JP2002244738A - 物流自動化工場でのキャリア搬送制御方法 - Google Patents
物流自動化工場でのキャリア搬送制御方法Info
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の装置と格納倉庫とで構成された工場に
おいて、キャリアの各層置換のワーク搬送とからキャリ
アの供給及び回収のための搬送の搬送時間を短くできる
搬送制御方法を提供する。 【解決手段】 各装置からのキャリアの搬送要求が発生
した時点で、搬送元および搬送先の搬出入ポートの状態
に基づき搬送先への搬送、搬送元での待機、格納倉庫へ
の搬送を搬送時間が最も短くなるように選択して搬送車
による搬送を制御する。
おいて、キャリアの各層置換のワーク搬送とからキャリ
アの供給及び回収のための搬送の搬送時間を短くできる
搬送制御方法を提供する。 【解決手段】 各装置からのキャリアの搬送要求が発生
した時点で、搬送元および搬送先の搬出入ポートの状態
に基づき搬送先への搬送、搬送元での待機、格納倉庫へ
の搬送を搬送時間が最も短くなるように選択して搬送車
による搬送を制御する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、加工ワークをカセット
などのキャリアに格納し、天井、地上または床下溝を走
行する無人搬送車を用いて、そのキャリアを加工装置、
検査装置、格納倉庫の間で搬送し、前記加工ワークの物
流を自動化している工場における搬送時間を短縮するキ
ャリア搬送制御方法に関する。
などのキャリアに格納し、天井、地上または床下溝を走
行する無人搬送車を用いて、そのキャリアを加工装置、
検査装置、格納倉庫の間で搬送し、前記加工ワークの物
流を自動化している工場における搬送時間を短縮するキ
ャリア搬送制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体やフラットディスプレイパネルの
デバイス製造工場では、空気中の微細な粉塵等が製品の
品質性能に大きな悪影響を与える。そこで、作業者に付
着した粉塵の影響を排除するために、加工ワークをカセ
ットなどのキャリアに格納し、そのキャリアを天井、地
上または床下溝を走行する無人自動搬送車で各装置間を
自動搬送するシステムが用いられている。
デバイス製造工場では、空気中の微細な粉塵等が製品の
品質性能に大きな悪影響を与える。そこで、作業者に付
着した粉塵の影響を排除するために、加工ワークをカセ
ットなどのキャリアに格納し、そのキャリアを天井、地
上または床下溝を走行する無人自動搬送車で各装置間を
自動搬送するシステムが用いられている。
【0003】この自動搬送システムにおける従来のキャ
リア搬送制御方法について、図5を参照して説明する。
図5に示すように、半導体やフラットディスプレイパネ
ルのデバイス製造工場は、同種類の装置を集めたベイ方
式と呼ばれる、例えば8つの装置群ベイA〜ベイHで構
成されている。その各ベイA〜ベイHは、それぞれ加工
ワークを一次待機させる格納倉庫1A〜1Hを有し、ベ
イ間搬送ルート23とベイ内搬送ルート22に分けて搬
送管理を行っている。各ベイA〜Hあるいはそれぞれの
ベイ内の各装置間の搬送要求を受け取った搬送指示装置
は、直ちに、最小の搬送単位に搬送指示を分解し、複数
の搬送ユニットを生成する。そして搬送制御装置は、個
々の搬送ユニットの搬送を無人搬送車24に順次送信
し、搬送制御を行っている。
リア搬送制御方法について、図5を参照して説明する。
図5に示すように、半導体やフラットディスプレイパネ
ルのデバイス製造工場は、同種類の装置を集めたベイ方
式と呼ばれる、例えば8つの装置群ベイA〜ベイHで構
成されている。その各ベイA〜ベイHは、それぞれ加工
ワークを一次待機させる格納倉庫1A〜1Hを有し、ベ
イ間搬送ルート23とベイ内搬送ルート22に分けて搬
送管理を行っている。各ベイA〜Hあるいはそれぞれの
ベイ内の各装置間の搬送要求を受け取った搬送指示装置
は、直ちに、最小の搬送単位に搬送指示を分解し、複数
の搬送ユニットを生成する。そして搬送制御装置は、個
々の搬送ユニットの搬送を無人搬送車24に順次送信
し、搬送制御を行っている。
【0004】また、各装置での処理後の搬出時に、加工
ワークが装置への搬入時に格納されていたキャリアと異
なるキャリアに格納される形態の複数装置で構成される
製造システムの場合には、空キャリアの供給または回収
の搬送制御が必要となる。この場合、各装置から空キャ
リアの供給要求を受け取った場合は、搬送指示装置は、
要求した装置が属しているベイの格納倉庫から要求した
装置への空キャリアの搬送指示を行う。また、各装置か
ら空キャリアの回収要求を受け取った場合は、要求した
装置から要求した装置が属する格納倉庫への空キャリア
の搬送指示を行う。
ワークが装置への搬入時に格納されていたキャリアと異
なるキャリアに格納される形態の複数装置で構成される
製造システムの場合には、空キャリアの供給または回収
の搬送制御が必要となる。この場合、各装置から空キャ
リアの供給要求を受け取った場合は、搬送指示装置は、
要求した装置が属しているベイの格納倉庫から要求した
装置への空キャリアの搬送指示を行う。また、各装置か
ら空キャリアの回収要求を受け取った場合は、要求した
