JPH11284046A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業効率の改善を図るとともに、コスト的に
有利にウエハを搬送できるようにする。 【解決手段】 装置本体１０からＹ軸方向に突出する長
手状とされているとともに、少なくともＸ軸方向および
Ｚ軸方向に移動可能とされたエレベーションアーム２
と、このエレベーションアーム２の長手方向に一定距離
隔ててそれぞれ連結される第１ハンド３および第２ハン
ド４と、を備えたウエハ搬送装置１において、上記第１
ハンド３および第２ハンド４に、複数枚のウエハ１１が
収容された石英ボート５を上記各ハンド間を橋渡すよう
にして吊支する石英ボート吊支部３０，４０をそれぞれ
設けるとともに、複数枚のウエハ１１が収容されたカセ
ット６０が載置されたカセットトレイ６を上記各ハンド
３，４間を橋渡すようにして載置するトレイ載置部３
２，４２をそれぞれ設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、複数枚のウエハ
が収容された石英ボートを吊支した状態で、上記石英ボ
ートとともにウエハを高温加熱炉まで搬送する装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】通
常、半導体チップは、シリコンなどのウエハの表面に様
々な工程を経て複数の回路素子を形成した後に、ウエハ
を各回路素子毎に分割することによって形成される。上
記した工程としては、ウエハ表面に酸化膜を形成する工
程、レジストを形成するためのフォトリソ工程、不純物
の拡散工程、あるいは電極形成工程などがある。これら
の各工程は、それぞれ所定の装置を用いて行われるが、
各装置間におけるウエハの移動は、金属製などのカセッ
ト内に複数枚のウエハが収容された状態で行われる。

【０００３】周知の通り、拡散工程は、ウエハの表面か
ら内部に不純物を拡散させ、不純物が拡散させられた領
域をＰ型、あるいはＮ型とする工程である。拡散速度
は、高温ほど大きいことから、不純物をウエハの内部に
良好に拡散させるためには、数百度から千度程度（不純
物の種類などによっても異なる）の高温の状態で行わな
ければならない。一方、ウエハの酸化膜の表面に何らか
の金属、たとえばナトリウムなどが付着している場合に
は、高温の拡散工程においては付着物が酸化膜内に取り
込まれてしまうといった不具合が生じる。このような不
具合を回避するために、不純物の拡散は、石英などによ
って形成された高温拡散炉内において行われている。ま
た、金属製などのカセットでは、ウエハにナトリウムな
どが付着して拡散してしまうことが懸念されるため、石
英などのボートにウエハを移載し、石英ボートとともに
ウエハを高温拡散炉内に搬入することによって拡散処理
が行われている。

【０００４】ところで、複数枚のウエハが収容された石
英ボートは、図８に示すようなウエハ搬送装置によって
高温拡散炉の近傍まで搬送される。上記ウエハ搬送装置
１は、装置本体１０からＹ軸方向に突出する長手状とさ
れているとともにＸ軸方向およびＺ軸方向に移動可能と
されたエレベーションアーム２と、このエレベーション
アーム２の長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結され
る一対のハンド３，４と、を備えている。これらのハン
ド３，４は、上記エレベーションアーム２からＸ軸方向
に突出するようにしてそれぞれ連結されており、その先
端部には石英製の保持部３０，４０がそれぞれ設けられ
ている。これらの保持部３０，４０の上面には、Ｘ軸方
向に延びるとともに下方に凹入した溝部３１，４１が形
成されている。すなわち、これらの溝部３１，４１に上
記石英ボート５の設けられた把手５０を保持して上記石
英ボート５を上記各ハンド３，５間に橋渡すような恰好
とし、この状態において上記石英ボート５が搬送され
る。

