチュエータ１にはＢ相信号として信号Ｓ６−１
（図４）が増幅器６を経由して印加される。また、Ａ相
信号としては信号Ｓ２が増幅器５を経由して印加され
る。この時、ｔ０〜ｔ１間においては、信号Ｓ２と信号
Ｓ６−１は位相が９０度異なるので、図１の駆動力取り
出し部１０４、１０５には物理的な楕円運動が生成さ
れ、この駆動力取り出し部１０４、１０５に加圧接触さ
れる相対運動部材１０６が所定の駆動力および駆動速度
で駆動される。
【００１５】ｔ１〜ｔ２においては、信号Ｓ２と信号Ｓ
６−１は同位相であるため、駆動力取り出し部１０４、
１０５には楕円運動は発生せず上下運動あるいは実質的
に上下運動のみとみなせるような近似な運動が生じる。
これにより、相対運動部材１０６は楕円運動のように送
り出されることはなくその位置で上下運動のみを行い、
送り出し方向（駆動方向）には実質停止することにな
る。ｔ２以降はｔ０〜ｔ１と同様に相対運動部材１０６
の駆動（送り出し）が再びなされる。
６−１は同位相であるため、駆動力取り出し部１０４、
１０５には楕円運動は発生せず上下運動あるいは実質的
に上下運動のみとみなせるような近似な運動が生じる。
これにより、相対運動部材１０６は楕円運動のように送
り出されることはなくその位置で上下運動のみを行い、
送り出し方向（駆動方向）には実質停止することにな
る。ｔ２以降はｔ０〜ｔ１と同様に相対運動部材１０６
の駆動（送り出し）が再びなされる。
【００１６】信号Ｃ／Ｓがハイの場合は、振動アクチュ
エータ１にはＢ相信号として信号Ｓ６−２が増幅器６を
経由して印加される。この場合は、信号Ｓ６−２はＡ相
信号としての信号Ｓ２と常に位相が９０度異なるので、
相対運動部材１０６は連続して駆動される。
エータ１にはＢ相信号として信号Ｓ６−２が増幅器６を
経由して印加される。この場合は、信号Ｓ６−２はＡ相
信号としての信号Ｓ２と常に位相が９０度異なるので、
相対運動部材１０６は連続して駆動される。
【００１７】このようにして、振動アクチュエータ１へ
印加するＡ相信号とＢ相信号の位相を、所定の間隔で同
一位相にしたり９０度異なる位相にしたりして間欠駆動
を行い微少駆動を実現している。これにより、間欠駆動
の駆動装置が簡単に構成できまたコストも低減される。
さらに、相対運動部材１０６が駆動方向に停止している
場合も、駆動力取り出し部１０４、１０５は上下運動を
行っているため、駆動停止時あるいは駆動開始時の騒音
の発生が低減される。
印加するＡ相信号とＢ相信号の位相を、所定の間隔で同
一位相にしたり９０度異なる位相にしたりして間欠駆動
を行い微少駆動を実現している。これにより、間欠駆動
の駆動装置が簡単に構成できまたコストも低減される。
さらに、相対運動部材１０６が駆動方向に停止している
場合も、駆動力取り出し部１０４、１０５は上下運動を
行っているため、駆動停止時あるいは駆動開始時の騒音
の発生が低減される。
【００１８】上記実施の形態では、Ａ相信号とＢ相信号
の位相を同相にすることにより、駆動力取り出し部の運
動を上下運動のみとして、相対運動部材の駆動を停止し
ているが、この相対運動部材の停止は必ずしも完全に停
止する必要はない。電気的な信号をほぼ正確に同相にし
ても、振動アクチュエータの構成や弾性体の状態などに
よって必ずしも駆動方向の運動成分がゼロにならない場
合がある。しかし、このような場合であっても、９０度
位相が異なる信号を印加している場合と同相の信号を印
加している場合において相対的な駆動速度差が十分あれ
ば実用上問題はない。
の位相を同相にすることにより、駆動力取り出し部の運
動を上下運動のみとして、相対運動部材の駆動を停止し
ているが、この相対運動部材の停止は必ずしも完全に停
止する必要はない。電気的な信号をほぼ正確に同相にし
ても、振動アクチュエータの構成や弾性体の状態などに
よって必ずしも駆動方向の運動成分がゼロにならない場
合がある。しかし、このような場合であっても、９０度
位相が異なる信号を印加している場合と同相の信号を印
加している場合において相対的な駆動速度差が十分あれ
ば実用上問題はない。
【００１９】上記実施の形態では、Ａ相信号とＢ相信号
の位相を同相にすることにより、相対運動部材の駆動を
停止しているが、Ａ相信号とＢ相信号の位相を逆相とし
てもよい。なお、位相が逆相とは位相が１８０度（π）
異なることを言うが、本明細書では「位相が異なる」と
表現した場合には位相が１８０度異なる場合すなわち位
相が反転している場合を含まないものとする。
の位相を同相にすることにより、相対運動部材の駆動を
停止しているが、Ａ相信号とＢ相信号の位相を逆相とし