装置から要求した装置が属する格納倉庫への空キャリア
の搬送指示を行う。
【0005】通常、格納倉庫1A〜1Hは、空気中の粉
塵による影響をうけないような構造を持つクリーンスト
ッカとなっており、工場内の工程内仕掛りとなる加工ワ
ークおよびそれを格納するキャリアは、この格納倉庫1
A〜1H内で待機するように制御されている。
塵による影響をうけないような構造を持つクリーンスト
ッカとなっており、工場内の工程内仕掛りとなる加工ワ
ークおよびそれを格納するキャリアは、この格納倉庫1
A〜1H内で待機するように制御されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】近年の半導体やフラッ
トディスプレイパネルなどのデバイス工場では、複数の
加工装置を連結し、生産ラインとして構成するケースが
増えてきている。このようにライン構成となる装置が増
加してくると、搬送元または搬送先となる装置群の数は
減少し、従来のようなベイ方式で構成される工場から、
図6に示すような、全プロセス装置21と格納倉庫25
をひとつの搬送経路26で繋げるような形態の大部屋方
式と呼ばれる形態の工場が主流となってきた。(例え
ば、2000年10月27日開催のLCD/PDP Int
ernational 2000のショウで行われたセミナー「P
DPセミナー2000」において配布された基調講演/
市場展望テキストにおける三宅厚夫氏の稿に記された方
式) このような大部屋方式の形態では、格納倉庫25の数が
少なくなり、格納倉庫25で待機できるキャリアの量も
少なくなるという問題があった
トディスプレイパネルなどのデバイス工場では、複数の
加工装置を連結し、生産ラインとして構成するケースが
増えてきている。このようにライン構成となる装置が増
加してくると、搬送元または搬送先となる装置群の数は
減少し、従来のようなベイ方式で構成される工場から、
図6に示すような、全プロセス装置21と格納倉庫25
をひとつの搬送経路26で繋げるような形態の大部屋方
式と呼ばれる形態の工場が主流となってきた。(例え
ば、2000年10月27日開催のLCD/PDP Int
ernational 2000のショウで行われたセミナー「P
DPセミナー2000」において配布された基調講演/
市場展望テキストにおける三宅厚夫氏の稿に記された方
式) このような大部屋方式の形態では、格納倉庫25の数が
少なくなり、格納倉庫25で待機できるキャリアの量も
少なくなるという問題があった
【0007】一方、クリーンルームの運用コストを低減
するために、FOUP(Front OpenUnified Pod)やSM
IF(Standard Mechanical Interface)と呼ばれる、キ
ャリア内を密封してキャリアそのものでクリーン環境を
保持するミニエンバイロメントの開発も進んでいる。こ
のミニエンバイロメントでは、工場内の工程内仕掛りと
なる加工ワーク及びそれを格納するキャリアを、クリー
ン環境である格納倉庫内で待機させる必要がなく、むし
ろ格納倉庫で待機するように制御した場合、装置間の搬
送時間にロスが発生してしまうという問題もあった。
するために、FOUP(Front OpenUnified Pod)やSM
IF(Standard Mechanical Interface)と呼ばれる、キ
ャリア内を密封してキャリアそのものでクリーン環境を
保持するミニエンバイロメントの開発も進んでいる。こ
のミニエンバイロメントでは、工場内の工程内仕掛りと
なる加工ワーク及びそれを格納するキャリアを、クリー
ン環境である格納倉庫内で待機させる必要がなく、むし
ろ格納倉庫で待機するように制御した場合、装置間の搬
送時間にロスが発生してしまうという問題もあった。
【0008】本発明の目的は、ミニエンバイロメントを
用いた大部屋方式の工場で、装置間の加工ワーク搬送と
空キャリアの供給及び回収の搬送について、搬送時間を
最小とする搬送制御方法を提供することにある。
用いた大部屋方式の工場で、装置間の加工ワーク搬送と
空キャリアの供給及び回収の搬送について、搬送時間を
最小とする搬送制御方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のキャリア搬送制
御方法は、加工ワークをキャリアに格納し、天井、地上
または床下溝を走行する無人搬送車を用いて、そのキャ
リアを加工装置、検査装置、格納倉庫のそれぞれの間で
搬送し、前記加工ワークの物流を自動化している工場に
おいて、前記各装置における搬入ポート及び搬出ポート
の前記キャリアの搬入と搬出の要求状態と在荷状態のデ
ータをコンピュータに与え、無人搬送車の搬送距離が最
小になるように搬送先の装置への搬送、搬送元の装置で
の待機、格納倉庫への搬送をコンピュータにより選択し
て制御することを特徴とする。
御方法は、加工ワークをキャリアに格納し、天井、地上
または床下溝を走行する無人搬送車を用いて、そのキャ
リアを加工装置、検査装置、格納倉庫のそれぞれの間で
搬送し、前記加工ワークの物流を自動化している工場に
おいて、前記各装置における搬入ポート及び搬出ポート
の前記キャリアの搬入と搬出の要求状態と在荷状態のデ
ータをコンピュータに与え、無人搬送車の搬送距離が最
小になるように搬送先の装置への搬送、搬送元の装置で
