JPH1173881A

JPH1173881A - プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置

Info

Publication number: JPH1173881A
Application number: JP10176208A
Authority: JP
Inventors: Tomoko Mikami; 友子三上; Yuichiro Iguchi; 雄一朗井口; Masahiro Matsumoto; 正廣松本; Hideki Ikeuchi; 秀樹池内
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1997-06-27
Filing date: 1998-06-23
Publication date: 1999-03-16

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】簡便で効率的な蛍光体層形成を可能にするプラ
ズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置
を提供する。【解決手段】赤、緑、青の３色の蛍光体粉末をそれぞれ
含む３種類の蛍光体ペーストを、ガラス基板上の各色所
定の隔壁間にストライプ状にそれぞれ塗布した後、焼成
することにより蛍光体層を形成する。この際、口金単位
あたりの吐出孔の数を１６の倍数±５の範囲とする。さ
らに、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチで凹凸
部が形成されている凹凸基板４１を固定するテーブル４
２と、凹凸基板の凹凸部と対面する複数の吐出孔を有す
る口金と、口金に塗液を供給する供給手段と、テーブル
と口金を３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた
凹凸基板への塗液の塗布装置において、口金の吐出孔の
数を１６の倍数±５の範囲とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に凹凸状の
特定パターンが形成されたものへの塗液の塗布方法およ
び塗布装置に関する。特にストライプ状の隔壁を配置し
たプラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装
置に関する。本発明に係るプラズマディスプレイパネル
は壁掛けテレビや情報表示用のディスプレイとして用い
られる。

【０００２】

【従来の技術】近年、大型ディスプレイとしてプラズマ
ディスプレイが注目されている。プラズマディスプレイ
パネル（ＰＤＰ）は液晶パネルに比べて高速の表示が可
能で、且つ大型化が容易であることから、ＯＡ機器およ
び広報表示装置などの分野に浸透し、さらには高品位テ
レビジョンの分野などでの進展が期待されている。この
ような用途の拡大にともなって、微細で多数の表示セル
を有し、高精細表示が可能なカラーＰＤＰが特に注目さ
れている。

【０００３】１つの表示セルはプラズマ放電により発光
する蛍光体の３原色、すなわち赤色（Ｒ）、緑色
（Ｇ）、青色（Ｂ）から形成される１つの画素を有して
いる。

【０００４】従来、プラズマディスプレイパネルの製造
方法としては、スクリーン印刷法が知られている。特に
プラズマディスプレイの蛍光体を形成する方法として
は、スクリーン印刷法が多く用いられている。

【０００５】また、特開平６−５２０５号公報に示され
るようなスクリーン印刷を行った後にサンドブラストを
用いる方法、特開平５−１４４３７５号公報に示される
ような架橋剤を塗布した後にスクリーン印刷する方法が
提案されているが、いずれもスクリーン印刷を用いてい
る。

【０００６】しかしながら、印刷を繰り返すうちにスク
リーン版の形状が変化するため、スクリーン印刷は精度
の高いパターンが形成できないという欠点があり、スク
リーン版の洗浄等の管理面についても量産には課題があ
る。

【０００７】また、高精度のパターンが得られる方法と
して、フォトリソグラフィーを用いた方法も行われてい
るが、この場合、赤色、緑色、青色の各色蛍光体層を形
成するために、各色について塗布、露光、現像、乾燥等
の工程を３回繰り返す必要があること及び各色を全面塗
布して露光した後に不必要な部分を現像により除去する
ことによる蛍光体粉末の無駄な消費、これの回収、再生
などコスト高となる。そして、各色を全面に塗布するた
め、重ね塗りした色の現像残りによる混色を避けられな
いという課題がある。

【０００８】インクジェットノズルの先端から蛍光体ペ
ーストを噴射し、蛍光体層を形成する方法も提案されて
いる。しかし、インクジェットの場合は、圧電素子など
により蛍光体ペーストを噴射する機構のため、粘度を
０．２ポイズ以下程度にする必要があり、ペースト中の
蛍光体粉末量を多くできないため、形成した蛍光体層の
厚みが薄くなるという課題があった。また、インクジェ
ットノズルの径が小さいため、蛍光体粉末が詰まるとい
う課題があった。

【０００９】単にガラス基板上にストライプ状の着色パ
ターンを形成する他の方法としては、ノズルを用いる特
開平５−１１１０５号公報や、特開平５−１４２４０７
号公報に記載されている方法があるが、これら技術は、
表面が平坦な基板に塗液を塗布するものであって、表面
に凹凸が形成されているものに対してはそのまま用いる
ことはできない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ストライプ
状の隔壁が形成されたプラズマディスプレイパネルの基
板のような凹凸基板の複数の凹部に、蛍光体ペースト等
の塗液を高精度かつ簡便に形成できる塗液の塗布方法及
び塗布装置を提供することを目的とする。また、これに
より、高生産性と高品質を実現できる、プラズマディス
プレイパネルの製造方法および製造装置を提供すること
を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法
は、赤色、緑色、青色に発光する蛍光体粉末をそれぞれ
含む３種類の蛍光体ペーストを、吐出孔を有する口金か
らガラス基板上の隔壁間にストライプ状にそれぞれ塗布
した後、焼成することにより蛍光面を形成するプラズマ
ディスプレイパネルの製造方法であって、口金単位あた
りの吐出孔の数が１６ｎ（ただしｎは自然数）±５の範
囲であることを特徴とするものからなる。

【００１２】また、上記方法において、口金単位あたり
の吐出孔の数が３０〜２５００であることが好ましい。

【００１３】また、上記方法において、自然数ｎが２〜
１５０であることが好ましい。

【００１４】また、上記方法において、吐出孔がノズル
またはニードルであることが好ましい。

【００１５】また、上記方法において、吐出孔および／
またはガラス基板をガラス基板上の隔壁に対して平行に
走行させることが好ましい。

【００１６】また、上記方法において、塗布中の吐出孔
先端部と隔壁の上端部との間隔が０．０１〜２ｍｍであ
ることが好ましい。

【００１７】また、上記方法において、１本のストライ
プあたり２個以上の吐出孔から塗布することが好まし
い。

【００１８】また、上記方法において、一基の口金に２
色以上の異なる色に発光する蛍光体ペーストを吐出する
吐出孔を有し、かつ、異なる色の蛍光体ペーストを吐出
する吐出孔の最短間隔が６００μｍ以上であることが好
ましい。

【００１９】また、上記方法において、独立に位置制御
できる２基以上の口金から同時に蛍光体ペーストを吐出
させ、同一基板内の別々の場所を同時に塗布することが
好ましい。

【００２０】また、上記方法において、２基以上の口金
を同じ速度で走行させて塗布することが好ましい。

【００２１】また、上記方法において、２基以上の口金
を同じ方向に、同じ速度で走行させて塗布することが好
ましい。

【００２２】また、上記方法において、１つの口金から
は、１色だけを塗布することが好ましい。

【００２３】また、上記方法において、１色について２
基以上の独立に位置制御できる口金から同時に塗布する
ことが好ましい。

【００２４】また、上記方法において、２基以上の口金
の吐出孔の位置が、隔壁方向に対し垂直方向に隔壁間隔
の整数倍ずれていることが好ましい。

【００２５】また、上記方法において、隣り合う２基の
口金が、隔壁と平行方向にずれて位置することが好まし
い。

【００２６】また、上記方法において、１色ごとに塗布
し、１色塗布するごとに、乾燥工程を経ることが好まし
い。

【００２７】また、上記方法において、蛍光体ペースト
として、粘度が０．１〜５０Ｐａ・ｓのペーストを用い
ることが好ましい。

【００２８】また、上記方法において、蛍光体粉末とし
て、累積平均粒子径が０．５〜１５μｍ、比表面積０．
１〜５ｍ²／ｃｍ³である蛍光体粉末を用いることが好
ましい。

【００２９】また、上記方法において、蛍光体ペースト
を塗布した後、蛍光体塗布面を下向きにして乾燥する工
程を経ることが好ましい。

【００３０】また、上記方法において、蛍光体ペースト
が、感光性蛍光体ペーストであることが好ましい。

【００３１】さらに、本発明の凹凸基板への塗液の塗布
装置は、表面に一方向にストライプ状に凹凸部が形成さ
れている凹凸基板を固定するテーブルと、前記凹凸基板
の凹凸部と対面する複数の吐出孔を有する口金と、前記
口金に塗液を供給する供給手段と、前記テーブルと前記
口金を３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹
凸基板への塗液の塗布装置において、前記口金の吐出孔
の数が１６ｎ（ただしｎは自然数）±５の範囲であるこ
とを特徴とするものからなる。

【００３２】また、上記装置において前記口金は塗液を
貯蔵するマニホールド部を有し、かつ、吐出孔の出口部
は平面であることが好ましい。

【００３３】また、上記装置において前記口金は塗液を
貯蔵するマニホールド部を有し、かつ、吐出孔は同一形
状のニードルを配して構成されていることが好ましい。

【００３４】また、上記装置において前記凹凸基板の凸
部の上端部と前記口金の吐出孔出口部の間隔を制御する
制御手段とを備えたことが好ましい。

【００３５】また、上記装置において前記口金は複数の
吐出孔が直線状に、かつ、前記凹凸基板の凹凸部のスト
ライプ方向に複数列配列されていることが好ましい。

【００３６】また、上記装置において前記口金は、互い
に独立した複数のマニホールド部と、各マニホールド部
から各塗液を吐出する吐出孔を有し、かつ、異なるマニ
ホールド部に連なる前記吐出孔の最短間隔は６００μｍ
であることが好ましい。

【００３７】また、上記装置において２基以上の口金を
配したことが好ましい。

【００３８】また、上記装置において２基以上の口金
を、前記凹凸基板の凹凸部のストライプ方向に対して垂
直方向に、凸部間隔の整数倍ずらして配したことが好ま
しい。また、上記装置において隣り合う２基以上の口金
を、前記凹凸基板の凹凸部のストライプ方向にずらして
配したことが好ましい。

【００３９】さらに、本発明のプラズマディスプレイパ
ネルの製造装置は、塗液が赤色、緑色、青色のいずれか
の色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、上
記の凹凸基板への塗液の塗布装置を用いることを特徴と
するものからなる。

【００４０】

【発明の実施の形態】本発明は、図１のような電極１お
よび隔壁３が形成されたガラス基板２の上に部分的に蛍
光体ペーストを塗布する方法であり、特に、赤色、青
色、緑色の３原色を発光する蛍光体ペーストをそれぞれ
ストライプ状に塗布し、図２に示すような赤色蛍光体層
４、青色蛍光体層５、緑色蛍光体層６をそれぞれ形成す
る蛍光体層の形成方法に関する。

