JPH1197469A - プリモールドパッケージの製造方法 - Google Patents

プリモールドパッケージの製造方法

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JPH1197469A
JPH1197469A JP27056697A JP27056697A JPH1197469A JP H1197469 A JPH1197469 A JP H1197469A JP 27056697 A JP27056697 A JP 27056697A JP 27056697 A JP27056697 A JP 27056697A JP H1197469 A JPH1197469 A JP H1197469A
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JP
Japan
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lead frame
resin
package body
mold
bonding area
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JP27056697A
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Muneyoshi Kitahara
宗好 北原
Kenichi Sakaguchi
健一 坂口
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Shinko Electric Industries Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パッケージ本体にサポートピンを抜き取った
穴が形成されたり、その穴の開口部周囲に樹脂バリが形
成されたりするのを防いで、パッケージ本体の気密性
と、パッケージ本体に埋め込まれたリードフレーム部分
の耐腐食性とを高めることのできるプリモールドパッケ
ージの製造方法を得る。 【解決手段】 リードフレーム20のボンディングエリ
ア24に被覆テープ100の一方の面を貼着する。そし
て、そのリードフレーム20を樹脂モールド金型30に
装填して、ボンディングエリア24に貼着した被覆テー
プ100の他方の面を樹脂モールド金型のキャビテイ3
8内壁面に当接させる。その後、樹脂モールド金型のキ
ャビテイ内38内に樹脂を充填して、パッケージ本体を
成形する。そして、パッケージ本体にその一部が埋め込
まれたリードフレームのボンディングエリア24にパッ
ケージ本体成形用の樹脂が回り込んで付着するのを防
ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、図8と図9に示し
たような、樹脂からなるパッケージ本体10に42アロ
イ(鉄―ニッケル合金)、Cu等の金属からなるリード
フレーム20の一部のインナーリード22等を埋め込ん
でなる、半導体チップ収容用のプリモールドパッケージ
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】上記プリモールドパッケージの製造にお
いては、図10に示したように、リードフレーム20の
例えばインナーリード22表面のボンディングエリア2
4を、樹脂モールド金型30のキャビテイ38内壁面
に、サポートピン40を用いて、隙間なく押接させてい
る。そして、樹脂モールド金型30のキャビテイ38内
に樹脂を充填して、パッケージ本体10を成形した際
に、そのパッケージ本体10成形用の樹脂が、リードフ
レーム20のボンディングエリア24に回り込んで付着
するのを防いでいる。そして、そのボンディングエリア
24に、半導体チップの電極接続用のワイヤ等を、樹脂
に妨げられずに、確実かつ容易に電気的に接続できるよ
うにしている。
【0003】サポートピン40は、図10に示したよう
に、例えば樹脂モールド金型30の下型34に設けられ
た孔36に摺動自在に挿通している。そして、そのサポ
ートピン40の先端を樹脂モールド金型のキャビテイ3
8内空間に突出させて、該サポートピン40の先端によ
り、樹脂モールド金型のキャビテイ38内に侵入させた
リードフレーム20の所定部位を押すことができるよう
にしている。そして、そのサポートピン40の先端で押
したリードフレーム20部分の直上に位置するリードフ
レーム20のインナーリード22表面等のボンディング
エリア24を、樹脂モールド金型30の上型32のキャ
ビテイ38内壁面に確実に隙間なく押接できるようにし
ている。
【0004】樹脂モールド金型30のキャビテイ38内
でパッケージ本体10を成形した後には、サポートピン
40を、樹脂モールド金型30に設けられた孔36内を
摺動させて、パッケージ本体10から抜き取っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにして、プリモールドパッケージを製造した場合に