の待機、格納倉庫への搬送をコンピュータにより選択し
て制御することを特徴とする。
【0010】この構成の搬送制御方法によれば、加工処
理を終了したワークを格納した次工程への搬出キャリア
が発生した装置は、このキャリアの搬出要求を出力す
る。搬送制御装置が、この搬出要求に基づいて次工程の
装置の全ポートに対して、このキャリアの搬入可否状態
を確認する。搬入可能状態であれば、直に次工程となる
搬送先へキャリアの搬送指示を行う。搬送先が搬入不可
能な状態の場合、搬送元の装置での待機を指示する。そ
の結果、搬出キャリアを次工程に搬出する搬送車の移動
距離を最小にすることができる。ただし、搬送元の装置
の全ポートが搬出可能なキャリアで占有されて、搬送元
の装置へのワークの加工処理が停止することのないよう
に、予め定義した占有率とこの時点でのポート占有率と
を比較する。ポート占有率が、定義した値以上の場合
は、搬送元の装置から搬送先の装置ではない格納倉庫な
どの別のストックポイントへ搬送を指示する。
理を終了したワークを格納した次工程への搬出キャリア
が発生した装置は、このキャリアの搬出要求を出力す
る。搬送制御装置が、この搬出要求に基づいて次工程の
装置の全ポートに対して、このキャリアの搬入可否状態
を確認する。搬入可能状態であれば、直に次工程となる
搬送先へキャリアの搬送指示を行う。搬送先が搬入不可
能な状態の場合、搬送元の装置での待機を指示する。そ
の結果、搬出キャリアを次工程に搬出する搬送車の移動
距離を最小にすることができる。ただし、搬送元の装置
の全ポートが搬出可能なキャリアで占有されて、搬送元
の装置へのワークの加工処理が停止することのないよう
に、予め定義した占有率とこの時点でのポート占有率と
を比較する。ポート占有率が、定義した値以上の場合
は、搬送元の装置から搬送先の装置ではない格納倉庫な
どの別のストックポイントへ搬送を指示する。
【0011】本発明の他の観点によるキャリア搬送制御
方法は、加工装置または検査装置での処理後の加工ワー
クの搬出に当たって、前記加工装置及び検査装置への搬
入時に格納されていたキャリアとは異なるキャリアに前
記加工ワークを格納して搬出する形態の複数の装置を有
する工場において、前記各装置の搬入ポートで生じた空
キャリアを、前記搬入ポートの在荷状態と空キャリアを
要求している他装置の状態のデータをコンピュータに与
え、他装置への搬送、搬送元の装置での保持、格納倉庫
にての待機をコンピュータにより選択して搬送を制御す
ることを特徴とする。
方法は、加工装置または検査装置での処理後の加工ワー
クの搬出に当たって、前記加工装置及び検査装置への搬
入時に格納されていたキャリアとは異なるキャリアに前
記加工ワークを格納して搬出する形態の複数の装置を有
する工場において、前記各装置の搬入ポートで生じた空
キャリアを、前記搬入ポートの在荷状態と空キャリアを
要求している他装置の状態のデータをコンピュータに与
え、他装置への搬送、搬送元の装置での保持、格納倉庫
にての待機をコンピュータにより選択して搬送を制御す
ることを特徴とする。
【0012】この構成の搬送制御方法によれば、空キャ
リアの回収を要求する装置が発生した装置は、空キャリ
アの搬出要求を出力する。搬送制御装置は、この搬出要
求に基づいて、その装置のキャリアの搬入可否状態を確
認する。確認した結果、その装置が搬入可能状態であれ
ば、直に、空キャリアを要求する搬送先へのキャリアの
搬送指示を行う。空キャリアの搬送を要求する装置が存
在しないか、搬送先が搬入不可能な状態の場合、搬送元
の装置での待機を指示する。ただし、搬送元の装置の全
ポートが搬出の必要な空キャリアで占有されて、搬送元
の装置へのワークの加工処理が停止することのないよう
に、予め定義した占有率とこの時点でのポート占有率と
を比較する。ポート占有率が、定義した値以上の場合
は、搬送元の装置から搬送先の装置ではない格納倉庫な
どの別のストックポイントへ搬送を指示する。その結
果、空キャリアを搬送する搬送車の移動距離を最小にす
ることができる。
リアの回収を要求する装置が発生した装置は、空キャリ
アの搬出要求を出力する。搬送制御装置は、この搬出要
求に基づいて、その装置のキャリアの搬入可否状態を確
認する。確認した結果、その装置が搬入可能状態であれ
ば、直に、空キャリアを要求する搬送先へのキャリアの
搬送指示を行う。空キャリアの搬送を要求する装置が存
在しないか、搬送先が搬入不可能な状態の場合、搬送元
の装置での待機を指示する。ただし、搬送元の装置の全
ポートが搬出の必要な空キャリアで占有されて、搬送元
の装置へのワークの加工処理が停止することのないよう
に、予め定義した占有率とこの時点でのポート占有率と
を比較する。ポート占有率が、定義した値以上の場合
は、搬送元の装置から搬送先の装置ではない格納倉庫な
どの別のストックポイントへ搬送を指示する。その結
果、空キャリアを搬送する搬送車の移動距離を最小にす
ることができる。
【0013】本発明のさらに他の観点によるキャリア搬
送制御方法は、加工装置または検査装置での処理後の加
工ワークの搬出に当たって、前記加工装置及び検査装置
への搬入時に格納されていたキャリアとは異なるキャリ
アに前記加工ワークを格納して搬出する形態の複数の装
置を有する工場において、処理後の加工ワークを格納す