【００４１】ここで、１つの画素ラインは、赤色
（Ｒ）、青色（Ｂ）、緑色（Ｇ）３本のストライプで形
成されるため、蛍光体層は、ＲＧＢもしくはＲＢＧの繰
り返しで形成する必要がある。

【００４２】本発明の製造方法においては、Ｒ、Ｇ、Ｂ
の各色用ごとに配置された吐出孔を有する口金を、およ
び／またはガラス基板を、隔壁と吐出孔が平行になるよ
うに走行させるなどしながら、各色の所定位置の隔壁間
に蛍光体ペーストを吐出させて塗布する方法が用いられ
る。

【００４３】ここで、ディスプレイあたりの表示セル、
すなわち画素ラインの数は、ディスプレイとして求めら
れる精細度や、サイズなどによって異なるが、一般的に
６４０、８００、１０２４、１２８０、１９２０などで
ある。口金単位あたりの吐出孔の数が３０〜２５００の
範囲内であれば、これらの基板に対応することが出来
る。

【００４４】また、上述したように、表示セルの数は、
その多くが１６の倍数である。

【００４５】本発明の製造方法においては、口金単位あ
たりの吐出孔の数は１６ｎ（ただしｎは自然数）±５個
の範囲内にある。

【００４６】口金単位あたりの吐出孔の数が上記範囲内
にあると、画素ライン数が１６の倍数である場合はもち
ろん、スペックが変化して１６の倍数でないものが要求
された場合でも、１基あるいは２基以上の口金を用いる
ことによって、各種基板の画素ライン数に対応すること
ができ、効率的な塗布が可能である。

【００４７】さらに、自然数ｎが２〜１５０の範囲にあ
ると、より効率的な塗布が可能となり、好ましい。

【００４８】また、１本のストライプ状隔壁間に塗布さ
れたペースト厚をさらに精度良くし、塗布速度を上げる
ためには、１本のストライプあたり２個以上の吐出孔を
隔壁と平行方向に有する口金を用いて、複数の吐出孔か
ら同時に塗布する方法（図８）を用いることができる。
この場合、１個または各色所定の塗布位置間隔に１列の
直線上に並んだ２個以上の吐出孔を隔壁と平行方向に２
列以上有する口金などが好ましく用いられる。

【００４９】さらに、１基の口金に、２色以上の異なる
色に発光する蛍光体ペーストの吐出孔を同時に有するも
のも用いることができるが、この場合は、他色との混色
を避けるために、異なる色の蛍光体ペーストを吐出する
孔間隔は６００μｍ以上であることが好ましい。高精細
のプラズマディスプレイパネルでは、隔壁の間隔は１０
０〜４００μｍになるが、１例として、孔間隔が直線距
離で６００μｍ以上の間隔となるように隔壁方向にずら
して３色連続に３列配置する方法（図９）により実施す
ることができる。

【００５０】異なる色の蛍光体ペーストを吐出する口金
が、それぞれ独立である場合には、それぞれ同じ速度で
隔壁に平行に走行させてまたは／かつガラス基板を走行
させて塗布することにより実施することができる。

【００５１】さらに効率的な方法として、異なる色に発
光する蛍光体ペーストを吐出する口金を、それぞれの色
用について２基以上配置し、または２色以上の異なる色
に発光する蛍光体ペーストを同時に吐出する口金を２基
以上配置し、同期させながら、または、連結した状態
で、同じ方向に同じ速度で移動させながらパネル全面に
塗布する方法（図１０）を用いることにより、それぞれ
の色用が１基ずつの場合に対し、塗布時間を半分以下に
短縮することができる。

【００５２】この際、２基以上は、隔壁方向に対し垂直
方向に隔壁間隔の整数倍にずらして位置させ、隣り合う
２基以上の位置が「ずれ」＜「口金本体の外寸」のとき
は、隔壁に対し平行方向にずれて位置するように配置す
る（図１１）ことが効率的であり好ましい。

【００５３】また、隣接する異なる色の蛍光体ペースト
の混色を避けるために、１色塗布するごとに、乾燥工程
を経る方法を用いることも好ましい。

【００５４】本発明で用いる吐出口の内径は、塗布対象
の隔壁の間隔１００〜４００μｍに対し、隔壁間隔以下
であることが好ましく、蛍光体粉末の粒子径よりも大き
い必要がある。蛍光体粉末の粒子径分布および多少の凝
集を考慮し、蛍光体ペーストを安定に吐出するため、８
０〜４００μｍであることが好ましい。

【００５５】また、本発明で用いる吐出孔はノズル（図
６）またはニードル（図７）とすることにより、口金が
汚れにくくなるため好ましい。

【００５６】さらに、塗布する際は、隔壁の上端部と口
金の吐出孔先端部との間隔を０．０１〜２ｍｍの状態に
保ち、一定の速度で走行させながらまたは／かつガラス
基板を走行させながら蛍光体ペーストを一定流量で吐出
して隔壁間に塗布することが好ましい。この間隔が０．
０３〜１ｍｍであるのがより好ましい。この間隔で塗布
することにより、隔壁の上端部との接触を避けながら、
蛍光体ペーストを隔壁の間に流し込むことができる。

【００５７】また、本発明に使用する蛍光体ペーストと
して、粘度が０．１〜５０Ｐａ・ｓのペーストを用いる
ことが好ましい。より好ましくは、０．５〜４０Ｐａ・
ｓである。

【００５８】蛍光体ペーストの組成は、蛍光体粉末以外
は塗布後の乾燥および焼成工程において蒸発もしくは分
解して除去される成分で構成されていることが好まし
い。こうすることにより、焼成後に蛍光体のみで構成さ
れる蛍光体層を形成することができる。このような蛍光
体ペーストとして、例えば、蛍光体粉末、有機化合物分
散剤、水溶性有機バインダー、水で構成された組成物、
または、蛍光体粉末、有機バインダー、有機溶剤で構成
された組成物、およびこれに有機化合物分散剤を添加し
た組成物などが使用できる。

【００５９】また、このような組成物に感光性を付与す
ることにより、フォトリソグラフィーによるパターン加
工を可能にすることもできる。この場合、塗布工程にお
いて隔壁の上部や隔壁形成部以外などの不要な部分に形
成された蛍光体を取り除くのに有効である。塗布した
後、フォトマスクを介して露光し、露光部分のペースト
を現像液に対して可溶化または不溶化することにより、
現像工程で不要な部分を取り除き、蛍光体層を形成する
ことができる。

【００６０】本発明に使用される蛍光体粉末は、特に限
定されない。例えば、赤色では、Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ，ＹＶＯ
₄：Ｅｕ，（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ，Ｙ₂Ｏ₃Ｓ：Ｅ
ｕ，γ−Ｚｎ₃（ＰＯ₄）₂：Ｍｎ，（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ａ
ｇ＋Ｉｎ₂Ｏ₃などがある。緑色では、Ｚｎ₂ＧｅＯ₂：
Ｍ，ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎ，Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ，Ｌａ
ＰＯ₄：Ｔｂ，ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ，ＺｎＳ：Ａｕ，Ｃ
ｕ，Ａｌ，（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ｃｕ，Ａｌ，Ｚｎ₂Ｓｉ
Ｏ₄：Ｍｎ，Ａｓ，Ｙ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂：Ｃｅ，ＣｅＭｇＡｌ
₁₁Ｏ₁₉：Ｔｂ，Ｇｄ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ，Ｙ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂：Ｔ
ｂ，ＺｎＯ：Ｚｎなどがある。青色では、Ｓｒ₅（Ｐ
Ｏ₄）₃Ｃｌ：Ｅｕ，ＢａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ，Ｂａ
ＭｇＡｌ₁₆Ｏ₂₇：Ｅｕ，ＢａＭｇ₂Ａｌ₁₄Ｏ₂₄：Ｅｕ，
ＺｎＳ：Ａｇ＋赤色顔料、Ｙ₂ＳｉＯ₃：Ｃｅなどが挙げ
られる。

【００６１】また、ツリウム（Ｔｍ）、テルビウム（Ｔ
ｂ）およびユーロピウム（Ｅｕ）からなる群より選ばれ
た少なくとも１つの元素で、イットリウム（Ｙ）、ガド
リウム（Ｇｄ）およびルテチウム（Ｌｕ）から選ばれた
少なくとも１つの母体構成稀土類元素を置換したタンタ
ル酸稀土類蛍光体が利用できる。好ましくは、タンタル
酸稀土類蛍光体が組成式Ｙ_1-xＥｕ_xＴａＯ₄（式中、Ｘ
はおよそ０．００５〜０．１である）で表されるユーロ
ピウム付活タンタル酸イットリウム蛍光体である。赤色
蛍光体には、ユーロピウム付活タンタル酸イットリウム
が好ましく、緑色蛍光体には、タンタル酸稀土類蛍光体
が組成式Ｙ_1-xＴｂ_xＴａＯ₄（式中、Ｘはおよそ０．
００１〜０．２である）で表されるテルビウム付活タン
タル酸イットリウムが好ましい。青色蛍光体には、タン
タル酸稀土類蛍光体がＹ_1-xＴｂ_xＴａＯ₄（式中、Ｘ
はおよそ０．００１〜０．２である）で表されるツリウ
ム付活タンタル酸イットリウムが好ましい。

【００６２】また、緑色蛍光体には、Ｍｎがケイ酸亜鉛
（Ｚｎ₂ＳｉＯ₄）母体量に対して０．２重量％以上、
０．１重量％未満付活された平均粒子径２μｍ以上８μ
ｍ以下のマンガン付活亜鉛蛍光体（Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍ
ｎ）および一般式が（Ｚｎ_1-xＭｎ_x）Ｏ・αＳｉＯ
₂（式中、Ｘおよびαは、０．０１≦Ｘ≦０．２、０．
５＜α≦１．５の範囲の値である）で表されるマンガン
付活ケイ酸亜鉛蛍光体も好ましく用いられる。