は、図9に示したように、パッケージ本体10にサポー
トピン40を抜き取った穴12が形成されてしまった。
そして、その穴12のために、パッケージ本体10の気
密性が低下してしまった。そして、パッケージ本体10
内に半導体チップを高気密性を持たせて収容できなくな
ってしまった。
【0006】また、そのパッケージ本体の穴12内の底
部に、樹脂からなるパッケージ本体10に埋め込まれな
いリードフレーム20部分が発生してしまった。そし
て、その分、パッケージ本体10に埋め込まれるべきリ
ードフレーム20部分の封着パスが短くなってしまっ
た。ここで、封着パスとは、パッケージ本体10に埋め
込まれるリードフレーム20部分の距離をいう。そし
て、リードフレーム20の一部が埋め込まれたパッケー
ジ本体10部分の気密性が低下してしまった。そして、
そのリードフレーム20の一部が埋め込まれたパッケー
ジ本体10部分から、パッケージ本体10内に湿気が侵
入し易くなってしまった。そして、パッケージ本体10
内に収容された半導体チップが、湿気の悪影響を受け易
くなってしまった。
【0007】また、サポートピン40を抜き取ったパッ
ケージ本体の穴12内の底部に、金属からなるリードフ
レーム20の一部が露出した状態となってしまった。そ
して、その穴12内の底部に露出したリードフレーム2
0部分が、腐食等してしまった。
【0008】なお、パッケージ本体10の外側に露出し
たリードフレーム20部分には、防錆用のめっきを施す
のが一般的であるが、そのようにした場合においても、
上記パッケージ本体の穴12内奥方の底部に露出したリ
ードフレーム20部分には、めっき液が侵入しにくかっ
た。そして、そのために、そのパッケージ本体の穴12
内の底部に露出したリードフレーム20部分に防錆用の
めっきが的確に付かずに、そのリードフレーム20部分
が腐食等してしまった。
【0009】また、サポートピン40とそれを摺動自在
に挿通した樹脂モールド金型の孔36との間には、所定
のクリアランス(隙間)を設けなければならず、そのク
リアランスにパッケージ本体10成形用の樹脂が侵入し
てしまった。そして、サポートピン40を抜き取った後
のパッケージ本体の穴12の開口部周囲に、樹脂バリが
形成されてしまった。そのため、従来の製造方法によ
り、プリモールドパッケージを形成した場合には、その
パッケージ本体の穴12の開口部周囲に形成された樹脂
バリを多大な手数を掛けて切除しなければならなかっ
た。そして、パッケージ本体10の外周面を平滑化しな
ければならなかった。
【0010】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たもので、パッケージ本体にサポートピンを抜き取った
穴が形成されたり、そのパッケージ本体の穴の開口部周
囲に樹脂バリが形成されたりするのを防いで、パッケー
ジ本体の気密性と、パッケージ本体に埋め込まれたリー
ドフレーム部分の耐腐食性とを高めることのできる、プ
リモールドパッケージの製造方法を提供することを目的
としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のプリモールドパッケージの製造方法は、樹
脂からなるパッケージ本体に金属からなるリードフレー
ムの一部を埋め込んでなる半導体チップ収容用のプリモ
ールドパッケージの製造方法であって、前記リードフレ
ームのボンディングエリアに、被覆テープの一方の面を
剥離可能に貼着して、該被覆テープを貼着したリードフ
レームを樹脂モールド金型に装填し、前記被覆テープの
他方の面を樹脂モールド金型のキャビテイ内壁面に当接
させた後、前記樹脂モールド金型のキャビテイ内に前記
パッケージ本体成形用の樹脂を充填して、前記パッケー
ジ本体を成形し、その後、前記リードフレームのボンデ
ィングエリアから前記被覆テープを剥離することを特徴
としている。
【0012】このプリモールドパッケージの製造方法に
おいては、樹脂モールド金型に装填するリードフレーム
のボンディングエリアに、被覆テープの一方の面を貼着
している。そのため、その後に、樹脂モールド金型にリ
ードフレームを装填して、樹脂モールド金型のキャビテ
イ内に樹脂を充填した際に、そのパッケージ本体成形用
の樹脂が、リードフレームのボンディングエリアとそれ
に貼着した被覆テープの一方の面との間に侵入するのを
防ぐことができる。そして、その樹脂が、リードフレー
ムのボンディングエリアに回り込んで付着するのを防ぐ
ことができる。
【0013】また、樹脂モールド金型のキャビテイ内壁
面にリードフレームのボンディングエリアを押接させる
ためのサポートピンや該ピン挿通用の孔を樹脂モールド
金型に設ける必要がないため、樹脂モールド金型のキャ
ビテイ内で樹脂を用いて成形するパッケージ本体に、サ
ポートピンを抜き取った穴が形成されて、その穴内の底
部にリードフレームの一部が露出した状態となるのを、
防ぐことができる。それと共に、サポートピンを抜き取
