JPS58127356A - 半導体集積回路の樹脂封止法およびそのために用いるリ−ドフレ−ム - Google Patents

半導体集積回路の樹脂封止法およびそのために用いるリ−ドフレ−ム

Info

Publication number
JPS58127356A
JPS58127356A JP1045282A JP1045282A JPS58127356A JP S58127356 A JPS58127356 A JP S58127356A JP 1045282 A JP1045282 A JP 1045282A JP 1045282 A JP1045282 A JP 1045282A JP S58127356 A JPS58127356 A JP S58127356A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tie bar
lead
leads
tie
resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1045282A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6347270B2 (ja
Inventor
Teruyuki Koga
古賀 照幸
Ryoji Arikawa
有川 良治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Texas Instruments Japan Ltd
Original Assignee
Texas Instruments Japan Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Texas Instruments Japan Ltd filed Critical Texas Instruments Japan Ltd
Priority to JP1045282A priority Critical patent/JPS58127356A/ja
Publication of JPS58127356A publication Critical patent/JPS58127356A/ja
Publication of JPS6347270B2 publication Critical patent/JPS6347270B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49541Geometry of the lead-frame
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体集積回路の樹脂封止法およびそのために
周込るリードフレームに関する0%にプラスチックパリ
を防ぐための特別な形状をもつリードフレームを用いた
樹脂封止法およびそのリードフレームに関する。
レシンモールド型半導体装置におりて、集子及びワイヤ
部等の要部をモールドする工程が必要とされる。この為
、従来第1A図で示すような+7−ドフレーム1を使用
していた。この構造では各リード2間にモールド時の流
出な防止する為タイバー3が設けられ、タブリード4中
夫のタグ部には半導体集積回路のベレット(図示せず)
が取シ付けら名、このベレットの電極部と、対応するり
一ド2の内部リード先端とがワイヤ(図示せず)で繋が
れている。これらは上置と下箪の間に挾まれ、その間の
空間部にレシンが流し込まれベレット、ワイヤ及び内部
リード先端部な含む要部がモールドによシ封止される。
ここで、リードとリードの間にはリードフレームの板の
厚さ分の隙間が生じ、これらの隙間にも注入されたレジ
ンが流れこむ。この様な不要なレシンの流出部は通常プ
ラスチックパリと呼ばれ種種の欠点の原因となる。
従来このようなプラスチックパリの発生を防止すべく、
各リード2間に上記タイバー3が形成される。この状態
な@IBに拡大して示す。従来例のような構成ではプラ
スチックパリはある程度しか防止できず、タイバー3を
パンチのような機械的な切断刃で切断する工程であるm
度除去されるが、モールド部5と近接する部分のプラス
チックパリ6はモールド部を損傷する危険から切断でき
ずリード2関゛に残ることとなる。
とのよプなプラスチックパリは製品の美観な劣下するこ
ともさることながら、自動化された製造工程に多大な支
障をきたす恐れがある。即ち各部のプラスチックパリの
残存状況が一定でない為、その後のモールド部へのマー
ク打印作業、選別・作業の自動化に際し形状、方向性の
検出誤認の原因となり、プラスチックパリの切断面によ
り自動機械の正常な運転の妨げとなる。
また、モールドエ楊後に上記打抜作業をふやすことは望
ましくないにかりか、上記打抜作業に用いる切断刃機構
の刃は、レジンの材料内にフィラーとして混入するシリ
カ(石)によって摩耗し、寿命が短く、価格低減の面か
