JPH1164755A - レーザー光源及び該光源のピント調整装置及び走査光学系 - Google Patents
レーザー光源及び該光源のピント調整装置及び走査光学系Info
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- JPH1164755A JPH1164755A JP9241761A JP24176197A JPH1164755A JP H1164755 A JPH1164755 A JP H1164755A JP 9241761 A JP9241761 A JP 9241761A JP 24176197 A JP24176197 A JP 24176197A JP H1164755 A JPH1164755 A JP H1164755A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数のレーザー光束を発するレーザー光源を
高精度にピント調整する。 【解決手段】 第１のレーザー光をメリディオナル断面
内の被照射面１５上でベストピントになるように、コリ
メータレンズ１１を光軸方向に微調整し、更にベストピ
ントになるようにレーザー発光素子１０を回転調整す
る。このコリメータレンズ１１の微調整とレーザー発光
素子１０の回転微調整を何回か繰り返すことによって、
第１のレーザー光及び第２のレーザー光共にメリディオ
ナル断面内でベストピントの状態となる。このとき、サ
ジタル断面内ではレーザー光はコリメータレンズ１１に
より稍々広がりぎみの光束となるが、シリンドリカルレ
ンズ１２を光軸方向に微調整して収束光に変換し、被照
射面１５上でのピントを調整する。
高精度にピント調整する。 【解決手段】 第１のレーザー光をメリディオナル断面
内の被照射面１５上でベストピントになるように、コリ
メータレンズ１１を光軸方向に微調整し、更にベストピ
ントになるようにレーザー発光素子１０を回転調整す
る。このコリメータレンズ１１の微調整とレーザー発光
素子１０の回転微調整を何回か繰り返すことによって、
第１のレーザー光及び第２のレーザー光共にメリディオ
ナル断面内でベストピントの状態となる。このとき、サ
ジタル断面内ではレーザー光はコリメータレンズ１１に
より稍々広がりぎみの光束となるが、シリンドリカルレ
ンズ１２を光軸方向に微調整して収束光に変換し、被照
射面１５上でのピントを調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のレーザー光
束を発するレーザー光源及び該光源のピント調整装置及
び走査光学系に関するものである。
束を発するレーザー光源及び該光源のピント調整装置及
び走査光学系に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は従来のレーザー走査光学系の主走
査方向のメリディオナル断面での構成図、図９は副走査
方向のサジタル断面での構成図を示している。レーザー
走査光学系は、半導体レーザー発光素子１、コリメータ
レンズ２、シリンダレンズ３、ポリゴンミラー４、ｆθ
レンズ５、レーザー光が結像する被照射面６が順次に配
列されて、倒れ補正光学系が構成されており、レーザー
発光素子１はパッケージ７内でレーザーチップ８が保持
された構造となっている。
査方向のメリディオナル断面での構成図、図９は副走査
方向のサジタル断面での構成図を示している。レーザー
走査光学系は、半導体レーザー発光素子１、コリメータ
レンズ２、シリンダレンズ３、ポリゴンミラー４、ｆθ
レンズ５、レーザー光が結像する被照射面６が順次に配
列されて、倒れ補正光学系が構成されており、レーザー
発光素子１はパッケージ７内でレーザーチップ８が保持
された構造となっている。
【０００３】レーザーチップ８から出射したレーザー光
は、コリメータレンズ２で略平行光に変換された後に、
メリディオナル断面においては偏向器４で偏向されてｆ
θレンズ５により被照射面６上に結像する。一方、サジ
タル断面においては略平行光はシリンダレンズ３により
ポリゴンミラー４の反射面に一旦集光した後に、ｆθレ
ンズ５により被照射面６上に結像する。
は、コリメータレンズ２で略平行光に変換された後に、
メリディオナル断面においては偏向器４で偏向されてｆ
θレンズ５により被照射面６上に結像する。一方、サジ
タル断面においては略平行光はシリンダレンズ３により
ポリゴンミラー４の反射面に一旦集光した後に、ｆθレ
ンズ５により被照射面６上に結像する。
【０００４】図１０はレーザーチップの斜視図を示し、
レーザー発光素子１では一般的に活性層である接合面１
ａから出射したレーザー光は広がり特性を有するため
に、接合面１ａに対する垂直方向と水平方向では見掛け
上の焦点位置が異なっている。即ち、接合面１ａに対し
て垂直方向の焦点位置はＸ、水平方向の焦点位置はＹと
なり、この焦点位置ＸとＹの距離を非点隔差と呼ぶ。
レーザー発光素子１では一般的に活性層である接合面１
ａから出射したレーザー光は広がり特性を有するため