った後のパッケージ本体の穴の開口部周囲に面倒な切除
処理の必要な樹脂バリが生ずるのを防ぐことができる。
【0014】本発明のプリモールドパッケージの製造方
法においては、被覆テープの他方の面を、樹脂モールド
金型のキャビテイ内壁面に剥離可能に貼着することを好
適としている。
【0015】このプリモールドパッケージの製造方法に
あっては、被覆テープの他方の面を樹脂モールド金型の
キャビテイ内壁面に貼着するため、樹脂モールド金型に
リードフレームを装填して、樹脂モールド金型のキャビ
テイ内にパッケージ本体成形用の樹脂を充填した際に、
その樹脂が、被覆テープの他方の面とそれを貼着した樹
脂モールド金型のキャビテイ内壁面との間に侵入するの
を確実に防ぐことができる。そして、その侵入した樹脂
により、被覆テープが樹脂モールド金型のキャビテイ内
壁面から離脱する方向に押されるのを防ぐことができ
る。そして、被覆テープの一方の面が貼着されたボンデ
ィングエリアを持つリードフレーム部分が、樹脂モール
ド金型のキャビテイ内方に押されて撓む等して変形した
状態で、パッケージ本体に埋め込まれるのを防ぐことが
できる。
【0016】又は、本発明のプリモールドパッケージの
製造方法においては、被覆テープに、弾性材からなるテ
ープを用いることを好適としている。
【0017】このプリモールドパッケージの製造方法に
あっては、弾性材からなる被覆テープの弾力を用いて、
被覆テープの他方の面を、樹脂モールド金型のキャビテ
イ内壁面に密着させて当接させることができる。そし
て、樹脂モールド金型にリードフレームを装填して、樹
脂モールド金型のキャビテイ内にパッケージ本体成形用
の樹脂を充填した際に、その樹脂が、被覆テープの他方
の面とそれを当接させた樹脂モールド金型のキャビテイ
内壁面との間に侵入するのを確実に防ぐことができる。
そして、その侵入した樹脂により、被覆テープが樹脂モ
ールド金型のキャビテイ内壁面から離脱する方向に押さ
れるのを防ぐことができる。そして、被覆テープの一方
の面が貼着されたボンディングエリアを持つリードフレ
ーム部分が、樹脂モールド金型のキャビテイ内方に押さ
れて撓む等して変形した状態で、パッケージ本体に埋め
込まれるのを防ぐことができる。
【0018】また、本発明のプリモールドパッケージの
製造方法においては、被覆テープの一方の面を、紫外線
を照射したり、又は加熱したりすることにより、その接
着力を消失させることの可能な接着剤を用いて、リード
フレームのボンディングエリアに貼着することを好適と
している。
【0019】このプリモールドパッケージの製造方法に
あっては、樹脂モールド金型のキャビテイ内に樹脂を充
填して、パッケージ本体を成形した後、リードフレーム
のボンディングエリアから被覆テープを剥離する際に、
被覆テープに紫外線を照射したり、又は被覆テープを加
熱したりして、被覆テープの一方の面をリードフレーム
のボンディングエリアに貼着している接着剤の接着力を
容易かつ的確に消失させることができる。そして、該接
着剤と共に被覆テープをリードフレームのボンディング
エリアから取り残しなく容易かつ確実に剥離できる。
【0020】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。図1ないし図7は本発明のプリモール
ドパッケージの製造方法の好適な実施の形態を示し、図
1ないし図7はその製造工程説明図である。以下に、こ
のプリモールドパッケージの製造方法を説明する。
【0021】図の製造方法では、図1と図2に示したよ
うに、リードフレーム20のインナーリード22表面等
のボンディングエリア24に、被覆テープ100の一方
の面を剥離可能に貼着している。
【0022】具体的には、被覆テープ100に、通称
「サーモピールテープ」などと呼ばれる、合成樹脂等の
弾性材からなる接着テープを用いている。そして、その
被覆テープ100の一方の面に塗布された接着剤であっ
て、紫外線を照射したり、又は加熱したりすることによ
り、その接着力を消失させることの可能な接着剤を用い
て、被覆テープ100の一方の面を、リードフレームの
ボンディングエリア24に貼着している。
【0023】次いで、図3に示したように、そのボンデ
ィングエリア24に被覆テープ100の一方の面を貼着
したリードフレーム20を、樹脂モールド金型30に装
填している。そして、パッケージ本体10に埋め込むリ
ードフレーム20部分の、例えばインナーリード22
を、樹脂モールド金型30のキャビテイ38内空間に突
出させている。パッケージ本体10の外部に突出させる
リードフレーム20部分の、例えばアウターリード26
の中途部は、樹脂モールド金型30の上型32と下型3
4との間に挟持している。
【0024】リードフレーム20のインナーリード22
表面等のボンディングエリア24に一方の面を貼着した
被覆テープ100の他方の面は、図3に示したように、
樹脂モールド金型30の上型32のキャビテイ38内壁
面に当接させている。
【0025】具体的には、図3に示したように、リード