【００６３】上記において使用される蛍光体粉末粒子径
は、作製しようとする蛍光体層パターンの線幅、幅間隔
（スペース）および厚みを考慮して選ばれるが、粉末
は、累積平均粒子径が０．５〜１５μｍ、好ましくは
０．５〜６μｍ、比表面積０．１〜５ｍ²／ｃｍ³であ
ることが好ましい。より好ましくは粒子径を１〜６μ
ｍ、比表面積０．５〜４ｍ²／ｃｍ³である。この範囲
にあると、吐出孔詰まりが生じ難く、安定な吐出が可能
であり、高精度なパターン形状が得られる。また、蛍光
体の発光効率がよく、高寿命になるので好ましい。粉末
粒子径が０．５μｍ未満、比表面積が５ｍ²／ｃｍ³を
越えると粉末が細かくなりすぎるため、粉末の凝集が生
じやすく、フォトリソグラフィーによるパターン加工を
する場合には、露光時に光が散乱され未露光部分が光硬
化する。このため現像時にパターンの残膜（未露光部に
余分な蛍光体が残存すること）の発生が起こり、高精細
なパターンが得られない。また、蛍光体の発光効率や寿
命が低下する。

【００６４】蛍光体粉末の形状としては、多面体状（粒
状）のものが使用できるが、凝集のない粉末が好まし
い。その中で球状の粉末は、吐出孔詰まりが生じ難く、
安定な吐出が可能であり、フォトリソグラフィーによる
パターン加工をする場合には、露光時に散乱の影響を少
なくできるのでより好ましい。球状粉末が球形率８０個
数％以上の粒子形状を有していると好ましい。さらに好
ましくは、球形率９０個数％以上である。球形率８０個
数％未満である場合には、紫外線露光時に蛍光体粉末に
よる散乱の影響を受けて高精細なパターンが得られにく
くなる。球形率の測定は、蛍光体粉末を光学顕微鏡で３
００倍の倍率にて撮影し、このうち計数可能な粒子を計
数することにより行い、球形のものの比率を球形率とす
る。

【００６５】本発明に使用される有機成分として、有機
バインダー、溶媒および必要に応じて分散剤、可塑剤、
レベリング剤などの添加物を含むことができる。

【００６６】有機バインダーの具体的な例としては、
（ポリ）ビニルブチラール、（ポリ）ビニルアセテー
ト、（ポリ）ビニルアルコール、セルロース系ポリマー
（例えば、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒド
ロキシエチルセルロース、メチルヒドロキシエチルセル
ロース）、ポリエチレン、シリコンポリマー（例えば、
（ポリ）メチルシロキサン、（ポリ）メチルフェニルシ
ロキサン）、ポリスチレン、ブタジエン／スチレンコポ
リマー、ポリスチレン、（ポリ）ビニルピロリドン、ポ
リアミド、高分子量ポリエーテル、エチレンオキシドと
ポロピレンオキシドのコポリマーポリアクリルアミドお
よび種々のアクリルポリマー（例えば、ポリアクリル酸
ナトリウム、（ポリ）低級アルキルアクリレート、（ポ
リ）低級アルキルメタクリレートおよび低級アルキルア
クリレートおよびメタクリレートの種々のコポリマーお
よびマルチポリマーである。

【００６７】可塑剤の具体的な例としては、ジブチルフ
タレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコ
ール、グリセリンなどがあげられる。

【００６８】有機溶媒の具体的な例としては、メチルセ
ロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチ
ルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサ
ノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソ
プロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ブチルカル
ビトールアセテート、ジメチルスルフォキシド、γ−ブ
チロラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブ
ロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、ク
ロロ安息香酸などやこれらのうちの１種以上を含有する
有機溶媒混合物が用いられる。

【００６９】有機化合物分散剤として、アニオン性や非
イオン性界面活性剤などが使用される。

【００７０】本発明において、フォトリソグラフィーに
よるパターン加工をする場合には、感光性化合物を含む
有機成分と蛍光体粉末を必須成分とする感光性蛍光体ペ
ーストを用いることも可能である。

【００７１】感光性蛍光体ペーストに用いられる有機成
分は、感光性化合物を１０重量％以上、より好ましくは
２５重量％以上含む有機成分であることが好ましい。感
光性化合物を含む有機成分とは、感光性ポリマー、感光
性モノマー、感光性オリゴマーのうち少なくとも１種類
から選ばれる感光性成分を含有し、さらに必要に応じて
光重合開始剤、増感剤紫外線吸光剤などの添加物を加え
ることも行われる。

【００７２】本発明に用いる感光性化合物を含む有機成
分量は、１５〜６０重量％であることが好ましい。１５
重量％以下では感光不足のためパターン性が劣化し、６
０重量％以上では、焼成時の脱バインダー性が悪く焼成
不足になる。

【００７３】感光性成分としては、光不溶化型のものと
光可溶化型のものがあり、光不溶化型のものとして、（１）分子内に不飽和基などを１つ以上有する官能性の
モノマー、オリゴマー、ポリマーを含有するもの（２）芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物、有機
ハロゲン化合物などの感光性化合物を含有するもの（３）ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物な
どいわゆるジアゾ樹脂といわれるもの等がある。

【００７４】また、光可溶型のものとしては、（４）ジアゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレック
ス、キノンジアゾ類を含有するもの（５）キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結
合させた、例えばフェノール、ノボラック樹脂のナフト
キノン１，２−ジアジド−５−スルフォン酸エステル等
がある。

【００７５】本発明で用いる感光性成分は、上記のすべ
てのものを用いることができる。感光性ペーストとし
て、無機微粒子と混合して簡便に用いることができる感
光性成分は、（１）のものが好ましい。

【００７６】感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽
和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、メ
チルアクリレート、エチルアクリレート、ｎ−プロピル
アクリレート、イソプロピルアクリレート、ｎ−ブチル
アクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−
ブチルアクリレート、イソ−ブチルアクリレート、ｔｅ
ｒｔ−ブチルアクリレート、ｎ−ペンチルアクリレー
ト、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブト
キシエチルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコ
ールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシ
クロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアク
リレート、２−エチルヘキシルアクリレート、グリセロ
ールアクリレート、グリシジルアクリレート、ヘプタデ
カフロロデシルアクリレート、２−ヒドロキシエチルア
クリレート、イソボニルアクリレート、２−ヒドロキシ
プロピルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イ
ソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、２−
メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコ
ールアクリレート、メトキシジエチレングリコールアク
リレート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェノ
キシエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、ト
リフロロエチルアクリレート、アリル化シクロヘキシル
ジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレー
ト、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチ
レングリコールジアクリレート、ジエチレングリコール
ジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリ
トールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチ
ロールプロパンテトラアクリレート、グリセロールジア
クリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレ
ングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、アクリルア
ミド、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレー
ト、フェノキシエチルアクリレート、ベンジルアクリレ
ート、１−ナフチルアクリレート、２−ナフチルアクリ
レート、ビスフェノールＡジアクリレート、ビスフェノ
ールＡ−エチレンオキサイド付加物のジアクリレート、
ビスフェノールＡ−プロピレンオキサイド付加物のジア
クリレート、チオフェノールアクリレート、ベンジルメ
ルカプタンアクリレート、また、これらの芳香環の水素
原子のうち、１〜５個を塩素または臭素原子に置換した
モノマー、もしくは、スチレン、ｐ−メチルスチレン、
ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、塩素化スチ
レン、臭素化スチレン、α−メチルスチレン、塩素化α
−メチルスチレン、臭素化α−メチルスチレン、クロロ
メチルスチレン、ヒドロキシメチルスチレン、カルボシ
キメチルスチレン、ビニルナフタレン、ビニルアントラ
セン、ビニルカルバゾール、および、上記化合物の分子
内のアクリレートを一部もしくはすべてをメタクリレー
トに変えたもの、γ−メタクリロキシプロピルトリメト
キシシラン、１−ビニル−２−ピロリドンなどが挙げら
れる。本発明ではこれらを１種または２種以上使用する
ことができる。

【００７７】これら以外に、不飽和カルボン酸等の不飽
和酸を加えることによって、感光後の現像性を向上する
ことができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として
は、アクリル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、クロト
ン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれ
らの酸無水物などがあげられる。

【００７８】バインダーとしては、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合
体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−
メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重
合体、ブチルメタクリレート樹脂などがあげられる。

【００７９】また、前述の炭素−炭素二重結合を有する
化合物のうち少なくとも１種類を重合して得られたオリ
ゴマーやポリマーを用いることができる。

【００８０】重合する際に、これらのモノマーの含有率
が１０重量％以上、さらに好ましくは３５重量％以上に
なるように、他の感光性のモノマーと共重合することが
できる。

【００８１】共重合するモノマーとしては、不飽和カル
ボン酸等の不飽和酸を共重合することによって、感光後
の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の
具体的な例としては、アクリル酸、メタアクリル酸、イ
タコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル
酢酸、またはこれらの酸無水物などがあげられる。

【００８２】こうして得られた側鎖にカルボキシル基等
の酸性基を有するポリマーもしくはオリゴマーの酸価
（ＡＶ）は５０〜１８０、さらには７０〜１４０の範囲
が好ましい。酸価が１８０を越えると、現像許容幅が狭
くなる。また、酸価が５０未満であると、未露光部の現
像液に対する溶解性が低下するようになるため現像液濃
度を濃くすると露光部まで剥がれが発生し、高精細なパ
ターンが得られにくい。

【００８３】以上示した、ポリマーもしくはオリゴマー
に対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させ
ることによって、感光性を持つ感光性ポリマーや感光性
オリゴマーとして用いることができる。

【００８４】好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和
基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、
ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが
あげられる。

【００８５】このような側鎖をオリゴマーやポリマーに
付加させる方法は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ
基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基や
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やア
クリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはア
リルクロライドを付加反応させて作る方法がある。

【００８６】グリシジル基を有するエチレン性不飽和化
合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グ
リシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル
酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロト
ン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエ
ーテルなどがあげられる。

【００８７】イソシアネート基を有するエチレン性不飽
和化合物としては、（メタ）アクリロイルイソシアネー
ト、（メタ）アクリロイルエチルイソシアネート等があ
る。

【００８８】また、グリシジル基やイソシアネート基を
有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライ
ド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド
は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカ
ルボキシル基に対して０．０５〜１モル当量付加させる
ことが好ましい。