に、接合面１ａに対する垂直方向と水平方向では見掛け
上の焦点位置が異なっている。即ち、接合面１ａに対し
て垂直方向の焦点位置はＸ、水平方向の焦点位置はＹと
なり、この焦点位置ＸとＹの距離を非点隔差と呼ぶ。
【０００５】また、この非点隔差はレーザー発光素子１
の固体差によりばらつきがあるので、先ず図８のメリデ
ィオナル断面内で被照射面６上でベストピントとなるよ
うに、コリメータレンズ２を光軸方向に微調整する。こ
のとき、コリメータレンズ２の焦点はレーザー発光素子
１の接合面１ａに対して水平方向の焦点位置Ｙと一致し
ており、コリメータレンズ２を通過後のレーザー光は平
行光となる。
の固体差によりばらつきがあるので、先ず図８のメリデ
ィオナル断面内で被照射面６上でベストピントとなるよ
うに、コリメータレンズ２を光軸方向に微調整する。こ
のとき、コリメータレンズ２の焦点はレーザー発光素子
１の接合面１ａに対して水平方向の焦点位置Ｙと一致し
ており、コリメータレンズ２を通過後のレーザー光は平
行光となる。
【０００６】一方、図９のサジタル断面内においては、
接合面１ａに対して垂直方向の焦点位置Ｘから出射した
レーザー光は、コリメータレンズ２により稍々広がりぎ
みの光束となり、シリンダレンズ３により収束光に変換
される。このとき、シリンダレンズ３を光軸方向に微調
整することにより、被照射面６上のピントを調整する。
接合面１ａに対して垂直方向の焦点位置Ｘから出射した
レーザー光は、コリメータレンズ２により稍々広がりぎ
みの光束となり、シリンダレンズ３により収束光に変換
される。このとき、シリンダレンズ３を光軸方向に微調
整することにより、被照射面６上のピントを調整する。
【０００７】このようにして、レーザー発光素子１の非
点隔差の他に、コリメータレンズ２、シリンダレンズ
３、ｆθレンズ５の製造上の焦点距離のばらつきを吸収
して、全体のピント調整が可能となる。
点隔差の他に、コリメータレンズ２、シリンダレンズ
３、ｆθレンズ５の製造上の焦点距離のばらつきを吸収
して、全体のピント調整が可能となる。
【０００８】図１１は他の従来例の構成図を示し、パッ
ケージ７は省略してある。レーザー発光素子１内のレー
ザーチップ８は、接合面１ａに対して垂直方向の焦点位
置Ｘと、水平方向の焦点位置Ｙを有し、その光路上にコ
リメータレンズ２が配置されている。
ケージ７は省略してある。レーザー発光素子１内のレー
ザーチップ８は、接合面１ａに対して垂直方向の焦点位
置Ｘと、水平方向の焦点位置Ｙを有し、その光路上にコ
リメータレンズ２が配置されている。
【０００９】レーザーチップ８から出射したレーザー光
はコリメータレンズ２により平行光に変換される。この
とき、レーザー発光素子１の非点隔差のために、コリメ
ータレンズ２の焦点面Ｆは、レーザー発光素子１の焦点
位置ＸとＹの中間になるように、コリメータレンズ２を
光軸方向に調整する。
はコリメータレンズ２により平行光に変換される。この
とき、レーザー発光素子１の非点隔差のために、コリメ
ータレンズ２の焦点面Ｆは、レーザー発光素子１の焦点
位置ＸとＹの中間になるように、コリメータレンズ２を
光軸方向に調整する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例においては、半導体レーザー発光素子１がマルチビ
ームレーザー発光素子の場合には、十分なピント調整が
できないという問題がある。
来例においては、半導体レーザー発光素子１がマルチビ
ームレーザー発光素子の場合には、十分なピント調整が
できないという問題がある。
【００１１】図１２はマルチビームレーザー発光素子
１’の構成図を示し、マルチビームレーザー発光素子
１’はパッケージ７’内でレーザーチップ８’が傾いて
保持されており、第１のレーザー光の焦点位置は接合面
１ａ’に対して垂直方向の広がりでは点X1、水平方向の
広がりでは点Y1、第２のレーザー光の焦点位置は、接合
面１ａ’に対して垂直方向の広がりでは点X2、水平方向
の広がりでは点Y2となる。
１’の構成図を示し、マルチビームレーザー発光素子
１’はパッケージ７’内でレーザーチップ８’が傾いて
保持されており、第１のレーザー光の焦点位置は接合面
１ａ’に対して垂直方向の広がりでは点X1、水平方向の
広がりでは点Y1、第２のレーザー光の焦点位置は、接合
面１ａ’に対して垂直方向の広がりでは点X2、水平方向
の広がりでは点Y2となる。
【００１２】このように、マルチビームレーザー発光素
子１’では、非点隔差が第１のレーザー光の焦点位置
（X1、Y1）と第２のレーザー光の焦点位置（X2、Y2）と
で異なることがあり、レーザーチップ８’がパッケージ
７’に対して製造誤差の範囲でのばらつきが避けられな
いために、各発光点は光軸方向に対してずれが生じて十
分なピント調整が困難となる。
子１’では、非点隔差が第１のレーザー光の焦点位置
（X1、Y1）と第２のレーザー光の焦点位置（X2、Y2）と
で異なることがあり、レーザーチップ８’がパッケージ
７’に対して製造誤差の範囲でのばらつきが避けられな
いために、各発光点は光軸方向に対してずれが生じて十