フレーム20のボンディングエリア24を覆う被覆テー
プ100の他方の面を、弾性材からなる被覆テープ10
0の持つ弾力を用いて、上型32のキャビテイ38内壁
面に隙間なく密着させた状態に当接させている。
【0026】次いで、樹脂モールド金型30のキャビテ
イ38内にパッケージ本体10成形用の樹脂を充填し
て、パッケージ本体10を成形している。そして、図4
と図5に示したような、樹脂からなるパッケージ本体1
0にリードフレーム20の一部の、インナーリード22
等を埋め込んでなるプリモールドパッケージを形成して
いる。
【0027】その後、リードフレーム20のボンディン
グエリア24から、該ボンディングエリア24を覆う被
覆テープ100を剥離している。
【0028】その際には、被覆テープ100に紫外線を
照射したり、又は被覆テープ100を加熱したりして、
被覆テープ100の一方の面をリードフレーム20のボ
ンディングエリア24に貼着している接着剤の接着力を
消失させている。そして、該接着剤と共に被覆テープ1
00をリードフレーム20のボンディングエリア24か
ら取り残しなく剥離している。
【0029】そして、図6と図7に示したような、樹脂
からなるパッケージ本体10にリードフレーム20の一
部のインナーリード22等が埋め込まれて、リードフレ
ーム20のインナーリード22表面等のボンディングエ
リア24がパッケージ本体10の外側に露出してなる、
プリモールドパッケージを形成している。
【0030】図1ないし図7に示したプリモールドパッ
ケージの製造方法は、以上の工程からなる。このプリモ
ールドパッケージの製造方法においては、樹脂モールド
金型30のキャビテイ38内にパッケージ本体10成形
用の樹脂を充填した際に、その樹脂が、リードフレーム
20のボンディングエリア24とそれに貼着した被覆テ
ープ100の一方の面との間に侵入するのを防ぐことが
できる。そして、その樹脂が、リードフレーム20のボ
ンディングエリア24に回り込んで付着するのを防ぐこ
とができる。
【0031】また、弾性材からなる被覆テープ100の
他方の面を、被覆テープ100の持つ弾力を利用して、
樹脂モールド金型30のキャビテイ38内壁面に密着さ
せて当接させることができる。そして、樹脂モールド金
型30のキャビテイ38内にパッケージ本体10成形用
の樹脂を充填した際に、被覆テープ100の他方の面と
樹脂モールド金型30のキャビテイ38内壁面との間
に、パッケージ本体10成形用の樹脂が侵入するのを防
ぐことができる。そして、その樹脂が、被覆テープ10
0が貼着されたリードフレーム20部分を、樹脂モール
ド金型30のキャビテイ38内方に押して変形させるの
を防ぐことができる。そして、被覆テープ100が貼着
されたリードフレーム20部分が、パッケージ本体10
に変形した状態で埋め込まれるのを防ぐことができる。
【0032】また、被覆テープ100をリードフレーム
20のボンディングエリア24から剥離する際には、被
覆テープ100に紫外線を照射したり、又は被覆テープ
100を加熱したりして、被覆テープ100の一方の面
をリードフレーム20のボンディングエリア24に貼着
している接着剤の接着力を消失させることができる。そ
して、該接着剤と共に被覆テープ100をリードフレー
ム20のボンディングエリア24から取り残しなく容易
かつ確実に剥離できる。そして、リードフレーム20の
ボンディングエリア24に被覆テープ100や接着剤の
一部が残存した状態となって、そのボンディングエリア
24にワイヤ等を的確にボンディングできなくなるのを
防ぐことができる。
【0033】なお、上述のプリモールドパッケージの製
造方法においては、リードフレーム20のボンディング
エリア24に一方の面を貼着した被覆テープ100の他
方の面を、樹脂モールド金型30のキャビテイ38内壁
面に、接着剤等を用いて、剥離可能に貼着しても良い。
そして、樹脂モールド金型30のキャビテイ38内に充
填するパッケージ本体10成形用の樹脂が、被覆テープ
100の他方の面とそれを当接させた樹脂モールド金型
30のキャビテイ38内壁面との間に侵入するのを確実
に防いでも良い。
【0034】また、そうした場合には、被覆テープ10
0に、弾力のない硬質材からなるテープを用いても良
い。蓋し、そのようにしても、その硬質材からなる被覆
テープ100の他方の面を、接着剤等を用いて、樹脂モ
ールド金型30のキャビテイ38内壁面に確実に密着さ
せて当接させることができるからである。
【0035】また、被覆テープ100の一方の面は、汎
用の接着剤を用いて、リードフレーム20のボンディン
グエリア24に貼着しても良い。ただし、そうした場合
には、その接着剤に、該接着剤と共に被覆テープ100
をリードフレーム20のボンディングエリア24から剥
離した際に、接着剤がリードフレーム20のボンディン
グエリア24にできる限り残存する虞のないものを選択
するのが好ましい。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のプリモー