【００８９】光重合開始剤としての具体的な例として、
ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４，
４−ビス（ジメチルアミン）ベンゾフェノン、４，４−
ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ジク
ロロベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４−メチルジフ
ェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、２，
２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−
２−フェニル−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒド
ロキシ−２−メチルプロピオフェノン、ｐ−ｔ−ブチル
ジクロロアセトフェノン、チオキサントン、２−メチル
チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソ
プロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベ
ンジル、ベンジルジメチルケタノール、ベンジルメトキ
シエチルアセタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、
２−ｔ−ブチルアントラキノン、２−アミルアントラキ
ノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズ
アントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、
４−アジドベンザルアセトフェノン、２，６−ビス（ｐ
−アジドベンジリデン）シクロヘキサノン、２，６−ビ
ス（ｐ−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘキ
サノン、２−フェニル−１，２−ブタジオン−２−（ｏ
−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−プロ
パンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシ
ム、１，３−ジフェニル−プロパントリオン−２−（ｏ
−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−３−
エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）
オキシム、ミヒラーケトン、２−メチル−［４−（メチ
ルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノ
ン、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホ
ニルクロライド、Ｎ−フェニルチオアクリドン、４，４
−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィ
ド、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホル
フィン、カンファーキノン、四臭素化炭素、トリブロモ
フェニルスルホン、過酸化ベンゾインおよびエオシン、
メチレンブルーなどの光還元性の色素とアスコルビン
酸、トリエタノールアミンなどの還元剤の組合せなどが
あげられる。本発明ではこれらを１種または２種以上使
用することができる。

【００９０】光重合開始剤は、感光性成分に対し、０．
１〜６重量％の範囲で添加され、より好ましくは、０．
２〜５重量％である。重合開始剤の量が少なすぎると光
に対する感度が鈍くなり、光重合開始剤の量が多すぎれ
ば、露光部の残存率が大きくなりすぎるおそれがある。

【００９１】紫外線吸光剤を添加することも有効であ
る。紫外線吸収効果の高い吸光剤を添加することによっ
て高精細、高解像度が得られる。紫外線吸光剤としては
有機系染料からなるもの、中でも３５０〜４５０ｎｍの
波長範囲で高ＵＶ吸収係数を有する有機系染料が好まし
く用いられる。具体的には、アゾ系染料、アミノケトン
系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アミノケ
トン系染料、アントラキノン系、ベンゾフェノン系、ジ
フェニルシアノアクリレート系、トリアジン系、ｐ−ア
ミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は吸
光剤として添加した場合にも、焼成後の絶縁膜中に残存
しないで吸光剤による絶縁膜特性の低下を少なくできる
ので好ましい。これらの中でもアゾ系およびベンゾフェ
ノン系染料が好ましい。有機染料の添加量は０．０５〜
５重量％が好ましい。０．０５重量％以下では紫外線吸
光剤の添加効果が減少し、５重量％を越えると焼成後の
絶縁膜特性が低下するので好ましくない。より好ましく
は０．１５〜１重量％である。有機染料からなる紫外線
吸光剤の添加方法の一例を上げると、有機染料を予め有
機溶媒に溶解した溶液を作製し、次に該有機溶媒中に蛍
光体粉末を混合後、乾燥することによってできる。この
方法によって蛍光体粉末の個々の粉末表面に有機の膜を
コートしたいわゆるカプセル状の粉末が作製できる。

【００９２】増感剤は、感度を向上させるために添加さ
れる。増感剤の具体例としては、２，４−ジエチルチオ
キサントン、イソプロピルチオキサントン、２，３−ビ
ス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロペンタノン、
２，６−ビス（４−ジメチルアミニベンザル）シクロヘ
キサノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザ
ル）−４−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、
４，４−ビス（ジエチルアミノ）−ベンゾフェノン、
４，４−ビス（ジメチルアミノ）カルコン、４，４−ビ
ス（ジエチルアミノ）カルコン、ｐ−ジメチルアミノシ
ンナミリデンインダノン、ｐ−ジメチルアミノベンジリ
デンインダノン、２−（ｐ−ジメチルアミノフェニルビ
ニレン）−イソナフトチアゾール、１，３−ビス（４−
ジメチルアミノベンザル）アセトン、１，３−カルボニ
ル−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）アセトン、
３，３−カルボニル−ビス（７−ジエチルアミノクマリ
ン）、Ｎ−フェニル−Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ
−フェニルエタノールアミン、Ｎ−トリルジエタノール
アミン、Ｎ−フェニルエタノールアミン、ジメチルアミ
ノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソア
ミル、３−フェニル−５−ベンゾイルチオテトラゾー
ル、１−フェニル−５−エトキシカルボニルチオテトラ
ゾールなどがあげられる。本発明ではこれらを１種また
は２種以上使用することができる。なお、増感剤の中に
は光重合開始剤としても使用できるものがある。増感剤
を本発明の感光性ペーストに添加する場合、その添加量
は感光性成分に対して通常０．０５〜１０重量％、より
好ましくは０．１〜１０重量％である。増感剤の量が少
なすぎれば光感度を向上させる効果が発揮されず、増感
剤の量が多すぎれば露光部の残存率が小さくなりすぎる
おそれがある。

【００９３】これらを用いた蛍光体ペーストまたは感光
性蛍光体ペーストは、通常、蛍光体粉末、有機バインダ
ー、紫外線吸光剤、感光性ポリマー、感光性モノマー、
光重合開始剤、分散剤、可塑剤、溶剤などの各種成分を
所定の組成となるように調合した後、３本ローラーや混
練機で均質に混合分散し作製する。または、予め、分散
剤を溶剤に溶解しておいたり、蛍光体粉末を分散剤や紫
外線吸光剤で表面処理した後に、他の成分と混合しても
よい。

【００９４】また、プラズマディスプレイの蛍光体は隔
壁底部および側面（隔壁高さの半分の位置）に１０〜５
０μｍの厚みが必要であり、使用する蛍光体ペースト中
の蛍光体粉末比率による乾燥や焼成後の収縮を考慮した
塗布厚みに制御する必要がある。

【００９５】本発明に用いるガラス基板は、特に限定は
ないが、一般的なソーダライムガラスやソーダライムガ
ラスをアニール処理したガラス、または、高歪み点ガラ
ス（例えば、旭硝子社製”ＰＤ−２００”）等を用いる
ことができる。ガラス基板のサイズには特に限定はな
く、１〜５ｍｍの厚みのガラスを用いることができる。

【００９６】電極と隔壁を形成したガラス基板上に蛍光
体層を形成することによって、プラズマディスプレイ用
基板を得ることができる。また、電極と隔壁以外に誘電
体層を形成した基板を用いてもよい。電極は、銀やアル
ミ、銅、金、ニッケル、酸化錫、ＩＴＯ等をスクリーン
印刷や感光性導電ペーストを用いて形成することができ
る。

【００９７】隔壁としては、格子形状やストライプ形状
の隔壁を用いることができるが、本発明は、ストライプ
形状の隔壁において特に有効である。隔壁のピッチとし
ては、１００〜５００μｍが好ましい。隔壁の高さとし
ては、５０〜２００μｍが好ましい。

【００９８】本発明にあっては、吐出孔を有する口金ま
たはノズルまたはニードルにより隔壁間に塗布したペー
ストを乾燥させる加熱工程において、ガラス基板の蛍光
体塗布面を下にした状態で保持して行う方法も好ましく
用いられる。蛍光体ペーストが隔壁側面を伝うことによ
り、隔壁側面に蛍光体層を形成することができる。蛍光
体層を隔壁間だけでなく隔壁側面にも形成することによ
って、蛍光体面の面積を大きくでき、プラズマディスプ
レイの輝度向上に有効である。この場合、具体的には、
ガラス基板が水平面に対して０〜３０度の角度になるよ
うな方法が好ましく用いられる。乾燥温度、乾燥時間は
ペースト組成や粘性によって異なるが、５０〜２００℃
で５〜６０分行うことが好ましい。

【００９９】またさらに、塗布工程において感光性を付
与した蛍光体ペーストを使用して、フォトリソグラフィ
ーによるパターン加工を行う場合、塗布した後、露光と
現像を行う。

【０１００】フォトマスクを介して露光し、露光部分の
ペーストを現像液に対して可溶化または不溶化すること
により、現像工程で不要な部分を取り除くため、露光と
現像を行う。

【０１０１】露光方法については特に限定されないが、
通常のフォトリソグラフィーで行われるように、フォト
マスクを用いてマスク露光する方法が一般的である。用
いるマスクは、感光性有機成分の種類によって、ネガ型
もしくはポジ型のどちらかを選定する。また、フォトマ
スクを用いずに、レーザー光などで直接描画する方法を
用いても良い。露光装置としては、ステッパー露光機、
プロキシミティ露光機等を用いることができる。

【０１０２】また、大面積の露光を行う場合は、ガラス
基板などの基板上に感光性ペーストを塗布した後に、搬
送しながら露光を行うことによって、小さな有効露光面
積の露光機で、大きな面積を露光することができる。

【０１０３】この際使用される活性光源は、たとえば、
可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、Ｘ線、レーザー
光などが挙げられるが、これらの中で紫外線が好まし
く、その光源としてはたとえば低圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用
できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。

【０１０４】フォトマスクを用いる場合は、パターン幅
の設計が重要である。通常は、隔壁ピッチから隔壁幅を
ひいた幅（スペース）と同じ幅を用いるが、アライメン
ト精度および露光時の光散乱を考慮して、スペースより
０〜３０μｍ狭くしたパターンのフォトマスクを用いて
もよい。

【０１０５】さらに、露光後、現像液を使用して現像を
行なうが、この場合、浸漬法やスプレー法、ブラシ法な
どを用いることができる。

【０１０６】現像液は、感光性ペースト中の有機成分が
溶解可能である有機溶媒を使用できる。また該有機溶媒
にその溶解力が失われない範囲で水を添加してもよい。
感光性ペースト中にカルボキシル基等の酸性基を持つ化
合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。ア
ルカリ水溶液として水酸化ナトリウムや水酸化カルシウ
ム水溶液などのような金属アルカリ水溶液を使用できる
が、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ
成分を除去しやすいので好ましい。

【０１０７】有機アルカリとしては、アミン化合物を用
いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニ
ウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウム
ヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノール
アミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は通常
０．０１〜１０重量％、より好ましくは０．１〜５重量
％である。アルカリ濃度が低すぎれば未露光部が除去さ
れずに、アルカリ濃度が高すぎれば、パターン部を剥離
させ、また露光部を腐食させるおそれがあり良くない。
また、現像時の現像温度は、２０〜５０℃で行うことが
工程管理上好ましい。

【０１０８】また、以上の工程中に、乾燥、予備反応の
目的で、５０〜３００℃加熱工程を導入しても良い。

【０１０９】本発明においては、蛍光体以外のバインダ
ーなどを除去するために、さらに焼成炉にて焼成を行
う。焼成雰囲気や、温度はペーストや基板の種類によっ
て異なるが、具体的には空気中、窒素、水素等の雰囲気
中、４００〜５５０℃の焼成温度が好ましい。焼成炉と
しては、バッチ式の焼成炉やベルト式またはローラーハ
ース式の連続型焼成炉など、公知の焼成炉を用いること
ができる。