【０００５】上述したように、上記石英ボート５には、
カセットに収容されたウエハ１１が移載されるが、ウエ
ハの移載は、たとえばウエハを挟持できるハンドを有す
る移載装置（図示略）などによって自動的に行われる。
このため、移載装置によってカセットから石英ボート５
にウエハ１１を移載できるようにするためには、所定の
場所に石英ボート５およびカセットをそれぞれ位置決め
した状態で置いておく必要がある。通常、拡散処理を施
すべきウエハ１１が収容されたカセットは、たとえば上
記移載装置に隣接する棚などに板状のトレイなどに載置
された状態で収納されている。このため、棚などからト
レイとともにカセットを取り出し、これを所定の場所に
位置決めして置く必要がある。

【０００６】このような作業は、作業者の手作業によっ
て行われ、あるいは所定の装置によって自動的に行われ
る。しかしながら、人力では、作業効率が極めて悪い一
方、所定の装置を用いれば作業効率は改善されるが、上
記したウエハ搬送装置とは異なる新たな装置を必要とす
ることから、コスト的に不利である。

【０００７】本願発明は、上記した事情のもとで考え出
されたものであって、作業効率の改善を図るとともに、
コスト的に有利にウエハを搬送できるようにすることを
その課題としている。

【０００８】

【発明の開示】上記の課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。

【０００９】すなわち、本願発明により提供されるウエ
ハ搬送装置は、装置本体からＹ軸方向に突出する長手状
とされているとともに、少なくともＸ軸方向およびＺ軸
方向に移動可能とされたエレベーションアームと、この
エレベーションアームの長手方向に一定距離隔ててそれ
ぞれ連結される第１ハンドおよび第２ハンドと、を備え
たウエハ搬送装置であって、上記第１ハンドおよび第２
ハンドには、複数枚のウエハが収容された石英ボートが
上記各ハンド間を橋渡すようにして吊支される石英ボー
ト吊支部がそれぞれ設けられているとともに、複数枚の
ウエハが収容されたカセットが載置されたカセットトレ
イを上記各ハンド間を橋渡すようにして載置するトレイ
載置部がそれぞれ設けられていることを特徴としてい
る。

【００１０】上記構成では、従来と同様に上記各ハンド
の石英ボート吊支部間に石英ボートを橋渡すような状態
として石英ボートの搬送が可能である。しかも、上記各
ハンドには、トレイ載置部がそれぞれ設けられているこ
とから、これらのトレイ載置部間を橋渡すようにして上
記トレイを載置することによってトレイの搬送を行うこ
ともできる。上述したように、上記カセットは、上記ト
レイに載置された状態で棚などに収容されていることが
あることから、この場合には上記ウエハ搬送装置によっ
てトレイに載置されたカセットを取り出して搬送するこ
とができる。

【００１１】このように、上記ウエハ搬送装置では、石
英ボートばかりでなくカセットの搬送も行うことができ
る。このため、棚などに収納されたカセットを人力によ
って取り出すまでもなく自動的に行うことができ、作業
効率の改善を図ることができる。また、高温拡散炉など
の近傍に石英ボートを搬送する装置によって棚などから
のカセットの取り出し・搬送を行うことができるため、
棚などからカセットを取り出して搬送するための装置を
別途設けるまでもない。このため、上記ウエハ搬送装置
では、製造コストの低減を図ることができる。

【００１２】本願発明の好ましい実施の形態において
は、上記第１ハンドおよび第２ハンドは、Ｌ字状、Ｖ字
状またはＵ字状とされているとともに、Ｚ軸周りに回転
可能とされており、また、上記各ハンドの石英ボート吊
支部がそれぞれ上記エレベーションアームからＸ軸方向
に突出させられ、これらの石英ボート吊支部によって上
記石英ボートが吊支されて上記石英ボートとともにウエ
ハを搬送する状態と、上記各ハンドのトレイ載置部が上
記エレベーションアームからそれぞれＸ軸方向に突出さ
せられ、これらのトレイ載置部によって上記トレイが載
置されて上記トレイとともにウエハを搬送する状態とを
選択可能なように構成することもできる。