るために、搬出ポートにて必要になる空キャリアを、前
記搬出ポートの在荷状態と空キャリアを保持している他
装置の状態のデータをコンピュータに与え、他装置から
の供給、格納倉庫からの供給、供給を行わず待機をコン
ピュータにより選択して搬送を制御することを特徴とす
る。
送制御方法は、加工装置または検査装置での処理後の加
工ワークの搬出に当たって、前記加工装置及び検査装置
への搬入時に格納されていたキャリアとは異なるキャリ
アに前記加工ワークを格納して搬出する形態の複数の装
置を有する工場において、処理後の加工ワークを格納す
るために、搬出ポートにて必要になる空キャリアを、前
記搬出ポートの在荷状態と空キャリアを保持している他
装置の状態のデータをコンピュータに与え、他装置から
の供給、格納倉庫からの供給、供給を行わず待機をコン
ピュータにより選択して搬送を制御することを特徴とす
る。
【0014】この構成のキャリア搬送制御方法によれ
ば、空キャリアの供給を要求する装置が発生した時点
で、空キャリアの回収の要求を行う装置の有無を確認
し、回収を要求する装置が存在すれば、直に、その装置
からキャリアの搬送指示を行う。回収を要求する装置が
存在しない場合、回収を要求する装置が発生するまで待
機するか、格納倉庫などの他のストックポイントから供
給するかを決定する。ただし、搬送元の装置の全ポート
が搬入の必要があるような場合、搬送元の装置へのワー
クの加工処理が停止することのないように、予め定義し
た占有率とこの時点でのポート占有率とを比較する。ポ
ート占有率が、定義した値以上の場合は、格納倉庫など
の別のストックポイントからの搬送を指示する。その結
果、空キャリアを搬送する搬送車の移動距離を最小にす
ることができる。
ば、空キャリアの供給を要求する装置が発生した時点
で、空キャリアの回収の要求を行う装置の有無を確認
し、回収を要求する装置が存在すれば、直に、その装置
からキャリアの搬送指示を行う。回収を要求する装置が
存在しない場合、回収を要求する装置が発生するまで待
機するか、格納倉庫などの他のストックポイントから供
給するかを決定する。ただし、搬送元の装置の全ポート
が搬入の必要があるような場合、搬送元の装置へのワー
クの加工処理が停止することのないように、予め定義し
た占有率とこの時点でのポート占有率とを比較する。ポ
ート占有率が、定義した値以上の場合は、格納倉庫など
の別のストックポイントからの搬送を指示する。その結
果、空キャリアを搬送する搬送車の移動距離を最小にす
ることができる。
【0015】本発明のさらに他の観点によるキャリア搬
送制御方法は、上記2つの構成の空キャリアの搬出もし
くは供給のためのキャリア搬送制御方法において、無人
搬送車の搬送時間を短縮するために、空キャリアの搬送
先および搬送元について、予め定義した優先順位と搬送
可否に基づき、複数の空キャリアの回収を要求する装置
と複数の空キャリアの供給を要求する装置の中から搬送
元および搬送先の装置を選択することを特徴とする。
送制御方法は、上記2つの構成の空キャリアの搬出もし
くは供給のためのキャリア搬送制御方法において、無人
搬送車の搬送時間を短縮するために、空キャリアの搬送
先および搬送元について、予め定義した優先順位と搬送
可否に基づき、複数の空キャリアの回収を要求する装置
と複数の空キャリアの供給を要求する装置の中から搬送
元および搬送先の装置を選択することを特徴とする。
【0016】この構成のキャリア搬送制御方法によれ
ば、予め装置ごとに空キャリアの搬送先、搬送元として
の優先順位と搬送可否の内容を定義してある。したがっ
て、空キャリアの供給を要求する装置が発生した場合
に、複数存在する空キャリアの回収を要求する装置の中
から定義された優先順位に基づいて搬送元装置を選択す
る。回収を要求する装置との間の搬送距離が一定以上の
場合には、優先順位を搬送不可として定義することによ
り、搬送不可の装置は搬送元として選択することがな
い。その結果、空キャリアを搬送する搬送車の移動距離
を最小にすることができる。
ば、予め装置ごとに空キャリアの搬送先、搬送元として
の優先順位と搬送可否の内容を定義してある。したがっ
て、空キャリアの供給を要求する装置が発生した場合
に、複数存在する空キャリアの回収を要求する装置の中
から定義された優先順位に基づいて搬送元装置を選択す
る。回収を要求する装置との間の搬送距離が一定以上の
場合には、優先順位を搬送不可として定義することによ
り、搬送不可の装置は搬送元として選択することがな
い。その結果、空キャリアを搬送する搬送車の移動距離
を最小にすることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の搬送制御方法の好
適な実施例について、添付の図面を参照しつつ説明す
る。
適な実施例について、添付の図面を参照しつつ説明す
る。
【0018】《実施例》図1は、本発明の実施例1の搬
送制御方法による搬送指示装置と搬送制御システムの構
成を示すブロック図である。図1において、搬送指示装
置1はコンピュータにより構成され、プロセス装置2や
検査装置3から装置コントローラ4を介して、搬送要求
データを受け取るイベント受信部11、搬送する装置や
格納倉庫等の搬送対象を決定する決定部12〜14、及