ルドパッケージの製造方法によれば、半導体チップの電
極接続用のワイヤ等を電気的に接続するためのリードフ
レームのインナーリード等のボンディングエリアに、樹
脂モールド金型のキャビテイ内で成形するパッケージ本
体成形用の樹脂が回り込んで付着するのを、容易かつ確
実に防ぐことができる。
【0037】また、樹脂モールド金型のキャビテイ内で
成形するパッケージ本体にサポートピンを抜き取った穴
が形成されて、その穴内の底部にリードフレームの一部
が露出した状態となるのを防ぐことができる。そして、
そのパッケージ本体の気密性が低下したり、そのパッケ
ージ本体に埋め込まれたリードフレーム部分の耐腐食性
が劣化したりするのを防ぐことができる。
【0038】また、パッケージ本体にサポートピンを抜
き取った穴が形成されて、パッケージ本体に埋め込まれ
たリードフレーム部分の封着パスが短くなるのを、防ぐ
ことができる。そして、そのリードフレームが埋め込ま
れたパッケージ本体部分の気密性が低下するのを、防ぐ
ことができる。
【0039】また、パッケージ本体にサポートピンを抜
き取った穴が形成されて、その穴の開口部周囲に樹脂バ
リが形成されるのを防ぐことができる。そして、その穴
の開口部周囲に形成される樹脂バリの面倒な切除作業を
なくすことができる。
【0040】また、サポートピンでは、樹脂モールド金
型のキャビテイ内壁面に的確に押し付けることのできな
い、リードフレームに微小ピッチで多数本並ぶ各インナ
ーリード表面等のボンディングエリアを、被覆テープで
隙間なく容易かつ的確に覆うことができる。そして、そ
のボンディングエリアにパッケージ本体成形用の樹脂が
回り込んで付着するのを容易かつ確実に防ぐことができ
る。
【0041】また、パッケージ本体成形用の樹脂モール
ド金型にサポートピン及び該ピン挿通用の孔を設ける必
要がなくなる。そして、樹脂モールド金型の大幅な簡易
化とその製造の容易化とが図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプリモールドパッケージの製造方法の
製造工程説明図である。
【図2】本発明のプリモールドパッケージの製造方法の
製造工程説明図である。
【図3】本発明のプリモールドパッケージの製造方法の
製造工程説明図である。
【図4】本発明のプリモールドパッケージの製造方法の
製造工程説明図である。
【図5】図4のA−A断面図である。
【図6】本発明の製造方法により形成したプリモールド
パッケージの一部平面図である。
【図7】図6のB−B断面図である。
【図8】プリモールドパッケージの一部平面図である。
【図9】図8のC―C断面図である。
【図10】従来のプリモールドパッケージの製造方法の
製造工程明図である。
【符号の説明】
10 パッケージ本体 12 サポートピンを抜き取ったパッケージ本体の穴 20 リードフレーム 22 インナーリード 24 リードフレームのボンディングエリア 26 アウターリード 30 樹脂モールド金型 38 キャビテイ 100 被覆テープ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 23/50 H01L 23/50 Y // B29L 31:34

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂からなるパッケージ本体に金属から
    なるリードフレームの一部を埋め込んでなる半導体チッ
    プ収容用のプリモールドパッケージの製造方法であっ
    て、 前記リードフレームのボンディングエリアに、被覆テー
    プの一方の面を剥離可能に貼着して、該被覆テープを貼
    着したリードフレームを樹脂モールド金型に装填し、前
    記被覆テープの他方の面を樹脂モールド金型のキャビテ
    イ内壁面に当接させた後、前記樹脂モールド金型のキャ
    ビテイ内に前記パッケージ本体成形用の樹脂を充填し
    て、前記パッケージ本体を成形し、その後、前記リード
    フレームのボンディングエリアから前記被覆テープを剥
    離することを特徴とするプリモールドパッケージの製造
    方法。
  2. 【請求項2】 被覆テープの他方の面を、樹脂モールド
    金型のキャビテイ内壁面に剥離可能に貼着する請求項1
    記載のプリモールドパッケージの製造方法。
  3. 【請求項3】 被覆テープに、弾性材からなるテープを
    用いる請求項1記載のプリモールドパッケージの製造方
    法。
  4. 【請求項4】 被覆テープの一方の面を、紫外線を照射
    したり、又は加熱したりすることにより、その接着力を
    消失させることの可能な接着剤を用いて、リードフレー
    ムのボンディングエリアに貼着する請求項1、2又は3
    記載のプリモールドパッケージの製造方法。
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