JPH11284046A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH11284046A JPH11284046A JP8527098A JP8527098A JPH11284046A JP H11284046 A JPH11284046 A JP H11284046A JP 8527098 A JP8527098 A JP 8527098A JP 8527098 A JP8527098 A JP 8527098A JP H11284046 A JPH11284046 A JP H11284046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz boat
- hand
- cassette
- axis direction
- wafer
- Prior art date
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- Granted
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業効率の改善を図るとともに、コスト的に
有利にウエハを搬送できるようにする。 【解決手段】 装置本体10からY軸方向に突出する長
手状とされているとともに、少なくともX軸方向および
Z軸方向に移動可能とされたエレベーションアーム2
と、このエレベーションアーム2の長手方向に一定距離
隔ててそれぞれ連結される第1ハンド3および第2ハン
ド4と、を備えたウエハ搬送装置1において、上記第1
ハンド3および第2ハンド4に、複数枚のウエハ11が
収容された石英ボート5を上記各ハンド間を橋渡すよう
にして吊支する石英ボート吊支部30,40をそれぞれ
設けるとともに、複数枚のウエハ11が収容されたカセ
ット60が載置されたカセットトレイ6を上記各ハンド
3,4間を橋渡すようにして載置するトレイ載置部3
2,42をそれぞれ設けた。
有利にウエハを搬送できるようにする。 【解決手段】 装置本体10からY軸方向に突出する長
手状とされているとともに、少なくともX軸方向および
Z軸方向に移動可能とされたエレベーションアーム2
と、このエレベーションアーム2の長手方向に一定距離
隔ててそれぞれ連結される第1ハンド3および第2ハン
ド4と、を備えたウエハ搬送装置1において、上記第1
ハンド3および第2ハンド4に、複数枚のウエハ11が
収容された石英ボート5を上記各ハンド間を橋渡すよう
にして吊支する石英ボート吊支部30,40をそれぞれ
設けるとともに、複数枚のウエハ11が収容されたカセ
ット60が載置されたカセットトレイ6を上記各ハンド
3,4間を橋渡すようにして載置するトレイ載置部3
2,42をそれぞれ設けた。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、複数枚のウエハ
が収容された石英ボートを吊支した状態で、上記石英ボ
ートとともにウエハを高温加熱炉まで搬送する装置に関
する。
が収容された石英ボートを吊支した状態で、上記石英ボ
ートとともにウエハを高温加熱炉まで搬送する装置に関
する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】通
常、半導体チップは、シリコンなどのウエハの表面に様
々な工程を経て複数の回路素子を形成した後に、ウエハ
を各回路素子毎に分割することによって形成される。上
記した工程としては、ウエハ表面に酸化膜を形成する工
程、レジストを形成するためのフォトリソ工程、不純物
の拡散工程、あるいは電極形成工程などがある。これら
の各工程は、それぞれ所定の装置を用いて行われるが、
各装置間におけるウエハの移動は、金属製などのカセッ
ト内に複数枚のウエハが収容された状態で行われる。
常、半導体チップは、シリコンなどのウエハの表面に様
々な工程を経て複数の回路素子を形成した後に、ウエハ
を各回路素子毎に分割することによって形成される。上
記した工程としては、ウエハ表面に酸化膜を形成する工
程、レジストを形成するためのフォトリソ工程、不純物
の拡散工程、あるいは電極形成工程などがある。これら
の各工程は、それぞれ所定の装置を用いて行われるが、
各装置間におけるウエハの移動は、金属製などのカセッ
ト内に複数枚のウエハが収容された状態で行われる。
【0003】周知の通り、拡散工程は、ウエハの表面か
ら内部に不純物を拡散させ、不純物が拡散させられた領
域をP型、あるいはN型とする工程である。拡散速度
は、高温ほど大きいことから、不純物をウエハの内部に
良好に拡散させるためには、数百度から千度程度(不純
物の種類などによっても異なる)の高温の状態で行わな
ければならない。一方、ウエハの酸化膜の表面に何らか
の金属、たとえばナトリウムなどが付着している場合に
は、高温の拡散工程においては付着物が酸化膜内に取り
込まれてしまうといった不具合が生じる。このような不
具合を回避するために、不純物の拡散は、石英などによ
って形成された高温拡散炉内において行われている。ま
た、金属製などのカセットでは、ウエハにナトリウムな
どが付着して拡散してしまうことが懸念されるため、石
英などのボートにウエハを移載し、石英ボートとともに
ウエハを高温拡散炉内に搬入することによって拡散処理
が行われている。
ら内部に不純物を拡散させ、不純物が拡散させられた領
域をP型、あるいはN型とする工程である。拡散速度
は、高温ほど大きいことから、不純物をウエハの内部に
良好に拡散させるためには、数百度から千度程度(不純
物の種類などによっても異なる)の高温の状態で行わな
ければならない。一方、ウエハの酸化膜の表面に何らか
の金属、たとえばナトリウムなどが付着している場合に
は、高温の拡散工程においては付着物が酸化膜内に取り
込まれてしまうといった不具合が生じる。このような不
具合を回避するために、不純物の拡散は、石英などによ
って形成された高温拡散炉内において行われている。ま
た、金属製などのカセットでは、ウエハにナトリウムな
どが付着して拡散してしまうことが懸念されるため、石
英などのボートにウエハを移載し、石英ボートとともに
ウエハを高温拡散炉内に搬入することによって拡散処理
が行われている。
【0004】ところで、複数枚のウエハが収容された石
英ボートは、図8に示すようなウエハ搬送装置によって
高温拡散炉の近傍まで搬送される。上記ウエハ搬送装置
1は、装置本体10からY軸方向に突出する長手状とさ
れているとともにX軸方向およびZ軸方向に移動可能と
されたエレベーションアーム2と、このエレベーション
アーム2の長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結され