分なピント調整が困難となる。
【００１３】本発明の目的は、上述の問題点を解消し、
高精度にピント調整したレーザー光源を提供することに
ある。
高精度にピント調整したレーザー光源を提供することに
ある。
【００１４】本発明の他の目的は、ピントを高精度に調
整可能なレーザー光源のピント調整装置を提供すること
にある。
整可能なレーザー光源のピント調整装置を提供すること
にある。
【００１５】本発明の更に他の目的は、高精度にピント
調整したレーザー光源を用いて優れた光学特能を有する
レーザー光源を搭載した走査光学系を提供することにあ
る。
調整したレーザー光源を用いて優れた光学特能を有する
レーザー光源を搭載した走査光学系を提供することにあ
る。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係るレーザー光源は、複数のレーザー光束を
発するレーザー発光素子と、前記レーザー光束を集光す
る集光レンズと、前記レーザー発光素子及び前記集光レ
ンズの間隔を調整する間隔調整手段と、前記レーザー発
光素子を前記集光レンズの光軸に垂直な軸回りに回転調
整する回転調整手段とを有し、該回転調整手段の回転軸
は前記レーザー発光素子の発光点付近に位置することを
特徴とする。
の本発明に係るレーザー光源は、複数のレーザー光束を
発するレーザー発光素子と、前記レーザー光束を集光す
る集光レンズと、前記レーザー発光素子及び前記集光レ
ンズの間隔を調整する間隔調整手段と、前記レーザー発
光素子を前記集光レンズの光軸に垂直な軸回りに回転調
整する回転調整手段とを有し、該回転調整手段の回転軸
は前記レーザー発光素子の発光点付近に位置することを
特徴とする。
【００１７】また、本発明に係るレーザー光源のピント
調整装置は、複数のレーザー光束を発するレーザー発光
素子と、前記レーザー光束を集光する集光レンズと、前
記レーザー発光素子及び該レーザー発光素子の支持部材
との間に設けた空間部と、前記レーザー発光素子と前記
集光レンズとの間隔を調整する間隔調整手段と、前記レ
ーザー発光素子を前記集光レンズの光軸に垂直な軸回り
に回転調整する回転調整手段とを有し、前記間隔調整手
段及び前記回転調整手段による調整後に前記空間部に硬
化剤を充填して前記支持部材に前記レーザー発光素子を
固定することを特徴とする。
調整装置は、複数のレーザー光束を発するレーザー発光
素子と、前記レーザー光束を集光する集光レンズと、前
記レーザー発光素子及び該レーザー発光素子の支持部材
との間に設けた空間部と、前記レーザー発光素子と前記
集光レンズとの間隔を調整する間隔調整手段と、前記レ
ーザー発光素子を前記集光レンズの光軸に垂直な軸回り
に回転調整する回転調整手段とを有し、前記間隔調整手
段及び前記回転調整手段による調整後に前記空間部に硬
化剤を充填して前記支持部材に前記レーザー発光素子を
固定することを特徴とする。
【００１８】本発明に係るレーザー光源を搭載した走査
光学系は、複数のレーザー光束を発するレーザー発光素
子と、前記レーザー光束を偏向する偏向器と、前記レー
ザー光束を前記偏向器に集光する集光手段と、前記偏向
器により偏向したレーザー光束を結像する結像手段と、
前記集光手段により主走査断面及び副走査断面において
独立にピントを調整するピント調整手段と、前記レーザ
ー発光素子を前記集光手段の光軸に垂直な軸回りに回転
調整する回転調整手段とを有し、該回転調整手段の回転
軸は前記レーザー発光素子の発光点付近に位置すること
を特徴とする。
光学系は、複数のレーザー光束を発するレーザー発光素
子と、前記レーザー光束を偏向する偏向器と、前記レー
ザー光束を前記偏向器に集光する集光手段と、前記偏向
器により偏向したレーザー光束を結像する結像手段と、
前記集光手段により主走査断面及び副走査断面において
独立にピントを調整するピント調整手段と、前記レーザ
ー発光素子を前記集光手段の光軸に垂直な軸回りに回転
調整する回転調整手段とを有し、該回転調整手段の回転
軸は前記レーザー発光素子の発光点付近に位置すること
を特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明を図１〜図７に図示の実施
例に基づいて詳細に説明する。図１は第１の実施例の走
査光学系のメリディオナル断面の構成図、図２はサジタ
ル断面の構成図を示している。走査光学系は、マルチビ
ームを出射する半導体レーザー発光素子１０、コリメー
タレンズ１１、シリンドリカルレンズ１２、ポリゴンミ
ラー１３、ｆθレンズ１４、被照射面１５が順次に配列
されて、倒れ補正光学系が構成されている。レーザー発
光素子１０にはパッケージ１６内でレーザーチップ１７
が矢印方向に回転調整できるように保持されている。レ
ーザーチップ１７とパッケージ１６は製造誤差により、
図１のように微小角度だけ傾いて製造されることがあ
る。
例に基づいて詳細に説明する。図１は第１の実施例の走
査光学系のメリディオナル断面の構成図、図２はサジタ
ル断面の構成図を示している。走査光学系は、マルチビ