らも望ましくはない。
更に上記プラスチックパリの脱落した後のモールド部5
の表面は凹凸が激しく水分が溜まシ易い為、リン青銅に
銀めっきを施したものの様な低摩なリードフレーム1の
使用にあたっては電気分解が起シ隣接するリード間をシ
ョートさせるマイグレーション現象発生の原因となり半
導体装置自体の品質低下を引起しかねない。
この様な問題の他にもこのプラスチックパリが外部り、
−ド(リード2のモールド部5から外に出る部分)にま
でおよぶ場合、このリードなソケットに操入する際の接
触不良の原因となシ、これt防ぐ為このプラスチックパ
リをこすシ落とそうとすると、上記のような低摩なリー
ドフレームの場合銀めっきをも除去する結果となりリー
ドのソルダビリティ(半田のつき易さ)を低下させる為
実質上除去不可能であること、また外部リードへの半田
の濡れ等の欠点も考えられる。
一方従来のリードフレームの両端部外枠は剛性−ICE
 )’Z イAレシンO注入圧力によってタイバー3及
びこれらのタイバー3と一体に形成される外枠が彎曲す
るおそれも有している。これは、注入レジンによって保
持され始めたワイヤの切断の原因となるだけでなく、各
リードの位置が変化することによって自動化されたリー
ド切断工程で不良品を作シだす原因にもなシかねない・ 以上の様な種々の短所を有するプラスチックパリを防ぎ
樹脂封止工程を行うことは以前から望まれておp今まで
5にもいくつかの改良例が見られる。
第2図はその改良例であるリードフレームを示している
。(特公@55−9828号及び特公昭54−1638
8号参照)この構造において謔1B図の従来例に加え、
各リード7間のタイバー8にプラスチックパリを防止す
る突出部9が設けられている。ここで突出部9は予めリ
ードTと推分離されておシ、タイバー8を通じリードT
と結合している。このような構造によって、流出量は従
来例よりかなシ改善されるが完全に防止することはでき
ずリード7の側部と突出部9の側部を離すことからでき
る隙間10あるいは更に打抜き部11にレジンが流れこ
み細長いプラスチックパリが形成されレシンの細かな粉
末が発生するおそれがある。たとえ第2図の例において
パリの発生か第1B図に比較し少量であっても、現実に
は製品の中にはパリのあるものとないものが発生するの
でパリを除去する工程が必要である。
しかも第2図の例によるとタイバー切断時の細長いバ1
7 ’I折りとる工程で一定の切断面を呈するとは限ら
ず、上記のような自動化等に関する諸問題を解消できず
、更に切断方がパリに尚たって損耗することによって刃
の磨耗を防ぐ目的には合致しない。
故に本発明の目的は、プラスチックパリの形成を完全に
防止し、製造工程の自動化及び設備(Djl命に関し貢
献し、更にマイグレーション及び接触不良によ2.品質
低下を防ぐことである。
また本発明の他の目的はリードフレームの剛性を増加さ
せ、リードフレームの変形を防ぐことによってワイヤの
破断及び集積回路の不良品の発生を防ぐことである。
このような目的を達成する為本発明によれば、素子(X
Cペレット)取付部と上記職付部の周囲に近接しかつ離
間して配置された複数のリードと、上記各リード間を連
結支持する従来の第1のタイバーとモールド部am面と
隣接し上記第1のタイバーより内側に設けられ、後の籐
1のタイバー切断工程において裂断可能なStに充分細
い部分でリードと連結され、第1のタイバーから突出す
る連絡部と各リード間の中央で連結される第2のタイバ
ーとが一体的に形成されたリードフレームを用意する。
素子の取り付は及び取9付けた素子の複数の電極とリー
ド先端を電気的に接続する工程の後、上記素子及びワイ
ヤを含む要部を樹脂で封止し、残る第1JI2のタイバ
ーを除去する工程において第1のタイバーを切断するこ
とによって同時に第2のタイバーの充分に細い連結部分
も裂断しとシ除く。以上の様な工程によって素子及びリ
ード・素子間の接続部及びリードの内側端部から成る要
部のみを樹脂で覆われる=5に歯止封止されたレジンモ
ールド型半導体装置な!I供する。
本発明の実施例を以下に説明する。まず第6図に示す様
なリードフレーム20を用意する。第6図に於て、リー
ドフレーム20は42合金で形成され、且つ枠状のパタ
ーン打抜き工程によって与えられる。リードフレーム2
0は枠の中央を縦方向に伸びる細い第1リード(タグリ
ード)21、上記タデリード中央に設けられた半導体素
子取付けの為の矩形のタデ、上記タデリード21両側を
固定する横枠、これら横枠に垂直なタイバー22及び−
上記横枠と平行に上記タイバー22から伸びる複数の第
2リード(配線用リード)23を有している。これら接
続用リードのタデリード21儒先端は上記タデに向かっ
て伸びており外側のものは必要に応じ屈曲している。こ
れらの接続用リードは絡1のタイバー22である連繋片
でその間を接続されている。リードフレーム20は、M