る一対のハンド3,4と、を備えている。これらのハン
ド3,4は、上記エレベーションアーム2からX軸方向
に突出するようにしてそれぞれ連結されており、その先
端部には石英製の保持部30,40がそれぞれ設けられ
ている。これらの保持部30,40の上面には、X軸方
向に延びるとともに下方に凹入した溝部31,41が形
成されている。すなわち、これらの溝部31,41に上
記石英ボート5の設けられた把手50を保持して上記石
英ボート5を上記各ハンド3,5間に橋渡すような恰好
とし、この状態において上記石英ボート5が搬送され
る。
英ボートは、図8に示すようなウエハ搬送装置によって
高温拡散炉の近傍まで搬送される。上記ウエハ搬送装置
1は、装置本体10からY軸方向に突出する長手状とさ
れているとともにX軸方向およびZ軸方向に移動可能と
されたエレベーションアーム2と、このエレベーション
アーム2の長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結され
る一対のハンド3,4と、を備えている。これらのハン
ド3,4は、上記エレベーションアーム2からX軸方向
に突出するようにしてそれぞれ連結されており、その先
端部には石英製の保持部30,40がそれぞれ設けられ
ている。これらの保持部30,40の上面には、X軸方
向に延びるとともに下方に凹入した溝部31,41が形
成されている。すなわち、これらの溝部31,41に上
記石英ボート5の設けられた把手50を保持して上記石
英ボート5を上記各ハンド3,5間に橋渡すような恰好
とし、この状態において上記石英ボート5が搬送され
る。
【0005】上述したように、上記石英ボート5には、
カセットに収容されたウエハ11が移載されるが、ウエ
ハの移載は、たとえばウエハを挟持できるハンドを有す
る移載装置(図示略)などによって自動的に行われる。
このため、移載装置によってカセットから石英ボート5
にウエハ11を移載できるようにするためには、所定の
場所に石英ボート5およびカセットをそれぞれ位置決め
した状態で置いておく必要がある。通常、拡散処理を施
すべきウエハ11が収容されたカセットは、たとえば上
記移載装置に隣接する棚などに板状のトレイなどに載置
された状態で収納されている。このため、棚などからト
レイとともにカセットを取り出し、これを所定の場所に
位置決めして置く必要がある。
カセットに収容されたウエハ11が移載されるが、ウエ
ハの移載は、たとえばウエハを挟持できるハンドを有す
る移載装置(図示略)などによって自動的に行われる。
このため、移載装置によってカセットから石英ボート5
にウエハ11を移載できるようにするためには、所定の
場所に石英ボート5およびカセットをそれぞれ位置決め
した状態で置いておく必要がある。通常、拡散処理を施
すべきウエハ11が収容されたカセットは、たとえば上
記移載装置に隣接する棚などに板状のトレイなどに載置
された状態で収納されている。このため、棚などからト
レイとともにカセットを取り出し、これを所定の場所に
位置決めして置く必要がある。
【0006】このような作業は、作業者の手作業によっ
て行われ、あるいは所定の装置によって自動的に行われ
る。しかしながら、人力では、作業効率が極めて悪い一
方、所定の装置を用いれば作業効率は改善されるが、上
記したウエハ搬送装置とは異なる新たな装置を必要とす
ることから、コスト的に不利である。
て行われ、あるいは所定の装置によって自動的に行われ
る。しかしながら、人力では、作業効率が極めて悪い一
方、所定の装置を用いれば作業効率は改善されるが、上
記したウエハ搬送装置とは異なる新たな装置を必要とす
ることから、コスト的に不利である。
【0007】本願発明は、上記した事情のもとで考え出
されたものであって、作業効率の改善を図るとともに、
コスト的に有利にウエハを搬送できるようにすることを
その課題としている。
されたものであって、作業効率の改善を図るとともに、
コスト的に有利にウエハを搬送できるようにすることを
その課題としている。
【0008】
【発明の開示】上記の課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
は、次の技術的手段を講じている。
【0009】すなわち、本願発明により提供されるウエ
ハ搬送装置は、装置本体からY軸方向に突出する長手状
とされているとともに、少なくともX軸方向およびZ軸
方向に移動可能とされたエレベーションアームと、この
エレベーションアームの長手方向に一定距離隔ててそれ
ぞれ連結される第1ハンドおよび第2ハンドと、を備え
たウエハ搬送装置であって、上記第1ハンドおよび第2
ハンドには、複数枚のウエハが収容された石英ボートが
上記各ハンド間を橋渡すようにして吊支される石英ボー
ト吊支部がそれぞれ設けられているとともに、複数枚の
ウエハが収容されたカセットが載置されたカセットトレ
イを上記各ハンド間を橋渡すようにして載置するトレイ
載置部がそれぞれ設けられていることを特徴としてい
る。
ハ搬送装置は、装置本体からY軸方向に突出する長手状
とされているとともに、少なくともX軸方向およびZ軸
方向に移動可能とされたエレベーションアームと、この
エレベーションアームの長手方向に一定距離隔ててそれ
ぞれ連結される第1ハンドおよび第2ハンドと、を備え
たウエハ搬送装置であって、上記第1ハンドおよび第2
ハンドには、複数枚のウエハが収容された石英ボートが
上記各ハンド間を橋渡すようにして吊支される石英ボー
ト吊支部がそれぞれ設けられているとともに、複数枚の
ウエハが収容されたカセットが載置されたカセットトレ
イを上記各ハンド間を橋渡すようにして載置するトレイ
載置部がそれぞれ設けられていることを特徴としてい
る。
【0010】上記構成では、従来と同様に上記各ハンド
の石英ボート吊支部間に石英ボートを橋渡すような状態
として石英ボートの搬送が可能である。しかも、上記各
ハンドには、トレイ載置部がそれぞれ設けられているこ
とから、これらのトレイ載置部間を橋渡すようにして上
記トレイを載置することによってトレイの搬送を行うこ
ともできる。上述したように、上記カセットは、上記ト
レイに載置された状態で棚などに収容されていることが
あることから、この場合には上記ウエハ搬送装置によっ
てトレイに載置されたカセットを取り出して搬送するこ
とができる。
の石英ボート吊支部間に石英ボートを橋渡すような状態
として石英ボートの搬送が可能である。しかも、上記各
ハンドには、トレイ載置部がそれぞれ設けられているこ
とから、これらのトレイ載置部間を橋渡すようにして上
記トレイを載置することによってトレイの搬送を行うこ
ともできる。上述したように、上記カセットは、上記ト