ームを出射する半導体レーザー発光素子１０、コリメー
タレンズ１１、シリンドリカルレンズ１２、ポリゴンミ
ラー１３、ｆθレンズ１４、被照射面１５が順次に配列
されて、倒れ補正光学系が構成されている。レーザー発
光素子１０にはパッケージ１６内でレーザーチップ１７
が矢印方向に回転調整できるように保持されている。レ
ーザーチップ１７とパッケージ１６は製造誤差により、
図１のように微小角度だけ傾いて製造されることがあ
る。
【００２０】レーザーチップ１７から出射したレーザー
光は、コリメータレンズ１１で略平行光に変換され、図
１のメリディオナル断面においては、ポリゴンミラー１
３で偏向されてｆθレンズ１４により被照射面１５上に
結像する。一方、図２のサジタル断面においては、略平
行光はシリンドリカルレンズ１２によりポリゴンミラー
１３付近に一旦集光した後に、ｆθレンズ１４により被
照射面１５上に結像する。
光は、コリメータレンズ１１で略平行光に変換され、図
１のメリディオナル断面においては、ポリゴンミラー１
３で偏向されてｆθレンズ１４により被照射面１５上に
結像する。一方、図２のサジタル断面においては、略平
行光はシリンドリカルレンズ１２によりポリゴンミラー
１３付近に一旦集光した後に、ｆθレンズ１４により被
照射面１５上に結像する。
【００２１】図３はレーザーチップの斜視図を示し、マ
ルチビーム半導体レーザー光源の場合は、一般的にレー
ザーチップ１７の接合面１０ａから、図３に示すような
広がり特性を有する第１、第２のレーザー光が出射す
る。
ルチビーム半導体レーザー光源の場合は、一般的にレー
ザーチップ１７の接合面１０ａから、図３に示すような
広がり特性を有する第１、第２のレーザー光が出射す
る。
【００２２】従って、これらのレーザー光は接合面１０
ａに対して垂直方向と水平方向では見掛け上の焦点位置
が異なる。即ち、接合面１０ａに対して垂直方向の焦点
位置がそれぞれ点X1とX2で、水平方向の焦点位置がそれ
ぞれ点Y1とY2である。これらの点X1と点Y1の距離及び点
X2と点Y2の距離を共に非点隔差であり、この非点隔差は
一般的に数〜十数μｍ程度で、第１のレーザー光と第２
のレーザー光の非点隔差が異なる場合もある。
ａに対して垂直方向と水平方向では見掛け上の焦点位置
が異なる。即ち、接合面１０ａに対して垂直方向の焦点
位置がそれぞれ点X1とX2で、水平方向の焦点位置がそれ
ぞれ点Y1とY2である。これらの点X1と点Y1の距離及び点
X2と点Y2の距離を共に非点隔差であり、この非点隔差は
一般的に数〜十数μｍ程度で、第１のレーザー光と第２
のレーザー光の非点隔差が異なる場合もある。
【００２３】この非点隔差はレーザー発光素子１０の個
体差によりばらつきがあるので、次のようにしてベスト
ピント調整を行う。先ず、第１のレーザー光に着目し、
図１のメリディオナル断面内の被照射面１５上でベスト
ピントになるように、コリメータレンズ１１を光軸方向
に微調整する。このとき、コリメータレンズ１１の焦点
は、レーザー発光素子１０の接合面１０ａに対して水平
方向の焦点位置Y1と一致しており、コリメータレンズ１
１を通過後のレーザー光は平行光となる。
体差によりばらつきがあるので、次のようにしてベスト
ピント調整を行う。先ず、第１のレーザー光に着目し、
図１のメリディオナル断面内の被照射面１５上でベスト
ピントになるように、コリメータレンズ１１を光軸方向
に微調整する。このとき、コリメータレンズ１１の焦点
は、レーザー発光素子１０の接合面１０ａに対して水平
方向の焦点位置Y1と一致しており、コリメータレンズ１
１を通過後のレーザー光は平行光となる。
【００２４】次に、第２のレーザー光に着目し、メリデ
ィオナル断面内の被照射面１５上でベストピントになる
ように、レーザー発光素子１０を回転調整する。先のコ
リメータレンズ１１の微調整と、レーザー発光素子１０
の回転微調整を何回か繰り返すことによって、第１のレ
ーザー光及び第２のレーザー光は共にメリディオナル断
面内でベストピントの状態となる。
ィオナル断面内の被照射面１５上でベストピントになる
ように、レーザー発光素子１０を回転調整する。先のコ
リメータレンズ１１の微調整と、レーザー発光素子１０
の回転微調整を何回か繰り返すことによって、第１のレ
ーザー光及び第２のレーザー光は共にメリディオナル断
面内でベストピントの状態となる。
【００２５】このとき、サジタル断面内では図３に示す
ように、接合面１０ａに対して垂直方向の焦点位置X1、
X2から出射したレーザー光は、コリメータレンズ１１に
より稍々広がりぎみの光束となり、シリンドリカルレン
ズ１２によって収束光に変換される。従って、シリンド
リカルレンズ１２を光軸方向に微調整することにより、
被照射面１５上のピントを調整する。
ように、接合面１０ａに対して垂直方向の焦点位置X1、
X2から出射したレーザー光は、コリメータレンズ１１に
より稍々広がりぎみの光束となり、シリンドリカルレン
ズ１２によって収束光に変換される。従って、シリンド
リカルレンズ１２を光軸方向に微調整することにより、