【０１１０】上記のような焼成行程を経ることにより、
ガラス基板上の隔壁間に蛍光体層を形成したプラズマデ
ィスプレイパネル用背面板を作製することができる。

【０１１１】以上のようにして得られたプラズマディス
プレイパネル用背面板（図３）を前背面のガラス基板と
合わせて封着し、ヘリウム、ネオン、キセノン等の希ガ
スを封入することによって、プラズマディスプレイのパ
ネル部分を製造できる。さらに、駆動用のドライバーＩ
Ｃを実装することによって、プラズマディスプレイを製
造することができる。

【０１１２】次に、本発明にかかる凹凸基板への塗液の
塗布装置について説明する。

【０１１３】図１２は、本発明の一実施態様に係る塗液
の塗布装置の全体斜視図であり、図１３は、図１２のテ
ーブル４２と口金５０周りの概略図であり、製造装置の
要部を説明するための図である。図１５から図２０は、
本発明の一実施態様に係る口金の構造を示している。

【０１１４】まず、塗液の塗布装置の全体構成について
説明する。図１２は、本発明に係るプラズマディスプレ
イパネルの製造装置に適用される塗布装置の一例を示し
ている。この塗布装置は基台４０を備えている。基台４
０上には、一対のガイド溝レール４４が設けられてお
り、このガイド溝レール４４上にテーブル４２が配置さ
れている。このテーブル４２の上面には、基板４１が真
空吸引によってテーブル面に固定可能となるように複数
の吸引孔４３が設けられている。また、基板４１は図示
しないリフトピンによってテーブル４２上を昇降する。
さらにテーブル４２は、スライド脚４５を介してガイド
溝レール４４上をＸ軸方向に往復動自在となっている。

【０１１５】一対のガイド溝レール４４の間には、図１
３に示す送りねじ機構を構成するフィードスクリュー４
６が、テーブル４２の下面に固定されたナット状のコネ
クタ４７を貫通して延びている。フィードスクリュー４
６の両端部は、軸受４８によって回転自在に支持され、
さらに片方の一端にはＡＣサーボモータ４９が連結され
ている。

【０１１６】図１２に示すように、テーブル４２の上方
には、蛍光体ペーストを吐出する口金５０が、ホルダー
５１を介して昇降機構５６、幅方向移動機構５９に連結
している。昇降機構５６は昇降可能な昇降ブラケット５
４を備えており、昇降機構５６のケーシング内部で一対
のガイドロッドに昇降自在に取り付けられている。ま
た、このケーシング内には、ガイドロッド間に位置して
ボールねじからなるフィードスクリュー（図示しない）
もまた回転自在に配置されており、ナット型のコネクタ
を介して昇降ブラケット５４と連結されている。さらに
フィードスクリューの上端には、図示しないＡＣサーボ
モータが接続されており、このＡＣサーボモータの回転
によって昇降ブラケット５４を任意に昇降動作させるこ
とができるようになっている。

【０１１７】さらに、昇降機構５６はＹ軸移動ブラケッ
ト５７（アクチュエータ）を介して幅方向移動機構５９
に連結されている。幅方向移動機構５９は、Ｙ軸移動ブ
ラケット５７を口金５０の幅方向、すなわちＹ軸方向に
往復自在に移動させるものである。動作のために必要な
ガイドロッド、フィードスクリュー、ナット型コネクタ
ー、ＡＣサーボモータ等は、ケーシング内に昇降機構５
６と同じように配置されている。幅方向移動機構５９は
支柱５８で基台４０上に固定されている。

【０１１８】これらの構成によって、口金５０はＺ軸と
Ｙ軸方向に自在に移動させることができる。

【０１１９】口金５０は、テーブル４２の往復動方向と
直交する方向、つまりＹ軸方向に水平に延びているいる
が、これを直接保持するコの字形のホルダー５１は、昇
降ブラケット５４内で回転自在に支持されており、垂直
面内で自在に図中の矢印方向に回転することができる。

【０１２０】このホルダー５１の上方には水平バー５２
も昇降ブラケット５４に固定されている。水平バー５２
の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエータ５３
が取り付けられている。このリニアアクチュエータ５３
は、水平バー５２の下面から突出する伸縮ロッド５５を
有し、これら伸縮ロッド５５がホルダー５１の両端に接
触することによってホルダー５１の回転角度を規制する
ことができ、結果として口金５０の傾き度を任意に設定
することができる。

【０１２１】さらに図１２を参照すると、基台４０の上
面には、逆Ｌ字形のセンサ支柱６０が固定されており、
その先端にはテーブル４２上の基板４１の凸部頂上の位
置（高さ）を測定する高さセンサ６１が取り付けられて
いる。また、高さセンサ６１の隣には、基板４１の隔壁
間の位置を検知するカメラ７８がカメラ支柱７７に取り
付けられている。図１３に示すように、カメラ７８は画
像処理措置７４に電気的に接続されており、隔壁間の位
置の変化を定量的に求めることができる。

【０１２２】さらに、テーブル４２の一端には、センサ
ーブラケット７４を介して、口金５０の吐出孔のある下
端面の、テーブル４２に対する垂直方向の位置を検出す
るセンサー７６が取り付けられている。

【０１２３】図１３に示すように、口金５０はそのマニ
ホールド６２内に蛍光体ペースト６３が充填されてお
り、吐出孔６４が吐出孔先端面に形成されている。そし
て、この吐出孔６４より蛍光体ペースト６３が吐出され
る。口金５０には供給ホース６５が接続されており、さ
らに吐出用電磁切換え弁６６、供給ユニット６７、吸引
ホース６８、吸引用電磁切換え弁６９、蛍光体ペースト
タンク７０へと連なっている。蛍光体ペーストタンク７
０には、蛍光体ペースト６３が蓄えられている。蛍光体
ペースト６３は、赤色、緑色、青色のいずれかの色に発
光する蛍光体粉末を含むペーストからなる。

【０１２４】供給ユニット６７の具体例としては、ピス
トン、ダイヤフラム型等の定容量ポンプや、チュービン
グポンプ、ギアポンプ、モーノポンプ、さらには液体を
気体の圧力で押出す圧送コントローラ等がある。供給装
置コントローラ７１からの制御信号をうけて、供給ユニ
ット６７や、各々の電磁切換え弁の動作を行わせ、蛍光
体ペーストタンク７０から蛍光体ペースト６３を吸引し
て、口金５０に蛍光体ペースト６３を供給することがで
きる。蛍光体ペーストタンク７０から定容量ポンプへの
蛍光体ペースト６３の吸引動作を安定化させるために、
蛍光体ペーストタンク７０を密閉容器にして、空気、不
活性ガスである窒素等の気体で圧力を付加してもよい。
空気、窒素等で常に一定の圧力を付加するには、蛍光体
ペーストタンク７０を空気、窒素等の供給装置に接続し
て圧力制御すればよい。圧力の大きさは、０．０１〜１
ＭＰａ、特に０．０２〜０．５ＭＰａが好ましい。

【０１２５】供給装置コントローラ７１はさらに、全体
コントローラ７２に電気的に接続されている。この全体
コントローラ７２には、モータコントローラ７３、高さ
センサ６１の電気入力等、カメラ７８の画像処理装置７
９からの情報等、すべての制御情報が電気的に接続され
ており、全体のシーケンス制御も司れるようになってい
る。全体コントローラ７２は、コンピュータでも、シー
ケンサでも、制御機能を持つものならばどのようなもの
でもよい。

【０１２６】また、モータコントローラ７３には、テー
ブル４２を駆動するＡＣサーボモータ４９や、昇降機構
５６と幅方向移動機構５９のそれぞれのアクチュエータ
７６、７８（たとえば、ＡＣサーボモータ）、さらには
テーブル４２の移動位置を検出する位置センサ７５から
の信号、口金５０の作動位置を検出するＹ、Ｚ軸の各々
のリニアセンサ（図示しない）からの信号などが入力さ
れる。なお、位置センサ７５を使用する代わりに、ＡＣ
サーボモータ４９にエンコーダを組み込み、エンコーダ
から出力されるパルス信号に基づき、テーブル４２の位
置を検出することも可能である。

【０１２７】次に、このプラズマディスプレイの製造装
置を使った蛍光体ペーストの塗布方法について説明す
る。

【０１２８】まず、各作動部の原点復帰が行われると、
テーブル４２、口金５０は、各々Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の準
備位置に移動する。このとき、蛍光体ペーストタンク７
０〜口金５０まで蛍光体ペーストはすでに充満されてお
り、吐出用電磁切換え弁６６は開、吸引用電磁切換え弁
６９は閉の状態にする。そして、テーブル４２の表面に
は図示しないリフトピンが上昇し、図示しないローダか
ら基板４１がリフトピン上部に載置される。

【０１２９】次に、リフトピンを下降させて基板４１を
テーブル上面に載置し、図示しないアライメント装置に
よってテーブル４２上での位置決めが行われた後に基板
４１を吸着する。

【０１３０】次に、テーブル４２は、カメラ７８と、高
さセンサ６１の真下に基板４１の隔壁がくるまで移動し
て、停止する。カメラ７８は、テーブル４２上に位置決
めされた基板４１上の隔壁端部を写し出すようにあらか
じめ位置調整されており、画像処理によって一番端の隔
壁間の位置を検出し、カメラ基準点からの位置変化量を
求める。一方、カメラ７８の基準点と、所定のＹ軸座標
位置にある口金５０の最端部に位置する吐出孔６４間の
距離は、事前の調整時に測定し、情報として全体コント
ローラ７２に入力しているので、画像処理装置７９から
カメラ基準点からの隔壁間の位置変化量が電送される
と、口金５０の最端部に位置する吐出孔６４が、隔壁端
部の隔壁間の真上となるＹ軸座標値を計算し、口金５０
をその位置に移動させる。なお、カメラ７８は、口金５
０やホルダー５１に取り付けても同じ機能を持たせるこ
とができる。

【０１３１】これにより、口金５０の全ての吐出口の中
心は、蛍光体ペーストを塗布する各々の隔壁間の上に移
動されたことになり、口金５０と基板４１の相対位置決
めが完了する。

【０１３２】高さセンサ６１は、基板４１の隔壁頂上部
の垂直方向の位置を検知し、テーブル４２上面との位置
の差から基板４１の隔壁頂上部の高さを算出する。この
高さに、あらかじめ与えておいた口金５０の最端部〜基
板４１の隔壁頂上部間の間隙値を加算して、口金５０の
Ｚ軸リニアセンサー上での下降すべき値を演算し、その
位置に口金５０を移動する。これによって、テーブル４
２上での隔壁頂上部位置が基板ごとに変化しても、塗布
に重要な口金５０の最端部〜基板４１上の隔壁頂上部間
の間隙を常に一定に保てるようになる。