レイに載置された状態で棚などに収容されていることが
あることから、この場合には上記ウエハ搬送装置によっ
てトレイに載置されたカセットを取り出して搬送するこ
とができる。
【0011】このように、上記ウエハ搬送装置では、石
英ボートばかりでなくカセットの搬送も行うことができ
る。このため、棚などに収納されたカセットを人力によ
って取り出すまでもなく自動的に行うことができ、作業
効率の改善を図ることができる。また、高温拡散炉など
の近傍に石英ボートを搬送する装置によって棚などから
のカセットの取り出し・搬送を行うことができるため、
棚などからカセットを取り出して搬送するための装置を
別途設けるまでもない。このため、上記ウエハ搬送装置
では、製造コストの低減を図ることができる。
英ボートばかりでなくカセットの搬送も行うことができ
る。このため、棚などに収納されたカセットを人力によ
って取り出すまでもなく自動的に行うことができ、作業
効率の改善を図ることができる。また、高温拡散炉など
の近傍に石英ボートを搬送する装置によって棚などから
のカセットの取り出し・搬送を行うことができるため、
棚などからカセットを取り出して搬送するための装置を
別途設けるまでもない。このため、上記ウエハ搬送装置
では、製造コストの低減を図ることができる。
【0012】本願発明の好ましい実施の形態において
は、上記第1ハンドおよび第2ハンドは、L字状、V字
状またはU字状とされているとともに、Z軸周りに回転
可能とされており、また、上記各ハンドの石英ボート吊
支部がそれぞれ上記エレベーションアームからX軸方向
に突出させられ、これらの石英ボート吊支部によって上
記石英ボートが吊支されて上記石英ボートとともにウエ
ハを搬送する状態と、上記各ハンドのトレイ載置部が上
記エレベーションアームからそれぞれX軸方向に突出さ
せられ、これらのトレイ載置部によって上記トレイが載
置されて上記トレイとともにウエハを搬送する状態とを
選択可能なように構成することもできる。
は、上記第1ハンドおよび第2ハンドは、L字状、V字
状またはU字状とされているとともに、Z軸周りに回転
可能とされており、また、上記各ハンドの石英ボート吊
支部がそれぞれ上記エレベーションアームからX軸方向
に突出させられ、これらの石英ボート吊支部によって上
記石英ボートが吊支されて上記石英ボートとともにウエ
ハを搬送する状態と、上記各ハンドのトレイ載置部が上
記エレベーションアームからそれぞれX軸方向に突出さ
せられ、これらのトレイ載置部によって上記トレイが載
置されて上記トレイとともにウエハを搬送する状態とを
選択可能なように構成することもできる。
【0013】上記構成では、上記各ハンドが回転可能な
L字状、V字状またはU字状とされているため、上記各
ハンドを回転させるだけで、上記各ハンドの石英ボート
吊支部がそれぞれ上記エレベーションアームからX軸方
向に突出した状態と、上記各トレイ載置部が上記エレベ
ーションアームからそれぞれX軸方向に突出した状態と
を選択することができる。
L字状、V字状またはU字状とされているため、上記各
ハンドを回転させるだけで、上記各ハンドの石英ボート
吊支部がそれぞれ上記エレベーションアームからX軸方
向に突出した状態と、上記各トレイ載置部が上記エレベ
ーションアームからそれぞれX軸方向に突出した状態と
を選択することができる。
【0014】また、上記各ハンドがL字状、V字状また
はU字状とされていることから、上記各石英ボート吊支
部を上記エレベーションアームから突出させた状態で
は、平面視において上記各トレイ載置部が上記エレベー
ションアームの下部に隠された恰好とされる。一方、上
記各トレイ載置部が突出した状態では、上記各石英ボー
ト吊支部が上記エレベーションアームに隠された恰好と
される。このように、上記ウエハ搬送装置では、上記各
ハンドの石英ボート吊支部およびトレイ載置部の両方が
上記エレベーションアームの両側部から突出するといっ
た状態とはならず、使用をする一方のみが突出する状態
とされる。
はU字状とされていることから、上記各石英ボート吊支
部を上記エレベーションアームから突出させた状態で
は、平面視において上記各トレイ載置部が上記エレベー
ションアームの下部に隠された恰好とされる。一方、上
記各トレイ載置部が突出した状態では、上記各石英ボー
ト吊支部が上記エレベーションアームに隠された恰好と
される。このように、上記ウエハ搬送装置では、上記各
ハンドの石英ボート吊支部およびトレイ載置部の両方が
上記エレベーションアームの両側部から突出するといっ
た状態とはならず、使用をする一方のみが突出する状態
とされる。
【0015】このため、上記ウエハ搬送装置では、使用
時における上記エレベーションアームからX軸方向に突
出する部分を最小限とすることができ、上記ウエハ搬送
装置周りのスペース効率を改善することができる。すな
わち、たとえば上記石英ボートを所定の場所から取り上
げたり、あるいは所定の場所に置いたりする場合を考え
れば、使用していないハンドの部分が上記カセット、カ
セットが収納された棚、あるいは高温拡散炉に石英ボー
トを搬入するためのアームなどに干渉しないようにする
ために、カセットや棚などを大きく離間させる必要はな
い。また、上記ウエハ搬送装置の周りのスペース効率を
改善できることから、上記エレベーションアームの移動
させるべき距離も小さく設定することができる。このた
め、上記ウエハ搬送装置の小型化を実現することができ
る。
時における上記エレベーションアームからX軸方向に突
出する部分を最小限とすることができ、上記ウエハ搬送
装置周りのスペース効率を改善することができる。すな
わち、たとえば上記石英ボートを所定の場所から取り上
げたり、あるいは所定の場所に置いたりする場合を考え
れば、使用していないハンドの部分が上記カセット、カ
セットが収納された棚、あるいは高温拡散炉に石英ボー
トを搬入するためのアームなどに干渉しないようにする
ために、カセットや棚などを大きく離間させる必要はな
い。また、上記ウエハ搬送装置の周りのスペース効率を
改善できることから、上記エレベーションアームの移動
させるべき距離も小さく設定することができる。このた
め、上記ウエハ搬送装置の小型化を実現することができ
る。
【0016】本願発明のその他の特徴および利点は、添
付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より
明らかとなろう。
付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より
明らかとなろう。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態を、図面を参照して具体的に説明する。