被照射面１５上のピントを調整する。
【００２６】このようにして、レーザー発光素子１０の
非点隔差やレーザーチップ１７とパッケージ１６の取付
誤差の他に、コリメータレンズ１１、シリンドリカルレ
ンズ１２、ｆθレンズ１４等の製造上の焦点距離のばら
つきを吸収して、全体のピント調整が可能となる。ま
た、第１、第２のレーザー光の非点隔差が異なる場合に
は、更にレーザー発光素子１０の回転微調整を行うこと
により、第１のレーザー光及び第２のレーザー光のそれ
ぞれ主走査断面及び副走査断面のピントのバランスを取
ることができる。
非点隔差やレーザーチップ１７とパッケージ１６の取付
誤差の他に、コリメータレンズ１１、シリンドリカルレ
ンズ１２、ｆθレンズ１４等の製造上の焦点距離のばら
つきを吸収して、全体のピント調整が可能となる。ま
た、第１、第２のレーザー光の非点隔差が異なる場合に
は、更にレーザー発光素子１０の回転微調整を行うこと
により、第１のレーザー光及び第２のレーザー光のそれ
ぞれ主走査断面及び副走査断面のピントのバランスを取
ることができる。
【００２７】なお、回転調整の回転軸を発光点付近とす
れば、回転調整時に発光点が光軸から大きくずれること
がなく、被照射面１５上のレーザー光の結像点が大きく
ずれないので観測し易い。
れば、回転調整時に発光点が光軸から大きくずれること
がなく、被照射面１５上のレーザー光の結像点が大きく
ずれないので観測し易い。
【００２８】図４は第２の実施例の平面図を示し、レー
ザーチップ１７からの第１のレーザー光の焦点位置は、
接合面１０ａに対して垂直方向の広がりでは点X1、水平
方向の広がりでは点Y1であり、第２のレーザー光の焦点
位置は、接合面１０ａに対して垂直方向の広がりでは点
X2、水平方向の広がりでは点Y2にある。また、コリメー
タレンズ１１の焦点面はＦにある。
ザーチップ１７からの第１のレーザー光の焦点位置は、
接合面１０ａに対して垂直方向の広がりでは点X1、水平
方向の広がりでは点Y1であり、第２のレーザー光の焦点
位置は、接合面１０ａに対して垂直方向の広がりでは点
X2、水平方向の広がりでは点Y2にある。また、コリメー
タレンズ１１の焦点面はＦにある。
【００２９】図示しない調整手段によってレーザーチッ
プ１７を回転調整し、コリメータレンズ１１を光軸方向
に微調整する。点X1と点Y1の中点及び点X2と点Y2の中点
が焦点面Ｆに一致するように、調整を追い込んでゆく。
なお、回転調整時に光軸と各発光点の距離が大幅に変化
しないように、回転調整の回転軸は各レーザー光の発光
点近くに設けられている。
プ１７を回転調整し、コリメータレンズ１１を光軸方向
に微調整する。点X1と点Y1の中点及び点X2と点Y2の中点
が焦点面Ｆに一致するように、調整を追い込んでゆく。
なお、回転調整時に光軸と各発光点の距離が大幅に変化
しないように、回転調整の回転軸は各レーザー光の発光
点近くに設けられている。
【００３０】図５は第３の実施例の斜視図を示し、レー
ザー発光素子１０は第１のホルダ２１の孔２１ａに圧入
されて取り付けられており、第１のホルダ２１は第２の
ホルダ２２にビス２３により固定されている。第２のホ
ルダ２２には鏡筒部２４が取り付けられており、鏡筒部
２４の内側には図示しないコリメータレンズが配置され
て、光軸方向に微調整可能とされている。
ザー発光素子１０は第１のホルダ２１の孔２１ａに圧入
されて取り付けられており、第１のホルダ２１は第２の
ホルダ２２にビス２３により固定されている。第２のホ
ルダ２２には鏡筒部２４が取り付けられており、鏡筒部
２４の内側には図示しないコリメータレンズが配置され
て、光軸方向に微調整可能とされている。
【００３１】第１のホルダ２１のレーザー発光素子１０
の圧入側の裏側の面２１ｂは、約半分が傾斜部とされて
おり、この傾斜部の境界線２１ｃは上下方向に形成さ
れ、その略中心を光軸が通っている。そして、圧入した
レーザー発光素子１０のチップ上の発光点が面２１ｂ付
近にくるように、第１のホルダ２１の厚みが設定されて
おり、第１のホルダ２１の面２１ｂと第２のホルダ２２
の面２２ａが対向して２本のビス２３により連結されて
いる。
の圧入側の裏側の面２１ｂは、約半分が傾斜部とされて
おり、この傾斜部の境界線２１ｃは上下方向に形成さ
れ、その略中心を光軸が通っている。そして、圧入した
レーザー発光素子１０のチップ上の発光点が面２１ｂ付
近にくるように、第１のホルダ２１の厚みが設定されて
おり、第１のホルダ２１の面２１ｂと第２のホルダ２２
の面２２ａが対向して２本のビス２３により連結されて
いる。
【００３２】上述の構成により、第１のホルダ２１は境
界線２１ｃを支点として、ビス２３を出し入れすること
により、第２のホルダ２２に対して回動し、レーザー発
光素子１０は光軸に垂直な軸回りに回転調整されると共
に、回転軸をレーザー光の発光点近くとすることができ
る。
界線２１ｃを支点として、ビス２３を出し入れすること
により、第２のホルダ２２に対して回動し、レーザー発
光素子１０は光軸に垂直な軸回りに回転調整されると共