び搬送機器コントローラ17を介して収納倉庫18や無
人搬送車19に対して搬送指示16を行う搬送指示部1
5を有している。
送制御方法による搬送指示装置と搬送制御システムの構
成を示すブロック図である。図1において、搬送指示装
置1はコンピュータにより構成され、プロセス装置2や
検査装置3から装置コントローラ4を介して、搬送要求
データを受け取るイベント受信部11、搬送する装置や
格納倉庫等の搬送対象を決定する決定部12〜14、及
び搬送機器コントローラ17を介して収納倉庫18や無
人搬送車19に対して搬送指示16を行う搬送指示部1
5を有している。
【0019】搬送要求データとしては、処理を完了した
ワークを次工程へ搬出を要求するワーク搬出要求5、前
工程からのワークの搬入を許可する搬入許可6、ワーク
の投入を完了し空になったキャリアの回収を要求する空
キャリア回収要求7、及び加工処理が終了したワークを
収納するための空カセットの供給を要求する空キャリア
供給要求8がある。イベント受信部11は、前記各要求
5〜8を受信した場合、各装置の状態を管理する装置状
態管理D/B9を更新する。搬送対象を決定する各決定
部12〜14は、装置状態管理D/B9及び工程フロー
管理D/B10から取り出したデータに基づき搬送対象
を決定する。
ワークを次工程へ搬出を要求するワーク搬出要求5、前
工程からのワークの搬入を許可する搬入許可6、ワーク
の投入を完了し空になったキャリアの回収を要求する空
キャリア回収要求7、及び加工処理が終了したワークを
収納するための空カセットの供給を要求する空キャリア
供給要求8がある。イベント受信部11は、前記各要求
5〜8を受信した場合、各装置の状態を管理する装置状
態管理D/B9を更新する。搬送対象を決定する各決定
部12〜14は、装置状態管理D/B9及び工程フロー
管理D/B10から取り出したデータに基づき搬送対象
を決定する。
【0020】すなわち、ワーク搬出要求5を受信した場
合には、ストックポイント決定部12により、次装置へ
搬送するべきか、自装置で待機するべきか、他の収納倉
庫などのストックポイントに搬送するべきかを決定す
る。空キャリア回収要求7を受信した場合は、回収先装
置決定部13により、空キャリアを他の装置へ搬送する
べきか、自装置で待機するべきか、他の収納倉庫などの
ストックポイントへ搬送するべきかを決定する。空キャ
リア供給要求8を受信した場合は、供給元装置決定部1
4により、空キャリアを他の装置へから搬送するべき
か、他の収納倉庫などのストックポイントから搬送する
べきか、空キャリアを回収要求する装置が現れるまで待
機するかを決定する。
合には、ストックポイント決定部12により、次装置へ
搬送するべきか、自装置で待機するべきか、他の収納倉
庫などのストックポイントに搬送するべきかを決定す
る。空キャリア回収要求7を受信した場合は、回収先装
置決定部13により、空キャリアを他の装置へ搬送する
べきか、自装置で待機するべきか、他の収納倉庫などの
ストックポイントへ搬送するべきかを決定する。空キャ
リア供給要求8を受信した場合は、供給元装置決定部1
4により、空キャリアを他の装置へから搬送するべき
か、他の収納倉庫などのストックポイントから搬送する
べきか、空キャリアを回収要求する装置が現れるまで待
機するかを決定する。
【0021】以下、各決定部12〜14における搬送対
象決定プロセスについて図2〜図3を参照しつつ詳細に
説明する。図2は、ストックポイント決定部12の搬送
対象決定プロセスを示すフロー図である。
象決定プロセスについて図2〜図3を参照しつつ詳細に
説明する。図2は、ストックポイント決定部12の搬送
対象決定プロセスを示すフロー図である。
【0022】ストックポイント決定部12は、加工ワー
クの搬送要求を受け付けると(ステップ2−1)、装置
状態管理D/B9のデータを参照して次工程装置の搬入
許可状態を確認する(ステップ2−2)。この時、次工
程装置が搬入許可状態であれば、次工程装置へワークを
搬送する搬送指示を発行する(ステップ2−3)。次工
程装置が搬入許可状態でない場合、自装置のポート上に
在荷するキャリア数からポート占有率を算出する(ステ
ップ2−4)。ポート占有率が予め定義してある占有率
Nより小さい場合は、自装置で待機し、次工程装置が搬
入可能になった時点で直ちに搬送できるようにしておく
待機指示を発行する(ステップ2−5)。 ポート占有
率がNより大きい場合は、やむなく他のストックポイン
トに搬送を指示して待機させ、自装置のポートを空け
て、次ワークの搬入を受け入れる(ステップ2−6)。
このようにして搬送車の移動距離を最小にする適確な判
断が可能となる。
クの搬送要求を受け付けると(ステップ2−1)、装置
状態管理D/B9のデータを参照して次工程装置の搬入
許可状態を確認する(ステップ2−2)。この時、次工
程装置が搬入許可状態であれば、次工程装置へワークを
搬送する搬送指示を発行する(ステップ2−3)。次工
程装置が搬入許可状態でない場合、自装置のポート上に
在荷するキャリア数からポート占有率を算出する(ステ
ップ2−4)。ポート占有率が予め定義してある占有率
Nより小さい場合は、自装置で待機し、次工程装置が搬
入可能になった時点で直ちに搬送できるようにしておく
待機指示を発行する(ステップ2−5)。 ポート占有