【００１３】上記構成では、上記各ハンドが回転可能な
Ｌ字状、Ｖ字状またはＵ字状とされているため、上記各
ハンドを回転させるだけで、上記各ハンドの石英ボート
吊支部がそれぞれ上記エレベーションアームからＸ軸方
向に突出した状態と、上記各トレイ載置部が上記エレベ
ーションアームからそれぞれＸ軸方向に突出した状態と
を選択することができる。

【００１４】また、上記各ハンドがＬ字状、Ｖ字状また
はＵ字状とされていることから、上記各石英ボート吊支
部を上記エレベーションアームから突出させた状態で
は、平面視において上記各トレイ載置部が上記エレベー
ションアームの下部に隠された恰好とされる。一方、上
記各トレイ載置部が突出した状態では、上記各石英ボー
ト吊支部が上記エレベーションアームに隠された恰好と
される。このように、上記ウエハ搬送装置では、上記各
ハンドの石英ボート吊支部およびトレイ載置部の両方が
上記エレベーションアームの両側部から突出するといっ
た状態とはならず、使用をする一方のみが突出する状態
とされる。

【００１５】このため、上記ウエハ搬送装置では、使用
時における上記エレベーションアームからＸ軸方向に突
出する部分を最小限とすることができ、上記ウエハ搬送
装置周りのスペース効率を改善することができる。すな
わち、たとえば上記石英ボートを所定の場所から取り上
げたり、あるいは所定の場所に置いたりする場合を考え
れば、使用していないハンドの部分が上記カセット、カ
セットが収納された棚、あるいは高温拡散炉に石英ボー
トを搬入するためのアームなどに干渉しないようにする
ために、カセットや棚などを大きく離間させる必要はな
い。また、上記ウエハ搬送装置の周りのスペース効率を
改善できることから、上記エレベーションアームの移動
させるべき距離も小さく設定することができる。このた
め、上記ウエハ搬送装置の小型化を実現することができ
る。

【００１６】本願発明のその他の特徴および利点は、添
付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より
明らかとなろう。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態を、図面を参照して具体的に説明する。

【００１８】図１は本願発明に係るウエハ搬送装置の一
例を表す斜視図であり、図２は上記ウエハ搬送装置の平
面図であり、図３（ａ）および（ｂ）は上記ウエハ搬送
装置の動作を説明するための要部斜視図である。なお、
本実施形態を説明するために参照する図面においては、
従来例を説明するために参照した図面に描かれている部
材や要素などと同等のものには同一の符号を付してあ
る。

【００１９】図１に示すように、上記ウエハ搬送装置１
は、装置本体１０からＹ軸方向に突出する長手状とされ
たエレベーションアーム２と、このエレベーションアー
ム２の長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結される第
１ハンド３および第２ハンド４と、を備えて大略構成さ
れている。そして、図２に良く表れているように、上記
ウエハ搬送装置１では、上記各ハンド３，４間に石英ボ
ート５を吊支した状態と、カセットトレイ６を載置した
状態とを選択できるようになされている。

【００２０】図１に良く表れているように、上記エレベ
ーションアーム２は、上記装置本体１０に対してＺ軸方
向にスライド移動可能とされたスライダ１２に、Ｘ軸方
向にスライド移動可能に連結されている。すなわち、上
記エレベーションアーム２は、上記装置本体１０に対し
てＸ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれに移動可能とされ
ている。

【００２１】図１および図２に良く表れているように、
上記第１ハンド３は、石英ボート吊支部３２およびトレ
イ載置部３３を有するＬ字状とされており、そのコーナ
部を中心としてＺ軸周りに回転可能に上記エレベーショ
ンアーム２に連結されている。

【００２２】上記石英ボート吊支部３２には、石英製な
どの保持部材３０が取り付けられている。この保持部材
３０には、上記石英ボート吊支部３２の長手方向に延び
るとともに下方に凹入した溝部３１が形成されており、
この溝部３１に石英ボート５に設けられた把手５０が保
持される。一方、上記トレイ載置部３３には、上記カセ
ットトレイ６に形成された位置決め穴６１に嵌め込まれ
る位置決めピン３４が形成されている。