lのタイバー22の内側に更に第2のタイバー24を有
している。この第2のタイバー24は、レジンの流出を
完全に防止するため、モールド部側面に隣接して設けら
れ1s1のタイバー2とモールド部の隙間に流出するレ
ジンを完全に防ぐ。ここで注意しなくてはならない事は
第2のタイ5−240両側のり−ド22と連結する部分
は、第1のタイバーが切断除去される際、ひきちぎられ
て除去可能な程度に細くしておく必要かあることである
これら第4および第2のタイバー22.24はタグリー
ド210両側に位置している。
第2の工程はリードフレーム20のタグに半導体素子(
図示せず)を通常の方法で固定する工程である。一般に
、タグと素子との間に金箔をはさむ方法がよく知られて
いる。このような公知の方法を用いて素子が固定される
第3の工程で半導体素子の所定電極とこれに対応する所
定内部リード23の先端部は、ワイヤポンディングとい
った従来方法を用いて電気的に接続される。
以上の工程を経た上で上記構造の半導体素子、内部リー
ド及び接続の為のワイヤを含む要部がモールドされる。
ここで、モールドの為の下枠及び上梓は従来通りのもの
を用いる。この時モールド領域は第26タイパーに非常
に近い。
最後の工程は、タデリードとモールド部との境界部でタ
ブリードを切断するとともに第1タイバー22とリード
23との接合部に沿って切刃で切断し第1タイバーをと
り除く工程である。ここで第1タイバー22が切断され
除去されることによって、第2タイバー24とり−ド2
3との細い接合部もまた破断しいっしょにと〕除かれる
点に注意しなくてはならない。故にIs2のタイバー2
4は新たな手順を増やすことなく容易に除去され、且つ
プラスチックパリの発生を完全に防ぐことができる。
このような工程を軽食後、モールドの外に出たリード部
分は同一方向に折り曲げられデュアルインライン形半導
体装置は完成する。
第4図は第6図における第1タイバー22、第2タイバ
ー24とり−ド23との接合部における拡大図である。
ここで第1タイバー22と第2タイバー24を連絡する
部分Aは実際は約0.0200インチ(0,05081
)で形成し、リードと第1タイバーを切断する際第2タ
イバーと連結したまま残るだけの強さを有する大きさを
必要とする。
tftリードと第2のタイバー24との接続sBは0.
005インチ(0,0127cll)以下にし第1タイ
バーがリードとの接合面に沿って切断され、下に押し下
げられることによって容易に破断されるよう、細くしで
ある。
このようなリードフレームを用いる樹脂對止法を使用す
ればプラスチックパリを完全に防止することができ、上
記の様に自動化に伴うマーク打印作業、選別作業等にお
ける機械の正常な運転が確実となシ、さらに凸凹による
マイグレーションの発生、プラスチックパリが外側リー
ドまで至る為の接触不良、及び半田等のソルダビリティ
の問題が解消され歩留まり率さらには半導体装置自体の
品質向上も可能となる。
さらに第1のタイバー22を切断する工程で切断刃はレ
シンにまったくふれずに金属である第1のタイバーとリ
ードとの連結部及び縦棒とリードとの連結部のみを切断
する。轟分野に通常の知識を有する者であれば、金属よ
〕むしろフィラーとしてレシン内に混入するシリカ(石
)が切断刃の磨耗を早め、故に本発明の製造工程を用い
れば切断刃の寿命を大幅に延長できることは理解されよ
う。
また本発明のり−ドフレ一台では、第2のタイバー24
を設けている為、改良例よりも剛性が向上しレジン注射
時の外枠の彎曲に関しても改良されている。したがって
ワイヤの破断による不良品の発生を防止でき切断刃が所
定の位置のみに!#&接できこの面からも切断刃の寿命
を延長している。
さらに、本発明の樹脂對止法を用いた場合、使用するレ
ジンもまた特性の優れたものを使用する必要がなく、か
つ厳格な条件も必要としない為製作費自体もまた大幅に
低減できることは明らかである。
以上の様に、プラスチックパリを完全に防止することの
可能なリードフレームを用い九樹脂封止法によって、従
来の製造工穆数のままよシ安価でより高品質の半導体装
置を提供できる。
本発明はここそは特定の実施例を用いよシ具体的に説明
されたが種々の改変、変形は先に述べた特許請求の範囲
で示される本発明の主旨の中に含まれることは容易に理
解できると考える。
【図面の簡単な説明】
第1人図は従来のリードフレームの平面図、第1B図は
館1A図のリードフレームを用いた半導体集積回路の部
分上面図、第2図は他の従来技術のリードフレームを用
いた半導体集積回路の部分上面図、第6図は本発明の実
施例によるリードフレームの平面図、1B4図は本発明
の実施例によるリードフレームの部分拡大図である。 符号の説明 22・・・第1のタイバー、 24・・・Ji2のタイバー、 23・・・リード。 代理人 浅 村   皓 外4名 第1A図      オ旧図 牙4区 3