てもよい。なお、位相が逆相とは位相が１８０度（π）
異なることを言うが、本明細書では「位相が異なる」と
表現した場合には位相が１８０度異なる場合すなわち位
相が反転している場合を含まないものとする。
【００２０】上記実施の形態では、分周器７により間欠
駆動の周期や間欠駆動時間を設定しているが、分周器の
使用に限定する必要はない。任意の周期が設定できまた
ハイの時間も任意に設定できる発振回路やコンピュータ
制御などを使用してもよい。このようにすることによ
り、必要に応じた精度の高い間欠駆動を実現することが
できる。また、本発明は周期的な間欠駆動に限定する必
要はない。任意に停止させたり駆動させたりするときに
も本発明は適用することができる。
駆動の周期や間欠駆動時間を設定しているが、分周器の
使用に限定する必要はない。任意の周期が設定できまた
ハイの時間も任意に設定できる発振回路やコンピュータ
制御などを使用してもよい。このようにすることによ
り、必要に応じた精度の高い間欠駆動を実現することが
できる。また、本発明は周期的な間欠駆動に限定する必
要はない。任意に停止させたり駆動させたりするときに
も本発明は適用することができる。
【００２１】上記実施の形態では、リニア型振動アクチ
ュエータについて説明をしたが、リニア型振動アクチュ
エータに限定する必要はない。回転型振動アクチュエー
タ（ロッド型振動アクチュエータ）にも本発明は適用す
ることができる。すなわち、本発明は、異なる位相の電
気信号を駆動用電気機械変換素子に印加して駆動する振
動アクチュエータ全般に適用することができる。
ュエータについて説明をしたが、リニア型振動アクチュ
エータに限定する必要はない。回転型振動アクチュエー
タ（ロッド型振動アクチュエータ）にも本発明は適用す
ることができる。すなわち、本発明は、異なる位相の電
気信号を駆動用電気機械変換素子に印加して駆動する振
動アクチュエータ全般に適用することができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、次のような効果を奏する。請
求項１の発明は、位相の異なる複数の周波信号を印加す
る場合と位相が同一の複数の周波信号を印加する場合と
を択一的に行うことにより、相対運動部材の相対運動の
速度を制御しているので、この制御を間欠駆動（または
微少駆動）に応用した場合、間欠駆動の駆動装置が簡単
に安価に構成できる。また、駆動停止時あるいは駆動開
始時の騒音の発生が低減される。請求項２の発明は、位
相の異なる複数の周波信号を印加する場合と位相が逆相
の関係にある複数の周波信号を印加する場合とを択一的
に行うことにより、相対運動部材の相対運動の速度を制
御しているので、上記と同様の効果を奏する。
求項１の発明は、位相の異なる複数の周波信号を印加す
る場合と位相が同一の複数の周波信号を印加する場合と
を択一的に行うことにより、相対運動部材の相対運動の
速度を制御しているので、この制御を間欠駆動（または
微少駆動）に応用した場合、間欠駆動の駆動装置が簡単
に安価に構成できる。また、駆動停止時あるいは駆動開
始時の騒音の発生が低減される。請求項２の発明は、位
相の異なる複数の周波信号を印加する場合と位相が逆相
の関係にある複数の周波信号を印加する場合とを択一的
に行うことにより、相対運動部材の相対運動の速度を制
御しているので、上記と同様の効果を奏する。
【図１】本発明の振動アクチュエータの駆動装置により
駆動される振動アクチュエータの概略構成を説明する斜
視図である。
駆動される振動アクチュエータの概略構成を説明する斜
視図である。
【図２】本発明による駆動装置の実施の形態の構成図で
ある。
ある。
【図３】移相器３における信号Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の関係
を示す図である。
を示す図である。
【図４】Ｂ相信号が選択される様子を説明するタイミン
グチャートである。
グチャートである。
【図５】従来の振動アクチュエータの駆動装置の一般的
な構成を示す図である。
な構成を示す図である。
【図６】従来のバースト信号、ガウシャン波、変調波を
示す図である。
示す図である。
１ 振動アクチュエータ ２ 電圧制御発振器（ＶＣＯ） ３ 移相器 ４ イクスクルーシブＯＲ（ＥＸＯＲ）ゲート ５、６ 増幅器 ７ 分周器 ８、９ 切換回路 １０１ 弾性体 １０２、１０３ 圧電素子 １０４、１０５ 駆動力取り出し部 １０６ 相対運動部材 １０７、１０８ 振動モニタ用圧電素子
Claims (2)
- 【請求項１】弾性体と該弾性体に接合されて該弾性体に