【０１３３】本発明に適用できる高さセンサ６１として
は、レーザや超音波等を利用した非接触測定形式のも
の、ダイヤルゲージや差動トランス等を利用した接触測
定形式のもの等、測定可能な原理のものならいかなるも
のを用いてもよい。

【０１３４】次に、テーブル４２を口金５０の方へ向け
て動作を開始させ、口金５０の吐出孔の真下に基板４１
の塗布開始位置が到達する前に、所定の塗布速度まで増
速させておく。テーブル４２の動作開始位置と塗布開始
位置までの距離は、テーブル４２が塗布速度まで増速で
きるよう十分確保できていなければならない。

【０１３５】さらに、基板４１の塗布開始位置が口金５
０の吐出孔の真下に至るまでの所に、テーブル４２の位
置を検知する位置センサ６５を配置しておき、テーブル
４２がこの位置に到達したら、供給ユニット６７の動作
を開始して蛍光体ペースト６３の口金５０への供給を開
始する。口金５０の吐出孔より吐出される蛍光体ペース
トが基板４１に達するには、基板〜口金吐出孔間の間隙
だけ時間遅れが生じる。そのため、事前に蛍光体ペース
ト６３を口金５０に供給することによって、基板４１の
塗布開始位置が口金５０吐出孔の丁度真下に来たところ
で口金５０から吐出された所定量の蛍光体ペースト６３
が基板４１に到達するので、ほとんど厚みむらゼロの状
態で塗布を開始することができる。蛍光体ペースト６３
の供給を開始する位置は位置センサ６５の代わりに、モ
ータあるいはフィードスクリューにエンコーダを接続し
たり、テーブルにリニアセンサーをつけたりすると、エ
ンコーダやリニアセンサーの値を検知しても同様なこと
が可能となる。

【０１３６】塗布は、基板４１の塗布終了位置が口金５
０の吐出孔の真下付近に来るまで行われる。すなわち、
基板４１はいつもテーブル４２上の定められた位置に置
かれているから、基板４１の塗布終了位置が口金５０の
吐出孔の（ａ）たとえば真下にくる５ｍｍ前や、（ｂ）
丁度真下になる位置に相当するテーブル４２の位置に、
位置センサやそのエンコーダ値をあらかじめ設定してお
き、テーブル４２が（ａ）に対応する位置にきたら、全
体コントローラ７２から供給装置コントローラ７１に停
止指令を出して蛍光体ペースト６３の口金５０への供給
を停止する。

【０１３７】さて、塗布終了位置を通過しても、テーブ
ル４２は動作をつづけ、終点位置にきたら停止する。こ
のとき塗布すべき部分がまだ残っている場合には、次の
塗布すべき開始位置まで口金５０をＹ軸方向に塗布幅分
（吐出孔ピッチ×孔数）移動して、以下テーブル４２を
反対方向に移動させることを除いては同じ手順で塗布を
行なう。１回目と同一のテーブル４２の移動方向で塗布
を行なうのなら、口金５０は次の塗布すべき開始位置ま
でＹ軸方向に移動、テーブル４２はＸ軸準備位置まで復
帰させる。

【０１３８】そして塗布工程が完了したら、基板４１を
アンローダで移載する場所までテーブル４２を移動して
停止させ、基板４１の吸着を解除するとともに大気開放
をした後に、リフトピンを上昇させて基板４１をテーブ
ル４２の面から引き離し、持ち上げる。

【０１３９】このとき、図示されないアンローダによっ
て基板４１の下面が保持され、次の工程に基板４１を搬
送する。基板４１をアンローダに受け渡したら、テーブ
ル４２はリフトピンを下降させ原点位置に復帰する。

【０１４０】そして、吐出用電磁切換え弁６６を閉、吸
引用電磁切換え弁６９を開状態にして供給ユニット６７
を動作させ、蛍光体ペーストタンク７０から１枚の基板
の塗布に必要な量だけの蛍光体ペースト６３を供給す
る。

【０１４１】以上の塗布工程では、与えられた有効領域
での塗布厚み精度を向上させるために、塗布開始位置に
対する口金５０への蛍光体ペースト供給開始のタイミン
グ、および塗布終了位置に対する口金５０への蛍光体ペ
ースト供給停止のタイミングが重要となるので、それぞ
れの動作を最適なポイントで行わなければならない。ま
た本発明のこの実施態様では、口金５０の吐出口部と基
板４１の隔壁上端部との間隔値を設定してから、蛍光体
ペースト６３の供給開始を行なっている。これは、両者
間の間隔を設定する前の状態で蛍光体ペースト６３の供
給を開始すると、蛍光体ペースト６３が、吐出口から吐
出された時点で吐出口部先端面に広がり、吐出口以外の
部分を汚染し、甚だしい場合には隣同士の吐出口から吐
出される蛍光体ペースト６３が合流するという不都合が
生じ、精度の高い塗布ができなくなるためである。口金
５０の吐出口部先端面を基板４１に近接させてから蛍光
体ペースト６３の供給を開始すると、先端面で蛍光体ペ
ースト６３が広がる前に隔壁間に蛍光体ペースト６３が
案内されることになるので、このような不都合は発生し
ない。

【０１４２】また、この実施態様では、基板４１はＸ軸
方向に移動し、口金５０がＹ軸とＺ軸方向に移動する場
合の適用例について説明したが、口金５０と基板４１が
相対的に３次元的に移動できる構造、形式のものである
のなら、テーブルおよび口金の移動形式はいかなるもの
でもよい。

【０１４３】また、ここでは一種類の蛍光体ペーストを
塗布する場合について詳しく説明したが、本発明は、
赤、青および緑等の３色の蛍光体を同時に塗布する場合
にも適用することができる。

【０１４４】図１４は、本発明で用いられる口金の一例
を示す概略縦断面図であり、図１５はその底面図であ
る。口金９０は、蛍光体ペーストを貯蔵するマニホール
ド部９１と、マニホールド部９１の蛍光体ペーストを供
給する供給口９４と、蛍光体ペーストを吐出する複数の
吐出孔９２を有する。吐出孔９２は、マニホールド部９
１の内側から外側に貫通することにより形成され、所定
ピッチで直線状に配列されている。また、吐出孔９２の
出口部は平面であり、これにより、吐出孔出口部を清掃
しやすい。

【０１４５】また、口金の吐出孔の数は１６ｎ（ただし
ｎは自然数）±５の範囲内にある。これは、ディスプレ
イあたりの表示セル、すなわち画素ラインの数が、ディ
スプレイとして求められる精細度やサイズなどによって
異なるが、一般的に６４０、８００、１０２４、１２８
０、１９２０などであり、その多くが１６の倍数である
からである。

【０１４６】画素ライン数が１６の倍数である場合、吐
出孔の数が上記範囲内にある口金を用いてｍ回（ｍは自
然数）塗布すれば、基板全面を効率良く塗布できること
になる。

【０１４７】また、画素ライン数が１６の倍数でない場
合でも、１基あるいは２基以上の口金を用いることによ
って、基板の画素ライン数に対応することができ、効率
的な塗布が可能となる。

【０１４８】図１６は、本発明で用いられる他の口金の
一例を示す概略縦断面図であり、図１７はその底面図で
ある。この態様のものは、同一形状のニードル９３を配
して構成しており、これにより吐出孔出口部が汚れにく
くなる。

【０１４９】図１８は、本発明で用いられるさらに他の
口金の一例を示す底面図である。複数の吐出孔９２が直
線状に２列配列されている。これにより、１本のストラ
イプ状隔壁間に、２個の吐出孔から蛍光体ペーストを塗
布できるので、ペースト厚み精度が向上し、または、塗
布速度を上げることが可能となる。

【０１５０】図１９は、本発明で用いられる他の口金の
一例を示す概略縦断面図であり、図２０はその底面図で
ある。口金９５は、複数のマニホールド部９６、９７、
９８と、マニホールド部９６、９７、９８に蛍光体ペー
ストを供給する供給口９９、１００、１０１と、蛍光体
ペーストを吐出する複数の吐出孔１０２、１０３、１０
４を有する。さらに、底面図に示されているように、吐
出口１０２、１０３、１０４は、マニホールド部９６、
９７、９８よりも数多くあり、直線上に配列されてい
る。これにより、１基の口金から、異なる種類の蛍光体
ペーストを吐出できる。また、異なる色の蛍光体ペース
トを吐出する吐出孔の最短距離が６００μｍ以上にする
ことによって、他色との混色を防止することができる。

【０１５１】図２１は、本発明の他の実施態様に係るプ
ラズマディスプレイの製造装置の要部を説明するための
概略斜視図である。口金は１基のみでなく、これをＹ方
向に２基以上配置してもよい。口金１１０、１１１は、
Ｘ方向およびＹ方向に共に同期してあるいは非同期で駆
動されるように、図示しない制御装置によって駆動され
るようになっている。このように、２基以上の口金によ
って、テーブル４２上の基板４１への蛍光体ペーストの
塗布が分担されるので、塗布時間を短縮させることがで
きる。

【０１５２】この際、２基以上の口金としては、同じ色
を発光する蛍光体ペーストを吐出する口金、異なる色を
発光する蛍光体ペーストを吐出する口金、あるいは、２
色以上の異なる色に発光する蛍光体ペーストを吐出する
口金のいずれでもよい。

【０１５３】また、これら２基以上の口金を、隔壁方向
に対し垂直方向に隔壁間隔の整数倍にずらして位置さ
せ、隣り合う２基以上の位置が「ずれ」＜「口金本体の
外寸」のときは、隔壁に対し平行方向にずれて位置する
ように配置することが効率的であり好ましい。

【０１５４】

【実施例】以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に
説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。な
お、実施例中の濃度（％）は特に断らない限り重量％で
ある。

【０１５５】［実施例１］蛍光体粉末４７ｇおよびバイ
ンダーポリマー（メチルメタクリレート、メタクリル
酸、スチレン共重合体）２０ｇ、溶媒（γーブチロラク
トン）３３ｇからなる蛍光体ペーストを作製した。蛍光
体粉末は、赤：（Ｙ，Ｇｄ，Ｅｕ）ＢＯ₃（累積平均粒
子径２．７μｍ比表面積３．１ｍ²／ｃｍ³）、緑：（Ｚ
ｎ，Ｍｎ）₂ＳｉＯ₄（累積平均粒子径３．６μｍ比表
面積２．５ｍ²／ｃｍ³）、青：（Ｂａ，Ｅｕ）ＭｇＡｌ
₁₀Ｏ₁₇（累積平均粒子径３．７μｍ比表面積２．３ｍ²
／ｃｍ³）を用いた。まず、有機成分の各成分を６０℃
に加熱しながら溶解し、その後蛍光体粉末を添加し、混
練機で混練することによってペーストを作製した。粘度
は１２Ｐａ・ｓだった。