率がNより大きい場合は、やむなく他のストックポイン
トに搬送を指示して待機させ、自装置のポートを空け
て、次ワークの搬入を受け入れる(ステップ2−6)。
このようにして搬送車の移動距離を最小にする適確な判
断が可能となる。
【0023】図3は、空キャリア回収先決定部13の搬
送対象決定プロセスを示すフロー図である。空キャリア
回収先決定部13は、空キャリアの回収要求を受け付け
ると(ステップ3−1)、装置状態管理D/B9を参照
して空キャリアの供給を要求している装置を検索する
(ステップ3−2)。供給を要求する装置が存在する場
合には、あらかじめ工程フロー管理D/B10に定義さ
れた優先装置データにより、優先装置の判定を行う(ス
テップ3−3)。優先装置である場合には、最優先装置
へ空キャリアを搬送することを決定する(ステップ3−
6)。そしてその装置への搬送指示を発行する(ステッ
プ3−7)。この優先順位は、搬送距離または時間によ
り設定されるので、搬送時間の最小化が可能となる。
送対象決定プロセスを示すフロー図である。空キャリア
回収先決定部13は、空キャリアの回収要求を受け付け
ると(ステップ3−1)、装置状態管理D/B9を参照
して空キャリアの供給を要求している装置を検索する
(ステップ3−2)。供給を要求する装置が存在する場
合には、あらかじめ工程フロー管理D/B10に定義さ
れた優先装置データにより、優先装置の判定を行う(ス
テップ3−3)。優先装置である場合には、最優先装置
へ空キャリアを搬送することを決定する(ステップ3−
6)。そしてその装置への搬送指示を発行する(ステッ
プ3−7)。この優先順位は、搬送距離または時間によ
り設定されるので、搬送時間の最小化が可能となる。
【0024】また、空キャリアの供給を要求する装置が
存在しないか、空キャリアの供給を要求する装置が優先
装置ではない場合は、自装置のポート上に在荷するキャ
リア数からポート占有率を算出する(ステップ3−
4)。ポート占有率が予め定義してある占有率Nより小
さい場合は、自装置で待機し、他の優先装置装置が空キ
ャリアを要求した時点で直ちに搬送できるようにしてお
く待機指示を発行する。占有率Nより大きい場合は、や
むなく他のストックポイントで待機させ、自装置のポー
トを空けて、次ワークの搬入を受け入れる(ステップ3
−5)。このようにして搬送車の移動距離を最小にする
適確な判断が可能となる。
存在しないか、空キャリアの供給を要求する装置が優先
装置ではない場合は、自装置のポート上に在荷するキャ
リア数からポート占有率を算出する(ステップ3−
4)。ポート占有率が予め定義してある占有率Nより小
さい場合は、自装置で待機し、他の優先装置装置が空キ
ャリアを要求した時点で直ちに搬送できるようにしてお
く待機指示を発行する。占有率Nより大きい場合は、や
むなく他のストックポイントで待機させ、自装置のポー
トを空けて、次ワークの搬入を受け入れる(ステップ3
−5)。このようにして搬送車の移動距離を最小にする
適確な判断が可能となる。
【0025】図4は、空キャリア供給元決定部14の搬
送対象決定プロセスを示すフロー図である。空キャリア
供給モと決定部14は、空キャリアの供給要求を受け付
けると(ステップ4−1)、装置状態管理D/B9を参
照して空キャリアの回収を要求している装置を検索する
(ステップ4−2)。回収を要求する装置が存在する場
合には、あらかじめ工程フロー管理D/B10に定義さ
れた優先装置データにより、優先装置の判定を行う(ス
テップ4−3)。優先装置である場合には、最優先装置
から空キャリアを搬送することを決定する(ステップ4
−7)。そしてその装置への搬送指示を発行する(ステ
ップ4−8)。この優先順位は、搬送距離または時間に
より設定されるので、搬送時間の最小化が可能となる。
送対象決定プロセスを示すフロー図である。空キャリア
供給モと決定部14は、空キャリアの供給要求を受け付
けると(ステップ4−1)、装置状態管理D/B9を参
照して空キャリアの回収を要求している装置を検索する
(ステップ4−2)。回収を要求する装置が存在する場
合には、あらかじめ工程フロー管理D/B10に定義さ
れた優先装置データにより、優先装置の判定を行う(ス
テップ4−3)。優先装置である場合には、最優先装置
から空キャリアを搬送することを決定する(ステップ4
−7)。そしてその装置への搬送指示を発行する(ステ
ップ4−8)。この優先順位は、搬送距離または時間に
より設定されるので、搬送時間の最小化が可能となる。
【0026】また、空キャリアの回収を要求する装置が
存在しないか、空キャリアの回収を要求する装置が優先
装置ではない場合は、自装置のポート上に在荷するキャ
リア数からポート占有率を算出する(ステップ4−
4)。ポート占有率が予め定義してある占有率Nより小
さい場合は、空キャリアの供給を行わず、他の優先装置
装置が空キャリアの回収を要求した時点で直ちに搬送で
きるようにしておく。占有率Nより大きい場合は、やむ
なく他のストックポイントで待機している空キャリアを
搬送させて、自装置のポートに準備しておく(ステップ
4−6)。このようにして搬送車の移動距離を最小にす
る適確な判断が可能となる。
存在しないか、空キャリアの回収を要求する装置が優先
装置ではない場合は、自装置のポート上に在荷するキャ