形態を、図面を参照して具体的に説明する。
【0018】図1は本願発明に係るウエハ搬送装置の一
例を表す斜視図であり、図2は上記ウエハ搬送装置の平
面図であり、図3(a)および(b)は上記ウエハ搬送
装置の動作を説明するための要部斜視図である。なお、
本実施形態を説明するために参照する図面においては、
従来例を説明するために参照した図面に描かれている部
材や要素などと同等のものには同一の符号を付してあ
る。
例を表す斜視図であり、図2は上記ウエハ搬送装置の平
面図であり、図3(a)および(b)は上記ウエハ搬送
装置の動作を説明するための要部斜視図である。なお、
本実施形態を説明するために参照する図面においては、
従来例を説明するために参照した図面に描かれている部
材や要素などと同等のものには同一の符号を付してあ
る。
【0019】図1に示すように、上記ウエハ搬送装置1
は、装置本体10からY軸方向に突出する長手状とされ
たエレベーションアーム2と、このエレベーションアー
ム2の長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結される第
1ハンド3および第2ハンド4と、を備えて大略構成さ
れている。そして、図2に良く表れているように、上記
ウエハ搬送装置1では、上記各ハンド3,4間に石英ボ
ート5を吊支した状態と、カセットトレイ6を載置した
状態とを選択できるようになされている。
は、装置本体10からY軸方向に突出する長手状とされ
たエレベーションアーム2と、このエレベーションアー
ム2の長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結される第
1ハンド3および第2ハンド4と、を備えて大略構成さ
れている。そして、図2に良く表れているように、上記
ウエハ搬送装置1では、上記各ハンド3,4間に石英ボ
ート5を吊支した状態と、カセットトレイ6を載置した
状態とを選択できるようになされている。
【0020】図1に良く表れているように、上記エレベ
ーションアーム2は、上記装置本体10に対してZ軸方
向にスライド移動可能とされたスライダ12に、X軸方
向にスライド移動可能に連結されている。すなわち、上
記エレベーションアーム2は、上記装置本体10に対し
てX軸方向およびZ軸方向のそれぞれに移動可能とされ
ている。
ーションアーム2は、上記装置本体10に対してZ軸方
向にスライド移動可能とされたスライダ12に、X軸方
向にスライド移動可能に連結されている。すなわち、上
記エレベーションアーム2は、上記装置本体10に対し
てX軸方向およびZ軸方向のそれぞれに移動可能とされ
ている。
【0021】図1および図2に良く表れているように、
上記第1ハンド3は、石英ボート吊支部32およびトレ
イ載置部33を有するL字状とされており、そのコーナ
部を中心としてZ軸周りに回転可能に上記エレベーショ
ンアーム2に連結されている。
上記第1ハンド3は、石英ボート吊支部32およびトレ
イ載置部33を有するL字状とされており、そのコーナ
部を中心としてZ軸周りに回転可能に上記エレベーショ
ンアーム2に連結されている。
【0022】上記石英ボート吊支部32には、石英製な
どの保持部材30が取り付けられている。この保持部材
30には、上記石英ボート吊支部32の長手方向に延び
るとともに下方に凹入した溝部31が形成されており、
この溝部31に石英ボート5に設けられた把手50が保
持される。一方、上記トレイ載置部33には、上記カセ
ットトレイ6に形成された位置決め穴61に嵌め込まれ
る位置決めピン34が形成されている。
どの保持部材30が取り付けられている。この保持部材
30には、上記石英ボート吊支部32の長手方向に延び
るとともに下方に凹入した溝部31が形成されており、
この溝部31に石英ボート5に設けられた把手50が保
持される。一方、上記トレイ載置部33には、上記カセ
ットトレイ6に形成された位置決め穴61に嵌め込まれ
る位置決めピン34が形成されている。
【0023】図2および図3に示すように、上記第1ハ
ンド3は、第1回転機構7によってZ軸周りに回転可能
とされている。図3(a)および(b)に良く表れてい
るように、上記第1回転機構7は、上記エレベーション
アーム2の先端部においてZ軸周りに回転可能に挿通保
持された第1回転軸70と、この第1回転軸70の上端
部にその一端部が一体的に連結された長円形状の第1回
動部材71と、この第1回動部材71の他端部に設けら
れた軸部71aに対して回動可能に連結されるとともに
シリンダ72内を摺動してY軸方向に伸縮可能とされた
ピストン73と、このピストン73を伸縮させる駆動源
(図示略)と、を有して構成されている。
ンド3は、第1回転機構7によってZ軸周りに回転可能
とされている。図3(a)および(b)に良く表れてい
るように、上記第1回転機構7は、上記エレベーション
アーム2の先端部においてZ軸周りに回転可能に挿通保
持された第1回転軸70と、この第1回転軸70の上端
部にその一端部が一体的に連結された長円形状の第1回
動部材71と、この第1回動部材71の他端部に設けら
れた軸部71aに対して回動可能に連結されるとともに
シリンダ72内を摺動してY軸方向に伸縮可能とされた
ピストン73と、このピストン73を伸縮させる駆動源
(図示略)と、を有して構成されている。
【0024】上記第1回転機構7では、上記回転軸70
の下端部が上記第1ハンド3のコーナ部において一体的
に連結されており、上記第1ハンド3が上記第1回転軸
70と一体的に回転するようになされている。すなわ
ち、上記第1回転軸70は、上記第1回動部材71と一
体化されていることから、ピストン73を伸縮させて上
記第1回動部材71を回動させれば上記第1回転軸70
が回転し、結局、上記第1ハンド3が回転させられるよ
うになされている。なお、本実施形態では、ピストン7
3が縮められた場合には、図3(a)に示すような上記
トレイ載置部33が上記エレベーションアーム2からX
軸の正方向に突出した状態とされ、ピストン73が伸ば
された場合には、図3(b)に示すような上記石英ボー
ト吊支部32が上記エレベーションアーム2からX軸の
負方向に突出した状態とされるようになされている。
の下端部が上記第1ハンド3のコーナ部において一体的
に連結されており、上記第1ハンド3が上記第1回転軸
70と一体的に回転するようになされている。すなわ
ち、上記第1回転軸70は、上記第1回動部材71と一
体化されていることから、ピストン73を伸縮させて上
記第1回動部材71を回動させれば上記第1回転軸70
が回転し、結局、上記第1ハンド3が回転させられるよ
うになされている。なお、本実施形態では、ピストン7