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) (a)  素子取付は部と上記取付は部0w4
    囲に近接しかつ離間して配置された複数のリードと前記
    各リード間な連結支持するJllのタイバーと、おしま
    げられるだけで破断可能な細さの連結部で上記リード間
    を連結支持する第20タイバーと、上記第1のタイバー
    と上記Is2のタイバーを連結し上記第1のタイバーの
    切断工程で上記j11のタイバーが除去される際にいっ
    しょに上記第2のタイバーを押し曲げ上記リードから破
    断除去可能なように設けられたタイバー間連結部とが一
    体的に形成され九リードフレームを用意する工程と;0
    )上記リードフレームの素子取付は部に素子を取付ける
    工場と; (0)  上記素子取付は部に取付けられ九素子の複数
    の電極と前記複数のリード先端とをそれぞれ電気的に接
    続する工程と; ((転)上記素子が取付けられ素子の電極とリード先端
    とが接続されたリードフレームを樹脂で封止する工程l
    からなシ、上記樹脂封止の際、前記票2のタイバーはモ
    ールド領域端部において樹脂と接し、樹脂がリード間の
    モールド領域外へ流出するのを完全に防ぎ且つ少くとも
    上記素子及び上記(・)上記第1のタイバーを上記リー
    ドから切断すると同時に第2のタイバーを上記リード側
    部からひきちぎる工場と; を有する半導体集積回路の樹脂封止法。
  2. (2)  素子取付は部と上記取付は部の局Hに近接し
    かつlll!藺して配置された複数のリードと前記各リ
    ード間を連結支持する菖10タイバーと、おしまげられ
    るだけで破断可能な細さの連結部で上記リード間を連結
    支持する第2のタイバーと、上記第1のタイバーと上記
    ll12のタイバーを連結し上記M10タイバーの切断
    工種で上記H1のタイパーが除去される際にいっしょに
    上記第2のタイバーを押し曲げ上記リードから破断除去
    可能なように設けられたタイバー間連結部とが一体的に
    形成されたり−rフレーム
JP1045282A 1982-01-26 1982-01-26 半導体集積回路の樹脂封止法およびそのために用いるリ−ドフレ−ム Granted JPS58127356A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1045282A JPS58127356A (ja) 1982-01-26 1982-01-26 半導体集積回路の樹脂封止法およびそのために用いるリ−ドフレ−ム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1045282A JPS58127356A (ja) 1982-01-26 1982-01-26 半導体集積回路の樹脂封止法およびそのために用いるリ−ドフレ−ム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58127356A true JPS58127356A (ja) 1983-07-29
JPS6347270B2 JPS6347270B2 (ja) 1988-09-21