【００２３】図２および図３に示すように、上記第１ハ
ンド３は、第１回転機構７によってＺ軸周りに回転可能
とされている。図３（ａ）および（ｂ）に良く表れてい
るように、上記第１回転機構７は、上記エレベーション
アーム２の先端部においてＺ軸周りに回転可能に挿通保
持された第１回転軸７０と、この第１回転軸７０の上端
部にその一端部が一体的に連結された長円形状の第１回
動部材７１と、この第１回動部材７１の他端部に設けら
れた軸部７１ａに対して回動可能に連結されるとともに
シリンダ７２内を摺動してＹ軸方向に伸縮可能とされた
ピストン７３と、このピストン７３を伸縮させる駆動源
（図示略）と、を有して構成されている。

【００２４】上記第１回転機構７では、上記回転軸７０
の下端部が上記第１ハンド３のコーナ部において一体的
に連結されており、上記第１ハンド３が上記第１回転軸
７０と一体的に回転するようになされている。すなわ
ち、上記第１回転軸７０は、上記第１回動部材７１と一
体化されていることから、ピストン７３を伸縮させて上
記第１回動部材７１を回動させれば上記第１回転軸７０
が回転し、結局、上記第１ハンド３が回転させられるよ
うになされている。なお、本実施形態では、ピストン７
３が縮められた場合には、図３（ａ）に示すような上記
トレイ載置部３３が上記エレベーションアーム２からＸ
軸の正方向に突出した状態とされ、ピストン７３が伸ば
された場合には、図３（ｂ）に示すような上記石英ボー
ト吊支部３２が上記エレベーションアーム２からＸ軸の
負方向に突出した状態とされるようになされている。

【００２５】図１および図２に良く表れているように、
上記第２ハンド４は、上記第１ハンド３と同様に石英ボ
ート吊支部４２およびトレイ載置部４３を有するＬ字状
とされている。そして、上記第２ハンド４では、上記第
１ハンド３における石英ボート吊支部３２に対応する部
分がトレイ載置部４３とされている一方、石英トレイ載
置部３３に対応する部分がボート吊支部４２とされてい
る。すなわち、上記第１ハンド３と上記第２ハンド４と
は、平面視において対象なものとされている。もちろ
ん、上記石英ボート吊支部４２には溝部４１が形成され
た保持部材４０が取り付けられており、上記トレイ載置
部４３には位置決めピン４４が形成されている。

【００２６】また、上記第１ハンド３は、上記第１回転
機構７と同様な構成を有する第２回転機構８によってＺ
軸周りを回転可能とされている。すなわち、上記第２回
転機構８は、ピストン８３の伸縮によって回動させられ
る第２回動部材８１を有しており、上記第２ハンド４は
上記第２回動部材８１と第２回転軸８０を介して連結さ
れて上記第２回動部材８１によって回転させられるよう
になされている。

【００２７】図２に良く表れているように、上記構成の
ウエハ搬送装置１では、上記各ピストン７３，８３の伸
縮によって各ハンド３，４が回転させられて、上記各ハ
ンド３，４の石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベ
ーションアーム２からＸ軸方向に突出する状態と、上記
各トレイ載置部３３，４３が突出する状態を選択できる
ようになされている。なお、図２に良く表れているよう
に、上記各石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベー
ションアーム２から突出する状態では、上記各トレイ載
置部３３，４３が上記エレベーションアーム２の下部に
隠された恰好とされおり、上記各トレイ載置部３３，４
３が上記エレベーションアーム２から突出する状態で
は、上記各石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベー
ションアーム２の下部に隠された恰好とされている。

【００２８】上記各石英ボート吊支部３２，４２が上記
エレベーションアーム２からそれぞれＸ軸方向に突出す
る状態では、上記石英ボート５の両端部に設けられた把
手５０，５０が、それぞれ上記各石英ボート吊支部３
２，４２の保持部材３０，４０に保持され、上記各石英
ボート吊支部３２，４２間を上記石英ボート５が橋渡す
ようにして吊支した恰好で上記石英ボート５が搬送され
る。このとき、上記石英ボート５内にウエハ１１が収容
されていれば、ウエハ１１が搬送されることになる。一
方、上記各トレイ載置部４３が突出した状態では、上記
位置決めピン３４，４４がカセットトレイ６の両端部に
形成された位置決め穴６１，６１に嵌め込まれ、上記各
トレイ載置部３３，４３の間に上記カセットトレイ６を
橋渡すようにして載置した恰好で上記カセットトレイ６
が搬送される。