3が縮められた場合には、図3(a)に示すような上記
トレイ載置部33が上記エレベーションアーム2からX
軸の正方向に突出した状態とされ、ピストン73が伸ば
された場合には、図3(b)に示すような上記石英ボー
ト吊支部32が上記エレベーションアーム2からX軸の
負方向に突出した状態とされるようになされている。
【0025】図1および図2に良く表れているように、
上記第2ハンド4は、上記第1ハンド3と同様に石英ボ
ート吊支部42およびトレイ載置部43を有するL字状
とされている。そして、上記第2ハンド4では、上記第
1ハンド3における石英ボート吊支部32に対応する部
分がトレイ載置部43とされている一方、石英トレイ載
置部33に対応する部分がボート吊支部42とされてい
る。すなわち、上記第1ハンド3と上記第2ハンド4と
は、平面視において対象なものとされている。もちろ
ん、上記石英ボート吊支部42には溝部41が形成され
た保持部材40が取り付けられており、上記トレイ載置
部43には位置決めピン44が形成されている。
上記第2ハンド4は、上記第1ハンド3と同様に石英ボ
ート吊支部42およびトレイ載置部43を有するL字状
とされている。そして、上記第2ハンド4では、上記第
1ハンド3における石英ボート吊支部32に対応する部
分がトレイ載置部43とされている一方、石英トレイ載
置部33に対応する部分がボート吊支部42とされてい
る。すなわち、上記第1ハンド3と上記第2ハンド4と
は、平面視において対象なものとされている。もちろ
ん、上記石英ボート吊支部42には溝部41が形成され
た保持部材40が取り付けられており、上記トレイ載置
部43には位置決めピン44が形成されている。
【0026】また、上記第1ハンド3は、上記第1回転
機構7と同様な構成を有する第2回転機構8によってZ
軸周りを回転可能とされている。すなわち、上記第2回
転機構8は、ピストン83の伸縮によって回動させられ
る第2回動部材81を有しており、上記第2ハンド4は
上記第2回動部材81と第2回転軸80を介して連結さ
れて上記第2回動部材81によって回転させられるよう
になされている。
機構7と同様な構成を有する第2回転機構8によってZ
軸周りを回転可能とされている。すなわち、上記第2回
転機構8は、ピストン83の伸縮によって回動させられ
る第2回動部材81を有しており、上記第2ハンド4は
上記第2回動部材81と第2回転軸80を介して連結さ
れて上記第2回動部材81によって回転させられるよう
になされている。
【0027】図2に良く表れているように、上記構成の
ウエハ搬送装置1では、上記各ピストン73,83の伸
縮によって各ハンド3,4が回転させられて、上記各ハ
ンド3,4の石英ボート吊支部32,42が上記エレベ
ーションアーム2からX軸方向に突出する状態と、上記
各トレイ載置部33,43が突出する状態を選択できる
ようになされている。なお、図2に良く表れているよう
に、上記各石英ボート吊支部32,42が上記エレベー
ションアーム2から突出する状態では、上記各トレイ載
置部33,43が上記エレベーションアーム2の下部に
隠された恰好とされおり、上記各トレイ載置部33,4
3が上記エレベーションアーム2から突出する状態で
は、上記各石英ボート吊支部32,42が上記エレベー
ションアーム2の下部に隠された恰好とされている。
ウエハ搬送装置1では、上記各ピストン73,83の伸
縮によって各ハンド3,4が回転させられて、上記各ハ
ンド3,4の石英ボート吊支部32,42が上記エレベ
ーションアーム2からX軸方向に突出する状態と、上記
各トレイ載置部33,43が突出する状態を選択できる
ようになされている。なお、図2に良く表れているよう
に、上記各石英ボート吊支部32,42が上記エレベー
ションアーム2から突出する状態では、上記各トレイ載
置部33,43が上記エレベーションアーム2の下部に
隠された恰好とされおり、上記各トレイ載置部33,4
3が上記エレベーションアーム2から突出する状態で
は、上記各石英ボート吊支部32,42が上記エレベー
ションアーム2の下部に隠された恰好とされている。
【0028】上記各石英ボート吊支部32,42が上記
エレベーションアーム2からそれぞれX軸方向に突出す
る状態では、上記石英ボート5の両端部に設けられた把
手50,50が、それぞれ上記各石英ボート吊支部3
2,42の保持部材30,40に保持され、上記各石英
ボート吊支部32,42間を上記石英ボート5が橋渡す
ようにして吊支した恰好で上記石英ボート5が搬送され
る。このとき、上記石英ボート5内にウエハ11が収容
されていれば、ウエハ11が搬送されることになる。一
方、上記各トレイ載置部43が突出した状態では、上記
位置決めピン34,44がカセットトレイ6の両端部に
形成された位置決め穴61,61に嵌め込まれ、上記各
トレイ載置部33,43の間に上記カセットトレイ6を
橋渡すようにして載置した恰好で上記カセットトレイ6
が搬送される。
エレベーションアーム2からそれぞれX軸方向に突出す
る状態では、上記石英ボート5の両端部に設けられた把
手50,50が、それぞれ上記各石英ボート吊支部3
2,42の保持部材30,40に保持され、上記各石英
ボート吊支部32,42間を上記石英ボート5が橋渡す
ようにして吊支した恰好で上記石英ボート5が搬送され
る。このとき、上記石英ボート5内にウエハ11が収容
されていれば、ウエハ11が搬送されることになる。一
方、上記各トレイ載置部43が突出した状態では、上記
位置決めピン34,44がカセットトレイ6の両端部に
形成された位置決め穴61,61に嵌め込まれ、上記各
トレイ載置部33,43の間に上記カセットトレイ6を
橋渡すようにして載置した恰好で上記カセットトレイ6
が搬送される。
【0029】次に、上記ウエハ搬送装置1の使用状態を
図4ないし図7を参照しつつ説明する。なお、図4は上
記ウエハ搬送装置の周りのレイアウトを表す図であり、
図5は上記ウエハ搬送装置によってカセットトレイを持
ち上げる状態を説明するための図であり、図6は上記ウ
エハ搬送装置によって石英ボートを持ち上げる状態を説
明するための図であり、図7は上記ウエハ搬送装置によ
る搬送対象の切り替えを説明するための図であって、図
4の矢印A方向に見た状態に相当する図である。
図4ないし図7を参照しつつ説明する。なお、図4は上
記ウエハ搬送装置の周りのレイアウトを表す図であり、
図5は上記ウエハ搬送装置によってカセットトレイを持
ち上げる状態を説明するための図であり、図6は上記ウ
エハ搬送装置によって石英ボートを持ち上げる状態を説
明するための図であり、図7は上記ウエハ搬送装置によ
る搬送対象の切り替えを説明するための図であって、図