に、回転軸をレーザー光の発光点近くとすることができ
る。
【００３３】図６は第４の実施例の斜視図を示し、レー
ザー発光素子１０はビス２３によって左右方向で肉厚が
異なるホルダ２５に固定されている。ホルダ２５はレー
ザー発光素子１０を圧入する孔２５ａと孔２５ａに対し
垂直に切込された切込部２５ｂを有し、レーザー発光素
子１０の圧入面２５ｃの裏側に鏡筒部２４が取り付けら
れている。そして、鏡筒部２４の内側には図示しないコ
リメータレンズが配置され、光軸方向に微調整可能とさ
れている。
ザー発光素子１０はビス２３によって左右方向で肉厚が
異なるホルダ２５に固定されている。ホルダ２５はレー
ザー発光素子１０を圧入する孔２５ａと孔２５ａに対し
垂直に切込された切込部２５ｂを有し、レーザー発光素
子１０の圧入面２５ｃの裏側に鏡筒部２４が取り付けら
れている。そして、鏡筒部２４の内側には図示しないコ
リメータレンズが配置され、光軸方向に微調整可能とさ
れている。
【００３４】切込部２５ｂはホルダ２５の左右両側から
形成されており、中央部には連結部２５ｄを有してい
る。また、ホルダ２５の圧入面２５ｃが光軸に対して傾
いているために、孔２５ａ及び圧入されるレーザー発光
素子１０も光軸に対して傾斜している。
形成されており、中央部には連結部２５ｄを有してい
る。また、ホルダ２５の圧入面２５ｃが光軸に対して傾
いているために、孔２５ａ及び圧入されるレーザー発光
素子１０も光軸に対して傾斜している。
【００３５】上述の構成により、ビス２３をねじ込んで
ゆくと、レーザー発光素子１０は光軸に正対した後に逆
方向へ傾くことになる。このようにして、レーザー発光
素子１０は光軸に垂直な軸回りに回転調整される。
ゆくと、レーザー発光素子１０は光軸に正対した後に逆
方向へ傾くことになる。このようにして、レーザー発光
素子１０は光軸に垂直な軸回りに回転調整される。
【００３６】図７は第５の実施例の斜視図を示し、レー
ザー発光素子１０はホルダ２６に挿入されている。ホル
ダ２６はレーザー発光素子１０より１回り大きい径の孔
２６ａと鏡筒部２４を有し、鏡筒部２４の内側には図示
しないコリメータレンズが配置されている。
ザー発光素子１０はホルダ２６に挿入されている。ホル
ダ２６はレーザー発光素子１０より１回り大きい径の孔
２６ａと鏡筒部２４を有し、鏡筒部２４の内側には図示
しないコリメータレンズが配置されている。
【００３７】レーザー発光素子１０を専用治具により保
持して、ホルダ２６の孔２６ａに挿入する。この専用治
具を使って、レーザー発光素子１０を光軸方向に微調し
かつ光軸に垂直な軸回りに回軸微調することによって、
所望のピント調整を行った後に、レーザー発光素子１０
と孔２６ａの間の空間に、例えば紫外線硬化樹脂を充填
してレーザー発光素子１０を固着した後に、専用治具を
取り外すことによりレーザー発光素子１０の調整が完了
する。
持して、ホルダ２６の孔２６ａに挿入する。この専用治
具を使って、レーザー発光素子１０を光軸方向に微調し
かつ光軸に垂直な軸回りに回軸微調することによって、
所望のピント調整を行った後に、レーザー発光素子１０
と孔２６ａの間の空間に、例えば紫外線硬化樹脂を充填
してレーザー発光素子１０を固着した後に、専用治具を
取り外すことによりレーザー発光素子１０の調整が完了
する。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るレーザ
ー光源は、複数のレーザー光束を発するレーザー発光素
子の発光点付近に回転軸を有する回転調整手段を用い
て、集光レンズの光軸に垂直な軸回りにレーザー発光素
子を回転調整することにより、レーザー発光素子とパッ
ケージ間の位置ずれや各ビーム間の非点隔差の差に起因
するピントずれを低減することができる。
ー光源は、複数のレーザー光束を発するレーザー発光素
子の発光点付近に回転軸を有する回転調整手段を用い
て、集光レンズの光軸に垂直な軸回りにレーザー発光素
子を回転調整することにより、レーザー発光素子とパッ
ケージ間の位置ずれや各ビーム間の非点隔差の差に起因
するピントずれを低減することができる。
【００３９】また、本発明に係るレーザー光源のピント
調整装置は、複数のレーザー光束を発するレーザー発光
素子と集光レンズの間隔調整を行い、集光レンズの光軸
に垂直な軸回りにレーザー発光素子を回転調整すること
により、複数のレーザー光束を発するレーザー光源を高
精度にピント調整することができる。
調整装置は、複数のレーザー光束を発するレーザー発光
素子と集光レンズの間隔調整を行い、集光レンズの光軸
に垂直な軸回りにレーザー発光素子を回転調整すること
により、複数のレーザー光束を発するレーザー光源を高
精度にピント調整することができる。
【００４０】本発明に係るレーザー光源を搭載した走査
光学系は、高精度にピント調整した複数のレーザー光束
を発するレーザー光源を搭載することにより、レーザー
光のスポット径を小さくできる等の高性能化が図れ、か
つ部品点数の増加を防止することができる。
光学系は、高精度にピント調整した複数のレーザー光束