【０１５６】該ペーストをピッチ２２０μｍ、高さ１５
０μｍ、幅６０μｍの隔壁９６１本が形成されたガラス
基板上に赤、緑、青の各ペーストをストライプ状に塗布
した。

【０１５７】塗布は、孔径１５０μｍの吐出口を１６個
有するノズルにより行った。ノズルは、赤色、青色、緑
色の蛍光体ペーストのそれぞれに１基ずつ使用した。ノ
ズルの先端と隔壁の上端の距離は、５０μｍにセットし
た。そして、ディスペンサーにより吐出圧を３ｋｇ／ｃ
ｍ²に調節し、ノズルを隔壁と平行に一定速度で走行さ
せながら蛍光体ペーストを一定量吐出して隔壁間に塗布
した。まず、赤色蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗布
した。このとき、１回（１６本）塗布が終了した位置に
おいて隔壁方向と垂直方向にノズルを１０，５６０μｍ
移動させ、次は１回目と逆方向にノズルを走行させなが
ら２回目の隔壁間に塗布した。これを２０回繰り返し
て、赤色蛍光体の所定位置の３２０本を塗布した。塗布
終了後、塗布面を上にして８０℃で４０分乾燥した。次
に、赤色蛍光体を塗布した隣の隔壁間に青色蛍光体ペー
ストを同様に３２０本塗布して乾燥した。さらに次に、
青色蛍光体を塗布した隣の隔壁間に緑色蛍光体ペースト
を同様に３２０本塗布して乾燥した。そして、得られた
ガラス基板を５００℃で３０分焼成を行った。

【０１５８】側面厚み、底部厚みを電子顕微鏡により観
察したところ、各色蛍光体が、側面に２０±５μｍ、底
部に２０±５μｍの厚みでストライプ状に形成できた。

【０１５９】［実施例２］蛍光体粉末３９ｇおよびバイ
ンダーポリマー（エチルセルロース）８ｇ、溶媒（テル
ピネオール）５３ｇからなる蛍光体ペーストを作製し
た。蛍光体粉末は実施例１と同じもの（赤：（Ｙ，Ｇ
ｄ，Ｅｕ）ＢＯ₃、緑：（Ｚｎ，Ｍｎ）₂ＳｉＯ₄、青：
（Ｂａ，Ｅｕ）ＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇）を用いた。まず、有機
成分の各成分を水に６０℃で加熱しながら溶解し、その
後蛍光体粉末を添加し、混練機で混練することによって
ペーストを作製した。粘度は３５Ｐａ・ｓだった。

【０１６０】該ペーストをピッチ２２０μｍ、高さ１５
０μｍ、幅６０μｍの隔壁９６１本が形成されたガラス
基板上に赤、緑、青の各ペーストをストライプ状に塗布
した。

【０１６１】塗布は、孔径１００μｍの吐出孔２０個を
ピッチ６６０μｍで１列に形成した口金により行った。
口金は、赤色、青色、緑色の蛍光体ペーストのそれぞれ
に対し２基ずつ使用した。口金の吐出孔部と隔壁の上端
の距離は、８０μｍにセットした。そして、ディスペン
サーにより吐出圧を４ｋｇ／ｃｍ²に調節し、口金を隔
壁と平行に一定速度で走行させながら２０個の吐出孔か
ら蛍光体ペーストを一定量吐出して２０本の隔壁間に同
時に塗布した。まず、赤色蛍光体ペーストを所定の隔壁
間に塗布した。このとき、赤色蛍光体ペーストを吐出す
る２基の口金を、それぞれ隔壁の形成された端に隔壁方
向と垂直方向に２０個の吐出孔が並び、２基の口金の中
心の吐出孔間隔が１０５．６ｍｍとなるようにセットし
た。２基の口金は、同期させ、同時に同速度で同方向に
走行させた。２基の口金についてそれぞれ２０本塗布が
終了した位置において、隔壁方向と垂直方向に２基の口
金を同時に同方向に１３２００μｍ移動させた。次は逆
方向に２基の口金を同様に走行させながらそれぞれ２０
本の隔壁間に塗布した。これを８回繰り返して、赤色蛍
光体の所定位置に１基の口金により１６０本、２基合わ
せて３２０本を塗布した。塗布終了後、塗布面を下にし
て８０℃で４０分乾燥した。次に、赤色蛍光体を塗布し
た隣の隔壁間に青色蛍光体ペーストを同様に２基の口金
により３２０本塗布して乾燥した。さらに次に、青色蛍
光体を塗布した隣の隔壁間に緑色蛍光体ペーストを同様
に２基の口金により３２０本塗布して乾燥した。そし
て、得られたガラス基板を５００℃で３０分焼成を行っ
た。

【０１６２】側面厚み、底部厚みを電子顕微鏡により観
察したところ、各色蛍光体が、側面に２０±５μｍ、底
部に２０±５μｍの厚みでストライプ状に形成できた。

【０１６３】プ状に形成できた。

【０１６４】［実施例３］実施例２と同じ蛍光体ペース
トを用い、実施例２と同様の隔壁に赤、青、緑のストラ
イプ状に塗布した。

【０１６５】塗布は、孔径１５０μｍの吐出孔を有する
ニードルを、ピッチ６６０μｍで１列に８０本、これを
ピッチ６５０μｍで３列として先端に圧入した口金（ニ
ードル数２４０本、長さ６ｍｍ）により行った。口金
は、赤色、青色、緑色の蛍光体ペーストのそれぞれに対
し４基ずつ使用した。口金のニードル部先端と隔壁の上
端の距離は、８０μｍにセットした。そして、ディスペ
ンサーにより吐出圧を４ｋｇ／ｃｍ²に調節し、口金を
隔壁と平行に一定速度で走行させながら２４０個の吐出
孔から蛍光体ペーストを一定量吐出して８０本の隔壁間
に同時に塗布した。まず、赤色蛍光体ペーストを所定の
隔壁間に塗布した。このとき、赤色蛍光体ペーストを吐
出する４基の口金を、それぞれ隔壁方向と垂直方向に３
列８０本のニードルが並び、隣接する口金が接触しない
本体間隔（１ｍｍ）で交互の位置となるようにセットし
た。４基の口金は、同期させ、同時に同速度で同方向に
走行させた。蛍光体ペーストの吐出開始と終了は、ニー
ドル先端が隔壁の上部に位置する時のみ行った。これに
より隔壁間３２０本を１度に塗布した。塗布終了後、塗
布面を下にして８０℃で４０分乾燥した。次に、赤色蛍
光体を塗布した隣の隔壁間に青色蛍光体ペーストを同様
に４基の口金により３２０本塗布して乾燥した。さらに
次に、青色蛍光体を塗布した隣の隔壁間に緑色蛍光体ペ
ーストを同様に４基の口金により３２０本塗布して乾燥
した。そして、得られたガラス基板を５００℃で３０分
焼成を行った。

【０１６６】側面厚み、底部厚みを電子顕微鏡により観
察したところ、各色蛍光体が、側面に２０±５μｍ、底
部に２０±５μｍの厚みでストライプ状に形成できた。

【０１６７】［実施例４］蛍光体粉末４５ｇおよびバイ
ンダーポリマー（メチルメタクリレート、メタクリル
酸、スチレン共重合体）１８ｇ、トリメチロールプロパ
ントリアクリレート１１ｇ、溶媒（γーブチロラクト
ン）２４ｇ、分散剤２ｇ、ベンゾフェノン系染料０．０
５ｇ、光重合開始剤（”イルガキュア”９０７、チバガ
イギー社製）からなる蛍光体ペーストを作製した。蛍光
体粉末は実施例１と同じもの（赤：（Ｙ，Ｇｄ，Ｅｕ）
ＢＯ₃、緑：（Ｚｎ，Ｍｎ）₂ＳｉＯ₄、青：（Ｂａ，Ｅ
ｕ）ＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇）を用いた。まず、有機成分の各成
分を６０℃に加熱しながら溶解し、その後蛍光体粉末を
添加し、混練機で混練することによってペーストを作製
した。粘度は３．５Ｐａ・ｓだった。

【０１６８】該ペーストを実施例１と同様の隔壁に赤、
緑、青のストライプ状に塗布した。塗布は、孔径１５０
μｍの吐出孔を有するニードルを、ピッチ６６０μｍで
１列に８０本、これを２２０μｍピッチずつずらして３
列（列ピッチ１５ｍｍ）として先端に圧入した口金（ニ
ードル数２４０本、長さ３ｍｍ）により行った。口金
は、４基使用した。口金のニードル部先端と隔壁の上端
の距離は、５０μｍにセットした。そして、ディスペン
サーにより吐出圧を３ｋｇ／ｃｍ²に調節し、口金を隔
壁と平行に一定速度で走行させながら２４０個の吐出孔
から蛍光体ペーストを一定量吐出して２４０本の隔壁間
に同時に塗布した。口金の１列目のニードルからは赤色
蛍光体ペーストを、２列目のニードルからは緑色蛍光体
ペーストを、３列目のニードルからは青色蛍光体ペース
トを吐出させ、各色所定の隔壁間に塗布した。このと
き、４基の口金を、それぞれ隔壁方向と垂直方向に３列
８０本のニードルが並び、隣接する口金が接触しない間
隔（１ｍｍ）で交互の位置となるようにセットした。４
基の口金は、同期させ、同時に同速度で同方向に走行さ
せた。蛍光体ペーストの吐出開始と終了は、ニードル先
端が隔壁の上部に位置する時のみ行った。これにより隔
壁間９６０本を１度に塗布した。塗布終了後、塗布面を
下にして８０℃で４０分乾燥した。

【０１６９】次に、ピッチ２２０μｍ、線幅７０μｍの
ネガ型フォトマスクをアライメント露光した後、０．５
％炭酸ナトリウム水溶液で現像した後、５００℃で３０
分焼成を行った。

【０１７０】側面厚み、底部厚みを電子顕微鏡により観
察したところ、各色蛍光体が、側面に２３±２μｍ、底
部に３０±６μｍの厚みでストライプ状に形成できた。

【０１７１】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のプラズマ
ディスプレイパネルの製造方法および製造装置によれ
ば、蛍光体層を基板の隔壁間に高精度、かつ、簡便に形
成することができるので、品質の高いプラズマディスプ
レイパネルを、高い生産性で安価に製造することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施するために用いる隔壁を形成した
ガラス基板の模式図である。