4の矢印A方向に見た状態に相当する図である。
【0030】本実施形態における上記ウエハ搬送装置1
は、棚8に収納されたカセット60を取り出すととも
に、カセット60からウエハ11が移載された石英ボー
ト5を高温拡散炉9の近傍に配置された板状アーム部材
90にまで搬送する装置である(図4参照)。なお、上
記板状アーム部材90に載置された石英ボート5は、上
記板状アーム部材90のY軸方向への移動によって上記
高温拡散炉9内に搬入され、また拡散処理が終了すれば
搬出されるようになされている。
は、棚8に収納されたカセット60を取り出すととも
に、カセット60からウエハ11が移載された石英ボー
ト5を高温拡散炉9の近傍に配置された板状アーム部材
90にまで搬送する装置である(図4参照)。なお、上
記板状アーム部材90に載置された石英ボート5は、上
記板状アーム部材90のY軸方向への移動によって上記
高温拡散炉9内に搬入され、また拡散処理が終了すれば
搬出されるようになされている。
【0031】上記カセット60には、複数枚のウエハ1
1が収容されており、計3個のカセット60が一組とさ
れ、これらのカセット60がカセットトレイ6に載置さ
れた状態で棚8に収納されている。図5に示すように、
上記カセットトレイ6は、1対のけた62,62間を橋
渡すような恰好で収納されている。すなわち、上記カセ
ットトレイ6の下部には空間65が形成されている。こ
の空間65の上下寸法は、上記各ハンド3,4のトレイ
載置部33,43が差し込めるように、上記各トレイ載
置部33,43の上下寸法(位置決めピン34,44の
寸法を含む)よりも大きく設定されている。すなわち、
上記各けた62,62の上下寸法は、各トレイ載置部3
3,43の上下寸法に応じて設定される。なお、上記各
けた62,62は、棚8に設けられていていもよく、ま
た上記カセットトレイ6に一体的に取り付けられていて
もよい。
1が収容されており、計3個のカセット60が一組とさ
れ、これらのカセット60がカセットトレイ6に載置さ
れた状態で棚8に収納されている。図5に示すように、
上記カセットトレイ6は、1対のけた62,62間を橋
渡すような恰好で収納されている。すなわち、上記カセ
ットトレイ6の下部には空間65が形成されている。こ
の空間65の上下寸法は、上記各ハンド3,4のトレイ
載置部33,43が差し込めるように、上記各トレイ載
置部33,43の上下寸法(位置決めピン34,44の
寸法を含む)よりも大きく設定されている。すなわち、
上記各けた62,62の上下寸法は、各トレイ載置部3
3,43の上下寸法に応じて設定される。なお、上記各
けた62,62は、棚8に設けられていていもよく、ま
た上記カセットトレイ6に一体的に取り付けられていて
もよい。
【0032】上記カセットトレイ6は、上記ウエハ搬送
装置1によって以下のようにして棚8から取り出され
る。まず、上記ウエハ搬送装置1の各ハンド3,4の各
トレイ載置部33,43を上記エレベーションアーム2
からY軸の正方向に突出した恰好としておく。この状態
は、上記第1および第2回転機構7,8によって上記各
ハンド3,4を回転させることによって選択される。
装置1によって以下のようにして棚8から取り出され
る。まず、上記ウエハ搬送装置1の各ハンド3,4の各
トレイ載置部33,43を上記エレベーションアーム2
からY軸の正方向に突出した恰好としておく。この状態
は、上記第1および第2回転機構7,8によって上記各
ハンド3,4を回転させることによって選択される。
【0033】つぎに、上記下部空間65が形成された領
域のZ軸方向の高さに応じて上記スライダ12をZ軸方
向に移動させて上記エレベーションアーム2をZ軸方向
に移動させるとともに、上記エレベーションアーム2を
X軸の正方向に移動させることによって上記各トレイ載
置部33,43を上記下部空間65に差し込む。このと
き、上記各トレイ載置部33,43に形成された位置決
めピン34,44が上記カセットトレイ6の形成された
位置決め穴61,61に対応した部位にとなるように上
記エレベーションアーム2をX軸の正方向に移動させて
図5に実線で示した状態とする。
域のZ軸方向の高さに応じて上記スライダ12をZ軸方
向に移動させて上記エレベーションアーム2をZ軸方向
に移動させるとともに、上記エレベーションアーム2を
X軸の正方向に移動させることによって上記各トレイ載
置部33,43を上記下部空間65に差し込む。このと
き、上記各トレイ載置部33,43に形成された位置決
めピン34,44が上記カセットトレイ6の形成された
位置決め穴61,61に対応した部位にとなるように上
記エレベーションアーム2をX軸の正方向に移動させて
図5に実線で示した状態とする。
【0034】そして、上記エレベーションアーム2をZ
軸の正方向に移動させることによって、上記位置決めピ
ン34,44を上記位置決め穴61,61に係合しつつ
上記カセットトレイ6を所定の高さまで持ち上げる。こ
の状態において上記エレベーションアーム2をX軸の負
方向に移動させれば、上記カセットトレイ6が棚から取
り出される。
軸の正方向に移動させることによって、上記位置決めピ
ン34,44を上記位置決め穴61,61に係合しつつ
上記カセットトレイ6を所定の高さまで持ち上げる。こ
の状態において上記エレベーションアーム2をX軸の負
方向に移動させれば、上記カセットトレイ6が棚から取
り出される。
【0035】このようにして取り出されたカセットトレ
イ6は、上記エレベーションアーム2のZ軸の負方向に
移動させることによって棚8に隣接する所定の部位に載
置される(図4および図7参照)。この状態において
も、けた63,63によって上記カセットトレイ6の下
部に空間が形成されるようにする。
イ6は、上記エレベーションアーム2のZ軸の負方向に
移動させることによって棚8に隣接する所定の部位に載
置される(図4および図7参照)。この状態において
も、けた63,63によって上記カセットトレイ6の下
部に空間が形成されるようにする。
【0036】上記ウエハ搬送装置1においては、上記各
トレイ載置部33,43が上記エレベーションアーム2
から突出した状態では、上記各石英ボート吊支部32,
42が上記エレベーションアーム2の下部に隠された恰
好とされているので、上記各ハンド3,4における使用
していない部分(石英ボート吊支部32,42)が上記
石英ボート5など干渉することを懸念する必要はない。
このため、上記石英ボート5に極めて近接した部位に上
記カセットトレイ6を配置することができ、上記ウエハ
搬送装置1の周りのスペース効率が改善される。これに
ともない、上記ウエハ搬送装置1のエレベーションアー
ム2を移動させるべき距離を小さくすることができるた