【００２９】次に、上記ウエハ搬送装置１の使用状態を
図４ないし図７を参照しつつ説明する。なお、図４は上
記ウエハ搬送装置の周りのレイアウトを表す図であり、
図５は上記ウエハ搬送装置によってカセットトレイを持
ち上げる状態を説明するための図であり、図６は上記ウ
エハ搬送装置によって石英ボートを持ち上げる状態を説
明するための図であり、図７は上記ウエハ搬送装置によ
る搬送対象の切り替えを説明するための図であって、図
４の矢印Ａ方向に見た状態に相当する図である。

【００３０】本実施形態における上記ウエハ搬送装置１
は、棚８に収納されたカセット６０を取り出すととも
に、カセット６０からウエハ１１が移載された石英ボー
ト５を高温拡散炉９の近傍に配置された板状アーム部材
９０にまで搬送する装置である（図４参照）。なお、上
記板状アーム部材９０に載置された石英ボート５は、上
記板状アーム部材９０のＹ軸方向への移動によって上記
高温拡散炉９内に搬入され、また拡散処理が終了すれば
搬出されるようになされている。

【００３１】上記カセット６０には、複数枚のウエハ１
１が収容されており、計３個のカセット６０が一組とさ
れ、これらのカセット６０がカセットトレイ６に載置さ
れた状態で棚８に収納されている。図５に示すように、
上記カセットトレイ６は、１対のけた６２，６２間を橋
渡すような恰好で収納されている。すなわち、上記カセ
ットトレイ６の下部には空間６５が形成されている。こ
の空間６５の上下寸法は、上記各ハンド３，４のトレイ
載置部３３，４３が差し込めるように、上記各トレイ載
置部３３，４３の上下寸法（位置決めピン３４，４４の
寸法を含む）よりも大きく設定されている。すなわち、
上記各けた６２，６２の上下寸法は、各トレイ載置部３
３，４３の上下寸法に応じて設定される。なお、上記各
けた６２，６２は、棚８に設けられていていもよく、ま
た上記カセットトレイ６に一体的に取り付けられていて
もよい。

【００３２】上記カセットトレイ６は、上記ウエハ搬送
装置１によって以下のようにして棚８から取り出され
る。まず、上記ウエハ搬送装置１の各ハンド３，４の各
トレイ載置部３３，４３を上記エレベーションアーム２
からＹ軸の正方向に突出した恰好としておく。この状態
は、上記第１および第２回転機構７，８によって上記各
ハンド３，４を回転させることによって選択される。

【００３３】つぎに、上記下部空間６５が形成された領
域のＺ軸方向の高さに応じて上記スライダ１２をＺ軸方
向に移動させて上記エレベーションアーム２をＺ軸方向
に移動させるとともに、上記エレベーションアーム２を
Ｘ軸の正方向に移動させることによって上記各トレイ載
置部３３，４３を上記下部空間６５に差し込む。このと
き、上記各トレイ載置部３３，４３に形成された位置決
めピン３４，４４が上記カセットトレイ６の形成された
位置決め穴６１，６１に対応した部位にとなるように上
記エレベーションアーム２をＸ軸の正方向に移動させて
図５に実線で示した状態とする。

【００３４】そして、上記エレベーションアーム２をＺ
軸の正方向に移動させることによって、上記位置決めピ
ン３４，４４を上記位置決め穴６１，６１に係合しつつ
上記カセットトレイ６を所定の高さまで持ち上げる。こ
の状態において上記エレベーションアーム２をＸ軸の負
方向に移動させれば、上記カセットトレイ６が棚から取
り出される。