Family

ID=11750529

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1045282A Granted JPS58127356A (ja) 1982-01-26 1982-01-26 半導体集積回路の樹脂封止法およびそのために用いるリ−ドフレ−ム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58127356A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60260142A (ja) * 1984-06-06 1985-12-23 Shinko Electric Ind Co Ltd リ−ドフレ−ム
JPS6169840U (ja) * 1984-10-11 1986-05-13
JPS6265848U (ja) * 1985-10-16 1987-04-23
JPS62160553U (ja) * 1986-04-02 1987-10-13
US4862586A (en) * 1985-02-28 1989-09-05 Michio Osada Lead frame for enclosing semiconductor chips with resin
JPH02105448A (ja) * 1988-10-13 1990-04-18 Nec Corp リードフレーム
US5137479A (en) * 1990-03-15 1992-08-11 Nippon Steel Corporation Lead structure for packaging semiconductor chip

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5524451A (en) * 1978-08-08 1980-02-21 Nec Kyushu Ltd Lead frame for semiconductor
JPS5665665U (ja) * 1979-10-25 1981-06-01
JPS5669852A (en) * 1979-11-09 1981-06-11 Mitsubishi Electric Corp Lead frame for semiconductor device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5524451A (en) * 1978-08-08 1980-02-21 Nec Kyushu Ltd Lead frame for semiconductor
JPS5665665U (ja) * 1979-10-25 1981-06-01
JPS5669852A (en) * 1979-11-09 1981-06-11 Mitsubishi Electric Corp Lead frame for semiconductor device

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60260142A (ja) * 1984-06-06 1985-12-23 Shinko Electric Ind Co Ltd リ−ドフレ−ム
JPH022293B2 (ja) * 1984-06-06 1990-01-17 Shinko Elec Ind
JPS6169840U (ja) * 1984-10-11 1986-05-13
US4862586A (en) * 1985-02-28 1989-09-05 Michio Osada Lead frame for enclosing semiconductor chips with resin
JPS6265848U (ja) * 1985-10-16 1987-04-23
JPS62160553U (ja) * 1986-04-02 1987-10-13
JPH02105448A (ja) * 1988-10-13 1990-04-18 Nec Corp リードフレーム
JP2580740B2 (ja) * 1988-10-13 1997-02-12 日本電気株式会社 リードフレーム
US5137479A (en) * 1990-03-15 1992-08-11 Nippon Steel Corporation Lead structure for packaging semiconductor chip

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6347270B2 (ja) 1988-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102859687B (zh) 半导体器件及其制造方法
US20020020929A1 (en) Semiconductor device and a method of manufacturing the same
KR20030031843A (ko) 리드프레임 및 그 리드프레임을 사용한 반도체 장치의제조 방법
US9363901B2 (en) Making a plurality of integrated circuit packages
US5424577A (en) Lead frame for semiconductor device
JPS58127356A (ja) 半導体集積回路の樹脂封止法およびそのために用いるリ−ドフレ−ム
JPH08125097A (ja) リードフレーム
JP2010087173A (ja) 半導体装置の製造方法及び半導体装置
CN104681528A (zh) 停止集成电路引线成品上树脂溢出和模具溢料的方法和设备
JP2580740B2 (ja) リードフレーム
JP2866816B2 (ja) リードフレーム
JP2005116687A (ja) リードフレーム、半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP4153956B2 (ja) 樹脂封止成形品のゲートブレイク方法およびそれに用いるゲートブレイク装置
JPS6084850A (ja) リ−ドフレ−ム
JPS6123352A (ja) リ−ドフレ−ムおよび半導体装置
JPH02170454A (ja) リードフレーム
JP2938038B1 (ja) タイバー切断金型
JPS63308358A (ja) リ−ドフレ−ム
JPH10154784A (ja) リードフレームの製造方法
JPH03136270A (ja) リードフレーム
JP6705654B2 (ja) リードフレーム及びその製造方法
KR200168394Y1 (ko) 반도체 패키지의 리드 프레임
KR970006523Y1 (ko) 반도체 제조용 리드프레임 구조
JPH05102373A (ja) 半導体装置
JP6264193B2 (ja) モールドパッケージ