め、上記ウエハ搬送装置1の小型化を実現することがで
きる。
トレイ載置部33,43が上記エレベーションアーム2
から突出した状態では、上記各石英ボート吊支部32,
42が上記エレベーションアーム2の下部に隠された恰
好とされているので、上記各ハンド3,4における使用
していない部分(石英ボート吊支部32,42)が上記
石英ボート5など干渉することを懸念する必要はない。
このため、上記石英ボート5に極めて近接した部位に上
記カセットトレイ6を配置することができ、上記ウエハ
搬送装置1の周りのスペース効率が改善される。これに
ともない、上記ウエハ搬送装置1のエレベーションアー
ム2を移動させるべき距離を小さくすることができるた
め、上記ウエハ搬送装置1の小型化を実現することがで
きる。
【0037】上述したように、上記カセットトレイ6に
は、複数枚のウエハ11が収容されたカセット60が載
置されており、これらのカセット60に収容されたウエ
ハ11は、上記カセットトレイ6に隣接して配置された
石英ボート5に移載される。なお、ウエハ11の移載
は、図示されていない所定の装置によって行われる。こ
の装置としては、たとえばウエハ11を挟持可能なクラ
ンプを有するものなどが採用される。
は、複数枚のウエハ11が収容されたカセット60が載
置されており、これらのカセット60に収容されたウエ
ハ11は、上記カセットトレイ6に隣接して配置された
石英ボート5に移載される。なお、ウエハ11の移載
は、図示されていない所定の装置によって行われる。こ
の装置としては、たとえばウエハ11を挟持可能なクラ
ンプを有するものなどが採用される。
【0038】図7に良く表れているように、上記カセッ
ト60から上記石英ボート5にウエハ11が移載されて
いる間に、上記各ハンド3,4をZ軸周りに回転させ、
上記各石英ボート吊支部32,42が上記エレベーショ
ンアーム2からX軸の負方向に突出した状態とする。こ
のとき、上記各石英ボート吊支部32,42の保持部材
30,40が上記石英ボート5の各把手50,50と対
応するように上記石英ボート5を配置しておくことが望
ましい。すなわち、図6および図7に示すように、上記
各ハンド3,4を回転させれば、上記各保持部30,4
0が上記各把手50,50の下方位置になるように上記
石英ボート5を配置し、上記エレベーションアーム2を
Z軸の正方向に移動させれば上記各ハンド3,4によっ
て上記石英ボート5が持ち上げれるようにしておくこと
が望ましい。
ト60から上記石英ボート5にウエハ11が移載されて
いる間に、上記各ハンド3,4をZ軸周りに回転させ、
上記各石英ボート吊支部32,42が上記エレベーショ
ンアーム2からX軸の負方向に突出した状態とする。こ
のとき、上記各石英ボート吊支部32,42の保持部材
30,40が上記石英ボート5の各把手50,50と対
応するように上記石英ボート5を配置しておくことが望
ましい。すなわち、図6および図7に示すように、上記
各ハンド3,4を回転させれば、上記各保持部30,4
0が上記各把手50,50の下方位置になるように上記
石英ボート5を配置し、上記エレベーションアーム2を
Z軸の正方向に移動させれば上記各ハンド3,4によっ
て上記石英ボート5が持ち上げれるようにしておくこと
が望ましい。
【0039】ウエハ11が移載された石英ボート5は、
上記ウエハ搬送装置1によって上記高温拡散炉9の近傍
にまで搬送され、高温拡散炉9の近傍に配置された板状
アーム部材90上に載置される。具体的には、図7およ
び図8に良く表れているように、上記エレベーションア
ーム2をZ軸の正方向に移動させて上記石英ボート5を
持ち上げ、上記エレベーションアーム2をX軸の負方向
に移動させるとともに、さらに上記エレベーションアー
ム2をZ軸の負方向に移動させることによって上記石英
ボート5が上記板状アーム部材90上に載置される。
上記ウエハ搬送装置1によって上記高温拡散炉9の近傍
にまで搬送され、高温拡散炉9の近傍に配置された板状
アーム部材90上に載置される。具体的には、図7およ
び図8に良く表れているように、上記エレベーションア
ーム2をZ軸の正方向に移動させて上記石英ボート5を
持ち上げ、上記エレベーションアーム2をX軸の負方向
に移動させるとともに、さらに上記エレベーションアー
ム2をZ軸の負方向に移動させることによって上記石英
ボート5が上記板状アーム部材90上に載置される。
【0040】このように、上記ウエハ搬送装置1では、
石英ボート5ばかりでなくカセット60の搬送も行うこ
とができる。このため、棚8に収納されたカセット60
を人力によって取り出すまでもなく自動的に行うことが
でき、作業効率の改善を図ることができる。また、高温
拡散炉9などの近傍に石英ボート5を搬送する装置1に
よって棚8からのカセットの取り出し・搬送を行うこと
ができるため、棚などからカセット60を取り出して搬
送するための装置を別途設けるまでもない。このため、
上記ウエハ搬送装置1では、製造コストの低減を図るこ
とができる。
石英ボート5ばかりでなくカセット60の搬送も行うこ
とができる。このため、棚8に収納されたカセット60
を人力によって取り出すまでもなく自動的に行うことが
でき、作業効率の改善を図ることができる。また、高温
拡散炉9などの近傍に石英ボート5を搬送する装置1に
よって棚8からのカセットの取り出し・搬送を行うこと
ができるため、棚などからカセット60を取り出して搬
送するための装置を別途設けるまでもない。このため、
上記ウエハ搬送装置1では、製造コストの低減を図るこ
とができる。
【0041】上記板状アーム部材90に載置された石英
ボート5は、上記板状アーム部材90の移動により高温
拡散炉9内に搬入されて、ウエハ11に拡散処理が施さ
れる。一方、ウエハ11の拡散処理が行われている間
に、ウエハ11が移載されて空になったカセット60を
上記エレベーションアーム2を適宜移動させて取り除く
とともに空の石英ボート5を新たに配置して、棚8に収
容されたカセット60を取り出して上記石英ボート5に
ウエハ11を移載できる状態としておく。
ボート5は、上記板状アーム部材90の移動により高温
拡散炉9内に搬入されて、ウエハ11に拡散処理が施さ
れる。一方、ウエハ11の拡散処理が行われている間
に、ウエハ11が移載されて空になったカセット60を
上記エレベーションアーム2を適宜移動させて取り除く
とともに空の石英ボート5を新たに配置して、棚8に収
容されたカセット60を取り出して上記石英ボート5に
ウエハ11を移載できる状態としておく。
【0042】なお、拡散処理が終了したウエハ11は、
石英ボート5からカセット60に移載されて次の工程を
行うべき場所に搬送される。このときに使用するカセッ