を発するレーザー光源を搭載することにより、レーザー
光のスポット径を小さくできる等の高性能化が図れ、か
つ部品点数の増加を防止することができる。
【図１】第１の実施例の平面図である。
【図２】側面図である。
【図３】複数のレーザー光束を発するレーザーチップの
斜視図である。
斜視図である。
【図４】第２の実施例の平面図である。
【図５】第３の実施例の斜視図である。
【図６】第４の実施例の斜視図である。
【図７】第５の実施例の斜視図である。
【図８】従来例の平面図である。
【図９】側面図である。
【図１０】レーザーチップの斜視図である。
【図１１】他の従来例の平面図である。
【図１２】従来例のマルチビームレーザー光源の平面図
である。
である。
１０ レーザー発光素子 １１ コリメータレンズ １２ シリンドリカルレンズ １３ ポリゴンミラー １４ ｆθレンズ １７ レーザーチップ ２１、２２、２５、２６ ホルダ ２４ 鏡筒部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年１０月１５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図９】
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のレーザー光束を発するレーザー発
光素子と、前記レーザー光束を集光する集光レンズと、
前記レーザー発光素子及び前記集光レンズの間隔を調整
する間隔調整手段と、前記レーザー発光素子を前記集光
レンズの光軸に垂直な軸回りに回転調整する回転調整手
段とを有し、該回転調整手段の回転軸は前記レーザー発
光素子の発光点付近に位置することを特徴とするレーザ
ー光源。 - 【請求項２】 複数のレーザー光束を発するレーザー発
光素子と、前記レーザー光束を集光する集光レンズと、
前記レーザー発光素子及び該レーザー発光素子の支持部
材との間に設けた空間部と、前記レーザー発光素子と前
記集光レンズとの間隔を調整する間隔調整手段と、前記
レーザー発光素子を前記集光レンズの光軸に垂直な軸回
りに回転調整する回転調整手段とを有し、前記間隔調整
手段及び前記回転調整手段による調整後に前記空間部に
硬化剤を充填して前記支持部材に前記レーザー発光素子
を固定することを特徴とするレーザー光源のピント調整
装置。 - 【請求項３】 複数のレーザー光束を発するレーザー発
光素子と、前記レーザー光束を偏向する偏向器と、前記
レーザー光束を前記偏向器に集光する集光手段と、前記
偏向器により偏向したレーザー光束を結像する結像手段
と、前記集光手段により主走査断面及び副走査断面にお
いて独立にピントを調整するピント調整手段と、前記レ
ーザー発光素子を前記集光手段の光軸に垂直な軸回りに
回転調整する回転調整手段とを有し、該回転調整手段の
回転軸は前記レーザー発光素子の発光点付近に位置する
ことを特徴とするレーザー光源を搭載した走査光学系。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24176197A JP3679560B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 走査光学系の調整方法 |
| US09/135,647 US6081364A (en) | 1997-08-22 | 1998-08-18 | Laser light source for emitting a plurality of laser beams, method adjusting focusing of the laser light source, and scanning optical system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24176197A JP3679560B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 走査光学系の調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1164755A true JPH1164755A (ja) | 1999-03-05 |
| JP3679560B2 JP3679560B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=17079144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24176197A Expired - Fee Related JP3679560B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 走査光学系の調整方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6081364A (ja) |