【図２】本発明の方法により蛍光体層を塗布した後のプ
ラズマディスプレイパネルを示す模式図である。

【図３】本発明の焼成後のプラズマディスプレイパネル
を示す模式図である。

【図４】隔壁を形成したガラス基板に対して行う本発明
の実施方法の１例を模式的に示した図である。

【図５】本発明の口金の１例を模式的に示す断面概略図
である。

【図６】本発明のノズル付き口金の１例を模式的に示す
断面概略図である。

【図７】本発明のニードル付き口金の１例を模式的に示
す断面概略図である。

【図８】本発明の口金の吐出孔配置の例を模式的に示す
ものであり、ガラス基板上の隔壁に対する位置関係を示
す平面概略図である。

【図９】本発明の口金の吐出孔配置の例を模式的に示す
ものであり、ガラス基板上の隔壁に対する位置関係を示
す平面概略図である。

【図１０】本発明の実施方法の１例を模式的に示すもの
であり、２基の口金またはノズルまたはニードルが同期
しながら隔壁形成ガラス基板の全面に塗布する動作方向
を示す平面概略図である。

【図１１】本発明の実施方法の１例を模式的に示すもの
であり、４基の口金またはノズルまたはニードルを、隣
接するもの同士が接触しない間隔で交互の位置となるよ
うにセットして、同期させ、同時に同速度で同方向に走
行させて隔壁を形成したガラス基板の全面に塗布する動
作を示す平面概略図である。

【図１２】本発明の一実施態様に係る塗液の塗布装置の
全体斜視図である。

【図１３】図１２の装置の要部を説明するための概略図
である。

【図１４】本発明で用いられる口金の一例を示す概略縦
断面図である。

【図１５】図１４の口金の底面図である。

【図１６】本発明で用いられる他の口金の一例を示す概
略縦断面図である。

【図１７】図１６の口金の底面図である。

【図１８】本発明で用いられるさらに他の口金の一例を
示す底面図である。

【図１９】本発明で用いられる他の口金の一例を示す概
略縦断面図である。

【図２０】図１９の口金の底面図である。

【図２１】本発明の他の実施態様に係る塗液の塗布装置
の要部を説明するための概略斜視図である。

【符号の説明】

１：電極２：ガラス基板３：隔壁４：赤色蛍光体層５：青色蛍光体層６：緑色蛍光体層７：ニードル８：蛍光体ペースト９：吐出孔部先端と隔壁上部の距離１０：多孔口金１１：多孔ノズル１２：多孔ニードル１３：３列配置孔の１色塗布用口金またはノズルまたは
ニードル１４：１列配置孔の３色塗布用口金またはノズルまたは
ニードル１５：ガラス基板上の隔壁１６：口金またはノズルまたはニードルの走行方向１７：隔壁を形成したガラス基板１８：口金またはノズルまたはニードル１９：口金またはノズルまたはニードル同士が同期した
状態の走行動作方向４０：基台４１：基板４２：テーブル４３：吸引孔４４：ガイド溝レール４５：スライド脚４６：フィードスクリュー４７：コネクタ４８：軸受４９：ＡＣサーボモータ５０：口金５１：ホルダー５２：水平バー５３：リニアアクチュエータ５４：昇降ブラケット５５：伸縮ロッド５６：昇降機構５７：Ｙ軸移動ブラケット５８：支柱５９：軸方向移動機構６０：センサ支柱６１：高さセンサ６２：マニホールド６３：蛍光体ペースト６４：吐出孔６５：供給ホース６６：吐出用電磁切換え弁６７：供給ユニット６８：吸引ホース６９：吸引用電磁切換え弁７０：蛍光体ペーストタンク７１：供給装置コントローラ７２：全体コントローラ７３：モータコントローラ７４：センサーブラケット７５：位置センサ７６：位置センサ７７：カメラ支柱７８：カメラ７９：画像処理装置８０：昇降機構用アクチュエータ８１：幅方向移動機構用アクチュエータ９０：口金９１：マニホールド部９２：吐出孔９３：ニードル９４：供給口９５：口金９６：マニホールド部９７：マニホールド部９８：マニホールド部９９：供給口１００：供給口１０１：供給口１０２：吐出孔１０３：吐出孔１０４：吐出孔１１０：ノズル１１１：ノズル

フロントページの続き (72)発明者池内秀樹滋賀県大津市園山１丁目１番１号東レ株式会社滋賀事業場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】赤色、緑色、青色に発光する蛍光体粉末を
それぞれ含む３種類の蛍光体ペーストを、吐出孔を有す
る口金からガラス基板上の隔壁間にストライプ状にそれ
ぞれ塗布した後、焼成することにより蛍光面を形成する
プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、口金
単位あたりの吐出孔の数が１６ｎ（ただしｎは自然数）
±５の範囲であることを特徴とするプラズマディスプレ
イパネルの製造方法。
【請求項２】口金単位あたりの吐出孔の数が３０〜２５
００であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ
ディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】自然数ｎが２〜１５０であることを特徴と
する請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製
造方法。
【請求項４】吐出孔がノズルまたはニードルであること
を特徴とする請求項１〜３いずれかに記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】吐出孔および／またはガラス基板をガラス
基板上の隔壁に対して平行に走行させることを特徴とす
る請求項１〜４いずれかに記載のプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。
【請求項６】塗布中の吐出孔先端部と隔壁の上端部との
間隔が０．０１〜２ｍｍであることを特徴とする請求項
１〜５いずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの
製造方法。
【請求項７】１本のストライプあたり２個以上の吐出孔
から塗布することを特徴とする請求項１〜６いずれかに
記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】一基の口金に２色以上の異なる色に発光す
る蛍光体ペーストを吐出する吐出孔を有し、かつ、異な
る色の蛍光体ペーストを吐出する吐出孔の最短間隔が６
００μｍ以上であることを特徴とする請求項１〜７いず
れかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】独立に位置制御できる２基以上の口金から
同時に蛍光体ペーストを吐出させ、同一基板内の別々の
場所を同時に塗布することを特徴とする請求項１〜８い
ずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方
法。
【請求項１０】２基以上の口金を同じ速度で走行させて
塗布することを特徴とする請求項９記載のプラズマディ
スプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】２基以上の口金を同じ方向に、同じ速度
で走行させて塗布することを特徴とする請求項１０に記
載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】１つの口金からは、１色だけを塗布する
ことを特徴とする請求項９〜１１いずれかに記載のプラ
ズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１３】１色について２基以上の独立に位置制御
できる口金から同時に塗布することを特徴とする請求項
９〜１２いずれかに記載のプラズマディスプレイパネル
の製造方法。
【請求項１４】２基以上の口金の吐出孔の位置が、隔壁
方向に対し垂直方向に隔壁間隔の整数倍ずれていること
を特徴とする請求項９〜１３いずれかに記載のプラズマ
ディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１５】隣り合う２基の口金が、隔壁と平行方向
にずれて位置することを特徴とする請求項９〜１４いず
れかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】１色ごとに塗布し、１色塗布するごと
に、乾燥工程を経ることを特徴とする請求項１〜１５い
ずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方
法。
【請求項１７】蛍光体ペーストとして、粘度が０．１〜
５０Ｐａ・ｓのペーストを用いる請求項１〜１６いずれ
かに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１８】蛍光体粉末として、累積平均粒子径が
０．５〜１５μｍ、比表面積０．１〜５ｍ²／ｃｍ³で
ある蛍光体粉末を用いることを特徴とする請求項１〜１
７いずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造
方法。
【請求項１９】蛍光体ペーストを塗布した後、蛍光体塗
布面を下向きにして乾燥する工程を経ることを特徴とす
る請求項１〜１８いずれかに記載のプラズマディスプレ
イパネルの製造方法。
【請求項２０】蛍光体ペーストが、感光性蛍光体ペース
トであることを特徴とする請求項１〜１９いずれかに記
載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２１】表面に一方向にストライプ状に凹凸部が
形成されている凹凸基板を固定するテーブルと、前記凹
凸基板の凹凸部と対面する複数の吐出孔を有する口金
と、前記口金に塗液を供給する供給手段と、前記テーブ
ルと前記口金を３次元的に相対移動させる移動手段とを
備えた凹凸基板への塗液の塗布装置において、前記口金
の吐出孔の数が１６ｎ（ただしｎは自然数）±５の範囲
であることを特徴とする凹凸基板への塗液の塗布装置。
【請求項２２】前記口金は塗液を貯蔵するマニホールド
部を有し、かつ、吐出孔の出口部は平面である請求項２
１に記載の凹凸基板への塗液の塗布装置。
【請求項２３】前記口金は塗液を貯蔵するマニホールド
部を有し、かつ、吐出孔は同一形状のニードルを配して
構成されている請求項２１に記載の凹凸基板への塗液の
塗布装置。
【請求項２４】前記凹凸基板の凸部の上端部と前記口金
の吐出孔出口部の間隔を制御する制御手段とを備えたこ
とを特徴とする請求項２１ないし２３のいずれかに記載
の凹凸基板への塗液の塗布装置。
【請求項２５】前記口金は複数の吐出孔が直線状に、か
つ、前記凹凸基板の凹凸部のストライプ方向に複数列配
列されている請求項２１ないし２４のいずれかに記載の
凹凸基板への塗液の塗布装置。
【請求項２６】前記口金は、互いに独立した複数のマニ
ホールド部と、各マニホールド部から各塗液を吐出する
吐出孔を有し、かつ、異なるマニホールド部に連なる前
記吐出孔の最短間隔は６００μｍである請求項２１ない
し２５のいずれかに記載の凹凸基板への塗液の塗布装
置。
【請求項２７】２基以上の口金を配した請求項２１ない
し２６のいずれかに記載の凹凸基板への塗液の塗布装
置。
【請求項２８】２基以上の口金を、前記凹凸基板の凹凸
部のストライプ方向に対して垂直方向に、凸部間隔の整
数倍ずらして配した請求項２１ないし２７のいずれかに
記載の凹凸基板への塗液の塗布装置。
【請求項２９】隣り合う２基以上の口金を、前記凹凸基
板の凹凸部のストライプ方向にずらして配した請求項２
１ないし２７のいずれかに記載の凹凸基板への塗液の塗
布装置。
【請求項３０】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色
に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求項
２１ないし２９のいずれかに記載の凹凸基板への塗液の
塗布装置を用いるプラズマディスプレイパネルの製造装
置。