リア数からポート占有率を算出する(ステップ4−
4)。ポート占有率が予め定義してある占有率Nより小
さい場合は、空キャリアの供給を行わず、他の優先装置
装置が空キャリアの回収を要求した時点で直ちに搬送で
きるようにしておく。占有率Nより大きい場合は、やむ
なく他のストックポイントで待機している空キャリアを
搬送させて、自装置のポートに準備しておく(ステップ
4−6)。このようにして搬送車の移動距離を最小にす
る適確な判断が可能となる。
【0027】
【発明の効果】以上実施例で詳細に説明したように、本
発明の搬送制御方法よれば、搬送元および搬送先以外の
格納倉庫などのストックポイントに搬送する機会を最小
とするために、搬送距離、時間および回数を最小とする
ことができる。搬送元と搬送先の要求の発生タイミング
がずれても、搬送元で待機するために問題が生じない。
さらに、搬送元のポートのキャリア占有率による抑制に
より、装置でのワーク処理を停止し稼動率の低下による
スループットの低下も防止することができる。また、空
キャリアの搬送についても、回収を要求する装置と供給
を要求する装置以外の格納倉庫などのストックポイント
に搬送する機会を最小とするために、搬送距離、時間お
よび回数を最小とすることができる。
発明の搬送制御方法よれば、搬送元および搬送先以外の
格納倉庫などのストックポイントに搬送する機会を最小
とするために、搬送距離、時間および回数を最小とする
ことができる。搬送元と搬送先の要求の発生タイミング
がずれても、搬送元で待機するために問題が生じない。
さらに、搬送元のポートのキャリア占有率による抑制に
より、装置でのワーク処理を停止し稼動率の低下による
スループットの低下も防止することができる。また、空
キャリアの搬送についても、回収を要求する装置と供給
を要求する装置以外の格納倉庫などのストックポイント
に搬送する機会を最小とするために、搬送距離、時間お
よび回数を最小とすることができる。
【図1】本発明の実施例の搬送制御方法による搬送指示
装置と搬送制御システムの構成を示すブロック図
装置と搬送制御システムの構成を示すブロック図
【図2】ストックポイント決定部の搬送対象決定プロセ
スを示すフロー図
スを示すフロー図
【図3】空キャリア回収先決定部の搬送対象決定プロセ
スを示すフロー図
スを示すフロー図
【図4】空キャリア供給元決定部の搬送対象決定プロセ
スを示すフロー図
スを示すフロー図
【図5】従来型のベイ方式による工場の構成を示すブロ
ック図
ック図
【図6】大部屋方式による工場の構成を示すブロック図
1 搬送指示装置 2 プロセス装置 3 検査装置 4 装置コントローラ 5 ワーク搬出要求 6 ワーク搬入許可 7 空キャリア回収要求 8 空キャリア供給要求 9 装置状態管理D/B 10 工程フロー管理D/B 11 イベント受信部 12 ストックポイント決定部 13 空キャリア回収先決定部 14 空キャリア供給元決定部 15 搬送指示部 16 搬送指示 17 搬送機器コントローラ 18 収納倉庫
Claims (4)
- 【請求項1】 加工ワークをキャリアに格納し、天井、
地上または床下溝を走行する無人搬送車を用いて、前記
キャリアを加工装置、検査装置、格納倉庫の間で搬送
し、前記加工ワークの物流を自動化している工場におい
て、 前記各装置における搬入ポート及び搬出ポートの前記キ
ャリアの搬入と搬出の要求状態と在荷状態のデータをコ
ンピュータに与え、 前記無人搬送車の搬送距離が最小になるように、搬送先
の装置への搬送、搬送元の装置での待機、格納倉庫への
搬送をコンピュータにより選択して制御することを特徴
とするキャリア搬送制御方法。 - 【請求項2】 加工装置または検査装置で処理後の加工
ワークの搬出に当たって、前記加工装置及び検査装置へ
の搬入時に格納されていたキャリアとは異なるキャリア
に前記加工ワークを格納して搬出する形態の複数の装置
を有する工場において、 前記各装置の搬入ポートで生じた空キャリアの前記搬入
ポートの在荷状態と空キャリアを要求している他装置の
状態のデータをコンピュータに与え、 他装置への搬送、搬送元の装置での保持、格納倉庫へ搬
送しての待機をコンピュータにより選択して制御するこ
とを特徴とするキャリア搬送制御方法。 - 【請求項3】 加工装置または検査装置で処理後の加工
ワークの搬出に当たって、前記加工装置及び検査装置へ
の搬入時に格納されていたキャリアとは異なるキャリア
に前記加工ワークを格納して搬出する形態の複数の装置
を有する工場において、 処理後の加工ワークを格納するために、前記各装置の搬
出ポートにて必要になる空キャリアの前記搬出ポートの
在荷状態と空キャリアを保持している他装置の状態のデ
ータをコンピュータに与え、 他装置からの供給、格納倉庫からの供給、供給を行わず
前記搬出ポートに在荷している空キャリアの使用をコン
ピュータにより選択して制御することを特徴とするキャ
リア搬送制御方法。 - 【請求項4】 無人搬送車の搬送時間を短縮するため
に、空キャリアの搬送先および搬送元について、予め定
義した優先順位とポート占有率に基づく搬送可否基準と
により、複数の空キャリアの回収を要求する装置と複数
の空キャリアの供給を要求する装置の中から搬送元およ
び搬送先の装置を選択することを特徴とする請求項2ま