| JP (1) | JP3679560B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333588A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP2009283709A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Ricoh Co Ltd | 発光装置、マルチビーム光源装置、マルチビーム走査装置及び画像形成装置 |
| US8559088B2 (en) | 2010-10-19 | 2013-10-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Adjustment apparatus for light source unit and adjustment method therefor |
| JP2013228543A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-11-07 | Sharp Corp | 非接触加熱装置およびそれを用いた画像形成装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000105347A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-04-11 | Ricoh Co Ltd | マルチビ―ム光源装置、マルチビ―ム走査装置および画像形成装置 |
| JP4229637B2 (ja) * | 2002-06-06 | 2009-02-25 | フジノン株式会社 | 光源装置および光走査装置 |
| JP2005018040A (ja) * | 2003-06-02 | 2005-01-20 | Seiko Epson Corp | 走査装置、レーザプロジェクタ、及び光学装置 |
| JP4474143B2 (ja) * | 2003-11-04 | 2010-06-02 | キヤノン株式会社 | 光走査装置の被走査面における像面位置の調整方法 |
| US7193760B2 (en) * | 2004-09-07 | 2007-03-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical scanning device and image forming apparatus |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3034637B2 (ja) * | 1990-08-28 | 2000-04-17 | 株式会社リコー | 光偏向素子および光走査装置 |
| JPH0727988A (ja) * | 1993-07-08 | 1995-01-31 | Canon Inc | 光走査装置 |
| JP3545115B2 (ja) * | 1995-09-22 | 2004-07-21 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 像面湾曲の補正方法および該方法に使用する光ビーム走査装置 |
-
1997
- 1997-08-22 JP JP24176197A patent/JP3679560B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-08-18 US US09/135,647 patent/US6081364A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333588A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP2009283709A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Ricoh Co Ltd | 発光装置、マルチビーム光源装置、マルチビーム走査装置及び画像形成装置 |
| US8559088B2 (en) | 2010-10-19 | 2013-10-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Adjustment apparatus for light source unit and adjustment method therefor |
| JP2013228543A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-11-07 | Sharp Corp | 非接触加熱装置およびそれを用いた画像形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3679560B2 (ja) | 2005-08-03 |
| US6081364A (en) | 2000-06-27 |
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