【００３５】このようにして取り出されたカセットトレ
イ６は、上記エレベーションアーム２のＺ軸の負方向に
移動させることによって棚８に隣接する所定の部位に載
置される（図４および図７参照）。この状態において
も、けた６３，６３によって上記カセットトレイ６の下
部に空間が形成されるようにする。

【００３６】上記ウエハ搬送装置１においては、上記各
トレイ載置部３３，４３が上記エレベーションアーム２
から突出した状態では、上記各石英ボート吊支部３２，
４２が上記エレベーションアーム２の下部に隠された恰
好とされているので、上記各ハンド３，４における使用
していない部分（石英ボート吊支部３２，４２）が上記
石英ボート５など干渉することを懸念する必要はない。
このため、上記石英ボート５に極めて近接した部位に上
記カセットトレイ６を配置することができ、上記ウエハ
搬送装置１の周りのスペース効率が改善される。これに
ともない、上記ウエハ搬送装置１のエレベーションアー
ム２を移動させるべき距離を小さくすることができるた
め、上記ウエハ搬送装置１の小型化を実現することがで
きる。

【００３７】上述したように、上記カセットトレイ６に
は、複数枚のウエハ１１が収容されたカセット６０が載
置されており、これらのカセット６０に収容されたウエ
ハ１１は、上記カセットトレイ６に隣接して配置された
石英ボート５に移載される。なお、ウエハ１１の移載
は、図示されていない所定の装置によって行われる。こ
の装置としては、たとえばウエハ１１を挟持可能なクラ
ンプを有するものなどが採用される。

【００３８】図７に良く表れているように、上記カセッ
ト６０から上記石英ボート５にウエハ１１が移載されて
いる間に、上記各ハンド３，４をＺ軸周りに回転させ、
上記各石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベーショ
ンアーム２からＸ軸の負方向に突出した状態とする。こ
のとき、上記各石英ボート吊支部３２，４２の保持部材
３０，４０が上記石英ボート５の各把手５０，５０と対
応するように上記石英ボート５を配置しておくことが望
ましい。すなわち、図６および図７に示すように、上記
各ハンド３，４を回転させれば、上記各保持部３０，４
０が上記各把手５０，５０の下方位置になるように上記
石英ボート５を配置し、上記エレベーションアーム２を
Ｚ軸の正方向に移動させれば上記各ハンド３，４によっ
て上記石英ボート５が持ち上げれるようにしておくこと
が望ましい。

【００３９】ウエハ１１が移載された石英ボート５は、
上記ウエハ搬送装置１によって上記高温拡散炉９の近傍
にまで搬送され、高温拡散炉９の近傍に配置された板状
アーム部材９０上に載置される。具体的には、図７およ
び図８に良く表れているように、上記エレベーションア
ーム２をＺ軸の正方向に移動させて上記石英ボート５を
持ち上げ、上記エレベーションアーム２をＸ軸の負方向
に移動させるとともに、さらに上記エレベーションアー
ム２をＺ軸の負方向に移動させることによって上記石英
ボート５が上記板状アーム部材９０上に載置される。

【００４０】このように、上記ウエハ搬送装置１では、
石英ボート５ばかりでなくカセット６０の搬送も行うこ
とができる。このため、棚８に収納されたカセット６０
を人力によって取り出すまでもなく自動的に行うことが
でき、作業効率の改善を図ることができる。また、高温
拡散炉９などの近傍に石英ボート５を搬送する装置１に
よって棚８からのカセットの取り出し・搬送を行うこと
ができるため、棚などからカセット６０を取り出して搬
送するための装置を別途設けるまでもない。このため、
上記ウエハ搬送装置１では、製造コストの低減を図るこ
とができる。

【００４１】上記板状アーム部材９０に載置された石英
ボート５は、上記板状アーム部材９０の移動により高温
拡散炉９内に搬入されて、ウエハ１１に拡散処理が施さ
れる。一方、ウエハ１１の拡散処理が行われている間
に、ウエハ１１が移載されて空になったカセット６０を
上記エレベーションアーム２を適宜移動させて取り除く
とともに空の石英ボート５を新たに配置して、棚８に収
容されたカセット６０を取り出して上記石英ボート５に
ウエハ１１を移載できる状態としておく。