たは3記載のキャリア搬送制御方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001038675A JP2002244738A (ja) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | 物流自動化工場でのキャリア搬送制御方法 |
TW091102536A TW552542B (en) | 2001-02-15 | 2002-02-08 | Control method of carrier transportation and system thereof |
CNB021051453A CN1207176C (zh) | 2001-02-15 | 2002-02-19 | 运送器搬运控制方法及其*** |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001038675A JP2002244738A (ja) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | 物流自動化工場でのキャリア搬送制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002244738A true JP2002244738A (ja) | 2002-08-30 |
Family
ID=18901602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001038675A Pending JP2002244738A (ja) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | 物流自動化工場でのキャリア搬送制御方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002244738A (ja) |
CN (1) | CN1207176C (ja) |
TW (1) | TW552542B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101386368B (zh) * | 2007-09-06 | 2012-11-28 | 村田自动化机械有限公司 | 保管库、带保管库的搬运***以及保管库组 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG176198A1 (en) * | 2009-06-02 | 2011-12-29 | Murata Machinery Ltd | Conveyance vehicle system |
US9280157B2 (en) * | 2013-09-04 | 2016-03-08 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for transporting personnel within an active workspace |
DE102016116362A1 (de) * | 2016-09-01 | 2018-03-01 | Eisenmann Se | Verfahren zum Betreiben eines Fördersystems |
CN106697711B (zh) * | 2016-12-30 | 2023-09-01 | 桂林电子科技大学 | 一种轻型件物料搬运装置的使用方法 |
JP7349240B2 (ja) * | 2018-10-05 | 2023-09-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板倉庫及び基板検査方法 |
-
2001
- 2001-02-15 JP JP2001038675A patent/JP2002244738A/ja active Pending
-
2002
- 2002-02-08 TW TW091102536A patent/TW552542B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-02-19 CN CNB021051453A patent/CN1207176C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101386368B (zh) * | 2007-09-06 | 2012-11-28 | 村田自动化机械有限公司 | 保管库、带保管库的搬运***以及保管库组 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1370726A (zh) | 2002-09-25 |
CN1207176C (zh) | 2005-06-22 |
TW552542B (en) | 2003-09-11 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050523 |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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