複数の振動を発生させる複数の駆動用電気機械変換素子
とを有して前記複数の振動により駆動力を得る振動子
と、前記振動子に加圧接触されて前記駆動力により前記
振動子との間で相対運動を行なう相対運動部材とを備え
た振動アクチュエータを駆動する振動アクチュエータの
駆動装置において、 前記複数の駆動用電気機械変換素子に、位相の異なる複
数の周波信号を印加する場合と位相が同一の複数の周波
信号を印加する場合とを択一的に行うことにより、前記
相対運動の速度を制御する制御回路を備えることを特徴
とする振動アクチュエータの駆動装置。 - 【請求項２】弾性体と該弾性体に接合されて該弾性体に
複数の振動を発生させる複数の駆動用電気機械変換素子
とを有して前記複数の振動により駆動力を得る振動子
と、前記振動子に加圧接触されて前記駆動力により前記
振動子との間で相対運動を行なう相対運動部材とを備え
た振動アクチュエータを駆動する振動アクチュエータの
駆動装置において、 前記複数の駆動用電気機械変換素子に、位相の異なる複
数の周波信号を印加する場合と位相が逆相の関係にある
複数の周波信号を印加する場合とを択一的に行うことに
より、前記相対運動の速度を制御する制御回路を備える
ことを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9235975A JPH1189255A (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | 振動アクチュエータの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9235975A JPH1189255A (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | 振動アクチュエータの駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1189255A true JPH1189255A (ja) | 1999-03-30 |
Family
ID=16993979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9235975A Pending JPH1189255A (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | 振動アクチュエータの駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1189255A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7960895B2 (en) | 2007-05-07 | 2011-06-14 | Panasonic Corporation | Drive unit |
| JP2012110228A (ja) * | 2012-03-07 | 2012-06-07 | Panasonic Corp | 駆動装置 |
| US11394320B2 (en) | 2018-10-30 | 2022-07-19 | Seiko Epson Corporation | Control method for piezoelectric drive device, piezoelectric drive device, robot, and printer |
-
1997
- 1997-09-01 JP JP9235975A patent/JPH1189255A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7960895B2 (en) | 2007-05-07 | 2011-06-14 | Panasonic Corporation | Drive unit |
| JP2012110228A (ja) * | 2012-03-07 | 2012-06-07 | Panasonic Corp | 駆動装置 |
| US11394320B2 (en) | 2018-10-30 | 2022-07-19 | Seiko Epson Corporation | Control method for piezoelectric drive device, piezoelectric drive device, robot, and printer |
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