【００４２】なお、拡散処理が終了したウエハ１１は、
石英ボート５からカセット６０に移載されて次の工程を
行うべき場所に搬送される。このときに使用するカセッ
ト６０としては、先の空にされたカセット６０であって
もよく、新たにカセット６０を用意してもよい。

【００４３】もちろん、本願発明は上述した実施形態に
は限定されず様々に設計変更可能である。たとえば、上
記各ハンド３，４は、本実施形態ではＬ字状とされてい
たが、これには限定されず、石英ボート吊支部３２，４
２およびトレイ載置部３３，４３が形成されているもの
であればよい。すなわち、上記各ハンド３，４は、Ｖ字
状であってもよく、その他の形状であってもよい。

【００４４】また、上記各ハンド３，４を回転させる機
構も適宜変更可能である。たとえば、所定の回転力を上
記各ハンド３，４に伝達して上記各ハンド３，４を回転
させるように構成してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明に係るウエハ搬送装置の一例を表す斜
視図である。

【図２】上記ウエハ搬送装置の平面図である。

【図３】上記ウエハ搬送装置の動作を説明するための要
部斜視図である。

【図４】上記ウエハ搬送装置の周りのレイアウトを表す
図である。

【図５】上記ウエハ搬送装置によってカセットトレイを
持ち上げる状態を説明するための図である。

【図６】上記ウエハ搬送装置によって石英ボートを持ち
上げる状態を説明するための図である。

【図７】上記ウエハ搬送装置による搬送対象の切り替え
を説明するための図であり、図４の矢印Ａ方向に見た状
態に相当する図である。

【図８】従来のウエハ搬送装置の一例を表す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ ウエハ搬送装置 ２ エレベーションアーム ３ 第１ハンド ４ 第２ハンド ５ 石英ボート ６ カセット １０ 装置本体 １１ ウエハ ３０ 石英ボート吊支部（第１ハンドの） ３２ トレイ載置部（第１ハンドの） ４０ 石英ボート吊支部（第２ハンドの） ４２ トレイ載置部（第２ハンドの）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置本体からＹ軸方向に突出する長手状
   とされているとともに、少なくともＸ軸方向およびＺ軸
   方向に移動可能とされたエレベーションアームと、この
   エレベーションアームの長手方向に一定距離隔ててそれ
   ぞれ連結される第１ハンドおよび第２ハンドと、を備え
   たウエハ搬送装置であって、 上記第１ハンドおよび第２ハンドには、複数枚のウエハ
   が収容された石英ボートが上記各ハンド間を橋渡すよう
   にして吊支される石英ボート吊支部がそれぞれ設けられ
   ているとともに、複数枚のウエハが収容されたカセット
   が載置されたカセットトレイを上記各ハンド間を橋渡す
   ようにして載置するトレイ載置部がそれぞれ設けられて
   いることを特徴とする、ウエハ搬送装置。
2. 【請求項２】 上記第１ハンドおよび第２ハンドは、Ｌ
   字状、Ｖ字状またはＵ字状とされているとともに、Ｚ軸
   周りに回転可能とされている、請求項１に記載のウエハ
   搬送装置。
3. 【請求項３】 上記各ハンドの石英ボート吊支部がそれ
   ぞれ上記エレベーションアームからＸ軸方向に突出させ
   られ、これらの石英ボート吊支部によって上記石英ボー
   トが吊支されて上記石英ボートとともにウエハを搬送す
   る状態と、上記各ハンドのトレイ載置部が上記エレベー
   ションアームからそれぞれＸ軸方向に突出させられ、こ
   れらのトレイ載置部によって上記トレイが載置されて上
   記トレイとともにウエハを搬送する状態とを選択可能と
   されている、請求項２に記載のウエハ搬送装置。