ト60としては、先の空にされたカセット60であって
もよく、新たにカセット60を用意してもよい。
石英ボート5からカセット60に移載されて次の工程を
行うべき場所に搬送される。このときに使用するカセッ
ト60としては、先の空にされたカセット60であって
もよく、新たにカセット60を用意してもよい。
【0043】もちろん、本願発明は上述した実施形態に
は限定されず様々に設計変更可能である。たとえば、上
記各ハンド3,4は、本実施形態ではL字状とされてい
たが、これには限定されず、石英ボート吊支部32,4
2およびトレイ載置部33,43が形成されているもの
であればよい。すなわち、上記各ハンド3,4は、V字
状であってもよく、その他の形状であってもよい。
は限定されず様々に設計変更可能である。たとえば、上
記各ハンド3,4は、本実施形態ではL字状とされてい
たが、これには限定されず、石英ボート吊支部32,4
2およびトレイ載置部33,43が形成されているもの
であればよい。すなわち、上記各ハンド3,4は、V字
状であってもよく、その他の形状であってもよい。
【0044】また、上記各ハンド3,4を回転させる機
構も適宜変更可能である。たとえば、所定の回転力を上
記各ハンド3,4に伝達して上記各ハンド3,4を回転
させるように構成してもよい。
構も適宜変更可能である。たとえば、所定の回転力を上
記各ハンド3,4に伝達して上記各ハンド3,4を回転
させるように構成してもよい。
【図1】本願発明に係るウエハ搬送装置の一例を表す斜
視図である。
視図である。
【図2】上記ウエハ搬送装置の平面図である。
【図3】上記ウエハ搬送装置の動作を説明するための要
部斜視図である。
部斜視図である。
【図4】上記ウエハ搬送装置の周りのレイアウトを表す
図である。
図である。
【図5】上記ウエハ搬送装置によってカセットトレイを
持ち上げる状態を説明するための図である。
持ち上げる状態を説明するための図である。
【図6】上記ウエハ搬送装置によって石英ボートを持ち
上げる状態を説明するための図である。
上げる状態を説明するための図である。
【図7】上記ウエハ搬送装置による搬送対象の切り替え
を説明するための図であり、図4の矢印A方向に見た状
態に相当する図である。
を説明するための図であり、図4の矢印A方向に見た状
態に相当する図である。
【図8】従来のウエハ搬送装置の一例を表す斜視図であ
る。
る。
1 ウエハ搬送装置 2 エレベーションアーム 3 第1ハンド 4 第2ハンド 5 石英ボート 6 カセット 10 装置本体 11 ウエハ 30 石英ボート吊支部(第1ハンドの) 32 トレイ載置部(第1ハンドの) 40 石英ボート吊支部(第2ハンドの) 42 トレイ載置部(第2ハンドの)
Claims (3)
- 【請求項1】 装置本体からY軸方向に突出する長手状
とされているとともに、少なくともX軸方向およびZ軸
方向に移動可能とされたエレベーションアームと、この
エレベーションアームの長手方向に一定距離隔ててそれ
ぞれ連結される第1ハンドおよび第2ハンドと、を備え
たウエハ搬送装置であって、 上記第1ハンドおよび第2ハンドには、複数枚のウエハ
が収容された石英ボートが上記各ハンド間を橋渡すよう
にして吊支される石英ボート吊支部がそれぞれ設けられ
ているとともに、複数枚のウエハが収容されたカセット
が載置されたカセットトレイを上記各ハンド間を橋渡す
ようにして載置するトレイ載置部がそれぞれ設けられて
いることを特徴とする、ウエハ搬送装置。 - 【請求項2】 上記第1ハンドおよび第2ハンドは、L
字状、V字状またはU字状とされているとともに、Z軸
周りに回転可能とされている、請求項1に記載のウエハ
搬送装置。 - 【請求項3】 上記各ハンドの石英ボート吊支部がそれ
ぞれ上記エレベーションアームからX軸方向に突出させ
られ、これらの石英ボート吊支部によって上記石英ボー
トが吊支されて上記石英ボートとともにウエハを搬送す
る状態と、上記各ハンドのトレイ載置部が上記エレベー
ションアームからそれぞれX軸方向に突出させられ、こ
れらのトレイ載置部によって上記トレイが載置されて上
記トレイとともにウエハを搬送する状態とを選択可能と
されている、請求項2に記載のウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8527098A JP3892578B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8527098A JP3892578B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11284046A true JPH11284046A (ja) | 1999-10-15 |
JP3892578B2 JP3892578B2 (ja) | 2007-03-14 |
Family
ID=13853889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8527098A Expired - Fee Related JP3892578B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3892578B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009277996A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Ulvac Japan Ltd | 搬送装置および処理装置 |
CN114400199A (zh) * | 2022-03-25 | 2022-04-26 | 南京伟测半导体科技有限公司 | 晶圆分导设备及其工作方法 |
CN114538107A (zh) * | 2022-01-17 | 2022-05-27 | 东莞市安动半导体科技有限公司 | 一种芯片自动移盘装置及其移盘方法 |
CN117340534A (zh) * | 2023-11-27 | 2024-01-05 | 浙江硅石新能源有限公司 | 石英舟高精密组装焊接装置及其工艺 |
CN117690835A (zh) * | 2023-10-30 | 2024-03-12 | 浙江浩鑫半导体材料有限公司 | 一种光伏半导体生产用石英舟托 |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP8527098A patent/JP3892578B2/ja not_active Expired - Fee Related
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